单晶炉上炉体的制作方法
未命名
07-21
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1.本实用新型涉及一种上炉体,具体为单晶炉上炉体,属于单晶炉技术领域。
背景技术:
2.单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,在单晶炉使用时采用的上炉体内部需要对钢丝绳进行配重一级擦拭。
3.中国专利号cn209144323u提供一种带有上炉体升降装置的单晶炉,包括与上炉体固定连接的升降装置,升降装置包括方立柱,在所述方立柱上由上至下间隔设置有第一支座、第二支座、第三支座,液压缸,液压缸的驱动杆穿过第三支座连接推力球轴承,推力球轴承连接传动轴,第一支座、第二支座与所述传动轴之间径向固定轴向滑动配合,提升架,提升架一端与传动轴固定连接,另一端与上炉体固定连接,第二支座位于上连接座和下连接座之间。利用三个支座布置在液压缸、上、下连接座及传动轴的相对位置上,实现三点支撑,有效的降低了传动轴的受力点,使得传动轴不变形,提高了上炉体升降的安全性和准确性,降低对设备的损坏程度。
4.然而,上述中案例虽然提高了上炉体升降的安全性和准确性,降低对设备的损坏程度,但是提升时稳定性相对较差,同时不具有提升结构起到清理和养护功能,容易污染单晶炉。
5.有鉴于此特提出本实用新型。
技术实现要素:
6.本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供单晶炉上炉体。
7.本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的,单晶炉上炉体,包括下炉体组件、上炉体组件和升降组件,所述下炉体组件包括下炉体,所述上炉体组件包括上炉体和隔离阀,所述隔离阀固定在下炉体上,所述上炉体固定在隔离阀上,所述上炉体底部固定有安装板,所述上炉体的内部设置有配重块和清理棉,所述升降组件包括固定架、电机和支撑架,所述固定架固定在下炉体上,所述电机固定在固定架一侧,所述电机的输出轴连接有收卷辊,所述收卷辊的顶部缠绕有钢丝绳,所述钢丝绳固定在配重块上,所述钢丝绳贯穿清理棉的内部。
8.进一步的,所述下炉体的顶部安装有进料管和盖板,所述进料管固定在下炉体上,所述进料管的一端螺纹安装有螺纹盖,所述盖板通过合页转动连接在下炉体顶部,所述盖板的顶部嵌入安装有观察窗。
9.进一步的,所述下炉体两侧安装有散热组件,所述散热组件包括排气壳、制冷壳和散热器,所述排气壳和制冷壳分别固定在下炉体两侧。
10.进一步的,所述排气壳的正面滑动安装有挡板一,所述排气壳的一侧安装有防护网一,所述制冷壳的正面滑动安装有挡板二,所述制冷壳的内部安装有制冷架。
11.进一步的,所述散热器固定在制冷壳一侧,所述散热器内部安装有散热扇,所述散热器的内部安装有防护网二。
12.进一步的,所述支撑架固定在上炉体上,所述支撑架的内部转动安装有定滑轮,且钢丝绳绕在定滑轮上。
13.进一步的,所述下炉体内安装有加热组件,所述加热组件包括炉内胆、坩埚和夹头,所述炉内胆的外部安装有加热器,所述坩埚设置在炉内胆内。
14.进一步的,所述夹头固定在钢丝绳的自由端,所述夹头的底部夹持有籽晶。
15.本实用新型的技术效果和优点:(1)通过设置的上炉体组件,上炉体组件采用的配重块固定在钢丝绳的外部,采用配重块能提高钢丝绳底部栓接的夹头进行稳定性升降,采用的清理棉能对钢丝绳表面进行清理,同时清理棉内吸附有防护液能对钢丝绳进行养护;(2)通过设置的升降组件,升降组件内的电机带动收卷辊转动,收卷辊转动带动钢丝绳升降,钢丝绳绕过定滑轮带动夹头和籽晶升降,提高籽晶升降的稳定性升降;(3)通过设置的散热组件,散热组件,在炉体使用时将两个挡板关闭,在需要对炉体散热时,打开两个挡板,同时启动散热扇和制冷架,制冷架能对壳内的空气进行降温,通过散热扇向下炉体内输送冷风,能快速对下炉体进行冷却,提高对下炉体的散热效率。
附图说明
16.图1为本实用新型的整体结构示意图;
17.图2为本实用新型的下炉体内部结构示意图;
18.图3为本实用新型的散热组件结构示意图;
19.图4为本实用新型的上炉体内部结构示意图。
