适用于卧式炉管清洗机的机械臂组件的制作方法
未命名
07-21
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1.本实用新型涉及半导体技术领域,具体而言,尤其涉及一种适用于卧式炉管清洗机的机械臂组件。
背景技术:
2.管式炉是一种高性能高节能的新型电炉,主要应用于实验室或小批量的生产,在实验室使用管式炉一般都会配套有石英管,并起到加热的作用。
3.在石英管使用后其污染比较严重,需要对其清洗,保证石英管的干净。如授权公告号cn209715970u公开了一种清洗后的管式炉内石英管擦拭装置,包括底座、第一驱动电机、第一立柱、第一轴承、第一转轴、横板、第二驱动电机、皮带、从动轮、第一固定块、螺栓、直线电机、擦拭块、第二固定块、第二转轴、第二轴承、夹板、底板、主动轮、第三轴承、顶板、第一一字槽、齿轮、齿条、滑块、滑轨、第二一字槽、第二立柱和伸缩杆。然而,上述在对石英管进行清洗时,石英管是保持水平状态的,石英管内部会残留部分清洗液,导致在擦拭过程中增加需要大量擦拭次数,从而降低工作效率。
技术实现要素:
4.本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足,提供一种适用于卧式炉管清洗机的机械臂组件。
5.本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:
6.一种适用于卧式炉管清洗机的机械臂组件,包括支杆以及设置在其上用以将炉管夹持的挂钩,所述支架上枢轴设有左传动臂和右传动臂,所述左传动臂和右传动臂可由驱动组件驱动其同步竖直移动,所述驱动组件上还设有驱动所述右传动臂相对所述左传动臂移动的调节组件;所述驱动组件上还设有推送其水平移动的推送组件。
7.优选的,所述驱动组件至少包括驱动架,所述驱动架上枢轴设有一驱动转轴,所述驱动转轴的两端通过联轴器与枢轴设置在所述驱动架上的驱动丝杆传动连接,所述驱动丝杆的中轴线与所述驱动转轴的中轴线垂直;所述驱动丝杆上设有与其为丝杆传动的传动螺母,所述传动螺母设有承载架,所述承载架上设有相应的所述左传动臂或右传动臂。
8.优选的,所述驱动丝杆的两侧设有固设在所述驱动架上的导轨,所述导轨上设有与其相适配的导块,所述承载架固设在所述导块上。
9.优选的,所述驱动架上还固设有驱动电机,所述驱动电机的电机轴上固设有主动轮,所述驱动转轴上设有从动轮,所述主动轮与从动轮之间通过传动带传动连接。
10.优选的,所述调节组件至少包括固设在所述承载架上的调节丝杆,所述调节丝杆上设有与其相适配的调节螺母,所述调节螺母上固设有一滑动架,所述右传动臂固设在所述滑动架上;所述承载架上固设有一调节电机,所述调节电机的电机轴上固设有一主动齿轮,所述调节丝杆上设有一从动齿轮,所述从动齿轮与所述主动齿轮啮合。
11.优选的,所述推送组件至少包括固设在所述驱动架上的推送架,所述推送架上固
设有齿条,所述驱动架上固设有一推送电机,所述推送电机的电机轴上固设有推送齿轮,所述推送齿轮与所述齿条啮合。
12.优选的,所述推送架上固设有滑杆,所述滑杆上设有与其相适配的滑块,所述驱动架固设在所述滑块上。
13.优选的,所述支杆上滑动设有连接块,所述连接块通过锁紧螺栓锁止在所述支杆上,所述连接块上还固设有所述挂钩。
14.本实用新型的有益效果主要体现在:
15.1、设计精巧,调节组件可驱动右传动臂相对左传动臂相向移动,从而使得经挂钩夹持的炉管发生倾斜,即可将炉管内的清洗液快速排出,从而提高擦拭时的效率,提高工作效率;
16.2、采用丝杆传动对右传动臂进行位置调节,是利用丝杆传动稳定性好、移动精度高的特性,可对右传动臂的移动位置精准控制,从而避免炉管从挂钩中意外掉落的情况发生;
17.3、通过锁紧螺栓将挂钩快速锁止在支杆上,操作简单便捷,便于快速拆卸及更换,极大地提高工作效率。
附图说明
