树脂供给机构及包括其的树脂密封装置的制作方法

1.本发明涉及一种树脂供给机构及包括其的树脂密封装置。


背景技术：

2.在利用树脂对工件进行树脂密封的树脂密封装置中，树脂料片例如通过装载机机械手所包括的树脂供给机构而供给至树脂密封模具。
3.在专利文献1中公开了一种树脂供给机构，其包括：料片保持孔，将上表面开口而形成；及遮门，控制料片保持孔内部的树脂材料的排出，在料片保持孔的侧壁面的周围形成有冷却用介质的流路。
4.[现有技术文献]
[0005]
[专利文献]
[0006]
[专利文献1]日本专利特开2002-127186号公报


技术实现要素：

[0007]
[发明所要解决的问题]
[0008]
然而，在专利文献1中记载的树脂供给机构中，在加热后的树脂固化而附着于料片保持孔的内壁的情况下，有时阻碍树脂向树脂密封模具的供给。
[0009]
本发明是鉴于此种情况而成，本发明的目的为提供一种能够抑制动作不良的树脂供给机构及包括其的树脂密封装置。
[0010]
[解决问题的技术手段]
[0011]
本发明的一实施例的树脂供给机构是向利用树脂对工件进行树脂密封的树脂密封模具供给树脂料片的树脂供给机构，且包括：块体，形成有对树脂料片进行保持的筒状的料片保持孔；及推杆，在料片保持孔的内周自树脂料片的保持位置的上方滑动；块体构成为能够通过介质的流动来冷却。
[0012]
[发明的效果]
[0013]
根据本发明，可提供一种能够抑制动作不良的树脂供给机构及包括其的树脂密封装置。
附图说明
[0014]
图1是概略地表示第一实施方式的树脂密封装置的结构的平面图。
[0015]
图2是概略地表示第一实施方式的装载机的结构的剖面图。
[0016]
图3是沿着图2所示的树脂供给机构的iii-iii线的剖面图。
[0017]
图4是概略地表示冷却用介质的流动的图。
[0018]
图5是概略地表示第二实施方式的树脂供给机构的结构的剖面图。
[0019]
图6是概略地表示第三实施方式的树脂供给机构的结构的剖面图。
[0020]
图7是概略地表示第四实施方式的树脂供给机构的结构的剖面图。
[0021]
图8是概略地表示第五实施方式的树脂供给机构的结构的剖面图。
[0022]
图9是概略地表示第六实施方式的树脂供给机构的结构的剖面图。
[0023]
[符号的说明]
[0024]
1：树脂密封装置
[0025]
10：内模块
[0026]
13：索引部
[0027]
15：供给料盒
[0028]
17：料片供给部
[0029]
19：工件加热部
[0030]
20～50：压制模块
[0031]
21～51：树脂密封模具(模制模具)
[0032]
90：外模块
[0033]
91：去废料机托盘
[0034]
93：去废料机机械手
[0035]
95：收纳料盒
[0036]
100：装载机
[0037]
120：装载机机械手
[0038]
121、122：工件保持部
[0039]
123：树脂供给机构
[0040]
125：料片保持孔
[0041]
127：遮门
[0042]
130：块体
[0043]
131、132：侧壁部
[0044]
133、134、233、234、333、334、433、434、533、534、633、634：管路
[0045]
133in、134in、333in、334in、433in、633in、634in：入口
[0046]
133out、134out、333out、334out、433out、633out、634out：出口
[0047]
135：推杆
[0048]
139：热交换部
[0049]
139a、139b：路径
[0050]
200：卸载机
[0051]
223、323、423、523、623：树脂供给机构
[0052]
300：引导部
[0053]
p：树脂料片
[0054]
w：工件
具体实施方式
[0055]
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。各实施方式的附图是例示，各部的尺寸或形状是示意性的，不应将本技术发明的技术范围限定于所述实施方式来解释。
[0056]
