一种真空退火炉的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种真空退火炉。


背景技术：

2.真空退火炉是半导体加工中的典型热处理设备，用于集成电路、分立器件、太阳能光伏行业中退火、合金及烧结等工艺。该工艺能够显著改善材料表面的性能，提高材料表面纯度，提高材料的疲劳强度、塑性、韧性和耐腐蚀性等参数，是材料改性方面高精度、优质、节能和清洁无污染的加工制造技术，是当今制造技术的重要领域和工艺发展的热点领域。在现有技术中，真空退火炉石英管部分的安装多采用人工将石英管搬运至加热器的位置然后进行安装，这样不仅费时费力，且在搬运过程中会有损坏石英管的风险，当石英管老化需要更换时也较为不便。


技术实现要素：

3.针对现有技术中的缺陷，本实用新型提供一种真空退火炉。
4.本实用新型是通过以下技术方案实现的：
5.一种真空退火炉，包括机架，机架内设置有加热器，所述机架内的中间位置设置有隔板，隔板上开设有通孔，隔板上方的机架内安装有与通孔相配合的加热器，隔板下方的机架内安装有升降机构，升降机构上安装有托盖机构，托盖机构上安装有底盖，底盖上放置有石英管，石英管的管口端位于底盖处，石英管的管口处设置有承接法兰，所述隔板上通孔的两侧滑动安装有承接板，两承接板上设置有相配合的半圆开口，半圆开口的直径小于承接法兰的直径，承接板与隔板之间设置有锁紧机构。
6.优选地，所述承接板的两端开设有槽口，隔板上设置有有与槽口相配合的螺栓孔，承接板通过螺栓锁紧于隔板上。
7.优选地，所述隔板下方的机架内设置有升降滑台，升降滑台内设置有丝杠螺母机构，丝杠通过滑台电机进行驱动，螺母上连接有滑动块，滑动块与托盖机构相连。
8.优选地，所述底盖上设置有滑杆，托盖机构上设置有与滑杆相配合的导向孔，底盖与托盖机构之间的滑杆上设置有弹簧。
9.本实用新型的有益效果体现在：本实用新型可将石英管放置到底盖上后升起到相应位置，然后通过相扣合的承接板将其位置固定，本实用新型在石英管安装时操作简单省力，克服了传统安装方法在安装过程中会导致石英管破损的缺陷。
附图说明
10.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
11.图1为本实用新型未组装的主视图。
12.图2为图1的a向剖视图。
13.图3为图1的b向剖视图。
14.图4为本实用新型未组装的俯视图。
15.图5为本实用新型完成组装的主视图。
16.图6为图5的a向剖视图。
17.图7为图6的a处放大图。
18.图8为本实用新型完成组装的俯视图。
19.附图中，1、加热器，2、石英管，3、隔板，4、承接法兰，5、底盖，6、托盖机构，7、升降滑台，8、承接板，9、机架，10、槽口，11、弹簧，12、滑杆。
具体实施方式
20.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
21.需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
22.为了易于说明，在这里可以使用诸如“上”、“下”“左”“右”等空间相对术语，用于说明图中示出的一个元件或特征相对于另一个元件或特征的关系。应该理解的是，除了图中示出的方位之外，空间术语意在于包括装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果图中的装置被倒置，被叙述为位于其他元件或特征“下”的元件将定位在其他元件或特征“上”。因此，示例性术语“下”可以包含上和下方位两者。
23.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
24.下面结合附图对本实用新型进行详细地描述：本实用新型的一种真空退火炉，包括机架9，机架9内设置有加热器1，所述机架9内的中间位置设置有隔板3，隔板3上开设有通孔，隔板3上方的机架9内安装有与通孔相配合的加热器1，隔板3下方的机架9内安装有升降机构，升降机构上安装有托盖机构6，托盖机构6上安装有底盖5，石英管2放置于底盖5上，石英管2的管口端朝向底盖5，石英管2的管口处设置有承接法兰4，所述隔板3上通孔的两侧滑动安装有承接板8，两承接板8上设置有相配合的半圆开口，两承接板8扣合后即可拼成圆口，半圆开口的直径小于承接法兰4的直径，将石英管上升到指定高度后，将两承接板8扣合，由于承接板8上半圆开口的直径小于承接法兰4的直径，因此可将石英管2卡住，承接板8与隔板3之间设置有锁紧机构，通过锁紧机构可将承接板8的位置固定，从而完成石英管2的安装。
25.所述承接板8的两端开设有槽口10，隔板3上设置有有与槽口10相配合的螺栓孔，承接板8通过螺栓锁紧于隔板3上。
26.所述隔板3下方的机架9内设置有升降滑台7，升降滑台7内设置有丝杠螺母机构，丝杠通过滑台电机进行驱动，螺母上连接有滑动块，滑动块与托盖机构6相连。
27.所述底盖5上设置有滑杆12，托盖机构6上设置有与滑杆12相配合的导向孔，底盖5与托盖机构6之间的滑杆12上设置有弹簧11，弹簧11可起到缓冲作用。
28.本实用新型的工作原理为：
29.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。


技术特征：
1.一种真空退火炉，包括机架（9），机架（9）内设置有加热器（1），其特征在于：所述机架（9）内的中间位置设置有隔板（3），隔板（3）上开设有通孔，隔板（3）上方的机架（9）内安装有与通孔相配合的加热器（1），隔板（3）下方的机架（9）内安装有升降机构，升降机构上安装有托盖机构（6），托盖机构（6）上安装有底盖（5），底盖（5）上放置有石英管（2），石英管（2）的管口端位于底盖（5）处，石英管（2）的管口处设置有承接法兰（4），所述隔板（3）上通孔的两侧滑动安装有承接板（8），两承接板（8）上设置有相配合的半圆开口，半圆开口的直径小于承接法兰（4）的直径，承接板（8）与隔板（3）之间设置有锁紧机构。2.如权利要求1所述的真空退火炉，其特征在于：所述承接板（8）的两端开设有槽口（10），隔板（3）上设置有有与槽口（10）相配合的螺栓孔，承接板（8）通过螺栓锁紧于隔板（3）上。3.如权利要求1所述的真空退火炉，其特征在于：所述隔板（3）下方的机架（9）内设置有升降滑台（7），升降滑台（7）内设置有丝杠螺母机构，丝杠通过滑台电机进行驱动，螺母上连接有滑动块，滑动块与托盖机构（6）相连。4.如权利要求1所述的真空退火炉，其特征在于：所述底盖（5）上设置有滑杆（12），托盖机构（6）上设置有与滑杆（12）相配合的导向孔，底盖（5）与托盖机构（6）之间的滑杆（12）上设置有弹簧（11）。

技术总结
本实用新型公开了一种真空退火炉，包括机架，机架内设置有加热器，机架内的中间位置设置有隔板，隔板上开设有通孔，隔板上方的机架内安装有加热器，隔板下方的机架内安装有升降机构，升降机构上安装有托盖机构，托盖机构上安装有底盖，底盖上放置有石英管，石英管的管口端位于底盖处，石英管的管口处设置有承接法兰，所述隔板上通孔的两侧滑动安装有承接板，两承接板上设置有相配合的半圆开口，半圆开口的直径小于承接法兰的直径，承接板与隔板之间设置有锁紧机构；本实用新型可将石英管放到升降机构上进行安装，操作简单，同时避免了常规安装方法导致的石英管破损的问题。安装方法导致的石英管破损的问题。安装方法导致的石英管破损的问题。


技术研发人员：乔晓杰
受保护的技术使用者：山东晶升电子科技有限公司
技术研发日：2023.04.07
技术公布日：2023/7/21