弹性波滤波器和复合滤波器装置的制作方法

1.本发明涉及具有串联连接的第一弹性波谐振器、第二弹性波谐振器及第三弹性波谐振器的弹性波滤波器和复合滤波器装置。


背景技术：

2.以往，提出了各种具有多个弹性波谐振器的弹性波滤波器。在下述的专利文献1所记载的弹性波滤波器中，设置有电极指间距相等且相互串联连接的多个谐振器。在引用文献1中，通过将串联臂谐振器分割为相互串联连接的多个谐振器，能够提高耐功率性。
3.在先技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开平9-205343号公报


技术实现要素：

6.发明要解决的问题
7.在弹性波谐振器中，耐功率性变差是由于在施加功率时在谐振频率-反谐振频率的频率范围内位移较大而导致的。尤其是由于反谐振频率下的电压变高，因此通过局部发热而发生迁移，耐功率性下降。
8.在专利文献1中，通过串联分割实现了耐功率性的提高，但耐功率性仍不够。尤其是近年来伴随着高频化而缩短了电极指之间的距离，因此，要求更进一步的耐功率性的提高。
9.本发明的目的在于，提供一种能够提高耐功率性的弹性波滤波器和复合滤波器装置。
10.用于解决问题的手段
11.在本发明的弹性波滤波器的某一广义方面中，具有输入端和输出端，在将所述输入端与所述输出端连结的串联臂具备按照第一弹性波谐振器、第二弹性波谐振器、
……
第n弹性波谐振器的顺序串联连接的n个弹性波谐振器，其中，n为自然数，所述n个弹性波谐振器分别具有多根电极指，所述n个弹性波谐振器包括第m弹性波谐振器，其中，m为1＜m＜n的自然数，所述第m弹性波谐振器夹在所述第一弹性波谐振器与第n弹性波谐振器之间，所述第m弹性波谐振器的所述电极指间距在所述n个弹性波谐振器的电极指间距中为最小。
12.在本发明的弹性波滤波器的另一广义方面中，具有输入端和输出端，并且具备将所述输入端与所述输出端连结的串联臂以及将所述串联臂与接地电位连结的并联臂，在所述并联臂具备按照第一弹性波谐振器、第二弹性波谐振器、
……
第n弹性波谐振器的顺序串联连接的n个弹性波谐振器，其中，n为自然数，所述n个弹性波谐振器分别具有多根电极指，所述n个弹性波谐振器包括第m弹性波谐振器，其中，m为1＜m＜n的自然数，所述第m弹性波谐振器夹在所述第一弹性波谐振器与第n弹性波谐振器之间，所述第m弹性波谐振器的所述电极指间距在所述n个弹性波谐振器的电极指间距中为最大。
13.本发明的复合滤波器装置具备按照本发明而构成的弹性波滤波器、以及通带与所述弹性波滤波器不同的至少一个带通型滤波器，所述弹性波滤波器与所述至少一个带通型滤波器的一端彼此共同连接。
14.发明效果
15.在本发明的弹性波滤波器和复合滤波器装置中，能够提高耐功率性。
附图说明
16.图1是具有本发明的第一实施方式的弹性波滤波器的复合滤波器装置的电路图。
17.图2是示出具有第一实施方式的弹性波滤波器的复合滤波器装置的变形例的电路图。
18.图3是具有第一实施方式的弹性波滤波器的复合滤波器装置的简图的俯视图。
19.图4是用于说明弹性波谐振器的电极构造的俯视图。
20.图5是用于说明第一实施方式的弹性波滤波器中的第一弹性波谐振器～第三弹性波谐振器的位置关系的简图的俯视图。
21.图6是示出实施例1及比较例1的弹性波滤波器中的频率与每单位面积的功率消耗之间的关系的图。
22.图7是用于说明本发明的第二实施方式的弹性波滤波器中的第一弹性波谐振器～第三弹性波谐振器的位置关系的简图的俯视图。
23.图8是示出实施例2及比较例2的弹性波滤波器中的频率与每单位面积的功率消耗之间的关系的图。
24.图9是具有本发明的第三实施方式的弹性波滤波器的复合滤波器装置的电路图。
25.图10是具有第三实施方式的弹性波滤波器的复合滤波器装置的简图的俯视图。
26.图11是本发明的第四实施方式的复合滤波器装置的电路图。
27.图12是具有本发明的第五实施方式的弹性波滤波器的复合滤波器装置的电路图。
28.图13是用于说明第四实施方式的弹性波滤波器中的第一弹性波谐振器～第三弹性波谐振器的位置关系的简图的俯视图。
29.图14是本发明的第六实施方式的弹性波滤波器的电路图。
