一种晶圆承载移动座的升降台的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆探针台领域，具体涉及一种晶圆检测探针台中承载移动座的升降台。


背景技术：

2.晶圆探针测试也被称为中间测试，它是集成电路生产中的重要一环，晶圆测试的目的就是确保在芯片封装前，尽可能把坏的芯片筛选出来，以节约封装费用，保证最终产品的良品率，晶圆探针测试的主要设备有探针测试台、探针测试机和探针测试卡三部分，它们全部由测试系统的应用测试程序来执行测试，探针卡是测试系统和晶圆间的连接，由电路板和探针组成，其中电路板部分与探针测试机连接，而承载移动座属于探针台的一部分，它通常由xy轴水平移动机构、z轴升降机构和回转机构组成，xy轴向的水平移动机构安装在固定的安装座上，并通过z轴升降机构与回转机构连接，而回转机构上多安装有用于固定晶圆的吸附卡盘或夹持机构。
3.现有的探针测试台中承载移动座的升降机构多为电动升降台，主要工作原理是通过丝杆使两个斜面抵持的楔形块中的一个楔形块发生水平移动，以迫使另一个楔形块在限位件的作用下进行升降，具体结构如图7所示，且由上述可知，电动升降台在运行时，两个楔形块的斜面紧密贴合，当两个楔形块发生相对运动时，两者间存在摩擦损耗，为了减小这种摩擦损耗，现有的电动升降台在两楔形块的接触斜面上均设置了可更换的斜向滑块，以防止两楔形块直接接触，延长了升降台的使用寿命，但现有斜向滑块与楔形块多通过定位销和紧固件连接，在更换斜向滑块时，需先将升降机构顶部的回转机构和晶圆承载盘拆除，然后才能对升降机构内的斜向滑块进行更换，使得整体更换步骤繁琐，耗时较长。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种可快速更换内部磨损件的晶圆承载座升降台。
5.本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是：一种晶圆承载移动座的升降台，包括安装座，所述安装座通过驱动机构连接有第一楔形块，所述第一楔形块的上方设置有第二楔形块，所述第一楔形块的斜面与第二楔形块的斜面相对设置，所述第二楔形块的顶部设置有顶座，所述安装座的顶部设置有用于限制第一楔形块水平移动的第一限位件和用于限制第二楔形块竖向移动的第二限位件，所述顶座的内部设置有支撑件，所述第一楔形块和第二楔形块相对侧的斜面均设置有锁紧机构，所述第一楔形块通过锁紧机构连接有第一滑块，所述第二楔形块通过锁紧机构连接有第二滑块。
6.所述锁紧机构包括安装于第一楔形块和第二楔形块内部的蜗杆，所述蜗杆通过蜗轮连接有螺杆，所述螺杆的两端分别设置有限制件和涨锥，所述第一滑块和第二滑块的相对侧均开设有与涨锥相适配的锥孔，所述第一滑块和第二滑块的内部均开设有用于连通锥孔的连通槽。
7.作为本实用新型所述的一种晶圆承载移动座的升降台优选方案，其中：所述安装
座顶部与支撑件底端对应的位置开设有定位孔。
8.作为本实用新型所述的一种晶圆承载移动座的升降台优选方案，其中：所述蜗轮的顶部和底部均设置有环形件，所述第一楔形块和第二楔形块的内部均开设有轮槽，所述蜗轮设置于轮槽的内部，且轮槽与环形件相对应一侧的内壁均开设有环形嵌槽。
9.作为本实用新型所述的一种晶圆承载移动座的升降台优选方案，其中：所述限制件为棱柱体，所述第一楔形块和第二楔形块的内部均开设有与棱柱体相适配的限制槽。
10.本实用新型与现有技术相比，具有以下优点和效果：
11.该晶圆承载移动座的升降台在更换磨损滑块时，需先拧动支撑件，使支撑件的底端插入定位孔内，实现对顶座的支撑，然后通过拧动蜗杆带动蜗轮转动，迫使与蜗轮螺纹连接的螺杆在限制件的作用下沿自身轴线移动，使涨锥与锥孔分离，此时第一滑块或第二滑块恢复可自由移动状态，接着推拉第一滑块或第二滑块，使螺杆从连通槽中滑过，直至第一滑块或第二滑块与锁紧机构分离，最后使用锁紧机构将新滑块分别固定在第一楔形块或斜楔形块的斜面上，便实现了升降台内部损耗件的快速更换。
附图说明
12.图1是本实用新型实施例的结构示意图。
13.图2是本实用新型实施例的侧剖视图。
14.图3是本实用新型实施例第一楔形块的结构示意图。
15.图4是本实用新型实施例第一楔形块的侧剖视图。
16.图5是本实用新型实施例爹楔形块的结构示意图。
17.图6是本实用新型实施例锁紧机构的结构示意图。
18.图7是现有电动升降台的结构示意图。
19.其中：1、安装座；2、驱动机构；3、第一楔形块；4、限制槽；5、顶座；6、第二楔形块；7、第一滑块；8、第二滑块；9、锁紧机构；901、蜗杆；902、蜗轮；903、螺杆；904、涨锥；10、支撑件；11、定位孔；12、锥孔；13、连通槽；14、轮槽。
具体实施方式
