一种宽幅钼靶翘曲度校正装置的制作方法

1.本实用新型涉及溅射靶材制备技术领域，具体为一种宽幅钼靶翘曲度校正装置。


背景技术：

2.钼靶材具有高熔点、高电导率、较低的比阻抗以及较好的耐腐蚀性和环保性等特点，已在电子、在半导体、平面显示、太阳能电池、玻璃镀膜等行业得到广泛的应用。溅射钼靶材一般采用焊合工艺将靶坯与背板粘结在一起，背板的材质一般为无氧铜。在将钼靶材与背板焊合加热过程中，由于钼与铜的热膨胀系数的不同，导致在焊合加热过程中钼靶材发生翘曲现象，其翘曲程度影响到宽幅钼靶的整体质量把控，因此需要对焊合后的钼靶材进行矫正处理。
3.目前，在对钼靶材进行精整校平时是通过热压平机进行压平处理，该矫正方式是将靶材穿过加热的矫正辊，通过矫正辊对靶材进行校平处理。这种热压平机体积大，主要针对整个靶材进行矫正压平，作用范围是整块钼靶材，不能针对靶材的小范围、局部、或针对翘曲部位进行校正压平，针对性较弱，使用不方便。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种宽幅钼靶翘曲度校正装置，可以对焊合后钼板材翘曲部位进行校正压平处理，能够小范围、部位或只针对钼靶材的翘曲部位进行校正处理，并且可以在压平后进行加热，并消除校正部位内部残余应力，针对性强，使用方便，可以有效解决背景技术中的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种宽幅钼靶翘曲度校正装置，包括安装在两轴龙门架上的安装板，所述安装板的底部设有液压缸一，且液压缸一的伸缩端设有连接板，所述连接板的底部中部设有液压缸二，所述液压缸二的伸缩端设有矫正组件，所述连接板的底部设有均匀分布的支柱，所述支柱的底部设有压板，所述压板的上表面开设有与矫正组件对应设置的沉孔。
6.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述矫正组件包括安装在液压缸二底部的壳体，所述壳体的内部设有水平设置的隔板，且隔板将壳体内腔分割为上侧的隔热腔和下侧的加热腔，所述壳体的底部设有贯穿加热腔并与隔板固定连接的校正板，且加热腔的内部设有对校正板进行加热的加热器。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述隔热腔的内部设有隔热垫。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述隔热腔的内部设有均匀分布的连接杆。
9.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述壳体的外轴径与沉孔上部分的直径相同，且校正板的轴径与沉孔下部分直径相同。
10.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述校正板裸露在壳体下侧的高度等于沉孔下侧较短直径部分的高度。
11.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述壳体的底部边缘和压板的底部边缘均做倒角处理。
12.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述安装板的底部设有与连接板连接的伸缩杆。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.本实用新型示例的宽幅钼靶翘曲度校正装置将焊合后的钼靶材放置在矫正平台上，两轴龙门架带动安装板移动到钼靶材翘曲部位，液压缸一伸长并带动连接板下移，连接板通过支柱带动压板下移，并使压板与钼靶材表面接触，液压缸二推动矫正组件下移，矫正组件对钼板材翘曲部位进行校正，能够针对翘度部位进行校正处理，针对性强。
15.本实用新型示例的宽幅钼靶翘曲度校正装置，可以对焊合后钼板材翘曲部位进行校正压平处理，能够小范围、部位或只针对钼靶材的翘曲部位进行校正处理，并且可以在压平后进行加热，并消除校正部位内部残余应力，针对性强，使用方便。
附图说明
16.图1为本实用新型结构示意图；
17.图2为图1局部结构的剖视示意图；
18.图3为图2的正视结构示意图。
19.图中：1安装板、2液压缸一、3连接板、4支柱、5压板、51沉孔、6液压缸二、7矫正组件、71壳体、72隔板、73校正板、74加热器、75隔热垫。
实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种宽幅钼靶翘曲度校正装置，包括安装在两轴龙门架上的安装板1，安装板1的底部设有液压缸一2，且液压缸一2的伸缩端设有连接板3，连接板3的底部中部设有液压缸二6，液压缸二6的伸缩端设有矫正组件7，连接板3的底部设有均匀分布的支柱4，支柱4的底部设有压板5，压板5的上表面开设有与矫正组件7对应设置的沉孔51，将焊合后的钼靶材放置在矫正平台上，两轴龙门架带动安装板1移动到钼靶材翘曲部位，液压缸一2伸长并带动连接板3下移，连接板3通过支柱4带动压板5下移，并使压板5与钼靶材表面接触，液压缸二6推动矫正组件7下移，矫正组件7对钼板材翘曲部位进行校正。
