一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置的制作方法

1.本发明属于平整粗糙度检测技术领域，具体是指一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置。


背景技术：

2.芯片的加工精度要求非常高，相应地，为了缩短加工时间、提高加工效率，对原材料的精度要求也比较高，否则就会浪费大量的加工时间，由于芯片大多为规则的立方体结构，因此这个精度要求更多地体现在表面平整度上。
3.判断原材料表面是否平整较为容易，但是判断物体表面不平整的程度，则并不容易，常见的测量方式，是在待测区域内找到一个最高的凸起部和一个最低的凹陷部，然后测量二者的高度差，一般来讲，待测区域选择的越小，精度越高、结果也就越准确，但是精度越高随之而来的就是测量次数增多、统计分析任务量增大，而且这种对结果准确性的提高也只是从概率上的相对提高，具有较大的偶然性。
4.为了使测量结果更加平均、更加准确，本发明提出了一种基于微积分思想的、基于流体驱动的、用于芯片材料表层检测的便携式检测装置。


技术实现要素：

5.针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本发明提出了一种基于微积分思想的、基于流体驱动的、用于芯片材料表层检测的便携式检测装置；想要避免偶然因素的影响，就必须将整个待测区域，都涵盖进对测量结果的影响因素中，基于这个出发点，本发明提出了微分式液压分隔机构和检测空腔分隔机构，通过流体施加挤压力，将待测区域划分为若干个阵列布置的待测单元，通过气体填充的方式感应待测单元中的空腔体积，利用气体和固体可以被压缩的程度不同的特性，反馈出待测单元的平整度。
6.不仅如此，本发明还提出了两种不同的读数模式，在简易模式下，可以通过观察活塞盘标识涂层的纵向分布得知各个测量单元的平整度分布情况；在精细模式下，通过矫正俯拍的照片，能够在补偿了镜头畸变和透视效应的情况下，通过彩色圆圈的大小分布，直观的找到平整度差的区域。
7.本发明采取的技术方案如下：本发明提出了一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置，包括二维读数积分式反馈机构、微分式液压分隔机构、检测空腔分隔机构和框架式外壳组件，所述二维读数积分式反馈机构设于微分式液压分隔机构上，二维读数积分式反馈机构能够进行平视和俯视两个维度的读数，通过平视读数，能够得知平整度测量结果数值的整体离散范围，通过俯拍的方式能够准确得知每个测量单元的测量结果；所述微分式液压分隔机构阵列设于框架式外壳组件中，所述检测空腔分隔机构阵列设于框架式外壳组件中，通过微分式液压分隔机构和检测空腔分隔机构，能够将待测区域分成若干个阵列布置的测量单元，基于微分的思想，对平整度进行更加精确、更加细致地测量，所述检测空腔分隔机构卡合滑动设于微分式液压分隔机构中，微分式液压分隔机构以液压为驱动力，
使检测单元内部形成一个封闭的腔室，检测空腔分隔机构以气压作为驱动力，测得在气压升高到一定值时，需要进入气腔多少空气，进入的空气越少、表示待测面越平整。
8.进一步地，所述二维读数积分式反馈机构包括透明供气组件和二维反馈组件，所述透明供气组件固接于微分式液压分隔机构上，所述二维反馈组件滑动设于透明供气组件中。
9.作为优选地，所述透明供气组件包括供气管道和透明圆柱形活塞管，所述供气管道的侧面阵列设有透明支管，所述透明圆柱形活塞管固接于微分式液压分隔机构上，所述透明圆柱形活塞管的两端分别设有活塞管底部接头和活塞管顶部接头，所述透明支管卡合设于活塞管顶部接头中，所述透明圆柱形活塞管通过活塞管底部接头和微分式液压分隔机构贯通。
10.作为本发明的进一步优选，所述二维反馈组件包括软球固定圆盘、带色软球和气动活塞盘，所述软球固定圆盘卡合设于透明圆柱形活塞管中，所述软球固定圆盘上环形均布设有圆盘透气孔，所述带色软球设于软球固定圆盘上，当气动活塞盘压迫带色软球时，带色软球和气动活塞盘的贴合部位会增大，由于气动活塞盘为透明、带色软球为彩色，因此俯视气动活塞盘时看到的彩色圆形也会增大，通过彩色圆圈的大小能够直观反馈出气动活塞盘到软球固定圆盘之间的距离（气动活塞盘的滑动幅度代表了进气量，也能反映出待测面的凭证对），所述带色软球位于软球固定圆盘的中心位置，所述气动活塞盘卡合滑动设于透明圆柱形活塞管中，所述气动活塞盘和透明圆柱形活塞管的内壁滑动密封接触，所述气动活塞盘的侧面设有用于读数的活塞盘标识涂层，气动活塞盘是为了便于侧面读数而设计的，利于分辨的环形线条。
