一种电动闸板阀的制作方法

1.本发明涉及闸板阀领域，具体涉及一种电动闸板阀。


背景技术：

2.在扫描电镜真空系统中，要求在不影响真空泵抽速的情况下，控制分子泵与真空腔体、机械泵与真空腔体之间的抽气管路通断，阀门开关时无大电流波动，阀门长时间工作无发热。而目前市面上的电磁阀有如下问题：
3.(1)通径小，严重影响真空泵抽速；
4.(2)电磁阀的内部是一块电磁铁，通电瞬间有大电流，对扫面电镜电路产生严重影响，且电磁阀长时间工作发热非常严重，增加了扫描电镜主机的散热压力，需要额外给电磁阀配置散热风扇，从而引入更多振动源，不利于电镜整体的减振。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种电动闸板阀，以解决扫描电镜真空系统中使用的电磁阀在开闭的瞬间产生大电流，还会产生磁场的干扰，这些影响以噪声的形式体现在扫描电镜的图像上，影响电镜正常工作的技术问题。
6.为解决上述技术问题，本发明具体提供下述技术方案：
7.一种电动闸板阀，包括：阀壳、阀芯和伺服模组，阀壳的内部形成有阀室，所述阀芯设置在所述阀室的内部，所述阀壳上形成有贯通所述阀壳并且连通所述阀室的气流通道，所述阀室和所述气流通道的连接部位形成接口；其中，所述阀芯包括：闸板基座、闸板、弹性件和导向结构；所述闸板基座与所述伺服模组的执行部固定连接，所述伺服模组用于驱动所述闸板基座在所述阀室的内部沿着第一方向移动，第一方向与所述气流通道的轴线垂直；所述阀芯包括至少1个所述闸板；所述弹性件用于产生使得所述闸板靠近所述闸板基座的弹力，所述闸板的一部分突出于所述闸板基座并且朝向所述气流通道；所述闸板与所述闸板基座通过所述导向结构滑动连接，所述闸板基座相对于所述闸板沿着第一方向移动时，所述闸板在所述导向结构的引导下相对于所述闸板基座沿着第二方向移动以封闭所述接口，第二方向与所述气流通道的轴线平行。
8.作为本发明的一个方面，当所述电动闸板阀包括1个所述闸板时，所述闸板设置在所述闸板基座的一侧，所述闸板与所述闸板基座通过所述弹性件连接。
9.作为本发明的另一个方面，当所述电动闸板阀包括2个所述闸板时，2个所述闸板分别设置在所述闸板基座的两侧，2个所述闸板通过所述弹性件连接以夹持所述闸板基座。
10.进一步地，2个所述闸板中的一者形成有贯穿所述闸板的透气孔。
11.进一步地，所述气流通道、所述接口和所述闸板均是圆形的。
12.进一步地，所述闸板朝向所述接口的一面安装有第四密封圈，所述第四密封圈的直径大于所述接口的直径；所述闸板朝向所述接口的一面形成有导向凸起，所述导向凸起是圆盘形状，所述导向凸起的直径小于所述接口的直径。
13.进一步地，所述接口、所述导向凸起和所述第四密封圈的尺寸满足以下条件：所述接口的直径－所述导向凸起的直径小于所述第四密封圈的直径－所述接口的直径。
14.进一步地，所述弹性件具有至少2个，所述弹性件环绕所述闸板的中心线均匀分布；所述弹性件具有两端，所述弹性件的两端相互远离时所述弹性件的内力增加；所述闸板朝向所述闸板基座的一面形成有插接座，所述插接座上形成有可供所述弹性件的一端插入其中的插接孔，所述插接座上还形成有垂直于所述插接孔并且贯通所述插接座的螺纹孔，所述螺纹孔中安装有顶丝，所述顶丝用于抵紧所述弹性件的侧壁以固定所述弹性件。
15.进一步地，所述导向结构包括：第一半球槽、第二半球槽和滚珠；所述第一半球槽形成于所述闸板基座朝向所述闸板的一面，所述第二半球槽形成于所述闸板朝向所述闸板基座的一面，所述第一半球槽和所述第二半球槽能够拼接成一个完整的球槽，所述球槽可供所述滚珠在其中沿着直线方向移动，所述球槽的中心线位于第一方向和第二方向共面的平面中；所述第一半球槽和所述第二半球槽均为一端深度较浅而另一端深度较深的形状，并且所述第一半球槽的较浅端靠近所述第二半球槽的较深端；当所述闸板基座与所述闸板贴合时，所述滚珠同时位于所述第一半球槽的较深端和所述第二半球槽的较深端。