22.压板5接触翘曲部位周边的靶材，避免校正按压过程中使其它部位靶材翘起。
23.进一步的，矫正组件7包括安装在液压缸二6底部的壳体71，壳体71的内部设有水平设置的隔板72，且隔板72将壳体71内腔分割为上侧的隔热腔和下侧的加热腔，壳体71的底部设有贯穿加热腔并与隔板72固定连接的校正板73，液压缸二6通过壳体71推动校正板73下移，校正板73下移过程中挤压钼板材翘度部位，从而对钼靶材进行校正。
24.优选的，为了消除矫正后靶材内部应力，且加热腔的内部设有对校正板73进行加
热的加热器74，通过加热器74对校正板73进行加热，校正板73对钼靶材校正部位进行加热，从而校正部位的消除内部应力。
25.进一步的，隔热腔的内部设有隔热垫75，可以降低壳体71上侧温度，从而对液压缸二6起到一定的隔热保护作用。
26.进一步的，隔热腔的内部设有均匀分布的连接杆，起到稳定隔热腔的作用，使壳体71顶部可以通过连接杆、隔板72对校正板73施加压力。
27.进一步的，壳体71的外轴径与沉孔51上部分的直径相同，且校正板73的轴径与沉孔51下部分直径相同，校正板73看一看插入到沉孔51内部对翘度部位进行校正。
28.进一步的，校正板73裸露在壳体71下侧的高度等于沉孔51下侧较短直径部分的高度，校正完成后使校正板73底部与压板5底部平齐，避免过多挤压钼板材。
29.进一步的，壳体71的底部边缘和压板5的底部边缘均做倒角处理，壳体71做倒角处理有助于插入到沉孔51内部，压板5做倒角可以避免压板5边缘过于尖锐而划伤钼板材。
30.进一步的，安装板1的底部设有与连接板3连接的伸缩杆，起到导向作用，避免连接板3倾斜。
31.本实用新型中所使用的液压缸一2和液压缸二6等均为现有技术中的常用设备，其工作方式、结构及与外部液压缸的连接方式均为公知技术，在此不作赘述。
32.本实用新型可以对焊合后钼板材翘曲部位进行校正压平处理，能够小范围、部位或只针对钼靶材的翘曲部位进行校正处理，并且可以在压平后进行加热，并消除校正部位内部残余应力，针对性强，使用方便。
33.本实用新型中未公开部分均为现有技术，其具体结构、材料及工作原理不再详述。尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种宽幅钼靶翘曲度校正装置，包括安装在两轴龙门架上的安装板（1），其特征在于：所述安装板（1）的底部设有液压缸一（2），且液压缸一（2）的伸缩端设有连接板（3），所述连接板（3）的底部中部设有液压缸二（6），所述液压缸二（6）的伸缩端设有矫正组件（7），所述连接板（3）的底部设有均匀分布的支柱（4），所述支柱（4）的底部设有压板（5），所述压板（5）的上表面开设有与矫正组件（7）对应设置的沉孔（51）。2.根据权利要求1所述的宽幅钼靶翘曲度校正装置，其特征在于：所述矫正组件（7）包括安装在液压缸二（6）底部的壳体（71），所述壳体（71）的内部设有水平设置的隔板（72），且隔板（72）将壳体（71）内腔分割为上侧的隔热腔和下侧的加热腔，所述壳体（71）的底部设有贯穿加热腔并与隔板（72）固定连接的校正板（73），且加热腔的内部设有对校正板（73）进行加热的加热器（74）。3.根据权利要求2所述的宽幅钼靶翘曲度校正装置，其特征在于：所述隔热腔的内部设有隔热垫（75）。4.根据权利要求3所述的宽幅钼靶翘曲度校正装置，其特征在于：所述隔热腔的内部设有均匀分布的连接杆。5.根据权利要求2所述的宽幅钼靶翘曲度校正装置，其特征在于：所述壳体（71）的外轴径与沉孔（51）上部分的直径相同，且校正板（73）的轴径与沉孔（51）下部分直径相同。6.根据权利要求5所述的宽幅钼靶翘曲度校正装置，其特征在于：所述校正板（73）裸露在壳体（71）下侧的高度等于沉孔（51）下侧较短直径部分的高度。7.根据权利要求5所述的宽幅钼靶翘曲度校正装置，其特征在于：所述壳体（71）的底部边缘和压板（5）的底部边缘均做倒角处理。8.根据权利要求1所述的宽幅钼靶翘曲度校正装置，其特征在于：所述安装板（1）的底部设有与连接板（3）连接的伸缩杆。

技术总结
本实用新型公开了一种宽幅钼靶翘曲度校正装置，包括安装在两轴龙门架上的安装板，所述安装板的底部设有液压缸一，且液压缸一的伸缩端设有连接板，所述连接板的底部中部设有液压缸二，所述液压缸二的伸缩端设有矫正组件，所述连接板的底部设有均匀分布的支柱，所述支柱的底部设有压板，所述压板的上表面开设有与矫正组件对应设置的沉孔。该宽幅钼靶翘曲度校正装置，可以对焊合后钼板材翘曲部位进行校正压平处理，能够小范围、部位或只针对钼靶材的翘曲部位进行校正处理，并且可以在压平后进行加热，并消除校正部位内部残余应力，针对性强，使用方便。使用方便。使用方便。


技术研发人员：邓锐 黄飞虎 李德华
受保护的技术使用者：洛阳汇晶新材料科技有限公司
技术研发日：2023.03.31
技术公布日：2023/7/21