＜第一实施方式＞
[0057]
参照图1～图3对本发明的实施方式的树脂密封装置1的结构进行说明。图1是概略地表示第一实施方式的树脂密封装置的结构的平面图。图2是概略地表示第一实施方式的装载机的结构的剖面图。图3是沿着图2所示的树脂供给机构的iii-iii线的剖面图。
[0058]
在各个附图中，为了明确各个附图彼此的关系并有助于理解各构件的位置关系，有时为了方便而标注包含x轴、y轴及z轴的正交坐标系。将包含x轴及y轴的面设为“xy面”，将z轴的箭头所朝的方向设为上方向，将与z轴的箭头朝向相反的方向设为下方向。
[0059]
树脂密封装置1用于利用树脂对工件w进行树脂密封(模制成形)。如图1所示，树脂密封装置1包括：内模块10，供给树脂密封前的工件w；压制模块20、压制模块30、压制模块40、压制模块50，利用树脂对工件w进行树脂密封；以及外模块90，回收树脂密封后的工件w。另外，树脂密封装置1包括遍及内模块10、压制模块20～压制模块50及外模块90设置的搬送机构。
[0060]
在图1所示的例子中构成为，内模块10、压制模块20～压制模块50及外模块90分别在x轴方向上排列配置，装载机100及卸载机200能够沿着遍及所述各模块延伸的引导部300移动。
[0061]
树脂密封装置1利用树脂对工件w进行树脂密封。树脂密封装置1例如是通过注入至闭合的树脂密封模具(模制模具)21～树脂密封模具(模制模具)51的型腔中的树脂的填充压力对工件w进行树脂密封的转移成形机。此外，在以下所示的例子中，作为树脂密封装置的一例，说明包括对工件w进行树脂密封的压制模块20～压制模块50的装置整体，但本发明的树脂密封装置未必限于包括压制模块。本发明的树脂密封装置只要是具有本实施方式的树脂供给机构的装置(例如，装载机、装载机机械手等)且用于工件的树脂密封即可。
[0062]
树脂密封装置1例如是对半导体元件进行树脂密封的半导体树脂密封装置。在此情况下，工件w例如包括半导体元件及半导体元件的支撑体。工件w并无限定，例如可为装设有半导体元件的引线框架、装设有半导体元件的中介层(interposer)基板、或者暂时贴合有半导体元件的带有粘着片的载体板(carrier plate)等。另外，树脂密封装置1并不限定于用于半导体模制装置中，也可用于对例如微机电系统(micro-electro-mechanical system，mems)芯片、电子器件或这些的组合进行树脂密封的树脂密封装置中。
[0063]
以下，对图1所示的各模块的结构进行说明。
[0064]
内模块10包括供给料盒(magazine)15、索引(index)部13、料片供给部17以及工件加热部19。多个树脂密封前的工件w以在z轴方向上重叠的方式收纳于供给料盒15中。在向索引部13供给工件w的工件供给部排列有多个供给料盒15。索引部13对工件w的朝向进行定位。例如，索引部13是能够旋转地设置的台，使自供给料盒15接收的两个工件w以彼此的相同边相向的方式排列。索引部13将排列好的两个工件w供给至工件加热部19。料片供给部17将排列好的多个树脂料片p供给至装载机机械手120。树脂料片p例如是将树脂的粉末或颗粒等呈柱体状压固而成，或者是将树脂呈柱体状成形而成。工件加热部19在将工件w搬入树脂密封模具21～树脂密封模具51前进行预备加热(以下，设为“预热”)，来减小工件w与树脂密封模具21～树脂密封模具51的温度差。工件加热部19构成为能够自索引部13直接接收工件w。
[0065]
压制模块20、压制模块30、压制模块40、压制模块50分别包括树脂密封模具21、树脂密封模具31、树脂密封模具41、树脂密封模具51。压制模块20～压制模块50在x轴方向上
排列，树脂密封模具21～树脂密封模具51也在x轴方向上排列。树脂密封模具21～树脂密封模具51分别是例如包含下模具及上模具的能够开闭的一对模具。压制模块20～压制模块50分别能够将工件w保持在形成于树脂密封模具21～树脂密封模具51各自的内部(下模具与上模具之间)的型腔中。而且，压制模块20～压制模块50分别通过将树脂注入至所述型腔中而对工件w进行树脂密封。注入至型腔中的树脂是使树脂料片p在树脂密封模具21～树脂密封模具51各自的内部液化而成。在本实施方式中，树脂密封装置1例如包括四个压制模块，但压制模块的数量能够适当变更。