16.进一步地，所述伺服模组包括：电机和丝杆滑台；其中，所述丝杆滑台包括：滑座和丝杆；所述滑座与所述阀壳滑动连接，所述滑座能够沿着第一方向滑动，所述滑座与所述闸板基座固定连接；所述丝杆与所述阀壳转动连接，所述丝杆能够以第一方向为轴线转动，所述丝杆与所述滑座螺旋连接；所述电机与所述丝杆传动连接，所述电机用于驱动所述丝杆转动以使得所述滑座沿着第一方向直线移动。
17.进一步地，所述阀壳的内部固定安装有滑块，所述滑座的两侧固定安装有滑轨，所述滑块与所述滑轨滑动连接；所述阀壳上形成有滑块安装孔，所述滑块安装孔上可拆装地安装有滑块密封块，所述滑块密封块通过第一密封圈密封所述滑块安装孔，所述滑块通过所述滑块安装孔安装于所述阀壳的内部并且与所述滑块密封块可拆装地连接。
18.进一步地，所述丝杆通过轴承和推力轴承与所述阀壳转动连接，所述丝杆与所述阀壳之间的缝隙通过第五密封圈密封。
19.进一步地，所述电机和所述丝杆滑台通过带传动机构传动连接；所述带传动机构包括：电机同步轮、丝杆同步轮和同步带；所述电机同步轮与所述电机的输出轴同轴固定连接，所述丝杆同步轮与所述丝杆的输入轴同轴固定连接，所述电机同步轮和所述丝杆同步轮通过所述同步带传动连接。
20.进一步地，所述电机通过真空接插件连接有微动开关，所述微动开关安装于所述阀壳的内部，所述微动开关用于检测所述滑座是否抵达行程的终点；所述阀壳上形成有微动开关安装孔，所述微动开关安装孔上可拆装地安装有微动开关密封盖，所述微动开关密封盖通过第二密封圈密封所述微动开关安装孔，所述真空接插件与所述微动开关密封盖可拆装地连接，所述微动开关通过所述微动开关安装孔安装于所述阀壳的内部并且与所述微动开关密封盖可拆装地连接。
21.进一步地，所述阀壳包括主壳体和密封壳体，所述主壳体和所述密封壳体可拆装地连接并且连接部位通过第三密封圈密封。
22.本技术与现有技术相比较具有如下有益效果：
23.提供一种电动闸板阀，其气流通道通过闸板密封，闸板具有垂直于气流通道和平
行于气流通道移动的2个自由度，闸板通过伺服模组驱动垂直于气流通道移动以接触阀壳的内壁，然后在导向结构的引导下平行于气流通道移动以封闭接口，相比较于现有技术无需使用电磁铁，不会产生电流干扰和磁场干扰，并且气流通道的通径不受限制。
附图说明
24.为了更清楚地说明本发明的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。
25.图1为本发明实施例的立体图；
26.图2为本发明实施例的俯视图；
27.图3为图2的a-a方向的剖视图；
28.图4为图2的b-b方向的剖视图；
29.图5为图2的c-c方向的剖视图；
30.图6为本发明实施例的工作过程示意图，其中，图6(a)为电动闸板阀的开启状态，图6(b)为电动闸板阀的关闭过程状态，图6(c)为电动闸板阀的关闭状态；
31.图7为本发明实施例的阀芯和滑座的装配状态的立体图；
32.图8为本发明实施例的阀芯和滑座的装配过程的立体图；
33.图9为本发明实施例的阀芯的立体图；
34.图10为本发明实施例的闸板和拉簧的连接结构的透视图；
35.图11为本发明实施例的主视图；
36.图12为图11的d-d方向的剖视图；
37.图13为本发明实施例的主壳体和密封壳体的装配图；
38.图14为本发明实施例的微动开关的装配图；
39.图15为本发明实施例的滑块密封块的装配图；
40.图16为本发明实施例的带传动机构的装配图；
41.图17为本发明实施例的丝杆滑台的装配图；
42.图中的标号分别表示如下：
43.1-阀壳；11-主壳体；111-阀室；112-气流通道；113-接口；114-法兰；12-密封壳体；121-滑块安装孔；122-滑块密封块；123-第一密封圈；125-微动开关密封盖；126-第二密封圈；13-第三密封圈；14-电机座；
44.2-阀芯；21-闸板基座；22-闸板；221-插接座；223-螺纹孔；224-顶丝；225-第四密封圈；226-导向凸起；23-弹性件；24-导向结构；241-第一半球槽；242-第二半球槽；243-滚珠；
