一种显微镜平台防Particle保护盖的制作方法

一种显微镜平台防particle保护盖
技术领域
1.本实用新型属于半导体生产制造技术领域，特别涉及一种显微镜平台防particle保护盖。


背景技术：

2.现有技术中，ic即集成电路，是采用半导体制作工艺，在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶体管及电阻器、电容器等元器件，并按照多层布线或隧道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路。ic与料带基板通过高温压合的工艺进行固定，料带上沿长度方向依次排列间隔设置有多个小ic晶粒，完成内引脚结合工序后，人员需使用显微镜检验产品有无不良，其不足之处在于：调整目镜位置或调节焦距近距离观看等动作易造成particle掉落至产品表面；产品放置在显微镜平台上等待复检时，长时间停留在会有落尘掉在产品表面的风险；particle和落尘影响产品品质，增加人员返工工作量。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种显微镜平台防particle保护盖，能够避免particle掉落在产品上，减少异常发生，避免客户抱怨。
4.本实用新型的目的是这样实现的：一种显微镜平台防particle保护盖，包括基座，所述基座上设置有测量载物台，所述基座的后侧设置有支撑部，对应所述支撑部前侧设置有可上下移动的显微镜装置，所述显微镜装置包括目镜，所述目镜的下侧设置有连接座，所述连接座的下侧设置有换镜盘，所述换镜盘靠近测量载物台的一侧沿环形均匀的设置有若干个物镜，所述连接座的下侧对应测量载物台设置有保护盖，所述保护盖由透明材料制成。
5.本实用新型使用时，转动换镜盘选择合适的目镜，将产品放置在测量载物台上，上下移动显微镜装置至合适的位置后，通过目镜可对产品进行检验操作，与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：由透明材料制成的保护盖在不影响人员视线和光线的同时能够防止particle或落尘掉落至产品上；保护盖的制造成本较低且操作简单方便，可循环使用。
6.作为本实用新型的进一步改进，所述支撑部的前侧设置有两条互相对称的导轨，两条导轨上活动连接有滑块，所述显微镜装置设置在滑块上。
7.作为本实用新型的进一步改进，所述显微镜装置还包括安装座，所述安装座侧面设置有调焦手轮。
8.作为本实用新型的进一步改进，所述测量载物台和保护盖均呈圆形，所述保护盖的直径不小于测量载物台的直径。
9.作为本实用新型的进一步改进，所述保护盖对应物镜设置有避让孔，所述保护盖上设置有两个紧固件，两个所述紧固件分布在避让孔的两侧，所述连接座对应紧固件设置有安装孔。
附图说明
10.图1为本实用新型的立体结构示意图。
11.图2为本实用新型的主视图。
12.图3为本实用新型的左视图。
13.图4为本实用新型的俯视图。
14.其中，1基座，2测量载物台，3支撑部，4导轨，5滑块，6安装座，7调焦手轮，8显微镜装置，801目镜，802连接座，803换镜盘，804物镜，9保护盖，10紧固件。
具体实施方式
15.如图1-4所示，为一种显微镜平台防particle保护盖，包括基座1，基座1上设置有测量载物台2，基座1的后侧设置有支撑部3，支撑部3的前侧设置有两条互相对称的导轨4，两条导轨4上活动连接有滑块5，滑块5的前侧设置有安装座6，安装座6的侧面设置有调焦手轮7，安装座6的前侧设置有显微镜装置8；显微镜装置8包括目镜801，目镜801的下侧设置有连接座802，连接座802的下侧设置有换镜盘803，换镜盘803靠近测量载物台2的一侧沿环形均匀的设置有若干个物镜804；连接座802的下侧对应测量载物台2设置有保护盖9；测量载物台2和保护盖9均呈圆形，保护盖9的直径不小于测量载物台2的直径；保护盖9对应物镜804设置有避让孔，保护盖9上设置有两个紧固件10，两个紧固件10分布在避让孔的两侧，连接座802对应紧固件10设置有安装孔，紧固件10优选为螺丝，螺丝与安装孔配合将保护盖9固定在显微镜装置8上；保护盖9由透明材料制成，透明材料优选具有较好的透明性、化学稳定性和耐候性的亚克力。
16.本实用新型在使用时，转动换镜盘803选择合适的目镜801，将产品放置在测量载物台2上，上下移动显微镜装置8至合适的位置后，通过目镜801观察视野的变化，同时调节调焦手轮7，使显微镜装置8上移或下移，直至视野清晰为止，即可对产品进行检验操作，本实用新型的优点在于：由亚克力制成的保护盖9在不影响人员视线和光线的同时能够防止particle或落尘掉落至产品上，从而避免异常产品流到客户端，引起客户抱怨，也降低了人员返工的工作量；保护盖9的结构简单，制造成本较低；保护盖9操作简单方便且易于拆卸清洁，可循环使用。
17.本实用新型并不局限于上述实施例，在本实用新型公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本实用新型的保护范围内。


技术特征：
1.一种显微镜平台防particle保护盖，其特征在于，包括基座，所述基座上设置有测量载物台，所述基座的后侧设置有支撑部，对应所述支撑部前侧设置有可上下移动的显微镜装置，所述显微镜装置包括目镜，所述目镜的下侧设置有连接座，所述连接座的下侧设置有换镜盘，所述换镜盘靠近测量载物台的一侧沿环形均匀的设置有若干个物镜，所述连接座的下侧对应测量载物台设置有保护盖，所述保护盖由透明材料制成。2.根据权利要求1所述的一种显微镜平台防particle保护盖，其特征在于，所述支撑部的前侧设置有两条互相对称的导轨，两条导轨上活动连接有滑块，所述显微镜装置设置在滑块上。3.根据权利要求2所述的一种显微镜平台防particle保护盖，其特征在于，所述显微镜装置还包括安装座，所述安装座侧面设置有调焦手轮。4.根据权利要求3所述的一种显微镜平台防particle保护盖，其特征在于，所述测量载物台和保护盖均呈圆形，所述保护盖的直径不小于测量载物台的直径。5.根据权利要求4所述的一种显微镜平台防particle保护盖，其特征在于，所述保护盖对应物镜设置有避让孔，所述保护盖上设置有两个紧固件，两个所述紧固件分布在避让孔的两侧，所述连接座对应紧固件设置有安装孔。

技术总结
本实用新型公开了半导体生产制造领域内的一种显微镜平台防Particle保护盖，包括基座，所述基座上设置有测量载物台，所述基座的后侧设置有支撑部，对应所述支撑部前侧设置有可上下移动的显微镜装置，所述显微镜装置包括目镜，所述目镜的下侧设置有连接座，所述连接座的下侧设置有换镜盘，所述换镜盘靠近测量载物台的一侧沿环形均匀的设置有若干个物镜，所述连接座的下侧对应测量载物台设置有保护盖，所述保护盖由透明材料制成。本实用新型能够避免Particle掉落在产品上，减少异常发生，避免客户抱怨。客户抱怨。客户抱怨。


技术研发人员：韦进 杨爱平 韩慧 乔春娟 王雪梅 李玉婷
受保护的技术使用者：江苏汇成光电有限公司
技术研发日：2023.03.30
技术公布日：2023/7/21