一种基于SEM扫描电镜技术的外加容器观测方法与系统

一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测方法与系统
技术领域
1.本技术涉及材料微观研究技术领域，尤其是涉及一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测方法与系统。


背景技术：

2.材料的微观结构主要是指材料在原子、离子、分子层次上的组成形式。材料的许多性质与材料的微观结构都有密切的关系。在对材料的微观结构进行研究时，一般会使用sem扫描电镜技术对材料的微观结构进行了解。
3.相关技术中，sem是指扫描电子显微镜，简称为扫描电镜，其成像原理是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。由于sem具有景深大、分辨率高，成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点，另外具有可测样品种类丰富，几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点，故被广泛应用于生命科学、物理学、化学、司法、地球科学、材料学以及工业生产等领域的微观研究。在使用sem扫描电镜观察时，样品必须为固态物质，从而保证扫描电镜真空系统的真空度，故含有水分的样品必须事先干燥后再进行观察检测。
4.针对上述中的相关技术，发现有如下缺陷：在样品干燥过程中，由于样品的液体张力，样品的结构会随着液体含量的变化而变化，这导致试验样品很难完全反映试样的实际结构特征，因此干燥方法的选取会影响到样品结构的测试结果能否真实反映试样的真实结构状态，但是目前还没有一种干燥技术能够保证试样结构在干燥过程中完全不会产生变化，这将制约着sem去反映原状试样的真实特征，还有改进的空间。


技术实现要素：

5.为了方便sem反映原状试验样品的真实特征，本技术提供一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测方法与系统。
6.第一方面，本技术提供一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测方法，采用如下的技术方案：一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测方法，包括：获取试样检测启动信息；根据试样检测启动信息与预设的电子束输出控制信息的对应关系，分析获取与试样检测启动信息相对应的电子束输出控制信息，并将电子束输出控制信息发送至电子束输出机构；获取试验样品放置于预设的检测容器内时的整体检测图像信息；根据整体检测图像信息、预设的容器图像基准信息与预设的试样结果图像信息的对应关系，分析获取与整体检测图像信息及容器图像基准信息相对应的试样结果图像信息，并发送试样结果图像信息至操作者所持终端。
7.通过采用上述技术方案，对试样检测启动信息进行获取后，通过分析获取电子束输出控制信息，并将电子束输出控制信息发送至电子束输出机构，从而使电子束输出机构输出电子束，再对整体检测图像信息进行获取，通过整体检测图像信息及容器图像基准信息分析获取试样结果图像信息，并发送试样结果图像信息至操作者所持终端，从而在对试验样品进行检测时，通过对放置于检测容器内的试验样品检测获取的整体检测图像信息与对检测容器检测获取的容器图像基准信息进行对比后获取试样结果图像信息，免去了对试验样品进行干燥的环节，消除干燥环节对试验样品的影响，最终达到方便sem反映原状试验样品的真实特征的目的。
8.可选的，根据试样检测启动信息与预设的电子束输出控制信息的对应关系，分析获取与试样检测启动信息相对应的电子束输出控制信息包括：获取电子束输出机构的装置型号信息及当前电压检测值；根据装置型号信息与预设的电子束种类信息的对应关系，分析获取与装置型号信息相对应的电子束种类信息；根据当前电压检测值、电子束种类信息与预设的电子束当前能量值的对应关系，分析获取与当前电压检测值及电子束种类信息相对应的电子束当前能量值；根据试样检测启动信息与预设的装置启动控制信息的对应关系，分析获取与试样检测启动信息相对应的装置启动控制信息；判断电子束当前能量值是否大于预设的电子束能量基准值；若为是，则将装置启动控制信息作为电子束输出控制信息；若为否，则根据是否能查询到电压限制值的判断结果，分析获取电子束能量值调整信息，并将电子束能量值调整信息与装置启动控制信息作为电子束输出控制信息。
9.通过采用上述技术方案，通过对电子束输出机构的装置型号信息及当前电压检测值进行获取，并通过装置型号信息分析获取电子束种类信息，通过试样检测启动信息分析获取装置启动控制信息，再对电子束当前能量值是否大于预设的电子束能量基准值进行判断，当大于时，将装置启动控制信息作为电子束输出控制信息，当不大于时，通过是否能查询到电压限制值的判断结果，对电子束能量值调整信息进行分析获取，并将电子束能量值调整信息与装置启动控制信息作为电子束输出控制信息，从而提高获取的电子束输出控制信息的准确性。
10.可选的，根据是否能查询到电压限制值的判断结果，分析获取电子束能量值调整信息包括：根据电子束当前能量值与电子束能量基准值，分析计算电子束当前能量值与电子束能量基准值之间的差值并作为电子束能量偏差值；判断是否能查询到电压限制值；若为是，则根据电子束能量偏差值与预设的磁场调节控制信息的对应关系，分析获取与电子束能量偏差值相对应的磁场调节控制信息，并将磁场调节控制信息作为电子束能量值调整信息；若为否，则根据电子束能量偏差值与预设的电压调节控制信息的对应关系，分析获取与电子束能量偏差值相对应的电压调节控制信息，并将电压调节控制信息作为电子束能量值调整信息。
11.通过采用上述技术方案，通过对电子束当前能量值与电子束能量基准值之间的差值进行分析计算，并将电子束能量偏差值作为电子束能量偏差值，再对是否能查询到电压限制值进行判断，当查询到时，通过电子束能量偏差值分析获取磁场调节控制信息，并将磁场调节控制信息作为电子束能量值调整信息，当未查询到时，通过电子束能量偏差值分析获取电压调节控制信息，并将电压调节控制信息作为电子束能量值调整信息，从而提高获取的电子束能量值调整信息的准确性。
12.可选的，根据整体检测图像信息、预设的容器图像基准信息与预设的试样结果图像信息的对应关系，分析获取与整体检测图像信息及容器图像基准信息相对应的试样结果图像信息包括：根据整体检测图像信息、预设的容器图像基准信息与预设的相同图像信息的对应关系，分析获取与整体检测图像信息及容器图像基准信息相对应的相同图像信息；根据整体检测图像信息、相同图像信息与预设的区别图像信息的对应关系，分析获取与整体检测图像信息及相同图像信息相对应的区别图像信息，并将区别图像信息作为试样结果图像信息。