11.进一步地，所述微分式液压分隔机构包括固定式分隔组件和液压密封组件，所述固定式分隔组件固接于框架式外壳组件上，所述液压密封组件卡合滑动设于框架式外壳组件中；所述固定式分隔组件包括固定式隔板、柔性气管和透气填平塞，所述固定式隔板固接于框架式外壳组件上，所述固定式隔板上设有隔板液压孔和隔板气管孔，所述隔板气管孔位于固定式隔板的中心位置，柔性气管卡合设于隔板气管孔中，所述透气填平塞卡合设于柔性气管的底部，所述柔性气管卡合设于活塞管底部接头中。
12.作为优选地，所述液压密封组件包括液压活塞板和方框式刚性围挡，所述液压活塞板卡合滑动设于框架式外壳组件中，所述液压活塞板的中心位置设有活塞气管孔一，所述柔性气管卡合设于活塞气管孔一中，柔性气管设置于液压活塞板的中心位置，能够使得液体施加给液压活塞板的压力是均匀的，能够有效提高运行平顺性、延长使用寿命，所述方框式刚性围挡固接于液压活塞板的下方，所述方框式刚性围挡的内壁上环形均布设有限位滑槽，所述方框式刚性围挡的底部环形均布设有围挡沉头一。
13.进一步地，所述检测空腔分隔机构包括自导向柔性密封组件和气腔分隔组件，所述自导向柔性密封组件设于液压密封组件的下方，所述自导向柔性密封组件和液压密封组件固接，所述气腔分隔组件卡合滑动设于自导向柔性密封组件和方框式刚性围挡中。
14.作为优选地，所述自导向柔性密封组件包括柔性围挡、伸缩杆和伸缩管，所述柔性围挡固接于方框式刚性围挡的下方，柔性围挡受到挤压时会发生弹性形变，从而填满自身和待测面之间的间隙，进而将待测区域围成一个封闭的空腔；所述柔性围挡上设有和围挡沉头一相对应的围挡沉头孔二，所述伸缩杆固接于柔性围挡的围挡沉头孔二中，所述伸缩
管固接于围挡沉头一中，所述伸缩管卡合滑动设于伸缩杆上，所述伸缩杆和伸缩管位于围挡沉头一和围挡沉头孔二中，所述伸缩管上设有环形斜角，通过伸缩杆和伸缩管的伸缩配合，能够保证柔性围挡在具有纵向柔性的同时还具备横向刚性，防止受挤压时位置跑偏，通过环形斜角能够避免伸缩杆回缩时伸缩管切割柔性围挡的情况。
15.作为本发明的进一步优选，所述气腔分隔组件包括气腔活塞板、预紧弹簧和滑动限位扣，所述气腔活塞板滑动设于柔性围挡和方框式刚性围挡中，所述气腔活塞板上设有活塞气管孔二，所述柔性气管的底部卡合设于活塞气管孔二中，所述预紧弹簧设于气腔活塞板和液压活塞板之间，预紧弹簧的弹力小于液压活塞板受到的液压力，因此在液压力的作用下，气腔活塞板会被物体的凸起部位阻挡，从而压缩预紧弹簧，而预紧弹簧的弹力大于气腔活塞板受到的气压力，因此在向气腔活塞板的底部充气时，气腔活塞板能够始终保持接触物体的凸起部，所述滑动限位扣设于气腔活塞板上，所述滑动限位扣卡合滑动设于限位滑槽中。
16.进一步地，所述框架式外壳组件包括外壳本体和液压分流件，所述外壳本体上阵列设有微分格，所述固定式隔板固接于外壳本体上，所述液压活塞板卡合滑动设于微分格中，所述液压分流件设于固定式隔板上，所述液压分流件上阵列设有分流接头，所述分流接头卡合设于隔板液压孔中，所述液压分流件上设有主接头。
17.其中，所述气动活塞盘、透明支管和透明圆柱形活塞管为透明材质，所述外壳本体的顶边上设有畸变校正参考刻度，通过畸变校正参考刻度的参考，方便俯拍后对照片进行矫正，克服透视原理带来的显示误差。
18.采用上述结构本发明取得的有益效果如下：
19.（1）二维读数积分式反馈机构能够进行平视和俯视两个维度的读数，通过平视读数，能够得知平整度测量结果数值的整体离散范围，通过俯拍的方式能够准确得知每个测量单元的测量结果；
20.（2）通过微分式液压分隔机构和检测空腔分隔机构，能够将待测区域分成若干个阵列布置的测量单元，基于微分的思想，对平整度进行更加精确、更加细致地测量；