20.图中:100、下炉体组件;101、下炉体;102、进料管;103、螺纹盖;104、盖板;105、观察窗;200、上炉体组件;201、上炉体;202、隔离阀;203、安装板;204、配重块;205、清理棉;300、散热组件;301、排气壳;302、制冷壳;303、挡板一;304、防护网一;305、挡板二;306、制冷架;307、散热器;308、散热扇;309、防护网二;400、升降组件;401、固定架;402、电机;403、收卷辊;404、钢丝绳;405、支撑架;406、定滑轮;500、加热组件;501、炉内胆;502、加热器;503、坩埚;504、夹头;505、籽晶。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1-4所示,单晶炉上炉体,包括下炉体组件100、上炉体组件200和升降组件400,下炉体组件100包括下炉体101,下炉体101的顶部安装有进料管102和盖板104,进料管102固定在下炉体101上,进料管102的一端螺纹安装有螺纹盖103,盖板104通过合页转动连接在下炉体101顶部,盖板104的顶部嵌入安装有观察窗105,通过观察窗105能观察到下炉体101的内部;
23.上炉体组件200包括上炉体201和隔离阀202,隔离阀202固定在下炉体101上,上炉
体201固定在隔离阀202上,上炉体201底部固定有安装板203,上炉体201的内部设置有配重块204和清理棉205,采用配重块204能提高钢丝绳404底部栓接的夹头504进行稳定性升降;
24.升降组件400包括固定架401、电机402和支撑架405,固定架401固定在下炉体101上,电机402固定在固定架401一侧,电机402带动收卷辊403转动,电机402的输出轴连接有收卷辊403,收卷辊403转动带动钢丝绳404升降,收卷辊403的顶部缠绕有钢丝绳404,钢丝绳404绕过定滑轮406带动夹头504和籽晶505升降,保证籽晶505稳定升降,钢丝绳404固定在配重块204上,钢丝绳404贯穿清理棉205的内部,清理棉205能对钢丝绳404表面进行清理,同时清理棉205内吸附有防护液能对钢丝绳404进行养护,支撑架405固定在上炉体201上,支撑架405的内部转动安装有定滑轮406,且钢丝绳404绕在定滑轮406上,定滑轮406能对钢丝绳404进行导向。
25.作为本实用新型的一种技术优化方案,下炉体101两侧安装有散热组件300,散热组件300包括排气壳301、制冷壳302和散热器307,排气壳301和制冷壳302分别固定在下炉体101两侧,排气壳301的正面滑动安装有挡板一303,排气壳301的一侧安装有防护网一304,制冷壳302的正面滑动安装有挡板二305,制冷壳302的内部安装有制冷架306,制冷架306对制冷壳302内的空气进行降温,散热器307固定在制冷壳302一侧,散热器307内部安装有散热扇308,通过散热扇308向下炉体101内输送冷风,能快速对下炉体101进行冷却,提高对下炉体101的散热效率,散热器307的内部安装有防护网二309。
26.作为本实用新型的一种技术优化方案,下炉体101内安装有加热组件500,加热组件500包括炉内胆501、坩埚503和夹头504,炉内胆501的外部安装有加热器502,加热器502能对坩埚503进行加热,坩埚503设置在炉内胆501内,夹头504固定在钢丝绳404的自由端,夹头504的底部夹持有籽晶505。
27.本实用新型在使用时,将下炉体101固定到指定位置,然后打开螺纹盖103,将料通过进料管102注入坩埚503内,然后启动电机402,电机402带动收卷辊403转动,收卷辊403转动带动钢丝绳404升降,钢丝绳404绕过定滑轮406带动夹头504和籽晶505升降,提高籽晶505升降的稳定性升降,在钢丝绳404上栓接有配重块204,采用配重块204能提高钢丝绳404底部栓接的夹头504进行稳定性升降,采用的清理棉205能对钢丝绳404表面进行清理,同时清理棉205内吸附有防护液能对钢丝绳404进行养护,在处理完成之后需要散热时,打开两个挡板,同时启动散热扇308和制冷架306,制冷架306对制冷壳302内的空气进行降温,通过散热扇308向下炉体101内输送冷风,能快速对下炉体101进行冷却,提高对下炉体101的散热效率,在散热结束之后,将坩埚503内部清理之后,关闭两个挡板,重新使用炉体。