13.通过采用上述技术方案，通过整体检测图像信息及容器图像基准信息分析获取相同图像信息，再通过整体检测图像信息及相同图像信息分析获取区别图像信息，并将区别图像信息作为试样结果图像信息，从而提高获取的试样结果图像信息的准确性。
14.可选的，还包括位于将区别图像信息作为试样结果图像信息之后的步骤，具体如下：获取当前试样种类信息；根据当前试样种类信息与预设的试样种类图像基准信息的对应关系，分析获取与当前试样种类信息相对应的试样种类图像基准信息；根据试样结果图像信息、试样种类图像基准信息与预设的试样结果相似度的对应关系，分析获取与试样结果图像信息及试样种类图像基准信息相对应的试样结果相似度；判断试样结果相似度是否位于预设的试样结果基准相似度区间内；若为是，则继续输出试样结果图像信息；若为否，则获取上一个试样结果图像信息并定义为上个结果图像信息；根据上个结果图像信息、试样结果图像信息与预设的结果修正图像信息的对应关系，分析获取与上个结果图像信息及试样结果图像信息相对应的结果修正图像信息，并将结果修正图像信息作为试样结果图像信息。
15.通过采用上述技术方案，通过对当前试样种类信息进行获取，并通过当前试样种类信息分析获取试样种类图像基准信息，通过试样结果图像信息及试样种类图像基准信息分析获取试样结果相似度，再对试样结果相似度是否位于预设的试样结果基准相似度区间内进行判断，当位于试样结果基准相似度区间内时，继续输出试样结果图像信息，当未位于试样结果基准相似度区间内时，对上一个试样结果图像信息进行获取并定义为上个结果图像信息，通过上个结果图像信息及试样结果图像信息分析获取结果修正图像信息，并将结果修正图像信息作为试样结果图像信息，从而判断当前进行检测的试样是否为预先需要进行检测的试样，并通过对上一个检测试样的检测结果试样对试样结果图像进行修正，从而提高获取的试样结果图像信息准确性。
16.可选的，根据上个结果图像信息、试样结果图像信息与预设的结果修正图像信息的对应关系，分析获取与上个结果图像信息及试样结果图像信息相对应的结果修正图像信息包括：根据上个结果图像信息、试样结果图像信息与预设的相同部分信息，分析获取与上个结果图像信息及试样结果图像信息相对应的相同部分信息；根据上个结果图像信息与预设的上个试样种类信息的对应关系，分析获取与上个结果图像信息相对应的上个试样种类信息；判断上个试样种类信息与当前试样种类信息是否为同一类；若为是，则输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端；若为否，则根据试样结果图像信息、相同部分信息与预设的结果调整图像信息的对应关系，分析获取与试样结果图像信息及相同部分信息相对应的结果调整图像信息，并将结果调整图像信息作为结果修正图像信息。
17.通过采用上述技术方案，通过上个结果图像信息及试样结果图像信息分析获取相同部分信息，通过上个结果图像信息分析获取上个试样种类信息，并对上个试样种类信息与当前试样种类信息是否为同一类进行判断，当为同一类时，输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端，当不为同一类时，通过试样结果图像信息及相同部分信息分析获取结果调整图像信息，并将结果调整图像信息作为结果修正图像信息，从而使获取的结果修正图像信息不受到上一个试样检测图像的影响，进而提高获取的结果修正图像信息的准确性。
18.可选的，还包括位于输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端之前的步骤，具体如下：获取容器图像当前检测信息；根据容器图像当前检测信息、容器图像基准信息与预设的容器图像相似度的对应关系，分析获取与容器图像当前检测信息及容器图像基准信息相对应的容器图像相似度；判断容器图像相似度是否小于预设的容器图像相似基准值；若为是，则继续输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端；若为否，则输出预设的容器图像偏差报警信息，并将容器图像偏差报警信息作为试样检测错误信息。
19.通过采用上述技术方案，通过对容器图像当前检测信息进行获取，并通过容器图像当前检测信息及容器图像基准信息分析获取容器图像相似度，再对容器图像相似度是否小于预设的容器图像相似基准值进行判断，当小于时，继续输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端，当不小于时，输出预设的容器图像偏差报警信息，并将容器图像偏差报警信息作为试样检测错误信息，从而方便操作者了解是否为容器图像发生偏差导致的检测结果偏差，进而提高获取的试样检测错误信息的准确性。
20.可选的，还包括位于继续输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端之前的步骤，具体如下：根据当前试样种类信息与预设的试样种类电子束能量基准区间的对应关系，分析获取与当前试样种类信息相对应的试样种类电子束能量基准区间；判断电子束当前能量值是否位于试样种类电子束能量基准区间内；
若为是，则继续输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端；若为否，则输出预设的电子束能量偏差影响报警信息，并将电子束能量偏差影响报警信息发生至操作者所持终端。
21.通过采用上述技术方案，通过当前试样种类信息分析获取试样种类电子束能量基准区间，再对电子束当前能量值是否位于试样种类电子束能量基准区间内进行判断，当位于试样种类电子束能量基准区间内时，继续输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端，当未位于试样种类电子束能量基准区间内时，输出预设的电子束能量偏差影响报警信息，并将电子束能量偏差影响报警信息发生至操作者所持终端，从而方便操作者了解是否为电子束能量偏差产生的影响导致的检测结果偏差。