[0066]
外模块90包括去废料机托盘(degate pallet)91、去废料机机械手(degate hand)93及收纳料盒95。去废料机托盘91自卸载机200接收连接了无用树脂的状态的工件w，并搬送至去废料机机械手93的下方。去废料机机械手93自所搬送的工件w中分离无用树脂。分离出的无用树脂被回收至废料箱中。分离出的工件w被收纳于收纳料盒95中。多个模制成形完毕的工件w在z轴方向上堆积收纳于收纳料盒95中。在回收工件w的工件收纳部排列有多个收纳料盒95。自压制模块20～压制模块50观察，外模块90设置于与内模块10相反的一侧。但是，各模块的配置并不限定于所述，内模块10及外模块90也可设置于自压制模块20～压制模块50观察时相同的一侧。
[0067]
搬送机构具有引导部300、装载机100及卸载机200。引导部300以横穿内模块10、压制模块20～压制模块50及外模块90的方式在x轴方向上延伸。装载机100及卸载机200各自的基座部分构成为能够沿着引导部300在x轴方向上移动。装载机100的装载机机械手120构成为能够相对于基座部分在y轴方向上移动。即，装载机机械手120构成为能够进入树脂密封模具21～树脂密封模具51的内部。卸载机200的卸载机机械手也同样地构成为能够进入树脂密封模具21～树脂密封模具51的内部。
[0068]
搬送机构对工件w及树脂料片p进行搬送。具体而言，装载机100将工件w及树脂料片p自内模块10搬送至压制模块20～压制模块50，装载机100的装载机机械手120将工件w及树脂料片p搬入树脂密封模具21～树脂密封模具51。卸载机200的卸载机机械手自树脂密封模具21～树脂密封模具51搬出树脂密封完毕的工件w，卸载机200将树脂密封完毕的工件w自压制模块20～压制模块50搬送至外模块90。
[0069]
如图2所示，装载机机械手120包括：工件保持部121、工件保持部122，对工件w进行保持；及树脂供给机构123，将树脂料片p供给至树脂密封模具21～树脂密封模具51。
[0070]
工件保持部121、工件保持部122在x轴方向上排列设置。工件保持部121、工件保持部122是为了将由工件加热部19加热后的工件w搬送至树脂密封模具21～树脂密封模具51的各个而进行保持。装载机机械手120将被工件保持部121、工件保持部122保持的两个工件w一体地搬入树脂密封模具21～树脂密封模具51的内部，并交付给例如下模具的上表面。
[0071]
树脂供给机构123设置于工件保持部121与工件保持部122之间。树脂供给机构123具有：块体130，形成有对树脂料片p进行保持的料片保持孔125；遮门127，构成为能够对料片保持孔125的下方进行开闭；及推杆135，在料片保持孔125的内周自树脂料片p的保持位置的上方滑动。此推杆135构成为在上方与一个块体一体地连结，能够通过利用未图示的驱动源驱动此块体来升降。树脂供给机构123将树脂料片p搬入树脂密封模具21～树脂密封模具51的内部，并交付给下模具的罐(未图示)。
[0072]
料片保持孔125是为了将树脂料片p搬送至树脂密封模具21～树脂密封模具51而
进行保持。具体而言，料片保持孔125收容自料片供给部17接收的树脂料片p。料片保持孔125在下侧具有开口端，由推杆135堵塞上侧。料片保持孔125的保持树脂料片p的位置的剖面形状例如可与树脂料片p的剖面形状(外周形状)大致一致。为了顺利地收容树脂料片p并加以供给，料片保持孔125的形状理想为圆孔。此外，由于料片保持孔125的内周的形状只要可稳定地保持树脂料片p的外形即可，因此也可并非支撑树脂料片p的整周的结构。在此情况下，也可设为突起成在圆周方向上以一定间隔沿着树脂料片p的外周的结构。在图示的例子中，多个料片保持孔125在y轴方向上排列成一列。但是，多个料片保持孔125的排列方式并不限定于此，也可以形成多个列的方式排列。
[0073]