18.下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明:
19.图1:本实用新型优选实施例的立体图;
20.图2:图1中a部分的放大图;
21.图3:图1中b部分的放大图。
具体实施方式
22.以下将结合附图所示的具体实施方式对本实用新型进行详细描述。但这些实施方式并不限于本实用新型,本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。
23.下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
24.如图1至图3所示,本实用新型揭示了一种适用于卧式炉管清洗机的机械臂组件,包括支杆1以及设置在其上用以将炉管夹持的挂钩11,上述中,所述支杆1上滑动设有连接块12,所述连接块12通过锁紧螺栓13锁止在所述支杆1上,所述连接块12上还固设有所述挂钩11。通过锁紧螺栓将挂钩快速锁止在支杆上,操作简单便捷,便于快速拆卸及更换,极大地提高工作效率。
25.所述支杆1上枢轴设有左传动臂2和右传动臂3,所述左传动臂2和右传动臂3可由驱动组件4驱动其同步竖直移动,所述驱动组件4至少包括驱动架41,所述驱动架41上枢轴设有一驱动转轴42,所述驱动转轴42的两端通过联轴器43与枢轴设置在所述驱动架41上的驱动丝杆44传动连接,所述驱动丝杆44的中轴线与所述驱动转轴42的中轴线垂直;所述驱动丝杆44上设有与其为丝杆传动的传动螺母,所述传动螺母设有承载架46,所述承载架46上设有相应的所述左传动臂2或右传动臂3。
26.所述驱动丝杆44的两侧设有固设在所述驱动架41上的导轨441,所述导轨441上设
有与其相适配的导块442,所述承载架46固设在所述导块442上,所述导轨和导块相互配合可提高承载架46滑行的稳定性。
27.所述驱动架41上还固设有驱动电机47,所述驱动电机47的电机轴上固设有主动轮48,所述驱动转轴42上设有从动轮49,所述主动轮48与从动轮49之间通过传动带481传动连接。
28.所述驱动组件4上还设有驱动所述右传动臂3相对所述左传动臂2移动的调节组件5,所述调节组件5至少包括固设在所述承载架46上的调节丝杆51,所述调节丝杆51上设有与其相适配的调节螺母,所述调节螺母上固设有一滑动架52,所述右传动臂3固设在所述滑动架52上;所述承载架46上固设有一调节电机53,所述调节电机53的电机轴上固设有一主动齿轮54,所述调节丝杆51上设有一从动齿轮55,所述从动齿轮55与所述主动齿轮54啮合。
29.所述驱动组件4上还设有推送其水平移动的推送组件6,所述推送组件6至少包括固设在所述驱动架41上的推送架61,所述推送架61上固设有齿条62,所述驱动架41上固设有一推送电机63,所述推送电机63的电机轴上固设有推送齿轮64,所述推送齿轮64与所述齿条62啮合。
30.所述推送架61上固设有滑杆65,所述滑杆65上设有与其相适配的滑块66,所述驱动架41固设在所述滑块66上,所述滑块66和滑杆65相配合可提高驱动架41移载的稳定性。
31.应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施方式中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
32.上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施方式的具体说明,它们并非用以限制本实用新型的保护范围,凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。
技术特征:
1.适用于卧式炉管清洗机的机械臂组件,包括支杆(1)以及设置在其上用以将炉管夹持的挂钩(11),其特征在于:所述支杆(1)上枢轴设有左传动臂(2)和右传动臂(3),所述左传动臂(2)和右传动臂(3)可由驱动组件(4)驱动其同步竖直移动,所述驱动组件(4)上还设有驱动所述右传动臂(3)相对所述左传动臂(2)移动的调节组件(5);所述驱动组件(4)上还设有推送其水平移动的推送组件(6)。2.根据权利要求1所述的适用于卧式炉管清洗机的机械臂组件,其特征在于:所述驱动组件(4)至少包括驱动架(41),所述驱动架(41)上枢轴设有一驱动转轴(42),所述驱动转轴(42)的两端通过联轴器(43)与枢轴设置在所述驱动架(41)上的驱动丝杆(44)传动连接,所述驱动丝杆(44)的中轴线与所述驱动转轴(42)的中轴线垂直;所述驱动丝杆(44)上设有与其为丝杆传动的传动螺母,所述传动螺母设有承载架(46),所述承载架(46)上设有相应的所述左传动臂(2)或右传动臂(3)。3.根据权利要求2所述的适用于卧式炉管清洗机的机械臂组件,其特征在于:所述驱动丝杆(44)的两侧设有固设在所述驱动架(41)上的导轨(441),所述导轨(441)上设有与其相适配的导块(442),所述承载架(46)固设在所述导块(442)上。4.根据权利要求2所述的适用于卧式炉管清洗机的机械臂组件,其特征在于:所述驱动架(41)上还固设有驱动电机(47),所述驱动电机(47)的电机轴上固设有主动轮(48),所述驱动转轴(42)上设有从动轮(49),所述主动轮(48)与从动轮(49)之间通过传动带(481)传动连接。5.根据权利要求2所述的适用于卧式炉管清洗机的机械臂组件,其特征在于:所述调节组件(5)至少包括固设在所述承载架(46)上的调节丝杆(51),所述调节丝杆(51)上设有与其相适配的调节螺母,所述调节螺母上固设有一滑动架(52),所述右传动臂(3)固设在所述滑动架(52)上;所述承载架(46)上固设有一调节电机(53),所述调节电机(53)的电机轴上固设有一主动齿轮(54),所述调节丝杆(51)上设有一从动齿轮(55),所述从动齿轮(55)与所述主动齿轮(54)啮合。6.根据权利要求5所述的适用于卧式炉管清洗机的机械臂组件,其特征在于:所述推送组件(6)至少包括固设在所述驱动架(41)上的推送架(61),所述推送架(61)上固设有齿条(62),所述驱动架(41)上固设有一推送电机(63),所述推送电机(63)的电机轴上固设有推送齿轮(64),所述推送齿轮(64)与所述齿条(62)啮合。7.根据权利要求6所述的适用于卧式炉管清洗机的机械臂组件,其特征在于:所述推送架(61)上固设有滑杆(65),所述滑杆(65)上设有与其相适配的滑块(66),所述驱动架(41)固设在所述滑块(66)上。8.根据权利要求7所述的适用于卧式炉管清洗机的机械臂组件,其特征在于:所述支杆(1)上滑动设有连接块(12),所述连接块(12)通过锁紧螺栓(13)锁止在所述支杆(1)上,所述连接块(12)上还固设有所述挂钩(11)。
技术总结
本实用新型揭示了一种适用于卧式炉管清洗机的机械臂组件,包括支杆以及设置在其上用以将炉管夹持的挂钩,所述支架上枢轴设有左传动臂和右传动臂,所述左传动臂和右传动臂可由驱动组件驱动其同步竖直移动,所述驱动组件上还设有驱动所述右传动臂相对所述左传动臂移动的调节组件;所述驱动组件上还设有推送其水平移动的推送组件。本实用新型的有益效果主要体现在:设计精巧,调节组件可驱动右传动臂相对左传动臂相向移动,从而使得经挂钩夹持的炉管发生倾斜,即可将炉管内的清洗液快速排出,从而提高擦拭时的效率,提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。
技术研发人员:李佳森 张少阳 陈晨 孙博
受保护的技术使用者:苏州芯矽电子科技有限公司
技术研发日:2022.12.16
技术公布日:2023/7/20
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