22.第二方面，本技术提供一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测系统，采用如下的技术方案：一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测系统，包括：扫描检测装置，包括用于输出电子束的电子束输出机构及用于检测反射的电子束并生成整体检测图像信息的检测处理机构；检测容器，供试验样品进行放置并隔绝空气，且对所述电子束输出机构射出的电子束进行透射及反射；所述电子束输出机构包括用于生成并发射电子束的电子枪组件、用于对电子束的束斑进行聚焦缩小的电磁透镜组件及用于偏转电子束的扫描线圈组件，所述电磁透镜组件位于所述电子枪组件与所述扫描线圈组件之间，所述扫描线圈组件将电子束输出至所述检测容器；所述检测容器包括供所述试验样品进行放置的容器本体及转动连接于所述容器本体上的容器门，所述容器本体顶部供电子束透射，所述容器本体侧壁吸收电子轰击的能量，所述容器本体开设有供所述试验样品进行放置的放置槽，所述容器门用于盖住并密封所述放置槽；所述容器本体上开设有用于对所述放置槽的气压进行调节的真空孔，所述真空孔用于连通所述放置槽与外界，所述容器本体上设置有用于插入并密封所述真空孔的孔塞。
23.通过采用上述技术方案，将试验样品放置于检测容器内后，通过电子束输出机构输出电子束，检测容器反射的电子束后被检测处理机构检测并生成整体检测图像信息，免去了对试验样品进行干燥的环节，消除干燥环节对试验样品的影响，最终达到方便sem反映原状试验样品的真实特征的目的；电子枪组件生成并发射电子束后，通过电磁透镜组件对电子束的束斑进行聚焦缩小，再通过扫描线圈组件对电子束进行偏转，从而将电子束输出至检测容器，方便对检测容器内的试验样品进行检测；通过容器门转动连接于容器本体上，从而方便操作者对试验样品进行放置，且对放置槽进行盖住并密封，从而在对试验样品进行检测时使外界不容易产生干扰；在容器本体上开设真空孔，从而方便操作者对放置槽的气压进行调节，且通过孔塞插入并密封真空孔，从而使放置槽的气压进行保持，避免在采用sem检测时由于真空观测室内气压与容器本体内气压相差过大，减少容器本体受到过大的压力，延长容器本体的使用寿命可选的，所述检测容器还包括设置于所述容器本体上的试样置物板，所述试样置物板供所述试验样品进行放置，所述试样置物板位于所述放置槽内。
24.通过采用上述技术方案，在容器本体上设置试样置物板，通过试样置物板供试验样品进行放置，从而减少试验样品对容器本体内的污染。
25.综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：1.对试样检测启动信息进行获取后，通过分析获取电子束输出控制信息，并将电子束输出控制信息发送至电子束输出机构，从而使电子束输出机构输出电子束，再对整体检测图像信息进行获取，通过整体检测图像信息及容器图像基准信息分析获取试样结果图像信息，并发送试样结果图像信息至操作者所持终端，从而在对试验样品进行检测时，通过对放置于检测容器内的试验样品检测获取的整体检测图像信息与对检测容器检测获取的容器图像基准信息进行对比后获取试样结果图像信息，免去了对试验样品进行干燥的环节，消除干燥环节对试验样品的影响，最终达到方便sem反映原状试验样品的真实特征的目的；2.通过对电子束输出机构的装置型号信息及当前电压检测值进行获取，并通过装置型号信息分析获取电子束种类信息，通过试样检测启动信息分析获取装置启动控制信息，再对电子束当前能量值是否大于预设的电子束能量基准值进行判断，当大于时，将装置启动控制信息作为电子束输出控制信息，当不大于时，通过是否能查询到电压限制值的判断结果，对电子束能量值调整信息进行分析获取，并将电子束能量值调整信息与装置启动控制信息作为电子束输出控制信息，从而提高获取的电子束输出控制信息的准确性；3.通过对电子束当前能量值与电子束能量基准值之间的差值进行分析计算，并将电子束能量偏差值作为电子束能量偏差值，再对是否能查询到电压限制值进行判断，当查询到时，通过电子束能量偏差值分析获取磁场调节控制信息，并将磁场调节控制信息作为电子束能量值调整信息，当未查询到时，通过电子束能量偏差值分析获取电压调节控制信息，并将电压调节控制信息作为电子束能量值调整信息，从而提高获取的电子束能量值调整信息的准确性。
附图说明
26.图1是本技术实施例的基于sem扫描电镜技术的外加容器观测的方法流程图。
27.图2是本技术实施例的根据试样检测启动信息与预设的电子束输出控制信息的对应关系，分析获取与试样检测启动信息相对应的电子束输出控制信息的方法流程图。
28.图3是本技术实施例的根据是否能查询到电压限制值的判断结果，分析获取电子束能量值调整信息的方法流程图。
29.图4是本技术实施例的根据整体检测图像信息、预设的容器图像基准信息与预设的试样结果图像信息的对应关系，分析获取与整体检测图像信息及容器图像基准信息相对应的试样结果图像信息的方法流程图。
30.图5是本技术实施例中的扫描检测装置的信息输送流程图。
31.图6是本技术实施例中的检测容器的整体结构示意图。
32.图7是本技术实施例中的容器本体与孔塞的爆炸示意图。
33.图8是本技术实施例中的检测容器未放置试验样品的电子束信号示意图。
34.图9是本技术实施例中的检测容器放置有试验样品的电子束信号示意图。
35.图10是本技术实施例中的检测容器未放置试验样品与检测容器放置有试验样品
的检测结果示意图。
36.附图标记说明：1、扫描检测装置；2、电子束输出机构；3、检测容器；4、检测处理机构；5、电子枪组件；6、电磁透镜组件；7、扫描线圈组件；8、容器本体；9、容器门；10、放置槽；11、真空孔；12、孔塞；13、试样置物板；14、电子探测器；15、扫描放大器；16、信号放大器；17、显示器；18、试验样品；19、物镜。
具体实施方式
37.为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图1-10及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
38.本技术实施例公开一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测方法。
39.参照图1，一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测方法包括：步骤s100，获取试样检测启动信息。
40.其中，试样检测启动信息是指用于启动观测系统进行运行从而对试验样品18进行观测的信息。试样检测启动信息可以通过通电获取，试样检测启动信息也可以通过操作者按下物理按键或者按下触摸屏进行获取。
41.步骤s200，根据试样检测启动信息与预设的电子束输出控制信息的对应关系，分析获取与试样检测启动信息相对应的电子束输出控制信息，并将电子束输出控制信息发送至电子束输出机构2。
42.其中，电子束输出控制信息是指用于控制电子束输出机构2将电子束进行输出的控制信息。电子束输出控制信息从存储有电子束输出控制信息的数据库中查询获取。