45.3-伺服模组；31-电机；32-丝杆滑台；321-滑座；323-滑块；324-滑轨；322-丝杆；325-轴承；326-推力轴承；327-垫圈；328-第五密封圈；33-带传动机构；331-电机同步轮；332-丝杆同步轮；333-同步带；334-保护壳；34-真空接插件；35-微动开关。
具体实施方式
46.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
47.本具体实施方式提供一种电动闸板阀的实施例，请参照图1-5。
48.电动闸板阀包括：阀壳1、阀芯2和伺服模组3；
49.阀壳1的内部形成有阀室111，阀芯2设置在阀室111的内部，阀壳1上形成有贯通阀壳1并且连通阀室111的气流通道112，阀室111和气流通道112的连接部位形成接口113；
50.其中，阀芯2包括：闸板基座21、闸板22、弹性件23和导向结构24；
51.闸板基座21与伺服模组3的执行部固定连接，伺服模组3用于驱动闸板基座21在阀室111的内部沿着第一方向移动，第一方向与气流通道112垂直；
52.阀芯2包括至少一个闸板22；
53.弹性件23用于产生使得闸板22靠近闸板基座21的弹力，闸板22的一部分突出于闸板基座21并且朝向气流通道112；
54.闸板22与闸板基座21通过导向结构24滑动连接，闸板基座21相对于闸板22沿着第一方向移动时，闸板22在导向结构24的引导下相对于闸板基座21沿着第二方向移动以封闭接口113，第二方向与气流通道112平行。
55.基于上述实施例，电动闸板阀的工作原理如下所述。
56.电动闸板阀关闭：
57.请参照图6，电动闸板阀的关闭顺序从图6(a)至图6(c)依次执行。
58.伺服模组3驱动闸板基座21沿着第一方向移动以靠近气流通道112，由于闸板22的一部分突出于闸板基座21，因此闸板22首先与气流通道112的内壁接触，然后闸板22停止沿着第一方向移动，而闸板基座21继续沿着第一方向移动，在导向结构24的引导下，闸板22沿着第二方向移动并且封闭接口113，气流通道112被闸板22阻断。
59.电动闸板阀开启：
60.请参照图6，电动闸板阀的关闭顺序从图6(c)至图6(a)依次执行。
61.伺服模组3驱动闸板基座21沿着第一方向移动以远离气流通道112，在导向结构24和弹性件23的作用下，闸板22沿着第二方向移动以靠近闸板基座21，在闸板22与闸板基座21接触之后，闸板22和闸板基座21沿着第一方向同步移动以远离气流通道112。
62.还需要说明的是：
63.气流通道112的直径与真空管道直径匹配，不影响真空泵的抽气速度。
64.气流通道112具有两端，气流通道112与阀室111之间形成有2个接口113，每个闸板22分别封闭一个接口113，即使一个闸板22失效，只要另一个闸板22正常工作就能实现电动闸板阀关闭的技术效果。
65.伺服模组3的执行部可以执行直线移动、曲线移动、圆周运动等，只要能够驱动闸板基座21沿着垂直于气流通道112的方向移动即可。
66.请参照图1，为了便于将气流通道112与抽气管路连接，在主壳体11的外侧形成有法兰114，气流通道112与法兰114同轴。
67.在现有技术中，通径只有5mm的阀门的开关是用电磁铁实现的，在电磁铁通电和断电的瞬间不仅会产生大电流，还会产生磁场的干扰，这些影响都会以噪声的形式体现在扫描电镜的图像上，从而影响电镜正常工作，并且要实现更大的通径开关，就需要更大的电磁铁，从而产生更多的磁场干扰和热量，
68.而本实施例的开关是用伺服模组3实现的，体积小巧、运动精确、不增加磁场干扰和热量。
69.可选的，该实施例图中未出示：
70.当闸板22具有1个时，闸板22设置在闸板基座21的一侧，闸板22与闸板基座21通过弹性件23连接。
71.可选的，请参照图7和图8：
72.当闸板22具有2个时，2个闸板22分别设置在闸板基座21的两侧，两个闸板22通过弹性件23连接以夹持闸板基座21。
73.进一步地：
74.2个闸板22可以均用于密封，以使得其中一个闸板22失效时，另一个闸板22依然能够起到密封效果。
75.或者：
76.2个闸板22中的一个用于密封，另一个闸板22上开设有透气孔227，透气孔227用于平衡用于密封的闸板22两侧的气压，以避免闸板22开启或者关闭困难。
