可调节拆膜撬棍的制作方法

1.本技术涉及光掩模的技术领域，具体涉及一种可调节拆膜撬棍。


背景技术：

2.光掩模在最终清洗后需要蒙贴pellicle，pellicle主要由铝合金框架和透明薄膜构成，作用是防止灰尘掉落在光掩模上有图形的位置，避免在晶圆上形成重复缺陷。
3.pellicle蒙贴在光掩模上后，需要进行贴膜检验，当检验出缺陷时，需要通过拆膜撬棍将pellicle从光掩模上翘起。但现有技术中拆膜撬棍都是与厂家的pellicle相适配的，拆膜撬棍上的顶针位置无法进行调节，只能适应固定位置的pellicle定位孔。一旦需要对其它不同型号的pellicle拆膜，需要进行停机测试，适配与当前pellicle相适配的拆膜撬棍，在时间上花费较大，有待改善。
4.因此，需要一种新的拆膜撬棍，可以灵活调节顶针位置，以适配不同型号的pellicle。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本说明书实施例提供一种可调节拆膜撬棍，可以灵活调节顶针位置，以适配不同型号的pellicle。
6.本说明书实施例提供以下技术方案：
7.本说明书实施例提供一种可调节拆膜撬棍，包括：横梁本体、手柄及顶针；
8.所述横梁本体的一侧设有抵接面，所述抵接面用于抵接pellicle上设有定位孔的侧部；
9.所述手柄连接于横梁本体远离抵接面的一侧，以推动横梁本体移动；
10.所述抵接面上设有调节沟槽，所述调节沟槽的延伸方向平行于pellicle上开设有定位孔的侧部；
11.所述顶针滑移连接于调节沟槽，且所述顶针的滑动方向平行于调节沟槽的延伸方向；
12.所述顶针还连接有锁紧件，所述锁紧件用于锁紧顶针以限制顶针滑动。
13.通过上述技术方案，设置调节沟槽、顶针及锁紧件，使得在应对不同型号pellicle的拆膜需求时，可以通过滑动顶针，使得顶针快速移动至不同型号pellicle的定位孔处，实现顶针的快速调节，再通过锁紧件锁紧顶针，配合手柄推动将顶针顶入定位孔，将pellicle翘起，使得pellicle与光掩模分离，进而可以通过顶针的灵活调节，适配不同型号的pellicle。
14.优选的，所述横梁本体上设有标尺，所述标尺沿调节沟槽的延伸方向设置。
15.通过上述技术方案，设置标尺，可以通过标尺上的读数及pellicle厂商提供的产品参数，快速确定顶针调节至定位孔位置所需的位移量，完成顶针位置的快速调节，提高拆膜撬棍和pellicle之间的适配效率。
16.优选的，所述锁紧件未锁紧状态下跟随顶针滑动；
17.所述锁紧件远离顶针的端部靠近标尺设置。
18.优选的，所述顶针的一端突出于调节沟槽的槽口，用于顶入pellicle上的定位孔中；
19.所述顶针的另一端固定连接有滑动球体，所述滑动球体在调节沟槽内滑动，所述顶针通过滑动球体滑移连接于调节沟槽；
20.所述锁紧件可拆卸连接于滑动球体。
21.优选的，所述锁紧件为螺栓，所述锁紧件通过螺纹连接的方式连接于滑动球体。
22.优选的，所述锁紧件的端部和滑动球体之间还设有调节螺母。
23.优选的，所述锁紧件为菱形螺栓。
24.优选的，所述标尺的尺寸范围为
±
75mm。
25.优选的，所述标尺的最小刻度为1mm。
26.与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
27.通过设置调节沟槽、顶针及锁紧件，使得在应对不同型号pellicle的拆膜需求时，可以通过滑动顶针，使得顶针快速移动至不同型号pellicle的定位孔处，实现顶针的快速调节，再通过锁紧件锁紧顶针，配合手柄推动将顶针顶入定位孔，将pellicle翘起，使得pellicle与光掩模分离，进而可以通过顶针的灵活调节，适配不同型号的pellicle。
附图说明
28.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
29.图1是本技术实施例中的整体结构示意图；
30.图2是本技术实施例中的顶针、滑动球体及锁紧件的结构示意图。
31.附图标记：1、横梁本体；2、手柄；3、顶针；4、调节沟槽；5、滑动球体；6、锁紧件；7、标尺。
具体实施方式
32.下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