20.下面结合附图并通过实施例对本实用新型作进一步的详细说明，以下实施例是对本实用新型的解释而本实用新型并不局限于以下实施例。
21.参见图1-图7，本实施例提供了一种晶圆承载移动座的升降台，包括安装座1，安装座将通过紧固件探针台箱体的底座连接，安装座1通过驱动机构2连接有第一楔形块3。
22.其中，驱动机构2包括伺服电机和与其连接的丝杆，伺服电机安装在安装座1的顶部，丝杆则通过联轴器与伺服电机的输出端连接，第一楔形块3与丝杆断面对应的侧开设有与丝杆相适配的丝孔，丝杆与丝孔螺纹连接。
23.第一楔形块3的上方设置有第二楔形块6，第一楔形块3的斜面与第二楔形块6的斜面相对设置，第二楔形块6的顶部设置有顶座5，顶座5由一个顶板和两个侧板组成，两个侧板通过连接螺钉分别安装在顶板的两侧，顶板的顶部通过紧固件安装有回转台，回转台并未在图中画出，顶板的顶部开设有多个装配孔。
24.安装座1的顶部设置有用于限制第一楔形块3水平移动的第一限位件和用于限制
第二楔形块6竖向移动的第二限位件，第一限位件和第二限位件均为现有技术，具体可参考煜瀚传动元件(上海)有限公司生产的型号为yzmza80的精密升降滑台中的限位结构。
25.顶座5的内部螺纹连接有支撑件10，即顶板与两侧侧板的内部均开设有螺纹孔，支撑件10设置于螺纹孔的内部，且支撑件10的数量共有四个，分别分布在顶板的四角，安装座1顶部与支撑件10底端对应的位置开设有定位孔11，拧动支撑件10下移，直至支撑件10的底端与定位孔11的内底壁抵持，此时顶座5承受的力均通过支撑件10传递给安装座1，而第一楔形块3和第二楔形块6处于不受外力影响的状态，此时便可对升降台内部的磨损件进行更换。
26.第一楔形块3和第二楔形块6相对侧的斜面均设置有锁紧机构9，第一楔形块3通过锁紧机构9连接有第一滑块7，第二楔形块6通过锁紧机构9连接有第二滑块8。
27.其中，锁紧机构9包括安装于第一楔形块3内部和第二楔形块6内部的蜗杆901，两个蜗杆901均通过轴承分别与第一楔形块3和第二楔形块6连接，此时蜗杆901只能发生转动，而无法与对应的楔形块发生相对移动。
28.蜗杆901通过蜗轮902连接有螺杆903，蜗杆901的一端将延伸至对应楔形块的外部，且蜗杆901位于楔形块外部的一端开设有与扳手等工具相连接的嵌槽。
29.其中，蜗轮902的顶部和底部均设置有环形件，第一楔形块3和第二楔形块6相对侧的斜面均开设有移动孔，螺杆903位于移动孔的内部，且螺杆903与蜗轮902的内部螺纹连接，各移动孔的内壁均开设有轮槽14，轮槽14为圆柱形槽，其轴线与移动孔的轴线共线，蜗轮902设置于轮槽14的内部，且轮槽14与环形件相对应一侧的内壁均1开设有环形嵌槽，环形嵌槽的轴线同样与移动孔的轴线共线，此时，蜗轮902在环形件的作用下蜗轮902只能以移动孔的轴线为转轴进行转动，而无法与对应的楔形块发生相对移动。
30.螺杆903的两端分别设置有限制件和涨锥904。
31.其中，限制件为棱柱体，移动孔内壁与限制件对应的位置开设有与棱柱体相适配的限制槽4，限制件位于的限制槽4内部，当蜗杆901带动蜗轮902转动后，螺杆903也会发生转动的趋势，但在限制槽4和限制件的共同作用下，螺杆903只能沿着自身轴线移动。
32.第一滑块7和第二滑块8的相对侧均开设有与涨锥904相适配的锥孔12，每一个移动孔均有一个锥孔12与之对应，当涨锥904的锥形面与锥孔12的内壁抵持后，滑块将被锁紧在楔形块上，第一滑块7和第二滑块8的内部均开设有用于连通移动孔的连通槽13，而连通槽13则在第一滑块7或第二滑块8与对应的楔形块发生相对移动时，起到了避免螺杆903干涉滑块移动的作用。
33.在安装或拆卸第一滑块7或第二滑块8时，先通过拧动支撑件10，将顶座5的受力传递给安装座1，以实现对顶座5的支撑，解除了第一楔形块3和第二楔形块6的受力，再拧动蜗杆901带动蜗轮902转动，以迫使螺杆903具有转动趋势，之后，螺杆903在限制件的作用下会沿自身轴线移动，使涨锥904与锥孔12分离，此时第一滑块7或第二滑块8恢复可自由移动状态，接着拉动第一滑块7或第二滑块8与对应的楔形块分离，在这个过程中螺杆903从连通槽13中滑过，直至第一滑块7或第二滑块8完全与对应的楔形块分离，最后更换新的滑块，并反向拧动蜗杆901，使用锁紧机构9将各个新滑块分别固定在第一楔形块3或第二楔形块6的斜面上，以此实现对升降台内部损耗件的快速更换。
34.本说明书中所描述的以上内容仅仅是对本实用新型所作的举例说明。本实用新型
所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离本实用新型说明书的内容或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。

