一种SEM样品台的制作方法

一种sem样品台
技术领域
1.本实用新型属于sem显微镜零部件技术领域，具体涉及一种sem样品台。


背景技术：

2.扫描电子显微镜(sem)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。
3.现有的sem在使用过程中，样品同样品台之间通常通过导电胶进行连接，在实际使用过程中，由于样品和导电胶之间存有缝隙，样品存在粘贴不牢固的情况，在拍摄过程中，由于存在荷电效应，会使样品成像漂移模糊，影响观察的结果


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种sem样品台，以解决上述背景技术中提出现有的样品台在使用过程中的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种sem样品台，包括底台部；
6.凸出部，一体成型于所述底台部的工作面，并以所述凸出部的上表面以及两侧面作为样品的附着面；
7.固定件，由导电材料制成，固定于所述底台部的工作面，且位于所述凸出部的一侧；
8.移动件，由导电材料制成，位于所述固定件的另一侧，能够沿靠近或者远离所述固定件的方向线性移动并停留，以所述固定件和移动件中相对的夹持面对粘接于所述凸出部两侧面的样品进行夹持，并作为所述样品的导电介质。
9.优选的，所述固定件和移动件均由金属材料制成。
10.优选的，所述固定件和移动的材料为铝。
11.优选的，所述底台部为一圆形台体，且所述凸出部沿所述底台部中上工作面的直径方向延伸。
12.优选的，所述固定件和移动件的长度均大于所述凸出部的长度，且所述固定件和移动件的两端均延伸至所述底台部中上工作面的外部。
13.优选的，所述固定件为一沿所述凸出部长度方向延伸的矩形块体，且所述固定件的工作面在第一端部位置开设有螺纹孔。
14.优选的，所述移动件包括夹持部、臂体部和台阶部，所述夹持部沿所述凸出部的长度方向延伸，所述臂体部由所述夹持部的两端向固定件方向延伸形成，所述台阶部由所述臂体部中靠近所述凸出部一端沿凸出部延伸方向向外延伸形成，且所述台阶部上设有通孔。
15.优选的，所述样品台还包括杆体部件，所述杆体部件的一端设有帽体，且所述帽体另一端的圆周表面设有外螺纹，所述杆体部件在穿过通孔后旋入所述台阶部的螺纹孔中，
且所述杆体部件在所述帽体和台阶部区段的外围套设有弹簧。
16.优选的，所述帽体的表面设有凸起。
17.优选的，所述固定件的夹持面在第一端部位置设有开口，且所述移动件臂体部在对应位置设有凸起。
18.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
19.本技术通过在一体成型于底台部上工作面的凸出部的两侧分别设置固定件和移动件，通过控制移动件的线性移动，配合固定于底台部上工作面上固定件，从而实现固定件和移动件两相对夹持面间距的调节，从而实现对粘接于所述凸出部两侧面的样品进行夹持，并将固定件和移动件作为该样品的导电介质，以提高成像的清晰度。
附图说明
20.图1为现有样品台结构示意图；
21.图2为现有样品台俯视图；
22.图3为本实用新型结构示意图；
23.图4为本实用新型俯视图。
24.图中：
25.底台部：100,200；凸出部：300,400；紧固装置：500；夹持面：500a；固定件：501；第一端部：501a；移动件：502；夹持部：502a；臂体部：502b；台阶部：502c；杆体部件：503；帽体：504；开口：505；凸起：506；弹簧：507。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