43.通过试样检测启动信息分析获取电子束输出控制信息，并将电子束输出控制信息发送至电子束输出机构2，从而控制电子束输出机构2将电子束进行输出，方便后续对试验样品18进行观测。
44.步骤s300，获取试验样品18放置于预设的检测容器3内时的整体检测图像信息。
45.其中，整体检测图像信息是指试验样品18放置于检测容器3内时进行检测获取的图像信息，整体检测图像信息通过检测处理机构4进行检测获取。
46.步骤s400，根据整体检测图像信息、预设的容器图像基准信息与预设的试样结果图像信息的对应关系，分析获取与整体检测图像信息及容器图像基准信息相对应的试样结果图像信息，并发送试样结果图像信息至操作者所持终端。
47.其中，容器图像基准信息是指对未放置试验样品18的检测容器3进行检测获取的图像信息，容器图像基准信息从存储有容器图像基准信息的数据中查询获取。
48.通过整体检测图像信息及容器图像基准信息分析获取试样结果图像信息，并发送试样结果图像信息至操作者所持终端，从而使操作者对试样结果图像信息进行了解，且在对试验样品18进行检测时，直接通过将试验样品18放置于检测容器3内后检测获取的整体检测图像信息与容器图像基准信息进行对比后获取试样结果图像信息，免去了对试验样品18进行干燥的环节，消除干燥环节对试验样品18的影响，最终达到方便sem反映原状试验样品18的真实特征的目的。
49.在图1所示的步骤s200中，为了进一步确保电子束输出控制信息的合理性，因此需
要对电子束输出控制信息作更进一步的单独分析计算，具体通过图2所示步骤进行详细说明。
50.参照图2，根据试样检测启动信息与预设的电子束输出控制信息的对应关系，分析获取与试样检测启动信息相对应的电子束输出控制信息包括如下步骤：步骤s210，获取电子束输出机构2的装置型号信息及当前电压检测值。
51.其中，装置型号信息是指电子束输出机构2的型号信息，装置型号信息从存储有装置型号信息的数据库中查询获取。
52.当前电压检测值是指电子束输出机构2在输出电子束时的所处电压的检测值，当前电压检测值通过预设于电子束输出机构2上的电压传感器检测获取。
53.步骤s220，根据装置型号信息与预设的电子束种类信息的对应关系，分析获取与装置型号信息相对应的电子束种类信息。
54.其中，电子束种类信息是指电子束输出机构2在输出电子束的种类信息，电子束种类信息从存储有电子束种类信息的数据库中查询获取。
55.通过装置型号信息分析获取电子束种类信息，从而方便后续对电子束种类信息进行使用。
56.步骤s230，根据当前电压检测值、电子束种类信息与预设的电子束当前能量值的对应关系，分析获取与当前电压检测值及电子束种类信息相对应的电子束当前能量值。
57.其中，电子束当前能量值是指电子束输出机构2在输出电子束的实际能量值，电子束当前能量值从存储有电子束当前能量值的数据库中查询获取。
58.通过当前电压检测值及电子束种类信息分析获取电子束当前能量值，从而方便后续对电子束当前能量值进行使用。
59.步骤s240，根据试样检测启动信息与预设的装置启动控制信息的对应关系，分析获取与试样检测启动信息相对应的装置启动控制信息。
60.其中，装置启动控制信息是指用于控制电子束输出机构2启动从而开始输出电子束的初始控制信息，装置启动控制信息从存储有装置启动控制信息的数据库中查询获取。
61.通过试样检测启动信息分析获取装置启动控制信息，从而方便后续对装置启动控制信息进行使用。
62.步骤s250，判断电子束当前能量值是否大于预设的电子束能量基准值。若为是，则执行步骤s260；若为否，则执行步骤s270。
63.其中，电子束能量基准值是指电子束输出机构2在输出电子束时需要的基准能量值，电子束能量基准值从存储有电子束能量基准值的数据库中查询获取。
64.通过对电子束当前能量值是否大于预设的电子束能量基准值进行判断，从而判断电子束输出机构2在输出电子束的实际能量值是否大于电子束输出机构2在输出电子束时需要的基准能量值。
65.步骤s260，将装置启动控制信息作为电子束输出控制信息。
66.其中，当电子束当前能量值大于预设的电子束能量基准值时，说明此时电子束输出机构2在输出电子束的实际能量值大于电子束输出机构2在输出电子束时需要的基准能量值，故直接将装置启动控制信息作为电子束输出控制信息，从而提高获取的电子束输出控制信息的准确性。
67.步骤s270，根据是否能查询到电压限制值的判断结果，分析获取电子束能量值调整信息，并将电子束能量值调整信息与装置启动控制信息作为电子束输出控制信息。
68.其中，电子束能量值调整信息是指用于对电子束输出机构2在输出电子束能量值进行调整的调整信息，电子束能量值调整信息从存储有电子束能量值调整信息的数据库中查询获取。
69.通过是否能查询到电压限制值的判断结果，对电子束能量值调整信息进行分析获取，并将电子束能量值调整信息与装置启动控制信息作为电子束输出控制信息，从而提高获取的电子束输出控制信息的准确性。
70.在图2所示的步骤s270中，为了进一步确保电子束能量值调整信息的合理性，因此需要对电子束能量值调整信息作更进一步的单独分析计算，具体通过图3所示步骤进行详细说明。
71.参照图3，根据是否能查询到电压限制值的判断结果，分析获取电子束能量值调整信息包括如下步骤：步骤s271，根据电子束当前能量值与电子束能量基准值，分析计算电子束当前能量值与电子束能量基准值之间的差值并作为电子束能量偏差值。
72.其中，电子束能量偏差值是指电子束输出机构2在输出电子束的实际能量值与电子束输出机构2在输出电子束时需要的基准能量值之间的偏差值。
73.通过电子束当前能量值与电子束能量基准值，对电子束当前能量值与电子束能量基准值之间的差值进行分析计算，并将电子束当前能量值与电子束能量基准值之间的差值作为电子束能量偏差值，从而方便后续对电子束能量偏差值进行使用。
74.步骤s272，判断是否能查询到电压限制值。若为是，则执行步骤s273；若为否，则执行步骤s274。
75.其中，电压限制值是指对电子束输出机构2所使用时的电压值存在的限制值，电压限制值从存储有电压限制值的数据库中查询获取。
76.通过对是否能查询到电压限制值进行判断，从而判断电子束输出机构2所使用时的电压值存在的限制值。
77.步骤s273，根据电子束能量偏差值与预设的磁场调节控制信息的对应关系，分析获取与电子束能量偏差值相对应的磁场调节控制信息，并将磁场调节控制信息作为电子束能量值调整信息。
78.其中，磁场调节控制信息是指用于控制调整磁场的控制信息，磁场调节控制信息从存储有磁场调节控制信息的数据库中查询获取。
