一种蒸镀点源材料回收盒的制作方法

1.本发明涉及蒸镀技术领域，具体而言，涉及一种蒸镀点源材料回收盒。


背景技术：

2.随着全球电子信息产业、半导体、光学元器件、光伏产业等行业生产规模的持续扩张，我国进一步强化作为全球的电子信息、太阳能电池及组件等产业的重要制造地位。这一趋势直接带动了各类薄膜材料及真空镀膜设备制造行业的发展，因此各类薄膜材料的有效利用就尤为重要。
3.点源目前广泛应用于各类蒸镀设备上，现有蒸镀设备点源多为直接裸漏在真空腔室内，顾名思义，点源外侧不做任何遮蔽，如图1和图2所示，薄膜材料气化成膜材蒸汽2从各个方向上喷出，部分在基板1上沉积成膜。由于点源3由于周边不做任何遮蔽，对于薄膜材料的充分利用存在一些缺点。
4.首先，薄膜材料无法回收再利用。蒸镀工艺过程中，各类薄膜材料沉积到蒸镀腔室4表面防污板上，只有其中一小部分沉积到基板1上，大量薄膜材料被浪费掉。大量薄膜材料沉积到防污板上，污染蒸镀腔室4，导致防污板拆装清洗次数频繁。其次，薄膜材料交叉污染。现有绝大部分蒸镀设备都采用一腔室多点源设计，这就导致蒸镀过程中薄膜材料不可避免地交叉污染，使膜层掺杂，质地不均匀，从而影响器件性能。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种蒸镀点源材料回收盒，其能够针对现有技术的不足，提出解决方案，其可以遮蔽在点源上，只暴露出蒸镀口位置。一方面，材料回收盒遮蔽在点源上，蒸镀工艺过程中，薄膜材料只通过上方的蒸镀口沉积到基板上，形成薄膜，四周的薄膜材料会沉积到材料回收盒侧壁上，沉积到材料回收盒上的膜材是纯净的，没有被污染的，镀膜工艺结束后，这部分膜材可以回收再利用，如此很大程度降低了薄膜材料成本，特别是对比较昂贵的薄膜材料，成本控制相当可观。另一方面，由于每个点源都配备一个材料回收盒，每个点源都受到了保护，避免了在蒸镀工艺过程中点源和点源之间薄膜材料的交叉污染，从而能沉积性能更好的薄膜。再者，点源加热过程中，辐射和传导出去的热量碰到材料回收盒侧壁后又返回，避免了热量损失，同时节省了二次蒸发的热量消耗。如此该材料回收盒弥补了蒸镀过程中材料利用的诸多不足，有效解决了镀膜生产过程中的各类问题。
6.本发明采用的技术方案为：
7.本技术实施例提供一种蒸镀点源材料回收盒，包括蒸镀设备以及设于上述蒸镀设备的点源，上述蒸镀设备内为蒸镀腔室，上述点源的喷射口位于上述蒸镀腔室内；上述蒸镀设备且位于上述蒸镀腔室内设有基板，上述基板位于上述点源的喷射口上方；还包括底部开口的材料回收盒，上述材料回收盒设于上述蒸镀设备且位于上述蒸镀腔室内，上述材料回收盒罩设于上述点源上方，上述材料回收盒顶部设有蒸镀口，上述基板位于上述蒸镀口上方。
8.进一步的，在本发明的一些实施例中，上述蒸镀口的形状为条形且其两端为半圆形。
9.进一步的，在本发明的一些实施例中，上述材料回收盒为立方体形状。
10.进一步的，在本发明的一些实施例中，上述材料回收盒与上述蒸镀设备可拆卸连接。
11.进一步的，在本发明的一些实施例中，还包括锁紧螺栓，上述材料回收盒设有安装孔，上述锁紧螺栓的一端穿过上述安装孔并与上述蒸镀设备螺纹连接。
12.进一步的，在本发明的一些实施例中，上述安装孔的数量为多个并间隔设置。
13.进一步的，在本发明的一些实施例中，上述材料回收盒与上述点源的数量均为多个，上述材料回收盒与上述点源一一对应。
14.相对于现有技术，本发明实施例至少具有如下优点或有益效果：
15.本发明实施例提供一种蒸镀点源材料回收盒，包括蒸镀设备以及设于上述蒸镀设备的点源，上述蒸镀设备内为蒸镀腔室，上述点源的喷射口位于上述蒸镀腔室内；上述蒸镀设备且位于上述蒸镀腔室内设有基板，上述基板位于上述点源的喷射口上方；还包括底部开口的材料回收盒，上述材料回收盒设于上述蒸镀设备且位于上述蒸镀腔室内，上述材料回收盒罩设于上述点源上方，上述材料回收盒顶部设有蒸镀口，上述基板位于上述蒸镀口上方。
16.其可以遮蔽在点源上，只暴露出蒸镀口位置。