33.以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
34.要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/
或功能仅为说明性的。基于本技术，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
35.还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
36.另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。
37.申请人发现：现有技术中的拆膜撬棍都是与厂家的pellicle相适配的，拆膜撬棍上的顶针位置无法进行调节，只能适应固定位置的pellicle定位孔。一旦需要对其它不同型号的pellicle拆膜，则需要进行停机测试，适配与当前pellicle相适配的拆膜撬棍，在时间上花费较大。
38.基于此，本说明书实施例提出了一种拆膜撬棍，将原先固定设置的顶针，设置成可以灵活调节位置的顶针，以适配不同型号的pellicle拆膜需求。
39.以下结合附图，说明本技术各实施例提供的技术方案。
40.如图2所示，本说明书实施例提供一种方法，包括：横梁本体1、手柄2及顶针3。
41.横梁本体1呈长直杆状，横梁本体1的一侧设置为抵接面，抵接面用于抵接pellicle上设有定位孔的侧部。
42.手柄2固定连接于横梁本体1远离抵接面的一侧，手柄2的长度方向垂直于横梁本体1的长度方向，手柄2被配置为：推动横梁本体1移动并带动横梁本体1发生绕轴线的偏转。
43.抵接面上开设有与横梁本体1内部连通的调节沟槽4，调节沟槽4的延伸方向平行于pellicle上开设有定位孔的侧部。
44.调节沟槽4共有两个槽口，分别为第一槽口和第二槽口。第一槽口位于抵接面上以供顶针3穿出。第二槽口开设于横梁本体1上，并且位于抵接面和手柄2之间。第一槽口和第二槽口的延伸方向均平行于横梁本体1的延伸方向。
45.顶针3的一端突出于第一槽口，且顶针3另一端固定连接有滑动球体5，滑动球体5位于调节沟槽4内并在调节沟槽4内滑动，顶针3通过滑动球体5滑移连接于调节沟槽4，顶针3与滑动球体5的滑移方向均平行于调节沟槽4的延伸方向。
46.滑动球体5连接有锁紧件6，锁紧件6为菱形螺栓。锁紧件6螺纹连接于滑动球体5上开设的螺纹孔。锁紧件6的端部突出于第二槽口。锁紧件6和滑动球体5之间还设置有调节螺母，调节螺母螺纹连接于锁紧件6的杆体并位于锁紧件6的端部和第二槽口之间。
47.实际使用中，当需要锁紧滑动球体5和顶针3时，通过拧动锁紧件6，使得锁紧件6的端部将调节螺母抵紧于第二槽口，实现顶针3和滑动球体5的锁紧，以便于后续手柄2推动横梁本体1移动，使得顶针3顶入pellicle上的定位孔中。反之，如需移动顶针3和滑动球体5，只需调松锁紧件6即可。
48.在其它实施例中，锁紧件6也可以为圆头螺栓、卡扣、锁紧销等结构件，以嵌套或者
卡接的形式对顶针3和滑动球体5进行锁紧。
49.横梁本体1的上端还设置有标尺7，标尺7的长度方向沿着调节沟槽4的延伸方向设置。标尺7的尺寸范围为
±
75mm，最小刻度为1mm。
50.锁紧件6在未锁紧状态下与顶针3及滑动球体5一同沿着调节沟槽4的延伸方向滑移，且锁紧件6的端部靠近标尺7设置。由于在本实施例中，锁紧件6为菱形螺栓，因此锁紧件6的端部呈菱形，在靠近标尺7后，方便根据标尺7上的刻度，读取和定位当前顶针3所在位置，以便于更快的完成顶针3和pellicle上定位孔之间的精确定位。进而在适配不同型号的pellicle时，可以快速完成顶针3位置的调节。
51.拆膜适配过程如下：根据厂商提供的pellicle产品参数，以及当前顶针3所处位置，拧松锁紧件6后，根据读数快速将顶针3定位至pellicle上的对应定位孔处，拧紧锁紧件6，将顶针3锁紧，再推动手柄2，使得横梁本体1带动顶针3顶入定位孔中，通过手柄2带动横梁本体1轻微旋转，将pellicle翘起。
52.本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。
53.以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