技术特征：
1.一种晶圆承载移动座的升降台，包括安装座(1)，所述安装座(1)通过驱动机构(2)连接有第一楔形块(3)，所述第一楔形块(3)的上方设置有第二楔形块(6)，所述第一楔形块(3)的斜面与第二楔形块(6)的斜面相对设置，所述第二楔形块(6)的顶部设置有顶座(5)，所述安装座(1)的顶部设置有用于限制第一楔形块(3)水平移动的第一限位件和用于限制第二楔形块(6)竖向移动的第二限位件，其特征在于：所述顶座(5)的内部设置有支撑件(10)，所述第一楔形块(3)和第二楔形块(6)相对侧的斜面均设置有锁紧机构(9)，所述第一楔形块(3)通过锁紧机构(9)连接有第一滑块(7)，所述第二楔形块(6)通过锁紧机构(9)连接有第二滑块(8)，所述锁紧机构(9)包括安装于第一楔形块(3)和第二楔形块(6)内部的蜗杆(901)，所述蜗杆(901)通过蜗轮(902)连接有螺杆(903)，所述螺杆(903)的两端分别设置有限制件和涨锥(904)，所述第一滑块(7)和第二滑块(8)的相对侧均开设有与涨锥(904)相适配的锥孔(12)，所述第一滑块(7)和第二滑块(8)的内部均开设有用于连通锥孔(12)的连通槽(13)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆承载移动座的升降台，其特征在于：所述安装座(1)顶部与支撑件(10)底端对应的位置开设有定位孔(11)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆承载移动座的升降台，其特征在于：所述蜗轮(902)的顶部和底部均设置有环形件，所述第一楔形块(3)和第二楔形块(6)的内部均开设有轮槽(14)，所述蜗轮(902)设置于轮槽(14)的内部，且轮槽(14)与环形件相对应一侧的内壁均开设有环形嵌槽。4.根据权利要求3所述的一种晶圆承载移动座的升降台，其特征在于：所述限制件为棱柱体，所述第一楔形块(3)和第二楔形块(6)的内部均开设有与棱柱体相适配的限制槽(4)。

技术总结
本实用新型涉及晶圆探针台技术领域，且特别涉及一种晶圆承载移动座的升降台，包括安装座，所述安装座通过驱动机构连接有第一楔形块，所述第一楔形块的上方设置有第二楔形块。该晶圆承载移动座的升降台在更换磨损滑块时，先拧动支撑件，使支撑件的底端与定位孔的内底壁抵持，然后拧动蜗杆带动蜗轮转动，以迫使螺杆在限制件的作用下沿自身轴线移动，使涨锥与锥孔分离，此时第一滑块或第二滑块恢复可自由移动状态，接着推拉第一滑块或第二滑块，使螺杆从连通槽中滑过，直至第一滑块或第二滑块与锁紧机构分离，最后使用锁紧机构将新滑块分别固定在第一楔形块或斜楔形块的斜面上，便实现了升降台内部损耗件的快速更换。了升降台内部损耗件的快速更换。了升降台内部损耗件的快速更换。


技术研发人员：吕孟光
受保护的技术使用者：江苏宏京锐半导体科技有限公司
技术研发日：2022.12.06
技术公布日：2023/7/23