17.一方面，材料回收盒遮蔽在点源上，蒸镀工艺过程中，薄膜材料只通过上方的蒸镀口沉积到基板上，形成薄膜，四周的薄膜材料会沉积到材料回收盒侧壁上，沉积到材料回收盒上的膜材是纯净的，没有被污染的，镀膜工艺结束后，这部分膜材可以回收再利用，如此很大程度降低了薄膜材料成本，特别是对比较昂贵的薄膜材料，成本控制相当可观。
18.另一方面，由于每个点源都配备一个材料回收盒，每个点源都受到了保护，避免了在蒸镀工艺过程中点源和点源之间薄膜材料的交叉污染，从而能沉积性能更好的薄膜。
19.再者，点源加热过程中，辐射和传导出去的热量碰到材料回收盒侧壁后又返回，避免了热量损失，同时节省了二次蒸发的热量消耗。如此该材料回收盒弥补了蒸镀过程中材料利用的诸多不足，有效解决了镀膜生产过程中的各类问题。
附图说明
20.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
21.图1为现有技术中蒸镀设备内部结构的正视图；
22.图2为现有技术中蒸镀设备内部结构的俯视图；
23.图3为本发明实施例提供的蒸镀设备内部结构的正视图；
24.图4为本发明实施例提供的蒸镀设备内部结构的俯视图；
25.图5为本发明实施例提供的材料回收盒的结构示意图一；
26.图6为本发明实施例提供的材料回收盒的结构示意图二。
27.图标：1-基板；2-膜材蒸汽；3-点源；4-蒸镀腔室；5-材料回收盒；6-蒸镀设备；7-蒸镀口；8-安装孔。
具体实施方式
28.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
29.因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通的技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
30.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
31.在本发明实施例的描述中，需要说明的是，若出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
32.此外，若出现“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或者竖直，而是可以稍微的倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对于“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
33.在本发明实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
34.实施例
35.请参照图2-图6，本实施例提供一种蒸镀点源材料回收盒，包括蒸镀设备6以及设于上述蒸镀设备6的点源3，上述蒸镀设备6内为蒸镀腔室4，上述点源3的喷射口位于上述蒸镀腔室4内；上述蒸镀设备6且位于上述蒸镀腔室4内设有基板1，基板1的横截面为正方形，上述基板1位于上述点源3的喷射口上方；
36.还包括底部开口的材料回收盒5，材料回收盒5为立方体形状，上述材料回收盒5设于上述蒸镀设备6且位于上述蒸镀腔室4内，上述材料回收盒5罩设于上述点源3上方，上述材料回收盒5顶部设有蒸镀口7，上述基板1位于上述蒸镀口7上方。材料回收盒5与上述点源3的数量均为多个，上述材料回收盒5与上述点源3一一对应。
37.实际使用时，如图3所示，点源3喷射出来的膜材蒸汽2，一部分膜材蒸汽2穿过蒸镀口7后直接喷射到基板1上，另一部分膜材蒸汽2可以被材料回收盒5内侧壁遮挡并喷射在材
料回收盒5内侧壁上。
