一种大型等离子清洗装置的制作方法

1.本实用新型涉及等离子清洗技术领域，尤其涉及一种大型等离子清洗装置。


背景技术：

2.等离子清洗装置是一种利用等离子体中的活性组分对产品的表面进行处理，从而达到清洁、改性或涂覆等目的。
3.目前市面上主流的等离子清洗设备通常体积较小，对于体积大的材料无法放入清洗腔内进行处理，并且，常规的等离子设备在进行物料的等离子清洗工作时，被处理产品放置在电极之间，通过两平行电极激励产生等离子体对产品表面进行处理，长时间使用或连续使用时，会造成极板温度过高使得放电均匀性受到影响，从而对处理效果也造成影响，而现有的一些等离子设备中，采用铺设冷水管道对极板降温，但是，大型的等离子设备的由于体积较大，冷水管道铺设不易，且还要设置用于铺设冷水管道的空间，造成等离子设备中空间的浪费。


技术实现要素：

4.本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种可充分利用内部空间的大型等离子清洗装置。
5.为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种大型等离子清洗装置，包括真空腔体，所述真空腔体内具有相对设置的正极板与负极板，所述正极板及负极板内均设有水冷管道，所述真空腔体上设有与所述水冷管道连通的水冷接头。
6.进一步的，所述水冷管道包括横向管道与竖向管道，所述横向管道与所述竖向管道的数量均为多个，多个所述竖向管道均匀设置，相邻两个竖向管道之间通过所述横向管道连通。
7.进一步的，所述真空腔体内设有布气板，所述布气板与所述真空腔体的内壁配合形成容气室，所述真空腔体上设有进气接头，所述进气接头连通所述容气室，所述布气板上设有多个通孔。
8.进一步的，多个所述通孔呈阵列排布。
9.进一步的，所述真空腔体包括上腔体与下腔体，所述上腔体与所述下腔体可拆卸连接。
10.进一步的，所述下腔体上设有密封槽。
11.进一步的，所述下腔体上设有支撑块，所述支撑块上设有匀气板，所述下腔体上还开设有抽气口，所述匀气板位于所述抽气口上方。
12.进一步的，所述真空腔体上设有观察窗。
13.进一步的，所述真空腔体上设有加强筋。
14.进一步的，所述真空腔体上还设有温度传感器。
15.本实用新型的有益效果在于：把水冷管道设在正极板与负极板内，可使水冷管道
在真空腔体内不占用额外的空间，有利于使大型等离子清洗装置的内部空间得到更加充分的利用。
附图说明
16.图1为本实用新型实施例一的大型等离子清洗装置的结构示意图；
17.图2为本实用新型实施例一的大型等离子清洗装置的侧视图；
18.图3为沿图2中a-a线的剖视图；
19.图4为图3中b处的细节放大图；
20.图5为本实用新型实施例一的大型等离子清洗装置的部分结构示意图；
21.图6为本实用新型实施例一的大型等离子清洗装置中正极板的剖视图。
22.标号说明：
23.1、真空腔体；11、正极板；12、负极板；13、水冷管道；131、横向管道；132、竖向管道；133、水冷接头；14、布气板；141、通孔；15、进气接头；16、容气室；17、加强筋；18、绝缘垫块；181、绝缘固定块；19、电源传输轴；
24.2、上腔体；21、温度传感器；22、观察窗；
25.3、下腔体；31、支撑块；32、匀气板；33、抽气口；34、密封槽；35、真空计。
具体实施方式
26.为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
27.请参照图1至图6，一种大型等离子清洗装置，包括真空腔体1，所述真空腔体1内具有相对设置的正极板11与负极板12，所述正极板11及负极板12内均设有水冷管道13，所述真空腔体1上设有与所述水冷管道13连通的水冷接头133。
28.从上述描述可知，本实用新型的有益效果在于：把水冷管道13设在正极板11与负极板12内，可使水冷管道13在真空腔体1内不占用额外的空间，有利于使大型等离子清洗装置的内部空间得到更加充分的利用。
29.进一步的，所述水冷管道13包括横向管道131与竖向管道132，所述横向管道131与所述竖向管道132的数量均为多个，多个所述竖向管道132均匀设置，相邻两个竖向管道132之间通过所述横向管道131连通。
30.由上述描述可知，把水冷管道13分为多个相互连通的横向管道131与竖向管道132，可便于加工。
31.进一步的，所述真空腔体1内设有布气板14，所述布气板14与所述真空腔体1的内壁配合形成容气室16，所述真空腔体1上设有进气接头15，所述进气接头15连通所述容气室16，所述布气板14上设有多个通孔141。
32.进一步的，多个所述通孔141呈阵列排布。
33.由上述描述可知，多个通孔141呈阵列排布，有利于使工艺气体进气更加均匀。
34.进一步的，所述真空腔体1包括上腔体2与下腔体3，所述上腔体2与所述下腔体3可拆卸连接。
35.由上述描述可知，所述上腔体2与所述下腔体3可拆卸连接，便于打开真空腔体1放
置材料。