27.参照图1，为现有sem样品台(以下简称样品台)的结构示意图，该样品台包括底台部100和凸出部300，其中底台部100为一圆形板体，该板体的厚度，即底台部100的高度大致为5mm，同时该底台部100具有一圆形的工作面，上述凸出部300(后续进行详细说明)一体成型于该工作面上，该底台部100的下底面上设有锥形孔或螺纹孔(图中未示出)，以便同外部支撑部件(如端部带有螺纹的杆体)配合实现该样品台的固定，继续回到图1，现对凸出部300进行进一步的说明，该凸出部300大致为一矩形块体，其大致沿底台部100中上工作面的径向方向进行延伸，具体的，该凸出部300由从底台部100的一侧边缘沿直径方向向另一侧边缘线性延伸，即凸出部300的长度大致同底台部100的直径相等，同时该凸出部300的两端面为弧形面，更具体的，该凸出部300的高度(即厚度)大致为5mm，其宽度大致为2-3mm，使用时，首先在凸出部300的上表面或两侧面的部分区域贴上导电胶之后将样品粘贴于导电胶上，参照图2，为样品贴于样品台后该凸出部300上表面和样品部分的俯视图，由图可知，样品的大部分附着于凸出部300的上表面，但是样品的宽度大于凸出部300的宽度，即样品的部分会延伸至凸出部300上表面的外部，这时导电胶有两个作用，一个是作为样品台同样品之间的连接介质，以将样品固定于凸出部300的上表面，另一个则是作为样品台同样品之间
的导电介质，在实际使用过程中，由于样品和导电胶之间存有缝隙，特别是对于凸出部200两侧面上的样品，样品存在粘贴不牢固的情况，在拍摄过程中，由于存在荷电效应，会使样品成像漂移模糊，影响观察的结果。
28.针对现有样品台的问题，现设计如下样品台：
29.参照图3，为本技术样品台的结构示意图，该样品台保留了上述底台部200和凸出部400的主体形状，所不同的是，该样品台还包括一紧固装置500，该紧固装置500总体由导电材料制成，如该紧固装置500可以是由单金属材料或合金材料制成，优选地，该紧固装置500由铝制造而成，具体的，该紧固装置500包括一固定件501和一移动件501a，其中移动件501a可以沿远离或者靠固定件501的方向线性移动，并可以在位置移动后保持，以图4进行位置说明，该图为样品台的俯视图，图中凸出部400沿水平方向(即线a)延伸，上述移动件501a和固定件501分别设置于凸出部400的两侧，并均沿凸出部400的长度方向进行延伸，移动件501a和固定件501的长度大致相等，且均大于凸出部400的长度，即移动件501a和固定件501的两端部(即图4中左右两端)均延伸至样品台的外部，且固定件501固定于底台部200的上工作面，即固定件501在底台部200上工作面的位置固定，同时的固定件501和移动件501a均具有同凸出部400侧面相平行的夹持面500a，夹持面500a为固定件501和移动件501a中朝向凸出部400的一面(以图4为例，固定件501的夹持面500a为其上表面，移动件501a的工作面为其下表面)，工作时，在放置样品时，首先通过导电胶将样品固定在凸出部400的上表面或两侧面上，对于粘接于凸出部400两侧面上的样品，通过移动件502的移动，使样品的端面同固定件501或移动件502上的夹持面500a相接触，以进一步进行固定，并以固定件501和移动件502作为样品的导电介质。
30.参照图4，对上述固定件501和移动件501a进行进一步说明，上述固定件501大致为一矩形块体，并对应将该固定件501延伸至底台部200外部的区段记为第一端部501a，上述固定件501的夹持面500a在第一端部501a位置开设有螺纹孔；上述移动件501a包括夹持部502a、臂体部502b和台阶502c部，其中夹持部502a大致为一沿凸出部400长度方向延伸的矩形块体，且其长度略大于凸出部400的长度，臂体部502b由上述夹持部502a的两端部向凸出部400的方向延伸形成，台阶502c部由臂体部502b中靠近固定件501的一端沿凸出部400的长度方向向外侧方向形成，且该台阶502c部上设有供螺纹杆体通过的通孔；进一步的，上述紧固装置500还包括两杆体部件503，单个杆体部件503的一端均设有帽体504，优选地，该帽体504的外表面设有凸起506，以增加转动时的摩擦力，同时杆体部件503在帽体504的另一端的圆周外表面上设有和上述螺纹孔配合使用的外螺纹，且杆体部件503中覆盖有外螺纹区段的长度至少大于螺纹孔的深度，同时该杆体部件503在台阶502c部同帽体504的区段外部套设有弹簧507，借助于杆体部件503的转动和弹簧507的弹力以对移动件501a同固定件501之间的间距进行调节。