块体130构成为能够通过介质的流动来冷却。具体而言，在块体130的内部形成有供冷却用介质流动的多个管路(管路133及管路134)。管路133形成于块体130中位于相对于多个料片保持孔125而言的工件保持部121侧(一侧)的侧壁部131。管路134形成于块体130中位于相对于多个料片保持孔125而言的工件保持部122侧(另一侧)的侧壁部132。管路134的一部分在x轴方向上隔着多个料片保持孔125而与管路133的一部分相向。即，管路133与管路134相当于形成为彼此的至少一部分隔着多个料片保持孔125而相向的一对管路。管路133相当于第一管路，管路134相当于第二管路。在管路133及管路134的内部流动的冷却用介质例如是空气，但并不限定于此。冷却用介质也可为空气以外的气体，也可为液体。
[0074]
此外，供冷却块体130的介质流动的管路可为一根。此种管路可仅形成于侧壁部131及侧壁部132的任一个内部，也可形成为介质通过两者的内部。在多个料片保持孔125以形成多个列的方式排列的情况下，也可在各个列之间(在x轴方向上相邻的料片保持孔125彼此之间)形成管路。另外，也可在y轴方向上相邻的料片保持孔125彼此之间形成管路。
[0075]
在管路133的内部流动的介质自入口133in朝向出口133out流动。在管路134的内部流动的介质自入口134in朝向出口134out流动。如图3所示，管路133的入口133in相对于多个料片保持孔125而形成于y轴的箭头朝向的方向(以下，设为“y轴正方向”)的一侧。管路133的出口133out相对于多个料片保持孔125而形成于y轴的箭头朝向的方向的相反方向(以下，设为“y轴负方向”)一侧。与管路133相反，管路134的入口134in相对于多个料片保持孔125而形成于y轴负方向的一侧，管路134的出口134out相对于多个料片保持孔125而形成于y轴正方向的一侧。例如，管路133的入口133in与管路134的出口134out在x轴方向上相向，管路133的出口133out与管路134的入口134in在x轴方向上相向。
[0076]
冷却用介质向管路133的供给方向与冷却用介质向管路134的供给方向在y轴方向上是彼此相反的方向。即，冷却用介质自入口133in流入管路133的方向是y轴负方向，相对于此，冷却用介质自入口134in流入管路134的方向是y轴正方向。同样地，来自管路133的冷却用介质的排出方向与来自管路134的冷却用介质的排出方向在y轴方向上是彼此相反的方向。即，冷却用介质自管路133向出口133out流出的方向是y轴负方向，相对于此，冷却用介质自管路134向出口134out流出的方向是y轴正方向。
[0077]
管路133具有第一去路、第一回路及第二去路，且成为它们在上下方向(z轴方向)上折返两次的结构。第一去路与入口133in连接，在y轴方向上延伸。第一回路与第一去路折返连接，在y轴方向上延伸。第二去路与第一回路折返连接，在y轴方向上延伸，并与出口133out连接。第一去路、第一回路及第二去路分别配置成自x轴方向观察时与多个料片保持孔125的各个交叉。第一回路位于第一去路的下方，第二回路位于第一回路的下方。
[0078]
与管路133同样地，管路134具有：第三去路，与入口134in连接，在y轴方向上延伸；第二回路，与第三去路折返连接；及第四去路，与第二回路折返连接，在y轴方向上延伸，并与出口134out连接。管路134的第三去路设置于隔着料片保持孔125与管路133的第一去路对应的位置，管路134的第二回路设置于隔着料片保持孔125与管路133的第一回路对应的位置，管路134的第四去路设置于隔着料片保持孔125与管路133的第二去路对应的位置。管路133、管路134分别具有在y轴方向上延伸的去路及回路，由此可延长块体130内的距离而有效率地冷却。
[0079]
在管路133与管路134的彼此于x轴方向上相向的部分中，介质在彼此相反的方向上流动。即，管路134的第三去路中的介质的流动方向与管路133的第一去路中的介质的流动方向是相反的方向。第二回路与第一回路中的介质的流动方向也是相反的方向，第四去路与第二去路中的介质的流动方向也是相反的方向。如上所述，通过隔着料片保持孔125在管路133与管路134中反向流动，可防止块体130在y轴方向上不均匀地冷却。