21.（3）微分式液压分隔机构以液压为驱动力，使检测单元内部形成一个封闭的腔室，检测空腔分隔机构以气压作为驱动力，测得在气压升高到一定值时，需要进入气腔多少空气，进入的空气越少、表示待测面越平整
22.（4）当气动活塞盘压迫带色软球时，带色软球和气动活塞盘的贴合部位会增大，由于气动活塞盘为透明、带色软球为彩色，因此俯视气动活塞盘时看到的彩色圆形也会增大，通过彩色圆圈的大小能够直观反馈出气动活塞盘到软球固定圆盘之间的距离（气动活塞盘的滑动幅度代表了进气量，也能反映出待测面的凭证对）；
23.（5）气动活塞盘是为了便于侧面读数而设计的，利于分辨的环形线条；
24.（6）柔性气管设置于液压活塞板的中心位置，能够使得液体施加给液压活塞板的压力是均匀的，能够有效提高运行平顺性、延长使用寿命；
25.（7）柔性围挡受到挤压时会发生弹性形变，从而填满自身和待测面之间的间隙，进而将待测区域围成一个封闭的空腔；
26.（8）通过伸缩杆和伸缩管的伸缩配合，能够保证柔性围挡在具有纵向柔性的同时还具备横向刚性，防止受挤压时位置跑偏，通过环形斜角能够避免伸缩杆回缩时伸缩管切
割柔性围挡的情况；
27.（9）预紧弹簧的弹力小于液压活塞板受到的液压力，因此在液压力的作用下，气腔活塞板会被物体的凸起部位阻挡，从而压缩预紧弹簧，而预紧弹簧的弹力大于气腔活塞板受到的气压力，因此在向气腔活塞板的底部充气时，气腔活塞板能够始终保持接触物体的凸起部；
28.（10）通过畸变校正参考刻度的参考，方便俯拍后对照片进行矫正，克服透视原理带来的显示误差。
附图说明
29.图1为本发明提出的一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置的立体图；
30.图2为本发明提出的一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置的主视图；
31.图3为本发明提出的一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置的俯视图；
32.图4为图2中沿着剖切线a-a的剖视图；
33.图5为图4中沿着剖切线b-b的剖视图；
34.图6为图4中沿着剖切线c-c的剖视图；
35.图7为本发明提出的一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置的二维读数积分式反馈机构的结构示意图；
36.图8为本发明提出的一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置的微分式液压分隔机构的结构示意图；
37.图9为本发明提出的一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置的检测空腔分隔机构的结构示意图；
38.图10为本发明提出的一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置的框架式外壳组件的结构示意图；
39.图11为图4中ⅰ处的局部放大图；
40.图12为图5中ⅱ处的局部放大图；
41.图13为图4中ⅲ处的局部放大图。
42.其中，1、二维读数积分式反馈机构，2、微分式液压分隔机构，3、检测空腔分隔机构，4、框架式外壳组件，5、透明供气组件，6、二维反馈组件，7、供气管道，8、透明圆柱形活塞管，9、软球固定圆盘，10、带色软球，11、气动活塞盘，12、透明支管，13、活塞管底部接头，14、活塞管顶部接头，15、圆盘透气孔，16、活塞盘标识涂层，17、固定式分隔组件，18、液压密封组件，19、固定式隔板，20、柔性气管，21、透气填平塞，22、液压活塞板，23、方框式刚性围挡，24、隔板液压孔，25、隔板气管孔，26、活塞气管孔一，27、限位滑槽，28、围挡沉头一，29、自导向柔性密封组件，30、气腔分隔组件，31、柔性围挡，32、伸缩杆，33、伸缩管，34、气腔活塞板，35、预紧弹簧，36、滑动限位扣，37、围挡沉头孔二，38、环形斜角，39、活塞气管孔二，40、外壳本体，41、液压分流件，42、微分格，43、分流接头，44、主接头，45、畸变校正参考刻度。
43.附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。