36.进一步的，所述下腔体3上设有密封槽34。
37.由上述描述可知，所述密封槽34用于安装密封圈，对上腔体2与下腔体3之间的缝隙进行密封。
38.进一步的，所述下腔体3上设有支撑块31，所述支撑块31上设有匀气板32，所述下腔体3上还开设有抽气口33，所述匀气板32位于所述抽气口33上方。
39.由上述描述可知，抽真空时，匀气板32的设置可使真空腔体1内的气体从匀气板32的四周经过，避免抽力过于集中。
40.进一步的，所述真空腔体1上设有观察窗22。
41.由上述描述可知，设置观察窗22有利于工作人员了解真空腔体1内的情况。
42.进一步的，所述真空腔体1上设有加强筋17。
43.由上述描述可知，设置加强筋17有利于加强真空腔体1的结构强度，防止设备抽气时受到的吸力过大导致设备变形。
44.进一步的，所述真空腔体1上还设有温度传感器21。
45.由上述描述可知，设置温度传感器21有利于工作人员了解真空腔体1内的温度。
46.实施例一
47.请参照图1至图6，本实用新型的实施例一为：一种大型等离子清洗装置，可用于处理汽车零部件等大型零件。
48.所述大型等离子清洗装置包括真空腔体1，所述真空腔体1内具有相对设置的正极板11与负极板12，所述正极板11及负极板12内均设有水冷管道13，所述真空腔体1上设有与所述水冷管道13连通的水冷接头133。
49.具体的，本实施例中，所述真空腔体1上设有电源传输轴19，所述电源传输轴19用于使正极板11及负极板12通电，所述真空腔体1的腔壁上设有多个绝缘垫块18及绝缘固定块181，所述正极板11及所述负极板12均设在所述绝缘垫块18上，绝缘垫块18可保证所述正极板11及所述负极板12不会与真空腔体1接触，所述绝缘固定块181对所述正极板11及所述负极板12起到固定作用；所述真空腔体1上还设有温度传感器21，所述温度传感器21可对真空腔体1内的温度进行实时监测，当温度过高时，可打开水冷接头133，使冷却液流入水冷管道13，从而对真空腔体1进行降温；所述真空腔体1上还设有真空计35，真空计35可检测真空腔体1内的真空度，便于工作人员掌握真空腔体1的状态。
50.请参照图6，所述水冷管道13包括横向管道131与竖向管道132，所述横向管道131与所述竖向管道132的数量均为多个，多个所述竖向管道132均匀设置，相邻两个竖向管道132之间通过所述横向管道131连通。本实施例中，数量为多个所述横向管道131与竖向管道132均为单独加工成型，然后使其相互连通，有利于降低加工难度。
51.请参照图4和图5，所述真空腔体1内设有布气板14，所述布气板14与所述真空腔体1的内壁配合形成容气室16，所述真空腔体1上设有进气接头15，所述进气接头15连通所述容气室16，所述布气板14上设有多个通孔141，多个所述通孔141呈阵列排布。本实施例中，所述真空腔体1的腔壁内凹形成凹槽，所述布气板14完全覆盖所述凹槽以形成所述容气室16，简单来说，所述容气室16是从所述真空腔体1的腔壁上加工出来的，不会占用所述真空腔体1的内部空间，使真空腔体1的内部空间能够得到进一步的利用，阵列排布的多个通孔
141可使工艺气体在真空腔体1内分布的更加均匀。
52.请参照图1，所述真空腔体1包括上腔体2与下腔体3，所述上腔体2与所述下腔体3可拆卸连接，所述下腔体3上设有密封槽34。本实施例中，所述密封槽34用于容纳密封圈，密封圈可对上腔体2与下腔体3之间的缝隙进行密封，所述上腔体2可通过设置驱动件与所述下腔体3分离，工作时，把待清洁零件放在下腔体3上，然后把上腔体2与下腔体3对接即可。
53.请参照图2和图3，所述下腔体3上设有支撑块31，所述支撑块31上设有匀气板32，所述下腔体3上还开设有抽气口33，所述匀气板32位于所述抽气口33上方。本实施例中，所述匀气板32与所述真空腔体1的腔壁之间具有缝隙，抽气时，所述真空腔体1内的空气从匀气板32的四周经过缝隙从所述抽气口33抽出，所述抽气口33的数量为两个，可加快大型等离子清洗装置的抽气速率。
54.请参照图1，所述真空腔体1上设有观察窗22。本实施例中，所述观察窗22设在所述真空腔体1的侧面，所述观察窗22的材质优选为石英玻璃，所述观察窗22与所述真空腔体1之间通过设置密封圈来保证真空腔体1的密封性能。
55.请参照图1，所述真空腔体1上设有加强筋17。本实施例中，所述真空腔体1的外壁上均匀设置有多个加强筋17，可避免设备抽气时受到的吸力过大导致设备变形。
56.综上所述，本实用新型提供的大型等离子清洗装置，把水冷管道设在正极板与负极板内，可使水冷管道在真空腔体内不占用额外的空间，有利于使大型等离子清洗装置的内部空间得到更加充分的利用，容气室的设置可进一步提高真空腔体的空间利用率，另外，把水冷管道分为多个相互连通的横向管道与竖向管道，可便于加工，匀气板的设置可使真空腔体内的气体从匀气板的四周经过，避免抽力过于集中。
57.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