30.图15是本发明的第七实施方式的弹性波滤波器的电路图。
31.图16是本发明的第八实施方式的复合滤波器装置的电路图。
具体实施方式
32.以下，参照附图对本发明的具体实施方式进行说明，由此使本发明变得清楚。
33.需要说明的是，本说明书所记载的各实施方式是例示性的，预先指出在不同的实施方式之间能够进行结构的部分置换或组合。
34.图1是具有本发明的第一实施方式的弹性波滤波器的复合滤波器装置的电路图，图3是该复合滤波器装置的简图的俯视图。
35.复合滤波器装置1具有与天线连接的共同端子4。在共同端子4与接地电位之间连接有阻抗调整用的电感器l1。
36.在共同端子4与发送端子5之间连接有本发明的第一实施方式的弹性波滤波器2。
弹性波滤波器2是发送滤波器。因此，发送端子5是输入端，共同端子4成为输出端。
37.在共同端子4与接收端子6之间连接有作为接收滤波器的弹性波滤波器3。
38.在弹性波滤波器2中，在将发送端子5与共同端子4连结的串联臂中设置有串联臂谐振器s1～s5。另外，在将串联臂与接地电位连结的多个并联臂中分别设置有并联臂谐振器p1～p4。
39.并联臂谐振器p1连接在串联臂谐振器s1和串联臂谐振器s2之间的连接点与接地电位之间。并联臂谐振器p2连接在串联臂谐振器s2和串联臂谐振器s3之间的连接点与接地电位之间。并联臂谐振器p1、p2的接地电位侧端部被共同连接，并且与接地电位连接。并联臂谐振器p3连接在串联臂谐振器s3和串联臂谐振器s4之间的连接点与接地电位之间。并联臂谐振器p4连接在串联臂谐振器s4和串联臂谐振器s5之间的连接点与接地电位之间。并联臂谐振器p3与并联臂谐振器p4的接地电位侧端部被共同连接，并且经由电感器l3而与接地电位连接。
40.在发送端子5与接地电位之间连接有电感器l2。
41.在弹性波滤波器2中，为了提高耐功率性，串联臂谐振器s1～s5及并联臂谐振器p1～p4均具有将弹性波谐振器分割为相互串联连接的多个弹性波谐振器的构造。即，上述各谐振器分别包括多个分割谐振器。更具体而言，串联臂谐振器s1～s5分别是，串联臂谐振器s1具有弹性波谐振器s1a～s1d，串联臂谐振器s2具有弹性波谐振器s2a～s2e，串联臂谐振器s3具有弹性波谐振器s3a～s3d，串联臂谐振器s4具有弹性波谐振器s4a～s4c，串联臂谐振器s5具有弹性波谐振器s5a～s5d。
42.并联臂谐振器p1～p3分别具有将三个弹性波谐振器串联连接的构造，并联臂谐振器p4具有将两个弹性波谐振器串联连接的构造。
43.如图3所示，在复合滤波器装置1中，在压电基板7上配置有上述弹性波滤波器2、3。更具体而言，构成串联臂谐振器s1～s5及并联臂谐振器p1～p4的idt电极、反射器设置在压电基板7上。在弹性波滤波器3侧，也同样地设置有构成各弹性波谐振器的idt电极及反射器。需要说明的是，在图3中，以简图的形式仅示出设置有弹性波滤波器3的位置。
44.图4是示出弹性波谐振器的电极构造的俯视图。在弹性波谐振器中，在idt电极11的弹性波传播方向两侧配置有反射器12、13。这里，idt电极11具有相互交错对插的多根第一电极指11a和多根第二电极指12a。电极指间距p是指相邻的第一电极指11a与第二电极指12a之间的电极指中心间距离。在本说明书中，弹性波谐振器间的比较所涉及的电极指间距为各个弹性波谐振器中的平均电极指间距。在图4中，x是弹性波传播方向，是与第一电极指11a及第二电极指12a延伸的方向正交的方向。y是与弹性波传播方向正交的方向。
45.如图5所示，第一弹性波谐振器s4a～第三弹性波谐振器s4c在y方向、即与弹性波传播方向x正交的方向上排列。在该y方向上，第二弹性波谐振器s4b夹在第一弹性波谐振器s4a与第三弹性波谐振器s4c之间。
46.弹性波滤波器2的特征之一在于，弹性波谐振器s4a～s4c的电极指间距在串联臂谐振器s4中不同。更具体而言，弹性波谐振器s4a相当于本发明中的第一弹性波谐振器，弹性波谐振器s4b相当于第二弹性波谐振器，弹性波谐振器s4c相当于第三弹性波谐振器。以下，将弹性波谐振器s4a记述为第一弹性波谐振器s4a，将弹性波谐振器s4b记述为第二弹性波谐振器s4b，将弹性波谐振器s4c记述为第三弹性波谐振器s4c。而且，第二弹性波谐振器