具体实施方式
44.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
45.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
46.如图1~图13所示，本发明提出了一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置，包括二维读数积分式反馈机构1、微分式液压分隔机构2、检测空腔分隔机构3和框架式外壳组件4，二维读数积分式反馈机构1设于微分式液压分隔机构2上，二维读数积分式反馈机构1能够进行平视和俯视两个维度的读数，通过平视读数，能够得知平整度测量结果数值的整体离散范围，通过俯拍的方式能够准确得知每个测量单元的测量结果；微分式液压分隔机构2阵列设于框架式外壳组件4中，检测空腔分隔机构3阵列设于框架式外壳组件4中，通过微分式液压分隔机构2和检测空腔分隔机构3，能够将待测区域分成若干个阵列布置的测量单元，基于微分的思想，对平整度进行更加精确、更加细致地测量，检测空腔分隔机构3卡合滑动设于微分式液压分隔机构2中，微分式液压分隔机构2以液压为驱动力，使检测单元内部形成一个封闭的腔室，检测空腔分隔机构3以气压作为驱动力，测得在气压升高到一定值时，需要进入气腔多少空气，进入的空气越少、表示待测面越平整。
47.框架式外壳组件4包括外壳本体40和液压分流件41，外壳本体40上阵列设有微分格42，固定式隔板19固接于外壳本体40上，液压活塞板22卡合滑动设于微分格42中，液压分流件41设于固定式隔板19上，液压分流件41上阵列设有分流接头43，分流接头43卡合设于隔板液压孔24中，液压分流件41上设有主接头44。
48.气动活塞盘11、透明支管12和透明圆柱形活塞管8为透明材质，外壳本体40的顶边上设有畸变校正参考刻度45，通过畸变校正参考刻度45的参考，方便俯拍后对照片进行矫正，克服透视原理带来的显示误差。
49.微分式液压分隔机构2包括固定式分隔组件17和液压密封组件18，固定式分隔组件17固接于框架式外壳组件4上，液压密封组件18卡合滑动设于框架式外壳组件4中；固定式分隔组件17包括固定式隔板19、柔性气管20和透气填平塞21，固定式隔板19固接于框架式外壳组件4上，固定式隔板19上设有隔板液压孔24和隔板气管孔25，隔板气管孔25位于固定式隔板19的中心位置，柔性气管20卡合设于隔板气管孔25中，透气填平塞21卡合设于柔性气管20的底部，柔性气管20卡合设于活塞管底部接头13中。
50.液压密封组件18包括液压活塞板22和方框式刚性围挡23，液压活塞板22卡合滑动设于框架式外壳组件4中，液压活塞板22的中心位置设有活塞气管孔一26，柔性气管20卡合设于活塞气管孔一26中，柔性气管20设置于液压活塞板22的中心位置，能够使得液体施加给液压活塞板22的压力是均匀的，能够有效提高运行平顺性、延长使用寿命，方框式刚性围挡23固接于液压活塞板22的下方，方框式刚性围挡23的内壁上环形均布设有限位滑槽27，方框式刚性围挡23的底部环形均布设有围挡沉头一28。
51.检测空腔分隔机构3包括自导向柔性密封组件29和气腔分隔组件30，自导向柔性密封组件29设于液压密封组件18的下方，自导向柔性密封组件29和液压密封组件18固接，气腔分隔组件30卡合滑动设于自导向柔性密封组件29和方框式刚性围挡23中。
52.自导向柔性密封组件29包括柔性围挡31、伸缩杆32和伸缩管33，柔性围挡31固接于方框式刚性围挡23的下方，柔性围挡31受到挤压时会发生弹性形变，从而填满自身和待测面之间的间隙，进而将待测区域围成一个封闭的空腔；柔性围挡31上设有和围挡沉头一28相对应的围挡沉头孔二37，伸缩杆32固接于柔性围挡31的围挡沉头孔二37中，伸缩管33固接于围挡沉头一28中，伸缩管33卡合滑动设于伸缩杆32上，伸缩杆32和伸缩管33位于围挡沉头一28和围挡沉头孔二37中，伸缩管33上设有环形斜角38，通过伸缩杆32和伸缩管33的伸缩配合，能够保证柔性围挡31在具有纵向柔性的同时还具备横向刚性，防止受挤压时位置跑偏，通过环形斜角38能够避免伸缩杆32回缩时伸缩管33切割柔性围挡31的情况。