28.对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
29.此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员
可以理解的其他实施方式。
技术特征:
1.单晶炉上炉体,包括下炉体组件(100)、上炉体组件(200)和升降组件(400),其特征在于:所述下炉体组件(100)包括下炉体(101),所述上炉体组件(200)包括上炉体(201)和隔离阀(202),所述隔离阀(202)固定在下炉体(101)上,所述上炉体(201)固定在隔离阀(202)上,所述上炉体(201)底部固定有安装板(203),所述上炉体(201)的内部设置有配重块(204)和清理棉(205),所述升降组件(400)包括固定架(401)、电机(402)和支撑架(405),所述固定架(401)固定在下炉体(101)上,所述电机(402)固定在固定架(401)一侧,所述电机(402)的输出轴连接有收卷辊(403),所述收卷辊(403)的顶部缠绕有钢丝绳(404),所述钢丝绳(404)固定在配重块(204)上,所述钢丝绳(404)贯穿清理棉(205)的内部。2.根据权利要求1所述的单晶炉上炉体,其特征在于:所述下炉体(101)的顶部安装有进料管(102)和盖板(104),所述进料管(102)固定在下炉体(101)上,所述进料管(102)的一端螺纹安装有螺纹盖(103),所述盖板(104)通过合页转动连接在下炉体(101)顶部,所述盖板(104)的顶部嵌入安装有观察窗(105)。3.根据权利要求1所述的单晶炉上炉体,其特征在于:所述下炉体(101)两侧安装有散热组件(300),所述散热组件(300)包括排气壳(301)、制冷壳(302)和散热器(307),所述排气壳(301)和制冷壳(302)分别固定在下炉体(101)两侧。4.根据权利要求3所述的单晶炉上炉体,其特征在于:所述排气壳(301)的正面滑动安装有挡板一(303),所述排气壳(301)的一侧安装有防护网一(304),所述制冷壳(302)的正面滑动安装有挡板二(305),所述制冷壳(302)的内部安装有制冷架(306)。5.根据权利要求3所述的单晶炉上炉体,其特征在于:所述散热器(307)固定在制冷壳(302)一侧,所述散热器(307)内部安装有散热扇(308),所述散热器(307)的内部安装有防护网二(309)。6.根据权利要求1所述的单晶炉上炉体,其特征在于:所述支撑架(405)固定在上炉体(201)上,所述支撑架(405)的内部转动安装有定滑轮(406),且钢丝绳(404)绕在定滑轮(406)上。7.根据权利要求1所述的单晶炉上炉体,其特征在于:所述下炉体(101)内安装有加热组件(500),所述加热组件(500)包括炉内胆(501)、坩埚(503)和夹头(504),所述炉内胆(501)的外部安装有加热器(502),所述坩埚(503)设置在炉内胆(501)内。8.根据权利要求7所述的单晶炉上炉体,其特征在于:所述夹头(504)固定在钢丝绳(404)的自由端,所述夹头(504)的底部夹持有籽晶(505)。
技术总结
本实用新型涉及一种上炉体,具体的说是单晶炉上炉体,包括下炉体组件、上炉体组件和升降组件,下炉体组件包括下炉体,上炉体组件包括上炉体和隔离阀,隔离阀固定在下炉体上,上炉体固定在隔离阀上,上炉体底部固定有安装板,上炉体的内部设置有配重块和清理棉,升降组件包括固定架、电机和支撑架,固定架固定在下炉体上,电机固定在固定架一侧,电机的输出轴连接有收卷辊,收卷辊的顶部缠绕有钢丝绳,钢丝绳固定在配重块上,钢丝绳贯穿清理棉的内部,下炉体的顶部安装有进料管和盖板,进料管固定在下炉体上。本实用新型在籽晶提升时提高稳定性,同时能对钢丝绳升降时进行清理和养护,避免灰尘通过钢丝污染单晶炉。避免灰尘通过钢丝污染单晶炉。避免灰尘通过钢丝污染单晶炉。
技术研发人员:许建枫 祝林飞 郝振庆 曹林 曹刚
受保护的技术使用者:浙江昱力机电科技有限公司
技术研发日:2023.02.08
技术公布日:2023/7/20
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