77.可选的，请参照图8：
78.弹性件23具有至少2个，弹性件23环绕闸板22的中心线均匀分布。
79.可选的：
80.弹性件23是拉簧。
81.弹性件23也可以采用金属簧片、橡胶弹力绳等其他具有弹性的零件。
82.多个弹性件23在闸板22的各个部位施加均衡的作用力。
83.进一步地，请参照图9和图10：
84.闸板22朝向闸板基座21的一面形成有插接座221，插接座221上形成有可供弹性件23的一端插入其中的插接孔(图中没有出示)，插接座221上还形成有垂直于插接孔并且贯通插接座221的螺纹孔223，螺纹孔223中安装有顶丝224，顶丝224用于抵紧弹性件23的侧壁以固定弹性件23。
85.弹性件23的两端分别插设在2个闸板22的插接孔中，2个弹性件23分别通过8个顶丝224固定，从而使得弹性件23弹性连接2个闸板22。
86.可选的，请参照图11、12和13：
87.接口113和闸板22均是圆形的。
88.圆形的接口113和闸板22使得两者之间的密封线是圆形的，从而使得密封线的各个部位的压力是均等的，有利于密封效果的提升。
89.进一步地，通常电磁阀的通径难以达到15mm：
90.但是在本实施例中，气流通道112的直径为15mm。
91.进一步地，请参照图8和图9：
92.闸板22朝向接口113的一面安装有第四密封圈225，第四密封圈225的直径＞接口
113的直径。
93.第四密封圈225用于消除接口113和闸板22之间的缝隙，以提高密封效果。
94.进一步地：
95.闸板22朝向接口113的一面形成有导向凸起226，导向凸起226是圆盘形状，导向凸起226的边缘呈弧面形状，导向凸起226的直径小于接口113的直径。
96.导向凸起226用于引导闸板22沿着气流通道112的轴线移动，以使得第四密封圈225能够良好地贴合接口113的边缘，提高密封效果。
97.进一步地：
98.为了使得导向凸起226的边缘与接口113的边缘接触时，第四密封圈225依然套设在接口113的外侧，以避免出现泄露。
99.接口113的直径－导向凸起226的直径小于第四密封圈225的直径－接口113的直径。
100.可选的，请参照图3、4、5、6、8、10、12：
101.导向结构24包括：第一半球槽241、第二半球槽242和滚珠243；
102.第一半球槽241形成于闸板基座21朝向闸板22的一面，第二半球槽242形成于闸板22朝向闸板基座21的一面，第一半球槽241和第二半球槽242能够拼接成一个完整的球槽，所述球槽可供滚珠243在其中沿着直线方向移动，所述球槽的中心线位于平行于第一方向并且经过气流通道112的轴线的平面中；
103.第一半球槽241和第二半球槽242均为一端深度较浅而另一端深度较深的形状，并且第一半球槽241的较浅端靠近第二半球槽242的较深端；当闸板基座21与闸板22贴合时，滚珠243同时位于第一半球槽241的较深端和第二半球槽242的较深端。
104.基于上述实施例，当闸板基座21相对于闸板22沿着第一方向移动时，弹性件23的弹力增加，滚珠243从第一半球槽241的较深端移动至较浅端，同时从第二半球槽242的较深端移动至较浅端，从而使得闸板22被滚珠243顶起以沿着第二方向移动，闸板22远离闸板基座21并且封闭接口113。
105.导向结构24也可以替换为滑块、滑轨的组合，例如在闸板基座21上安装斜滑块，在闸板22上安装斜滑轨，也能起到相同的技术效果。
106.导向结构24也可以替换为斜导柱、导向孔的组合，例如在闸板基座21上安装斜导柱，在闸板22上形成导向孔，也能起到相同的技术效果。
107.相比较于上述替代技术方案，第一半球槽241、第二半球槽242和滚珠243的组合的优点在于滚动摩擦力小于滑动摩擦力。
108.可选的，请参照图3、4、5：
109.伺服模组3包括：电机31和丝杆滑台32；
110.其中，丝杆滑台32包括：滑座321和丝杆322；
111.滑座321与阀壳1滑动连接，滑座321能够沿着第一方向滑动，滑座321与闸板基座21固定连接；