79.当能查询到电压限制值时，说明此时电子束输出机构2所使用时的电压值存在的限制值，故通过电子束能量偏差值分析获取磁场调节控制信息，并将磁场调节控制信息作为电子束能量值调整信息，从而提高获取的电子束能量值调整信息的准确性，且方便对电子束输出机构2在输出电子束能量值进行调整。
80.步骤s274，根据电子束能量偏差值与预设的电压调节控制信息的对应关系，分析获取与电子束能量偏差值相对应的电压调节控制信息，并将电压调节控制信息作为电子束能量值调整信息。
81.其中，电压调节控制信息是指用于控制调整电压的控制信息，电压调节控制信息
从存储有电压调节控制信息的数据库中查询获取。
82.当不能查询到电压限制值时，说明此时电子束输出机构2所使用时的电压值不存在的限制值，故通过电子束能量偏差值分析获取电压调节控制信息，并将电压调节控制信息作为电子束能量值调整信息，从而提高获取的电子束能量值调整信息的准确性，且方便对电子束输出机构2在输出电子束能量值进行调整。
83.在图1所示的步骤s400中，为了进一步确保试样结果图像信息的合理性，因此需要对试样结果图像信息作更进一步的单独分析计算，具体通过图4所示步骤进行详细说明。
84.参照图4，根据整体检测图像信息、预设的容器图像基准信息与预设的试样结果图像信息的对应关系，分析获取与整体检测图像信息及容器图像基准信息相对应的试样结果图像信息包括如下步骤：步骤s410，根据整体检测图像信息、预设的容器图像基准信息与预设的相同图像信息的对应关系，分析获取与整体检测图像信息及容器图像基准信息相对应的相同图像信息。
85.其中，相同图像信息是指整体检测图像信息与容器图像基准信息之间相同部分的图像信息，相同图像信息从存储有相同图像信息的数据库中查询获取。
86.通过整体检测图像信息及容器图像基准信息分析获取相同图像信息，从而方便后续对相同图像信息进行使用。
87.步骤s420，根据整体检测图像信息、相同图像信息与预设的区别图像信息的对应关系，分析获取与整体检测图像信息及相同图像信息相对应的区别图像信息，并将区别图像信息作为试样结果图像信息。
88.其中，区别图像信息是指整体检测图像信息与容器图像基准信息之间不相同部分的图像信息，区别图像信息从存储有区别图像信息的数据库中查询获取。
89.通过整体检测图像信息及相同图像信息分析获取区别图像信息，并将区别图像信息作为试样结果图像信息，从而提高获取的试样结果图像信息的准确性。
90.进一步的，为了进一步确保试样结果图像信息的合理性，因此需要对试样结果图像信息作更进一步的单独分析计算，位于步骤s420之后还包括以下步骤。获取当前试样种类信息；根据当前试样种类信息与预设的试样种类图像基准信息的对应关系，分析获取与当前试样种类信息相对应的试样种类图像基准信息；根据试样结果图像信息、试样种类图像基准信息与预设的试样结果相似度的对应关系，分析获取与试样结果图像信息及试样种类图像基准信息相对应的试样结果相似度；判断试样结果相似度是否位于预设的试样结果基准相似度区间内；若为是，则继续输出试样结果图像信息；若为否，则获取上一个试样结果图像信息并定义为上个结果图像信息；根据上个结果图像信息、试样结果图像信息与预设的结果修正图像信息的对应关系，分析获取与上个结果图像信息及试样结果图像信息相对应的结果修正图像信息，并将结果修正图像信息作为试样结果图像信息。
91.其中，当前试样种类信息是指当前时间进行检测的试样所属的种类信息，当前试样种类信息通过操作者输入获取。试样种类图像基准信息是指当前时间进行检测的试样所属种类的基准检测图像信息，试样种类图像基准信息从存储有试样种类图像基准信息的数据库中查询获取。试样结果相似度是指当前时间进行检测试样的实际检测图像与基准检测图像之间的相似度，试样结果相似度从存储有试样结果相似度的数据库中查询获取。试样
结果基准相似度区间是指检测试样属于该种类时相似度所处的基准区间，试样结果基准相似度区间从存储有试样结果基准相似度区间的数据库中查询获取。上个结果图像信息是指上一个试样结果图像信息，上个结果图像信息从存储有上个结果图像信息的数据库中查询获取。结果修正图像信息是指对当前时间进行检测试样的实际检测图像进行修正后的图像信息，结果修正图像信息从存储有结果修正图像信息的数据库中查询获取。
92.通过对当前试样种类信息进行获取，并通过当前试样种类信息分析获取试样种类图像基准信息，通过试样结果图像信息及试样种类图像基准信息分析获取试样结果相似度，再对试样结果相似度是否位于预设的试样结果基准相似度区间内进行判断，当位于时，继续输出试样结果图像信息，当不位于时，对上个结果图像信息进行获取，再通过上个结果图像信息及试样结果图像信息分析获取结果修正图像信息，并将结果修正图像信息作为试样结果图像信息，从而通过相似度判断此时检测的试样是否为所需检测的试样，并在相似度偏差过大时对结果进行修正并最终输出试样结果图像信息，提高获取的试样结果图像信息的准确性。
93.进一步的，为了进一步确保结果修正图像信息的合理性，因此需要对结果修正图像信息作更进一步的单独分析计算，根据上个结果图像信息、试样结果图像信息与预设的结果修正图像信息的对应关系，分析获取与上个结果图像信息及试样结果图像信息相对应的结果修正图像信息还包括以下步骤。根据上个结果图像信息、试样结果图像信息与预设的相同部分信息，分析获取与上个结果图像信息及试样结果图像信息相对应的相同部分信息；根据上个结果图像信息与预设的上个试样种类信息的对应关系，分析获取与上个结果图像信息相对应的上个试样种类信息；判断上个试样种类信息与当前试样种类信息是否为同一类；若为是，则输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端；若为否，则根据试样结果图像信息、相同部分信息与预设的结果调整图像信息的对应关系，分析获取与试样结果图像信息及相同部分信息相对应的结果调整图像信息，并将结果调整图像信息作为结果修正图像信息。
94.其中，相同部分信息是指上个结果图像信息与试样结果图像信息之间相同部分的图像信息，相同部分信息从存储有相同部分信息的数据库中查询获取。上个试样种类信息是指对上一个进行检测的试样所属的种类信息，上个试样种类信息从存储有上个试样种类信息的数据库中查询获取。试样检测错误信息是指用于对进行检测时检测结果发生偏差的情况进行报警的报警信息，试样检测错误信息从存储有试样检测错误信息的数据库中查询获取。结果调整图像信息是指对检测结果进行调整后的图像信息，结果调整图像信息从存储有结果调整图像信息的数据库中查询获取。