[0080]
此外，管路133、管路134各自的去路及回路的结构并不限定于所述结构，例如，第二回路也可位于第三去路的上方，第四去路也可位于第二回路的上方。即，管路134的第三去路也可与管路133的第二去路在x轴方向上相向，管路134的第四去路也可与管路133的第一去路在x轴方向上相向。另外，第一回路也可位于第一去路的上方，第二去路也可位于第一回路的上方。另外，管路133、管路134分别也可还具有去路及回路。
[0081]
如图4所示，管路133、管路134分别自一个路径分支。具体而言，管路133的入口133in及管路134的入口134in分别连接于与热交换部139连接的一个路径139a。另外，管路133的出口133out及管路134的出口134out分别连接于与热交换部139连接的一个路径139b。热交换部139自路径139b取入冷却块体130而升温的制冷剂，进行冷却而供给至路径139a。热交换部139包括使制冷剂在路径139a或路径139b中循环的泵。即，冷却块体130的制冷剂不被排出地进行循环。就防止树脂片等尘埃散乱的观点而言，热交换部139理想为构成为不在树脂密封模具21～树脂密封模具51的内部进行排气。
[0082]
遮门127例如构成为能够在y轴方向上移动，在将树脂料片p收容于料片保持孔125的时间点或自料片保持孔125放出树脂料片p的时间点开放料片保持孔125。另外，遮门127在将树脂料片p保持于料片保持孔125中的期间关闭料片保持孔125，从而防止树脂料片p的落下。
[0083]
推杆135构成为能够沿着料片保持孔125的内周面在z轴方向上上下移动。推杆135的外周面以能够滑动的方式与料片保持孔125的内周面相接。推杆135具有挤出树脂料片p的功能、及将附着于料片保持孔125的内周面的树脂片(树脂粉)去除的功能。例如，在仅通过树脂料片p软化而附着于料片保持孔125的内周面来开放遮门127时树脂料片p难以落下的情况下，推杆135将树脂料片p挤出，促使向树脂密封模具21～树脂密封模具51的各个供给树脂料片p。另外，在树脂料片p的一部分附着于料片保持孔125的内周面的情况下，推杆135挤出阻碍树脂供给机构123的动作的树脂附着物并加以去除。
[0084]
此种树脂附着物的去除可在树脂密封模具21～树脂密封模具51各自的内部进行，也可在树脂密封模具21～树脂密封模具51各自的外部进行。例如，在树脂附着物劣化，供给至树脂密封模具21～树脂密封模具51后成为不良品的产生要因的情况下，树脂附着物(例如硬化物或碳化物)的去除是在树脂密封模具21～树脂密封模具51各自的外部进行。在树
脂附着物尚未劣化的情况下，树脂附着物(例如微粉)的去除是在树脂密封模具21～树脂密封模具51各自的内部进行，树脂附着物也可用作树脂密封的材料。
[0085]
推杆135除了具有在料片保持孔125的内周滑动的滑动部分之外，还可具有自滑动部分向下方突起的突起部分。在此情况下，挤出树脂料片p的功能是突起部分承担，将附着于料片保持孔125的内周面的树脂片去除的功能是滑动部分承担。如上所述，根据推杆135具有突起部分的结构，可减低推杆135与树脂料片p的接触面积，并抑制经由推杆135的树脂料片p的加热。
[0086]
如上所述，树脂供给机构123包括：块体130，形成有对树脂料片p进行保持的料片保持孔125；及推杆135，在料片保持孔125的内周自树脂料片p的保持位置的上方滑动，块体130构成为能够通过介质的流动来冷却。
[0087]
据此，可通过块体130的冷却来抑制树脂附着于料片保持孔125，即便树脂附着，也可通过推杆135来去除。因此，可抑制树脂供给机构123的动作不良。
[0088]
另外，冷却块体130的介质是空气。
[0089]
据此，与使用其他介质的结构相比，介质的补充或块体130的整备中的作业性提高。
[0090]
另外，在块体130的内部形成有供介质流动的多个管路133、管路134。
[0091]
据此，可自内部冷却块体130，因此冷却效率提高。另外，与自外部冷却块体130的结构相比，能够对更靠近料片保持孔125的区域进行冷却，因此可更有效率地抑制树脂附着于料片保持孔125。