53.气腔分隔组件30包括气腔活塞板34、预紧弹簧35和滑动限位扣36，气腔活塞板34滑动设于柔性围挡31和方框式刚性围挡23中，气腔活塞板34上设有活塞气管孔二39，柔性气管20的底部卡合设于活塞气管孔二39中，预紧弹簧35设于气腔活塞板34和液压活塞板22之间，预紧弹簧35的弹力小于液压活塞板22受到的液压力，因此在液压力的作用下，气腔活塞板34会被物体的凸起部位阻挡，从而压缩预紧弹簧35，而预紧弹簧35的弹力大于气腔活塞板34受到的气压力，因此在向气腔活塞板34的底部充气时，气腔活塞板34能够始终保持接触物体的凸起部，滑动限位扣36设于气腔活塞板34上，滑动限位扣36卡合滑动设于限位滑槽27中。
54.二维读数积分式反馈机构1包括透明供气组件5和二维反馈组件6，透明供气组件5固接于微分式液压分隔机构2上，二维反馈组件6滑动设于透明供气组件5中。
55.透明供气组件5包括供气管道7和透明圆柱形活塞管8，供气管道7的侧面阵列设有透明支管12，透明圆柱形活塞管8固接于微分式液压分隔机构2上，透明圆柱形活塞管8的两端分别设有活塞管底部接头13和活塞管顶部接头14，透明支管12卡合设于活塞管顶部接头14中，透明圆柱形活塞管8通过活塞管底部接头13和微分式液压分隔机构2贯通。
56.二维反馈组件6包括软球固定圆盘9、带色软球10和气动活塞盘11，软球固定圆盘9卡合设于透明圆柱形活塞管8中，软球固定圆盘9上环形均布设有圆盘透气孔15，带色软球10设于软球固定圆盘9上，当气动活塞盘11压迫带色软球10时，带色软球10和气动活塞盘11的贴合部位会增大，由于气动活塞盘11为透明、带色软球10为彩色，因此俯视气动活塞盘11时看到的彩色圆形也会增大，通过彩色圆圈的大小能够直观反馈出气动活塞盘11到软球固定圆盘9之间的距离（气动活塞盘11的滑动幅度代表了进气量，也能反映出待测面的凭证对），带色软球10位于软球固定圆盘9的中心位置，气动活塞盘11卡合滑动设于透明圆柱形活塞管8中，气动活塞盘11和透明圆柱形活塞管8的内壁滑动密封接触，气动活塞盘11的侧面设有用于读数的活塞盘标识涂层16，气动活塞盘11是为了便于侧面读数而设计的，利于分辨的环形线条。
57.具体使用时，首先用户需要通过外部夹具将框架式外壳组件4固定在待测物体上，然后通过主接头44增大液压分流件41中的液压力；
58.液压分流件41中的液体通过分流接头43流到固定式隔板19和液压活塞板22之间，并且将液压活塞板22朝向待测面挤压滑动；液压活塞板22和方框式刚性围挡23在液压的作
用下将柔性围挡31挤压，使其产生弹性形变、填补自身和带侧面之间的空隙，从而将待测面分隔成若干个阵列的待测单元；
59.由于各组分流接头43是连通的，因此各组液压活塞板22所受的液压力也相等；
60.随着柔性围挡31被挤压，通过伸缩杆32和伸缩管33的伸缩配合，能够保证柔性围挡31在具有纵向柔性的同时还具备横向刚性，防止受挤压时位置跑偏；
61.当气腔活塞板34碰到物体的凸起部时，气腔活塞板34会克服预紧弹簧35的弹力而滑动，直到液压分流件41中的压力达到设定值，此时气腔活塞板34和待测面之间被柔性围挡31围成了一个封闭的空腔，空气的内的空气的体积取决于凸起部位和凹陷部位的形状；
62.然后通过供气管道7朝向各个透明圆柱形活塞管8中灌入空气至气压设定值，由于气动活塞盘11的两端推力相等，因此此时待测腔体的内部气压也等于改设定值；
63.气动活塞盘11静止时会和带色软球10接触（通过气压设定值的设计实现的），气动活塞盘11和软球固定圆盘9的距离越近、带色软球10贴合气动活塞盘11的范围就越大，透过气动活塞盘11看到的彩色圆圈也就越大，此时表示待测腔体内部空气的体积大、物体平整度较差；
64.测量完成后进行观察读数，从侧面水平视角进行读数能够根据活塞盘标识涂层16的纵向分布范围，得知各个测量单元的平整度分布情况；俯视的方式能够得知各个测量单元的平整度具体情况；
65.俯视的方式由于得出得结果要求比较精确，因此需要拍摄后，根据畸变校正参考刻度45进行镜头畸变校正，然后再分析读数。
66.以上便是本发明整体的工作流程，下次使用时重复此步骤即可。