112.丝杆322与阀壳1转动连接，丝杆322能够以第一方向为轴线转动，丝杆322与滑座321螺旋连接；
113.电机31与丝杆322传动连接，电机31用于驱动丝杆322转动以使得滑座321沿着第
一方向直线移动。
114.伺服模组3是直线伺服模组，其中，电机31是丝杆滑台32的动力源，丝杆滑台32用于精确地控制闸板基座21沿着第一方向移动的行程，同时提供自锁功能，闸板22封闭接口113之后丝杆滑台32自锁，电机31断电，从而不产生热量。
115.阀壳1包括电机座14，电机31与电机座14固定连接。
116.进一步地，请参照图5、7、8、17：
117.阀壳1的内部固定安装有滑块323，滑座321的两侧固定安装有滑轨324，滑块323与滑轨324滑动连接。
118.进一步地：
119.阀壳1上形成有滑块安装孔121，滑块安装孔121上可拆装地安装有滑块密封块122，滑块密封块122通过第一密封圈123密封滑块安装孔121，滑块323通过滑块安装孔121安装于阀壳1的内部并且与滑块密封块122可拆装地连接。
120.滑块安装孔121用于以降低将滑块323装配到阀壳1内部的难度。
121.可选的：
122.丝杆322通过轴承325和推力轴承326与阀壳1转动连接，丝杆322与阀壳1之间的缝隙通过第五密封圈328密封。
123.可选的：
124.电机31和丝杆滑台32通过带传动机构33传动连接。
125.带传动机构33用于挠性连接电机31和丝杆滑台32，以避免刚性连接电机31和丝杆滑台32的安全隐患。
126.进一步地，请参照图16：
127.带传动机构33包括：电机同步轮331、丝杆同步轮332和同步带333；
128.电机同步轮331与电机31的输出轴同轴固定连接，丝杆同步轮332与丝杆322的输入轴同轴固定连接，电机同步轮331和丝杆同步轮332通过同步带333传动连接。
129.电机同步轮331、丝杆同步轮332和同步带333通过保护壳334罩盖以提供保护，保护壳334固定连接电机座14，丝杆同步轮332和轴承325之间设置有垫圈327。
130.可选的，请参照图14：
131.电机31通过真空接插件34连接有微动开关35，微动开关35安装于阀壳1的内部，微动开关35用于检测滑座321是否抵达行程的终点。
132.滑座321抵达行程的终点之前，微动开关35的触点始终处于压缩状态，滑座321抵达行程的终点时，闸板22将接口113封闭，同时微动开关35的触点弹开，微动开关35通过控制器向电机31发出停止工作的信号。
133.进一步地：
134.阀壳1上形成有微动开关安装孔(图中不可见)，微动开关安装孔上可拆装地安装有微动开关密封盖125，微动开关密封盖125通过第二密封圈126密封微动开关安装孔，真空接插件34与微动开关密封盖125可拆装地连接，微动开关35通过微动开关安装孔安装于阀壳1的内部并且与微动开关密封盖125可拆装地连接。
135.微动开关安装孔用于降低将微动开关35装配到主壳体11内部的难度。
136.可选的，请参照图13：
137.阀壳1包括主壳体11和密封壳体12，主壳体11和密封壳体12可拆装地连接并且连接部位通过第三密封圈13密封。
138.其中，阀室111、气流通道112、接口113和法兰114形成于主壳体11上，滑块安装孔121和微动开关安装孔均形成于密封壳体12上。
139.以上实施例仅为本发明的示例性实施例，不用于限制本发明，本发明的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本发明的实质和保护范围内，对本发明做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为本发明实施例的落在本发明的保护范围内。

技术特征：