[0092]
另外，在块体130中形成有彼此的至少一部分隔着多个料片保持孔125而相向的一对管路133、134，管路133形成于多个料片保持孔125的一侧，管路134形成于多个料片保持孔125的另一侧。
[0093]
据此，块体130中与多个料片保持孔125的各个靠近的区域自其中一侧及另一侧此两侧被冷却，因此可更有效率地抑制树脂附着于料片保持孔125。另外，可以块体130中与多个料片保持孔125的各个靠近的区域的温度差变小的方式进行冷却。
[0094]
另外，介质向管路133的供给方向与介质向管路134的供给方向是彼此相反的方向。
[0095]
据此，可以块体130中与多个料片保持孔125的各个靠近的区域的温度差进一步变小的方式进行冷却。
[0096]
另外，管路133、管路134分别自一个路径分支。
[0097]
据此，供给至管路133的介质的温度与供给至管路134的介质的温度大致相同，可以块体130中与多个料片保持孔125的各个靠近的区域的温度差进一步变小的方式进行冷却。
[0098]
另外，树脂供给机构123还包括热交换部139，所述热交换部139自冷却块体130的介质吸取热，冷却块体130的介质进行循环。
[0099]
据此，可防止树脂片等尘埃因排气而在树脂密封模具21～树脂密封模具51的内部散乱。
[0100]
此外，在第一实施方式中，列举转移成形机为例进行了说明，但本发明的实施方式的树脂密封装置1只要是使用树脂供给机构123来供给树脂料片p的装置，则并无限定。例
如，树脂密封装置1也可为与树脂密封模具的合模联动地对供给至打开状态的树脂密封模具的树脂进行加压的压缩成形机。
[0101]
以下，对本发明的其他实施方式的树脂密封装置1的结构进行说明。此外，在下述实施方式中，关于与所述第一实施方式共通的事项，省略叙述，仅对不同的方面进行说明。特别是，不依次提及由相同的结构带来的相同的作用效果。
[0102]
＜第二实施方式＞
[0103]
参照图5对第二实施方式的树脂供给机构223的结构进行说明。图5是概略地表示第二实施方式的树脂供给机构的结构的剖面图。
[0104]
在块体130中形成有相当于第一管路的管路233与相当于第二管路的管路234。管路233、管路234分别形成为在块体130的上端部与下端部之间多次往返。管路233、管路234分别具有在z轴方向上延伸并在y轴方向上排列的多个直线状部分、及将邻接的直线状部分彼此连接的多个折返部分。管路233与管路234彼此的大致整体在x轴方向上相向。
[0105]
据此，在块体130中多个料片保持孔125各自的附近，可减低z轴方向上的温度不均。
[0106]
＜第三实施方式＞
[0107]
参照图6对第三实施方式的树脂供给机构323的结构进行说明。图6是概略地表示第三实施方式的树脂供给机构的结构的剖面图。
[0108]
在块体130中形成有相当于第一管路的管路333与相当于第二管路的管路334。管路333、管路334分别分支成在y轴方向上延伸并在z轴方向上排列的三个通路。管路333、管路334分别相对于多个料片保持孔125在入口333in、入口334in侧分支，相对于多个料片保持孔125在出口333out、出口334out侧合流。管路333与管路334彼此的大致整体在x轴方向上相向。即，管路333的三个通路与管路334的三个通路隔着多个料片保持孔125的各个而在x轴方向上相向。
[0109]
据此，在介质的温度上升而失去充分的冷却能力前，可使介质自入口333in、入口334in的各个流动至出口333out、出口334out的各个。
[0110]
＜第四实施方式＞
[0111]
参照图7对第四实施方式的树脂供给机构423的结构进行说明。图7是概略地表示第四实施方式的树脂供给机构的结构的剖面图。
[0112]
在块体130中形成有相当于第一管路的管路433与相当于第二管路的管路434。管路433、管路434各自的z轴方向的宽度在与多个料片保持孔125在x轴方向上相向的部分中扩大。具体而言，管路433中与多个料片保持孔125在x轴方向上相向的部分的z轴方向的宽度大于入口433in及出口433out处的管路433的z轴方向的宽度。管路434也同样如此。管路433与管路434彼此的大致整体在x轴方向上相向。