技术特征：
1.一种大型等离子清洗装置，其特征在于：包括真空腔体，所述真空腔体内具有相对设置的正极板与负极板，所述正极板及负极板内均设有水冷管道，所述真空腔体上设有与所述水冷管道连通的水冷接头；所述真空腔体包括上腔体与下腔体，所述上腔体与所述下腔体可拆卸连接；所述下腔体上设有支撑块，所述支撑块上设有匀气板，所述下腔体上还开设有抽气口，所述匀气板位于所述抽气口上方。2.根据权利要求1所述的大型等离子清洗装置，其特征在于：所述水冷管道包括横向管道与竖向管道，所述横向管道与所述竖向管道的数量均为多个，多个所述竖向管道均匀设置，相邻两个竖向管道之间通过所述横向管道连通。3.根据权利要求1所述的大型等离子清洗装置，其特征在于：所述真空腔体内设有布气板，所述布气板与所述真空腔体的内壁配合形成容气室，所述真空腔体上设有进气接头，所述进气接头连通所述容气室，所述布气板上设有多个通孔。4.根据权利要求3所述的大型等离子清洗装置，其特征在于：多个所述通孔呈阵列排布。5.根据权利要求1所述的大型等离子清洗装置，其特征在于：所述下腔体上设有密封槽。6.根据权利要求1所述的大型等离子清洗装置，其特征在于：所述真空腔体上设有观察窗。7.根据权利要求1所述的大型等离子清洗装置，其特征在于：所述真空腔体上设有加强筋。8.根据权利要求1所述的大型等离子清洗装置，其特征在于：所述真空腔体上还设有温度传感器。

技术总结
本实用新型公开了一种大型等离子清洗装置，包括真空腔体，所述真空腔体内具有相对设置的正极板与负极板，所述正极板及负极板内均设有水冷管道，所述真空腔体上设有与所述水冷管道连通的水冷接头。把水冷管道设在正极板与负极板内，可使水冷管道在真空腔体内不占用额外的空间，有利于使大型等离子清洗装置的内部空间得到更加充分的利用。空间得到更加充分的利用。空间得到更加充分的利用。


技术研发人员：罗弦
受保护的技术使用者：广东澳地特电气技术有限公司
技术研发日：2022.12.12
技术公布日：2023/7/27