1.一种电动闸板阀，其特征在于，包括：阀壳(1)、阀芯(2)和伺服模组(3)，阀壳(1)的内部形成有阀室(111)，所述阀芯(2)设置在所述阀室(111)的内部，所述阀壳(1)上形成有贯通所述阀壳(1)并且连通所述阀室(111)的气流通道(112)，所述阀室(111)和所述气流通道(112)的连接部位形成接口(113)；其中，所述阀芯(2)包括：闸板基座(21)、闸板(22)、弹性件(23)和导向结构(24)；所述闸板基座(21)与所述伺服模组(3)的执行部固定连接，所述伺服模组(3)用于驱动所述闸板基座(21)在所述阀室(111)的内部沿着第一方向移动，第一方向与所述气流通道(112)的轴线垂直；所述阀芯(2)包括至少1个所述闸板(22)；所述弹性件(23)用于产生使得所述闸板(22)靠近所述闸板基座(21)的弹力，所述闸板(22)的一部分突出于所述闸板基座(21)并且朝向所述气流通道(112)；所述闸板(22)与所述闸板基座(21)通过所述导向结构(24)滑动连接，所述闸板基座(21)相对于所述闸板(22)沿着第一方向移动时，所述闸板(22)在所述导向结构(24)的引导下相对于所述闸板基座(21)沿着第二方向移动以封闭所述接口(113)，第二方向与所述气流通道(112)的轴线平行。2.根据权利要求1所述的一种电动闸板阀，其特征在于，当所述电动闸板阀包括1个所述闸板(22)时，所述闸板(22)设置在所述闸板基座(21)的一侧，所述闸板(22)与所述闸板基座(21)通过所述弹性件(23)连接。3.根据权利要求1所述的一种电动闸板阀，其特征在于，当所述电动闸板阀包括2个所述闸板(22)时，2个所述闸板(22)分别设置在所述闸板基座(21)的两侧，2个所述闸板(22)通过所述弹性件(23)连接以夹持所述闸板基座(21)。4.根据权利要求3所述的一种电动闸板阀，其特征在于，2个所述闸板(22)中的一者形成有贯穿所述闸板(22)的透气孔(227)。5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种电动闸板阀，其特征在于，所述气流通道(112)、所述接口(113)和所述闸板(22)均是圆形的。6.根据权利要求5所述的一种电动闸板阀，其特征在于，所述闸板(22)朝向所述接口(113)的一面安装有第四密封圈(225)，所述第四密封圈(225)的直径大于所述接口(113)的直径；所述闸板(22)朝向所述接口(113)的一面形成有导向凸起(226)，所述导向凸起(226)是圆盘形状，所述导向凸起(226)的直径小于所述接口(113)的直径。7.根据权利要求6所述的一种电动闸板阀，其特征在于，所述接口(113)、所述导向凸起(226)和所述第四密封圈(225)的尺寸满足以下条件：所述接口(113)的直径－所述导向凸起(226)的直径小于所述第四密封圈(225)的直径－所述接口(113)的直径。8.根据权利要求3或4所述的一种电动闸板阀，其特征在于，所述弹性件(23)具有至少2个，所述弹性件(23)环绕所述闸板(22)的中心线均匀分布；所述弹性件(23)具有两端，所述弹性件(23)的两端相互远离时所述弹性件(23)的内力增加；所述闸板(22)朝向所述闸板基座(21)的一面形成有插接座(221)，所述插接座(221)上
形成有可供所述弹性件(23)的一端插入其中的插接孔，所述插接座(221)上还形成有垂直于所述插接孔并且贯通所述插接座(221)的螺纹孔(223)，所述螺纹孔(223)中安装有顶丝(224)，所述顶丝(224)用于抵紧所述弹性件(23)的侧壁以固定所述弹性件(23)。9.根据权利要求1-4中任一项所述的一种电动闸板阀，其特征在于，所述导向结构(24)包括：第一半球槽(241)、第二半球槽(242)和滚珠(243)；所述第一半球槽(241)形成于所述闸板基座(21)朝向所述闸板(22)的一面，所述第二半球槽(242)形成于所述闸板(22)朝向所述闸板基座(21)的一面，所述第一半球槽(241)和所述第二半球槽(242)能够拼接成一个完整的球槽，所述球槽可供所述滚珠(243)在其中沿着直线方向移动，所述球槽的中心线位于第一方向和第二方向共面的平面中；所述第一半球槽(241)和所述第二半球槽(242)均为一端深度较浅而另一端深度较深的形状，并且所述第一半球槽(241)的较浅端靠近所述第二半球槽(242)的较深端；当所述闸板基座(21)与所述闸板(22)贴合时，所述滚珠(243)同时位于所述第一半球槽(241)的较深端和所述第二半球槽(242)的较深端。