[0113]
据此，冷却用介质与块体130接触的面积增大，冷却效率提高。此外，一对管路中，与在y轴方向上相邻的料片保持孔125之间的区域在x轴方向上相向的部分的宽度也可小于与多个料片保持孔125的各个在x轴方向上相向的部分的宽度。
[0114]
＜第五实施方式＞
[0115]
参照图8对第五实施方式的树脂供给机构523的结构进行说明。图8是概略地表示第五实施方式的树脂供给机构的结构的剖面图。
[0116]
在块体130中形成有相当于第一管路的管路533与相当于第二管路的管路534。管路533、管路534分别在块体130的下端部形成为直线状。管路533与管路534隔着多个料片保持孔125各自中的树脂料片p的保持位置而在x轴方向上彼此相向。管路533与管路534彼此的大致整体在x轴方向上相向。
[0117]
据此，通过有效率地冷却块体130的下端部，可抑制来自树脂密封模具21～树脂密封模具51(特别是下模具)的受热并抑制块体130的加热，从而抑制树脂料片p的加热。
[0118]
＜第六实施方式＞
[0119]
参照图9对第六实施方式的树脂供给机构623的结构进行说明。图9是概略地表示第六实施方式的树脂供给机构的结构的剖面图。
[0120]
在块体130中形成有相当于第一管路的管路633与相当于第二管路的管路634。管路633、管路634分别形成为u字状。管路633的入口633in及出口633out此两者均相对于多个料片保持孔125形成于y轴正方向的一侧，并在z轴方向上排列。出口633out位于例如入口633in的上方，但入口633in与出口633out的位置关系也可相反。管路633具有与入口633in连接并在y轴方向上延伸的去路、与出口633out连接并在y轴方向上延伸的回路、及相对于多个料片保持孔125在y轴负方向的一侧将去路与回路连接的折返部分。管路634的入口634in及出口634out此两者均相对于多个料片保持孔125形成于y轴负方向的一侧，并在z轴方向上排列。与管路633同样地，管路634具有去路、回路及折返部分。管路633、管路634各自的去路隔着多个料片保持孔125在x轴方向上彼此相向。管路633、管路634各自的回路也同样如此。
[0121]
如上所述，管路633、管路634分别具有在y轴方向上延伸的去路及回路，也可为出口与入口形成于同一侧的结构，即折返为奇数次的结构。
[0122]
以下，附注本发明的实施方式的一部分或全部，并说明其效果。此外，本发明并不限定于以下的附注。
[0123]
根据本发明的一实施例，可提供一种树脂供给机构，其向利用树脂对工件进行树脂密封的树脂密封模具供给树脂料片，所述树脂供给机构包括：块体，形成有对树脂料片进行保持的筒状的料片保持孔；及推杆，在料片保持孔的内周自树脂料片的保持位置的上方滑动，块体构成为能够通过介质的流动来冷却。
[0124]
据此，可通过块体的冷却来抑制树脂附着于料片保持孔，即便树脂附着，也可通过推杆来去除。因此，可抑制树脂供给机构123的动作不良。
[0125]
作为一实施例，冷却块体的介质是空气。
[0126]
据此，与使用其他介质的结构相比，介质的补充或块体130的整备中的作业性提高。
[0127]
作为一实施例，在块体的内部形成有供介质流动的多个管路。
[0128]
据此，可自内部冷却块体，因此冷却效率提高。另外，与自外部冷却块体的结构相比，能够对更靠近料片保持孔的区域进行冷却，因此可更有效率地抑制树脂附着于料片保持孔。
[0129]
作为一实施例，在块体中形成有多个料片保持孔，多个管路具有彼此的至少一部分隔着多个料片保持孔而相向的一对管路，一对管路中第一管路形成于多个料片保持孔各自的一侧，一对管路中第二管路形成于多个料片保持孔各自的另一侧。
[0130]
据此，块体中与多个料片保持孔的各个靠近的区域自其中一侧及另一侧此两侧被冷却，因此可更有效率地抑制树脂附着于料片保持孔。另外，可以块体中与多个料片保持孔的各个靠近的区域的温度差变小的方式进行冷却。
[0131]