31.进一步的，上述固定件501的夹持面500a在第一端部501a设有开口505，对应的，移动件501a中臂体部502b在朝向固定件501一侧设有和该开口505相适配的凸起506。
32.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种sem样品台，其特征在于：包括：底台部；凸出部，一体成型于所述底台部的工作面，并以所述凸出部的上表面以及两侧面作为样品的附着面；固定件，由导电材料制成，固定于所述底台部的工作面，且位于所述凸出部的一侧；移动件，由导电材料制成，位于所述固定件的另一侧，能够沿靠近或者远离所述固定件的方向线性移动并停留，以所述固定件和移动件中相对的夹持面对粘接于所述凸出部两侧面的样品进行夹持，并作为所述样品的导电介质。2.根据权利要求1所述的一种sem样品台，其特征在于：所述固定件和移动件均由金属材料制成。3.根据权利要求1所述的一种sem样品台，其特征在于：所述固定件和移动的材料为铝。4.根据权利要求1所述的一种sem样品台，其特征在于：所述底台部为一圆形台体，且所述凸出部沿所述底台部中上工作面的直径方向延伸。5.根据权利要求4所述的一种sem样品台，其特征在于：所述固定件和移动件的长度均大于所述凸出部的长度，且所述固定件和移动件的两端均延伸至所述底台部中上工作面的外部。6.根据权利要求5所述的一种sem样品台，其特征在于：所述固定件为一沿所述凸出部长度方向延伸的矩形块体，且所述固定件的工作面在第一端部位置开设有螺纹孔。7.根据权利要求6所述的一种sem样品台，其特征在于：所述移动件包括夹持部、臂体部和台阶部，所述夹持部沿所述凸出部的长度方向延伸，所述臂体部由所述夹持部的两端向固定件方向延伸形成，所述台阶部由所述臂体部中靠近所述凸出部一端沿凸出部延伸方向向外延伸形成，且所述台阶部上设有通孔。8.根据权利要求7所述的一种sem样品台，其特征在于：所述样品台还包括杆体部件，所述杆体部件的一端设有帽体，且所述帽体另一端的圆周表面设有外螺纹，所述杆体部件在穿过通孔后旋入所述台阶部的螺纹孔中，且所述杆体部件在所述帽体和台阶部区段的外围套设有弹簧。9.根据权利要求8所述的一种sem样品台，其特征在于：所述帽体的表面设有凸起。10.根据权利要求9所述的一种sem样品台，其特征在于：所述固定件的夹持面在第一端部位置设有开口，且所述移动件臂体部在对应位置设有凸起。

技术总结
本实用新型公开了一种SEM样品台，属于SEM显微镜零部件技术领域，该一种SEM样品台，包括底台部；凸出部，一体成型于所述底台部的工作面，并以所述凸出部的上表面以及两侧面作为样品的附着面；固定件，由导电材料制成，固定于所述底台部的工作面，且位于所述凸出部的一侧；移动件。通过在一体成型于底台部工作面的凸出部的两侧分别设置固定件和移动件，通过控制移动件的线性移动，配合固定于底台部上工作面上固定件，从而实现固定件和移动件两相对夹持面间距的调节，从而实现对粘接于所述凸出部两侧面的样品进行夹持，并将固定件和移动件作为该样品的导电介质，以提高成像的清晰度。以提高成像的清晰度。以提高成像的清晰度。


技术研发人员：凌明华 徐帅 李闯 张红伟 黄海东 胡天齐 王毅明 方新军 戚玉霞
受保护的技术使用者：江苏和达电子科技有限公司
技术研发日：2022.10.25
技术公布日：2023/8/2