95.通过上个结果图像信息及试样结果图像信息分析获取相同部分信息，通过上个结果图像信息分析获取上个试样种类信息，再对上个试样种类信息与当前试样种类信息是否为同一类进行判断，当为同一类时，输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端，当不为同一类时，通过试样结果图像信息及相同部分信息分析获取结果调整图像信息，并将结果调整图像信息作为结果修正图像信息，从而通过对当前检测的试样种类是否与上一个检测的试样种类为同一类进行判断，进而判断是否由于上一个试样未取出导致对检测结果产生影响，并对检测结果进行修正，最终提高的结果修正图像信息的准确性。
96.进一步的，为了进一步确保试样检测错误信息的合理性，因此需要对试样检测错
误信息作更进一步的单独分析计算，位于输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端之前的步骤还包括以下步骤。获取容器图像当前检测信息；根据容器图像当前检测信息、容器图像基准信息与预设的容器图像相似度的对应关系，分析获取与容器图像当前检测信息及容器图像基准信息相对应的容器图像相似度；判断容器图像相似度是否小于预设的容器图像相似基准值；若为是，则继续输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端；若为否，则输出预设的容器图像偏差报警信息，并将容器图像偏差报警信息作为试样检测错误信息。
97.其中，容器图像当前检测信息是指当前时间对容器进行检测后获取的检测图像信息，容器图像当前检测信息通过检测处理机构4进行检测获取。容器图像相似度是指容器图像当前检测信息与容器图像基准信息之间的相似度，容器图像相似度从存储有容器图像相似度的数据库中查询获取。容器图像相似基准值是指容器图像当前检测信息与容器图像基准信息之间的相似度能够容忍的最大值，容器图像相似基准值从存储有容器图像相似基准值的数据库中查询获取。容器图像偏差报警信息是指用于提示当前对容器检测的图像信息与预设的基准信息之间存在偏差而导致检测结果出现偏差的信息，容器图像偏差报警信息从存储有容器图像偏差报警信息的数据库中查询获取。
98.通过对容器图像当前检测信息进行获取，再通过容器图像当前检测信息及容器图像基准信息分析获取容器图像相似度，通过对容器图像相似度是否小于预设的容器图像相似基准值进行判断，当小于时，继续输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端，当不小于时，输出预设的容器图像偏差报警信息，并将容器图像偏差报警信息作为试样检测错误信息，从而通过重新对检测容器3进行检测后判断是否是之前使用的容器图像基准信息与容器图像当前检测信息存在偏差导致最终的检测结果存在偏差，进而方便操作者对检测结果存在偏差的原因进行了解，且提高获取的试样检测错误信息的准确性。
99.进一步的，为了进一步确保试样检测错误信息的合理性，因此需要对试样检测错误信息作更进一步的单独分析计算，位于继续输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端之前的步骤还包括以下步骤。根据当前试样种类信息与预设的试样种类电子束能量基准区间的对应关系，分析获取与当前试样种类信息相对应的试样种类电子束能量基准区间；判断电子束当前能量值是否位于试样种类电子束能量基准区间内；若为是，则继续输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端；若为否，则输出预设的电子束能量偏差影响报警信息，并将电子束能量偏差影响报警信息发生至操作者所持终端。
100.其中，试样种类电子束能量基准区间是指当前时间进行检测时的试样所属种类进行检测时电子束能量需要达到的基准区间，试样种类电子束能量基准区间从存储有试样种类电子束能量基准区间的数据库中查询获取。电子束能量偏差影响报警信息是指用于提示由于检测时的电子束能量未达到要求导致检测结果产生偏差的报警信息，电子束能量偏差影响报警信息从存储有电子束能量偏差影响报警信息的数据库中查询获取。
101.通过当前试样种类信息分析获取试样种类电子束能量基准区间，再对电子束当前能量值是否位于试样种类电子束能量基准区间内进行判断，当位于试样种类电子束能量基准区间内时，继续输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端，当未位于试样种类电子束能量基准区间内时，输出预设的电子束能量偏差影响报警信息，并将电子束能量偏差影响报警信息发生至操作者所持终端，从而通过对电子束当前能量值是否满足当前检测试
样所属种类要求进行判断，进而方便操作者进一步对最终检测产生偏差的原因进行了解。
102.参照图5与图6，基于同一发明构思，本发明实施例提供一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测系统，包括扫描检测装置1及检测容器3。检测容器3供试验样品18进行放置并隔绝空气，扫描检测装置1用于对放置于检测容器3内的试验样品18进行检测。通过将供试验样品18放置于检测容器3内，从而隔绝空气，再使用扫描检测装置1对试验样品18进行检测，从而在对未进行干燥的试验样品18进行检测时，使试验样品18不容易对检测时的真空度产生影响，且免去了对试验样品18进行干燥的环节，消除干燥环节对试验样品18的影响，最终达到方便sem反映原状试验样品18的真实特征的目的。
103.参照图5，扫描检测装置1包括电子束输出机构2及检测处理机构4。电子束输出机构2用于对电子束进行输出，电子束输出机构2包括电子枪组件5、电磁透镜组件6及扫描线圈组件7。电子枪组件5用于生成并发射电子束，定义用于射入检测容器3的电子束为入射电子束，电子枪组件5对入射电子束的能量和种类进行确定。电磁透镜组件6位于电子枪组件5发射电子束的一侧，电磁透镜组件6用于对电子束的束斑进行聚焦缩小，通过电磁透镜组件6使入射电子束能够在试验样品18表面上进行扫描的信号。扫描线圈组件7位于电磁透镜组件6远离电子枪组件5的一侧，扫描线圈组件7用于偏转电子束并将电子束输出至检测容器3。通过扫描线圈组件7保证电子束的方向一致且均能射至试验样品18。在扫描线圈组件7远离电磁透镜组件6的一侧还安装有物镜19，通过物镜19对外界的物体进行隔离，从而使外界不容易对电子束输出机构2产生影响。在本实施例中，电子枪组件5为钨灯丝，且为了提高电子枪组件5输出的电子束的能量，可以加大加速电压或者增加一个磁场，电子枪组件5、电磁透镜组件6及扫描线圈组件7为间隔设置。