10.根据权利要求1所述的一种电动闸板阀，其特征在于，所述伺服模组(3)包括：电机(31)和丝杆滑台(32)；其中，所述丝杆滑台(32)包括：滑座(321)和丝杆(322)；所述滑座(321)与所述阀壳(1)滑动连接，所述滑座(321)能够沿着第一方向滑动，所述滑座(321)与所述闸板基座(21)固定连接；所述丝杆(322)与所述阀壳(1)转动连接，所述丝杆(322)能够以第一方向为轴线转动，所述丝杆(322)与所述滑座(321)螺旋连接；所述电机(31)与所述丝杆(322)传动连接，所述电机(31)用于驱动所述丝杆(322)转动以使得所述滑座(321)沿着第一方向直线移动。11.根据权利要求10所述的一种电动闸板阀，其特征在于，所述阀壳(1)的内部固定安装有滑块(323)，所述滑座(321)的两侧固定安装有滑轨(324)，所述滑块(323)与所述滑轨(324)滑动连接；所述阀壳(1)上形成有滑块安装孔(121)，所述滑块安装孔(121)上可拆装地安装有滑块密封块(122)，所述滑块密封块(122)通过第一密封圈(123)密封所述滑块安装孔(121)，所述滑块(323)通过所述滑块安装孔(121)安装于所述阀壳(1)的内部并且与所述滑块密封块(122)可拆装地连接。12.根据权利要求10所述的一种电动闸板阀，其特征在于，所述丝杆(322)通过轴承(325)和推力轴承(326)与所述阀壳(1)转动连接，所述丝杆(322)与所述阀壳(1)之间的缝隙通过第五密封圈(328)密封。13.根据权利要求10-12中任一项所述的一种电动闸板阀，其特征在于，所述电机(31)和所述丝杆滑台(32)通过带传动机构(33)传动连接；所述带传动机构(33)包括：电机同步轮(331)、丝杆同步轮(332)和同步带(333)；所述电机同步轮(331)与所述电机(31)的输出轴同轴固定连接，所述丝杆同步轮(332)与所述丝杆(322)的输入轴同轴固定连接，所述电机同步轮(331)和所述丝杆同步轮(332)通过所述同步带(333)传动连接。14.根据权利要求10-12中任一项所述的一种电动闸板阀，其特征在于，
所述电机(31)通过真空接插件(34)连接有微动开关(35)，所述微动开关(35)安装于所述阀壳(1)的内部，所述微动开关(35)用于检测所述滑座(321)是否抵达行程的终点；所述阀壳(1)上形成有微动开关安装孔，所述微动开关安装孔上可拆装地安装有微动开关密封盖(125)，所述微动开关密封盖(125)通过第二密封圈(126)密封所述微动开关安装孔，所述真空接插件(34)与所述微动开关密封盖(125)可拆装地连接，所述微动开关(35)通过所述微动开关安装孔安装于所述阀壳(1)的内部并且与所述微动开关密封盖(125)可拆装地连接。15.根据权利要求1所述的一种电动闸板阀，其特征在于，所述阀壳(1)包括主壳体(11)和密封壳体(12)，所述主壳体(11)和所述密封壳体(12)可拆装地连接并且连接部位通过第三密封圈(13)密封。

技术总结
本发明公开了一种电动闸板阀，包括阀壳、阀芯和伺服模组，阀壳的内部形成有阀室，阀壳上形成有贯通阀壳并且通过接口连通阀室的气流通道；阀芯包括闸板基座、闸板、弹性件和导向结构，闸板通过弹性件靠近并且贴合闸板基座，闸板的一部分突出于闸板基座并且朝向气流通道，闸板与闸板基座通过导向结构滑动连接，闸板具有垂直于气流通道和平行于气流通道移动的2个自由度。伺服模组用于驱动闸板基座在阀室的内部垂直气流通道移动，闸板伴随闸板基座同步移动，并且在闸板抵接阀壳的内壁时通过导向结构的引导平行气流通道移动以封闭接口，相比较于现有技术无需使用电磁铁，伺服模组不会产生电流干扰和磁场干扰，并且气流通道的通径不受限制。不受限制。不受限制。


技术研发人员：牛义 王育东 张小龙
受保护的技术使用者：安徽泽攸科技有限公司
技术研发日：2023.03.27
技术公布日：2023/7/20