技术特征：
1.一种可调节拆膜撬棍，其特征在于，包括：横梁本体(1)、手柄(2)及顶针(3)；所述横梁本体(1)的一侧设有抵接面，所述抵接面用于抵接pellicle上设有定位孔的侧部；所述手柄(2)连接于横梁本体(1)远离抵接面的一侧，以推动横梁本体(1)移动；所述抵接面上设有调节沟槽(4)，所述调节沟槽(4)的延伸方向平行于pellicle上开设有定位孔的侧部；所述顶针(3)滑移连接于调节沟槽(4)，且所述顶针(3)的滑动方向平行于调节沟槽(4)的延伸方向；所述顶针(3)还连接有锁紧件(6)，所述锁紧件(6)用于锁紧顶针(3)以限制顶针(3)滑动。2.根据权利要求1所述的可调节拆膜撬棍，其特征在于，所述横梁本体(1)上设有标尺(7)，所述标尺(7)沿调节沟槽(4)的延伸方向设置。3.根据权利要求2所述的可调节拆膜撬棍，其特征在于，所述锁紧件(6)未锁紧状态下跟随顶针(3)滑动；所述锁紧件(6)远离顶针(3)的端部靠近标尺(7)设置。4.根据权利要求1所述的可调节拆膜撬棍，其特征在于，所述顶针(3)的一端突出于调节沟槽(4)的槽口，用于顶入pellicle上的定位孔中；所述顶针(3)的另一端固定连接有滑动球体(5)，所述滑动球体(5)在调节沟槽(4)内滑动，所述顶针(3)通过滑动球体(5)滑移连接于调节沟槽(4)；所述锁紧件(6)可拆卸连接于滑动球体(5)。5.根据权利要求4所述的可调节拆膜撬棍，其特征在于，所述锁紧件(6)为螺栓，所述锁紧件(6)通过螺纹连接的方式连接于滑动球体(5)。6.根据权利要求5所述的可调节拆膜撬棍，其特征在于，所述锁紧件(6)的端部和滑动球体(5)之间还设有调节螺母。7.根据权利要求5所述的可调节拆膜撬棍，其特征在于，所述锁紧件(6)为菱形螺栓。8.根据权利要求2所述的可调节拆膜撬棍，其特征在于，所述标尺(7)的尺寸范围为
±
75mm。9.根据权利要求8所述的可调节拆膜撬棍，其特征在于，所述标尺(7)的最小刻度为1mm。

技术总结
本申请提供一种可调节拆膜撬棍，涉及光掩模的技术领域，其包括：横梁本体、手柄及顶针；横梁本体的一侧设有抵接面；手柄连接于横梁本体远离抵接面的一侧；抵接面上设有调节沟槽，顶针滑移连接于调节沟槽，且顶针的滑动方向平行于调节沟槽的延伸方向；顶针还连接有锁紧件，锁紧件用于锁紧顶针以限制顶针滑动。通过设置调节沟槽、顶针及锁紧件，使得在应对不同型号Pellicle的拆膜需求时，可以通过滑动顶针，使得顶针快速移动至不同型号Pellicle的定位孔处，实现顶针的快速调节，以适配不同型号的Pellicle。的Pellicle。的Pellicle。


技术研发人员：李亚鹏 田正洲 葛海鸣 包忍
受保护的技术使用者：广州新锐光掩模科技有限公司
技术研发日：2023.02.09
技术公布日：2023/7/19