104.参照图5，检测处理机构4用于检测反射的电子束并生成整体检测图像信息，整体检测图像信息包括电子探测器14、扫描放大器15、信号放大器16及显示器17，电子探测器14用于对试验样品18反射的电子束进行收集并输出检测到的信息，信号放大器16用于将检测到的信息进行放大，从而方便后续对检测到的信息进行使用。显示器17用于对检测到的信息进行显示，从而方便操作者对试验样品18的检测结果进行了解。扫描放大器15分别与显示器17及扫描线圈组件7进行电连接，扫描放大器15用于对扫描线圈组件7进行控制并将控制的信息进行放大，从而使扫描线圈组件7控制电子束进行偏转达到需要的角度，通过扫描放大器15及信号放大器16的共同作用，从而使显示器17能够显示试验样品18反射的电子束图像。
105.参照图6与图7，检测容器3用于对电子束输出机构2射出的电子束进行透射及反射，检测容器3包括容器本体8、容器门9及试样置物板13，容器本体8上开设有供试验样品18进行放置的放置槽10，容器门9转动连接于容器本体8上，容器门9用于盖住并密封放置槽10。容器本体8顶部为高原子序数材料制成从而可以供电子束透射，容器门9与容器本体8侧壁为低原子序数材料制成从而可以吸收电子轰击的能量。容器本体8顶部上表面为水平，从而方便电子束透射进入容器本体8内并对放置于放置槽10中的试验样品18进行检测。
106.参照图6与图7，试样置物板13可拆卸安装于容器本体8上，试样置物板13位于放置槽10靠近地面一侧的内侧壁上，试样置物板13用于供试验样品18进行放置，试样置物板13为不透水材料制成，且试样置物板13为低原子序数材料制成从而可以吸收电子轰击的能量。通过将试验样品18放置于试样置物板13上，从而使试验样品18不容易对容器本体8产生
污染，方便后续对容器本体8进行清理。
107.参照图6与图7，容器本体8远离容器门9的一侧开设有真空孔11，真空孔11用于对放置槽10的气压进行调节，真空孔11用于连通放置槽10与外界，通过真空孔11方便操作者通过真空抽取装置将放置槽10中的空气抽出，从而减少容器本体8与检测时外界环境之间的压力差，降低容器本体8所需要承受的压力，延长容器本体8的使用寿命。容器本体8上可拆卸安装有用于插入并密封真空孔11的孔塞12，通过孔塞12插入并密封真空孔11，从而使容器本体8的气压进行保持。
108.本技术实施例一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测系统的实施原理为：1.参照图8，在未将试验样品18放置于容器本体8内时，入射电子束轰击容器本体8顶部后部分被容器本体8顶部吸收，从而形成了容器本体8内的电子信号和容器外的电子信号，容器本体8里的电子信号主要是以透射电子为主，容器本体8外的电子信号主要以二次电子和背散射电子为主，且还存在特征x射线、俄歇电子以及阴极发光。容器本体8里的透射电子会重新从容器本体8顶部投射出并被检测处理机构4检测获取，最终形成如图10中左侧的试样结果图像信息。
109.2.参照图9，在将试验样品18放置于容器本体8内时，入射电子束轰击容器本体8顶部后部分被容器本体8顶部吸收，从而形成了容器本体8内的电子信号和容器外的电子信号，容器本体8里的电子信号主要是以透射电子为主，容器本体8外的电子信号主要以二次电子和背散射电子为主，且还存在特征x射线、俄歇电子以及阴极发光。容器本体8里的透射电子会轰击至试验样品18上后发生反射并重新从容器本体8顶部投射出并被检测处理机构4检测获取，最终形成如图10中右侧的试样结果图像信息。
110.以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，本说明书（包括摘要和附图）中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或者具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。

技术特征：
1.一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测方法，其特征在于，包括：获取试样检测启动信息；根据试样检测启动信息与预设的电子束输出控制信息的对应关系，分析获取与试样检测启动信息相对应的电子束输出控制信息，并将电子束输出控制信息发送至电子束输出机构（2）；获取试验样品（18）放置于预设的检测容器（3）内时的整体检测图像信息；根据整体检测图像信息、预设的容器图像基准信息与预设的试样结果图像信息的对应关系，分析获取与整体检测图像信息及容器图像基准信息相对应的试样结果图像信息，并发送试样结果图像信息至操作者所持终端。2.根据权利要求1所述的一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测方法，其特征在于，根据试样检测启动信息与预设的电子束输出控制信息的对应关系，分析获取与试样检测启动信息相对应的电子束输出控制信息包括：获取电子束输出机构（2）的装置型号信息及当前电压检测值；根据装置型号信息与预设的电子束种类信息的对应关系，分析获取与装置型号信息相对应的电子束种类信息；根据当前电压检测值、电子束种类信息与预设的电子束当前能量值的对应关系，分析获取与当前电压检测值及电子束种类信息相对应的电子束当前能量值；根据试样检测启动信息与预设的装置启动控制信息的对应关系，分析获取与试样检测启动信息相对应的装置启动控制信息；判断电子束当前能量值是否大于预设的电子束能量基准值；若为是，则将装置启动控制信息作为电子束输出控制信息；若为否，则根据是否能查询到电压限制值的判断结果，分析获取电子束能量值调整信息，并将电子束能量值调整信息与装置启动控制信息作为电子束输出控制信息。3.根据权利要求2所述的一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测方法，其特征在于，根据是否能查询到电压限制值的判断结果，分析获取电子束能量值调整信息包括：根据电子束当前能量值与电子束能量基准值，分析计算电子束当前能量值与电子束能量基准值之间的差值并作为电子束能量偏差值；判断是否能查询到电压限制值；若为是，则根据电子束能量偏差值与预设的磁场调节控制信息的对应关系，分析获取与电子束能量偏差值相对应的磁场调节控制信息，并将磁场调节控制信息作为电子束能量值调整信息；若为否，则根据电子束能量偏差值与预设的电压调节控制信息的对应关系，分析获取与电子束能量偏差值相对应的电压调节控制信息，并将电压调节控制信息作为电子束能量值调整信息。4.根据权利要求2所述的一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测方法，其特征在于，根据整体检测图像信息、预设的容器图像基准信息与预设的试样结果图像信息的对应关系，分析获取与整体检测图像信息及容器图像基准信息相对应的试样结果图像信息包括：根据整体检测图像信息、预设的容器图像基准信息与预设的相同图像信息的对应关