67.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
68.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
69.以上对本发明及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本发明的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本发明创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本发明的保护范围。

技术特征：
1.一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置，其特征在于：包括二维读数积分式反馈机构（1）、微分式液压分隔机构（2）、检测空腔分隔机构（3）和框架式外壳组件（4），所述二维读数积分式反馈机构（1）设于微分式液压分隔机构（2）上，所述微分式液压分隔机构（2）阵列设于框架式外壳组件（4）中，所述检测空腔分隔机构（3）阵列设于框架式外壳组件（4）中，所述检测空腔分隔机构（3）卡合滑动设于微分式液压分隔机构（2）中；所述二维读数积分式反馈机构（1）包括透明供气组件（5）和二维反馈组件（6），所述透明供气组件（5）固接于微分式液压分隔机构（2）上，所述二维反馈组件（6）滑动设于透明供气组件（5）中。2.根据权利要求1所述的一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置，其特征在于：所述透明供气组件（5）包括供气管道（7）和透明圆柱形活塞管（8），所述供气管道（7）的侧面阵列设有透明支管（12），所述透明圆柱形活塞管（8）固接于微分式液压分隔机构（2）上，所述透明圆柱形活塞管（8）的两端分别设有活塞管底部接头（13）和活塞管顶部接头（14），所述透明支管（12）卡合设于活塞管顶部接头（14）中，所述透明圆柱形活塞管（8）通过活塞管底部接头（13）和微分式液压分隔机构（2）贯通。3.根据权利要求2所述的一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置，其特征在于：所述二维反馈组件（6）包括软球固定圆盘（9）、带色软球（10）和气动活塞盘（11），所述软球固定圆盘（9）卡合设于透明圆柱形活塞管（8）中，所述软球固定圆盘（9）上环形均布设有圆盘透气孔（15），所述带色软球（10）设于软球固定圆盘（9）上，所述带色软球（10）位于软球固定圆盘（9）的中心位置，所述气动活塞盘（11）卡合滑动设于透明圆柱形活塞管（8）中，所述气动活塞盘（11）和透明圆柱形活塞管（8）的内壁滑动密封接触，所述气动活塞盘（11）的侧面设有用于读数的活塞盘标识涂层（16）。4.根据权利要求3所述的一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置，其特征在于：所述微分式液压分隔机构（2）包括固定式分隔组件（17）和液压密封组件（18），所述固定式分隔组件（17）固接于框架式外壳组件（4）上，所述液压密封组件（18）卡合滑动设于框架式外壳组件（4）中；所述固定式分隔组件（17）包括固定式隔板（19）、柔性气管（20）和透气填平塞（21），所述固定式隔板（19）固接于框架式外壳组件（4）上，所述固定式隔板（19）上设有隔板液压孔（24）和隔板气管孔（25），所述隔板气管孔（25）位于固定式隔板（19）的中心位置，柔性气管（20）卡合设于隔板气管孔（25）中，所述透气填平塞（21）卡合设于柔性气管（20）的底部，所述柔性气管（20）卡合设于活塞管底部接头（13）中。5.根据权利要求4所述的一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置，其特征在于：所述液压密封组件（18）包括液压活塞板（22）和方框式刚性围挡（23），所述液压活塞板（22）卡合滑动设于框架式外壳组件（4）中，所述液压活塞板（22）的中心位置设有活塞气管孔一（26），所述柔性气管（20）卡合设于活塞气管孔一（26）中，所述方框式刚性围挡（23）固接于液压活塞板（22）的下方，所述方框式刚性围挡（23）的内壁上环形均布设有限位滑槽（27），所述方框式刚性围挡（23）的底部环形均布设有围挡沉头一（28）。