38.如此材料回收盒5可以遮蔽在点源3上，只暴露出蒸镀口7的位置。一方面，材料回收盒5遮蔽在点源3上，蒸镀工艺过程中，薄膜材料只通过上方的蒸镀口7沉积到基板1上，形成薄膜，四周的薄膜材料会沉积到材料回收盒5侧壁上，沉积到材料回收盒5上的膜材是纯净的，没有被污染的，镀膜工艺结束后，这部分膜材可以回收再利用，如此很大程度降低了薄膜材料成本，特别是对比较昂贵的薄膜材料，成本控制相当可观。
39.另一方面，由于每个点源3都配备一个材料回收盒5，每个点源3都受到了保护，避免了在蒸镀工艺过程中点源3和点源3之间薄膜材料的交叉污染，从而能沉积性能更好的薄膜。再者，点源3加热过程中，辐射和传导出去的热量碰到材料回收盒5内侧壁后又返回，避免了热量损失，同时节省了二次蒸发的热量消耗。如此该材料回收盒5弥补了蒸镀过程中材料利用的诸多不足，有效解决了镀膜生产过程中的各类问题。
40.如图2-图6所示，在本发明的一些实施例中，上述蒸镀口7的形状为条形且其两端为半圆形。由于点源3的喷射口一般为圆形，如此将蒸镀口7的两端设置为半圆形，便于与圆形的点源3喷射口相互配合，便于膜材蒸汽2从蒸镀口7喷射出来。
41.如图2-图6所示，在本发明的一些实施例中，上述材料回收盒5与上述蒸镀设备6可拆卸连接。还包括锁紧螺栓，上述材料回收盒5设有安装孔8，上述锁紧螺栓的一端穿过上述安装孔8并与上述蒸镀设备6螺纹连接。本实施例的一个材料回收盒5设置四个安装孔8并间隔设置。
42.本发明通过设置材料回收盒5与上述蒸镀设备6可拆卸连接，如此便于将材料回收盒5从蒸镀设备6上拆卸下来，也便于将材料回收盒5固定于蒸镀设备6上，操作方便。
43.以上仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其它的具体形式实现本技术。
44.因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：
1.一种蒸镀点源材料回收盒，其特征在于：包括蒸镀设备以及设于所述蒸镀设备的点源，所述蒸镀设备内为蒸镀腔室，所述点源的喷射口位于所述蒸镀腔室内；所述蒸镀设备且位于所述蒸镀腔室内设有基板，所述基板位于所述点源的喷射口上方；还包括底部开口的材料回收盒，所述材料回收盒设于所述蒸镀设备且位于所述蒸镀腔室内，所述材料回收盒罩设于所述点源上方，所述材料回收盒顶部设有蒸镀口，所述基板位于所述蒸镀口上方。2.根据权利要求1所述的一种蒸镀点源材料回收盒，其特征在于：所述蒸镀口的形状为条形且其两端为半圆形。3.根据权利要求1所述的一种蒸镀点源材料回收盒，其特征在于：所述材料回收盒为立方体形状。4.根据权利要求1所述的一种蒸镀点源材料回收盒，其特征在于：所述材料回收盒与所述蒸镀设备可拆卸连接。5.根据权利要求4所述的一种蒸镀点源材料回收盒，其特征在于：还包括锁紧螺栓，所述材料回收盒设有安装孔，所述锁紧螺栓的一端穿过所述安装孔并与所述蒸镀设备螺纹连接。6.根据权利要求5所述的一种蒸镀点源材料回收盒，其特征在于：所述安装孔的数量为多个并间隔设置。7.根据权利要求1所述的一种蒸镀点源材料回收盒，其特征在于：所述材料回收盒与所述点源的数量均为多个，所述材料回收盒与所述点源一一对应。

技术总结
本发明提出了一种蒸镀点源材料回收盒，涉及蒸镀技术领域。包括蒸镀设备以及点源，蒸镀设备内为蒸镀腔室；蒸镀设备且位于蒸镀腔室内设有基板，基板位于点源的喷射口上方；还包括底部开口的材料回收盒，材料回收盒设于蒸镀设备且位于蒸镀腔室内，材料回收盒罩设于点源上方，材料回收盒顶部设有蒸镀口，基板位于蒸镀口上方。采用本发明，其可以遮蔽在点源上，只暴露出蒸镀口位置。一方面，可以很大程度降低了薄膜材料成本，特别是对比较昂贵的薄膜材料，成本控制相当可观。另一方面，避免了在蒸镀工艺过程中点源和点源之间薄膜材料的交叉污染，从而能沉积性能更好的薄膜。再者，避免了热量损失，同时节省了二次蒸发的热量消耗。同时节省了二次蒸发的热量消耗。同时节省了二次蒸发的热量消耗。


技术研发人员：严明会 李玉峰
受保护的技术使用者：普诺逊真空科技（苏州）有限公司
技术研发日：2023.04.28
技术公布日：2023/7/22