系，分析获取与整体检测图像信息及容器图像基准信息相对应的相同图像信息；根据整体检测图像信息、相同图像信息与预设的区别图像信息的对应关系，分析获取与整体检测图像信息及相同图像信息相对应的区别图像信息，并将区别图像信息作为试样结果图像信息。5.根据权利要求4所述的一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测系统，其特征在于，还包括位于将区别图像信息作为试样结果图像信息之后的步骤，具体如下：获取当前试样种类信息；根据当前试样种类信息与预设的试样种类图像基准信息的对应关系，分析获取与当前试样种类信息相对应的试样种类图像基准信息；根据试样结果图像信息、试样种类图像基准信息与预设的试样结果相似度的对应关系，分析获取与试样结果图像信息及试样种类图像基准信息相对应的试样结果相似度；判断试样结果相似度是否位于预设的试样结果基准相似度区间内；若为是，则继续输出试样结果图像信息；若为否，则获取上一个试样结果图像信息并定义为上个结果图像信息；根据上个结果图像信息、试样结果图像信息与预设的结果修正图像信息的对应关系，分析获取与上个结果图像信息及试样结果图像信息相对应的结果修正图像信息，并将结果修正图像信息作为试样结果图像信息。6.根据权利要求5所述的一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测系统，其特征在于，根据上个结果图像信息、试样结果图像信息与预设的结果修正图像信息的对应关系，分析获取与上个结果图像信息及试样结果图像信息相对应的结果修正图像信息包括：根据上个结果图像信息、试样结果图像信息与预设的相同部分信息，分析获取与上个结果图像信息及试样结果图像信息相对应的相同部分信息；根据上个结果图像信息与预设的上个试样种类信息的对应关系，分析获取与上个结果图像信息相对应的上个试样种类信息；判断上个试样种类信息与当前试样种类信息是否为同一类；若为是，则输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端；若为否，则根据试样结果图像信息、相同部分信息与预设的结果调整图像信息的对应关系，分析获取与试样结果图像信息及相同部分信息相对应的结果调整图像信息，并将结果调整图像信息作为结果修正图像信息。7.根据权利要求6所述的一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测系统，其特征在于，还包括位于输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端之前的步骤，具体如下：获取容器图像当前检测信息；根据容器图像当前检测信息、容器图像基准信息与预设的容器图像相似度的对应关系，分析获取与容器图像当前检测信息及容器图像基准信息相对应的容器图像相似度；判断容器图像相似度是否小于预设的容器图像相似基准值；若为是，则继续输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端；若为否，则输出预设的容器图像偏差报警信息，并将容器图像偏差报警信息作为试样检测错误信息。8.根据权利要求7所述的一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测系统，其特征在
于，还包括位于继续输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端之前的步骤，具体如下：根据当前试样种类信息与预设的试样种类电子束能量基准区间的对应关系，分析获取与当前试样种类信息相对应的试样种类电子束能量基准区间；判断电子束当前能量值是否位于试样种类电子束能量基准区间内；若为是，则继续输出预设的试样检测错误信息至操作者所持终端；若为否，则输出预设的电子束能量偏差影响报警信息，并将电子束能量偏差影响报警信息发生至操作者所持终端。9.一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测系统，其特征在于，包括：扫描检测装置（1），包括用于输出电子束的电子束输出机构（2）及用于检测反射的电子束并生成整体检测图像信息的检测处理机构（4）；检测容器（3），供试验样品（18）进行放置并隔绝空气，且对所述电子束输出机构（2）射出的电子束进行透射及反射；所述电子束输出机构（2）包括用于生成并发射电子束的电子枪组件（5）、用于对电子束的束斑进行聚焦缩小的电磁透镜组件（6）及用于偏转电子束的扫描线圈组件（7），所述电磁透镜组件（6）位于所述电子枪组件（5）与所述扫描线圈组件（7）之间，所述扫描线圈组件（7）将电子束输出至所述检测容器（3）；所述检测容器（3）包括供所述试验样品（18）进行放置的容器本体（8）及转动连接于所述容器本体（8）上的容器门（9），所述容器本体（8）顶部供电子束透射，所述容器本体（8）侧壁吸收电子轰击的能量，所述容器本体（8）开设有供所述试验样品（18）进行放置的放置槽（10），所述容器门（9）用于盖住并密封所述放置槽（10）；所述容器本体（8）上开设有用于对所述放置槽（10）的气压进行调节的真空孔（11），所述真空孔（11）用于连通所述放置槽（10）与外界，所述容器本体（8）上设置有用于插入并密封所述真空孔（11）的孔塞（12）。10.根据权利要求9所述的一种基于sem扫描电镜技术的外加容器观测系统，其特征在于：所述检测容器（3）还包括设置于所述容器本体（8）上的试样置物板（13），所述试样置物板（13）供所述试验样品（18）进行放置，所述试样置物板（13）位于所述放置槽（10）内。

技术总结
本申请涉及一种基于SEM扫描电镜技术的外加容器观测方法与系统，涉及材料微观研究技术领域，其方法包括：获取试样检测启动信息；根据试样检测启动信息与预设的电子束输出控制信息的对应关系，分析获取与试样检测启动信息相对应的电子束输出控制信息，并将电子束输出控制信息发送至电子束输出机构；获取试验样品放置于预设的检测容器内时的整体检测图像信息；根据整体检测图像信息、预设的容器图像基准信息与预设的试样结果图像信息的对应关系，分析获取与整体检测图像信息及容器图像基准信息相对应的试样结果图像信息，并发送试样结果图像信息至操作者所持终端。本申请具有方便SEM反映原状试验样品的真实特征的效果。反映原状试验样品的真实特征的效果。反映原状试验样品的真实特征的效果。


技术研发人员：包小华 鲍志早 沈俊 崔宏志 陈湘生 夏长青 朱旻
受保护的技术使用者：深圳大学
技术研发日：2023.05.11
技术公布日：2023/8/4