6.根据权利要求5所述的一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置，其特征在于：所述检测空腔分隔机构（3）包括自导向柔性密封组件（29）和气腔分隔组件（30），所述自导向柔性密封组件（29）设于液压密封组件（18）的下方，所述自导向柔性密封组件（29）和液压密封组件（18）固接，所述气腔分隔组件（30）卡合滑动设于自导向柔性密封组件（29）和方框式刚性围挡（23）中。
7.根据权利要求6所述的一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置，其特征在于：所述自导向柔性密封组件（29）包括柔性围挡（31）、伸缩杆（32）和伸缩管（33），所述柔性围挡（31）固接于方框式刚性围挡（23）的下方，所述柔性围挡（31）上设有和围挡沉头一（28）相对应的围挡沉头孔二（37），所述伸缩杆（32）固接于柔性围挡（31）的围挡沉头孔二（37）中，所述伸缩管（33）固接于围挡沉头一（28）中，所述伸缩管（33）卡合滑动设于伸缩杆（32）上，所述伸缩杆（32）和伸缩管（33）位于围挡沉头一（28）和围挡沉头孔二（37）中，所述伸缩管（33）上设有环形斜角（38）。8.根据权利要求7所述的一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置，其特征在于：所述气腔分隔组件（30）包括气腔活塞板（34）、预紧弹簧（35）和滑动限位扣（36），所述气腔活塞板（34）滑动设于柔性围挡（31）和方框式刚性围挡（23）中，所述气腔活塞板（34）上设有活塞气管孔二（39），所述柔性气管（20）的底部卡合设于活塞气管孔二（39）中，所述预紧弹簧（35）设于气腔活塞板（34）和液压活塞板（22）之间，所述滑动限位扣（36）设于气腔活塞板（34）上，所述滑动限位扣（36）卡合滑动设于限位滑槽（27）中。9.根据权利要求8所述的一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置，其特征在于：所述框架式外壳组件（4）包括外壳本体（40）和液压分流件（41），所述外壳本体（40）上阵列设有微分格（42），所述固定式隔板（19）固接于外壳本体（40）上，所述液压活塞板（22）卡合滑动设于微分格（42）中，所述液压分流件（41）设于固定式隔板（19）上，所述液压分流件（41）上阵列设有分流接头（43），所述分流接头（43）卡合设于隔板液压孔（24）中，所述液压分流件（41）上设有主接头（44）。10.根据权利要求9所述的一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置，其特征在于：所述气动活塞盘（11）、透明支管（12）和透明圆柱形活塞管（8）为透明材质，所述外壳本体（40）的顶边上设有畸变校正参考刻度（45）。

技术总结
本发明公开了一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置，包括二维读数积分式反馈机构、微分式液压分隔机构、检测空腔分隔机构和框架式外壳组件。本发明属于平整粗糙度检测技术领域，具体是指一种用于芯片材料表层检测的便携式检测装置；本发明提出了微分式液压分隔机构和检测空腔分隔机构，将待测区域划分为若干个阵列布置的待测单元，利用气体和固体可以被压缩的程度不同的特性，反馈出待测单元的平整度。本发明还提出了两种不同的读数模式，在简易模式下，可以通过观察活塞盘标识涂层的纵向分布得知各个测量单元的平整度分布情况；在精细模式下，通过矫正俯拍的照片，能够在补偿了镜头畸变和透视效应的情况下，通过彩色圆圈的大小分布，直观的找到平整度差的区域。直观的找到平整度差的区域。直观的找到平整度差的区域。


技术研发人员：冯华
受保护的技术使用者：江苏晖恒芯片科技有限责任公司
技术研发日：2023.05.27
技术公布日：2023/7/22