作为一实施例，介质向第一管路的供给方向与介质向第二管路的供给方向是彼此相反的方向。
[0132]
据此，可以块体中与多个料片保持孔的各个靠近的区域的温度差进一步变小的方式进行冷却。
[0133]
作为一实施例，一对管路分别自一个路径分支。
[0134]
据此，供给至第一管路的介质的温度与供给至第二管路的介质的温度大致相同，可以块体中与多个料片保持孔的各个靠近的区域的温度差进一步变小的方式进行冷却。
[0135]
作为一实施例，树脂供给机构还包括热交换部，所述热交换部自冷却块体的介质吸取热，冷却块体的介质进行循环。
[0136]
据此，可防止树脂片等尘埃因排气而在树脂密封模具的内部散乱。
[0137]
作为一实施例，可提供一种树脂密封装置，其用于利用树脂对工件进行树脂密封，所述树脂密封装置包括：所述任一树脂供给机构；及工件保持部，为了将预热后的工件搬送至树脂密封模具而进行保持，树脂供给机构与工件保持部构成为能够一体地进入树脂密封模具的内部。
[0138]
据此，可提供一种能够抑制因树脂供给机构的清扫或整备所引起的树脂密封品的生产能力的降低的树脂密封装置。此外，此处所述的树脂密封装置只要是具有本发明的一实施例的树脂供给机构的装置且用于工件的树脂密封的装置即可。例如，树脂密封装置也可为将工件与树脂料片自内模块搬送至压制模块的装载机。另外，树脂密封装置也可为作为装载机的一部分的、构成为能够进入树脂密封模具的内部，将工件与树脂料片搬入树脂密封模具的装载机机械手。树脂密封装置也可为包括内模块、压制模块及装载机的装置。
[0139]
如以上所说明那样，根据本发明的一实施例，可提供一种能够抑制动作不良的树脂供给机构及包括其的树脂密封装置。
[0140]
以上所说明的实施方式是用于容易理解本发明，并非用于限定性地解释本发明。实施方式所包括的各要素及其配置、材料、条件、形状及尺寸等并不限定于例示的内容，可适当变更。另外，能够将不同的实施方式中示出的结构彼此部分地置换或组合。

技术特征：
1.一种树脂供给机构，向利用树脂对工件进行树脂密封的树脂密封模具供给树脂料片，所述树脂供给机构包括：块体，形成有对树脂料片进行保持的筒状的料片保持孔；及推杆，在所述料片保持孔的内周自树脂料片的保持位置的上方滑动，所述块体构成为能够通过介质的流动来冷却。2.根据权利要求1所述的树脂供给机构，其中，冷却所述块体的介质是空气。3.根据权利要求1或2所述的树脂供给机构，其中，在所述块体的内部形成有供介质流动的多个管路。4.根据权利要求3所述的树脂供给机构，其中，在所述块体中形成有多个所述料片保持孔，所述多个管路具有一对管路，所述一对管路彼此的至少一部分隔着所述多个料片保持孔而相向，所述一对管路中，第一管路形成于所述多个料片保持孔各自的一侧，所述一对管路中，第二管路形成于所述多个料片保持孔各自的另一侧。5.根据权利要求4所述的树脂供给机构，其中，介质向所述第一管路的供给方向与介质向所述第二管路的供给方向是彼此相反的方向。6.根据权利要求4或5所述的树脂供给机构，其中，所述一对管路分别自一个路径分支。7.根据权利要求1或2所述的树脂供给机构，还包括热交换部，所述热交换部自冷却所述块体的介质吸取热，冷却所述块体的介质进行循环。8.一种树脂密封装置，用于利用树脂对工件进行树脂密封，所述树脂密封装置包括：如权利要求1至7中任一项所述的树脂供给机构；及工件保持部，用于将预热后的工件搬送至树脂密封模具而进行保持，所述树脂供给机构与所述工件保持部构成为能够一体地进入树脂密封模具的内部。

技术总结
本发明提供一种能够抑制动作不良的树脂供给机构及包括其的树脂密封装置。一种树脂供给机构(123)，向利用树脂对工件进行树脂密封的树脂密封模具供给树脂料片，且包括：块体(130)，形成有对树脂料片(P)进行保持的筒状的料片保持孔(125)；及推杆(135)，在料片保持孔(125)的内周自树脂料片(P)的保持位置的上方滑动；块体(130)构成为能够通过介质的流动来冷却。冷却。冷却。


技术研发人员：高山凌 柳泽高行 小口达司 佐藤洋平
受保护的技术使用者：山田尖端科技株式会社
技术研发日：2022.01.07
技术公布日：2023/7/22