s4b的平均电极指间距在第一弹性波谐振器s4a～第三弹性波谐振器s4c的平均电极指间距中为最小，并且，第二弹性波谐振器s4b配置为物理上夹在第一弹性波谐振器s4a与第三弹性波谐振器s4c之间。
47.需要说明的是，上述弹性波谐振器不限定于三个。本发明中的特征性的串联臂谐振器包括n个(n为自然数)弹性波谐振器即可。n个弹性波谐振器按照第一弹性波谐振器、第二弹性波谐振器、
……
第n弹性波谐振器的顺序串联连接即可。此外，n个弹性波谐振器包括第m弹性波谐振器(m为1＜m＜n的自然数)，第m弹性波谐振器的上述电极指间距在n个弹性波谐振器的电极指间距中为最小即可。在本实施方式的情况下，n＝3，m＝2。
48.需要说明的是，优选的是，n个弹性波谐振器在串联臂中配置于输入端侧。
49.如图3所示，在压电基板7上构成了串联臂谐振器s4，但该串联臂谐振器s4如图5所示那样具有第一弹性波谐振器s4a～第三弹性波谐振器s4c。而且，在压电基板7上，第二弹性波谐振器s4b物理上夹在第一弹性波谐振器s4a与第三弹性波谐振器s4c之间。
50.需要说明的是，第二弹性波谐振器s4b的谐振频率位于通带外。更具体而言，位于比通带靠高频侧的位置。在第一弹性波谐振器s4a～第三弹性波谐振器s4c中，第二弹性波谐振器s4b的电容＝电极指的对数
×
交叉宽度＜第一弹性波谐振器s4a、第三弹性波谐振器s4c的电容。在该情况下，相比于第一弹性波谐振器～第三弹性波谐振器的谐振频率相等且电容也相等的情况，发热大的第一弹性波谐振器s4a、第三弹性波谐振器s4c的面积变大。因此，发热密度变低，能够提高耐功率性。此外，不会使通带中的衰减量恶化，能够改善比通带靠高频侧的衰减量。
51.在本实施方式中，第二弹性波谐振器s4b中的电极指间距p在第一弹性波谐振器s4a～第三弹性波谐振器s4c的电极指间距中为最小。
52.因此，在弹性波滤波器2中，能够有效地提高耐功率性。其原因如下。在串联臂谐振器s4中，串联地连接有第一弹性波谐振器s4a～第三弹性波谐振器s4c。而且，第二弹性波谐振器s4b的电极指间距最小，因此，第二弹性波谐振器s4b中的功率消耗即发热量在第一弹性波谐振器s4a～第三弹性波谐振器s4c中最少。因此，通过将难以发热的第二弹性波谐振器s4b物理上夹在第一弹性波谐振器s4a与第三弹性波谐振器s4c之间，能够减小串联臂谐振器s4中的每单位面积的功率消耗，能够提高耐功率性。
53.需要说明的是，在第一弹性波谐振器s4a、第三弹性波谐振器s4c与第二弹性波谐振器s4b之间，未连接第一弹性波谐振器s4a～第三弹性波谐振器s4c以外的电路元件。此外，将第一弹性波谐振器s4a、第三弹性波谐振器s4c与第二弹性波谐振器s4b连接的布线未与接地电位连接。因此，从第二弹性波谐振器s4b散热的散热性容易变得不充分。在这样的情况下，本发明特别适合。这里，将连接弹性波谐振器之间的多个布线统一记载为连接节点。即便在连接n个弹性波谐振器之间的连接节点未连接该n个弹性波谐振器以外的电路元件、并且该连接节点未与接地电位连接的情况下，也与上述同样地，本发明特别适合。
54.弹性波滤波器3是具有串联臂谐振器s11～s15及并联臂谐振器p11～p14的梯型滤波器。在弹性波滤波器3中虽然也没有特别限定，但串联臂谐振器s11～s15及并联臂谐振器p11～p14包括弹性波谐振器。另外，在作为接收滤波器的弹性波滤波器3中，在并联臂谐振器p14与接地电位之间连接有电感器l4。另外，在接收端子6与接地电位之间连接有电感器l5。
55.弹性波滤波器3的电路结构没有特别限定，也可以是梯型滤波器以外的其他的带通型滤波器。另外，弹性波滤波器3也可以是弹性波滤波器以外的带通型滤波器。
56.接着，图6示出关于上述第一实施方式的弹性波滤波器2的实施例1和比较例1的弹性波滤波器的频率与每单位面积的功率消耗之间的关系。
57.需要说明的是，在实施例1中，由第一弹性波谐振器s4a、第三弹性波谐振器s4c的idt电极的电极指间距决定的波长为1.5374μm，由反射器中的电极指间距决定的波长也为相同值。由第二弹性波谐振器s4b中的电极指间距决定的波长为1.5297μm，由反射器中的电极指间距决定的波长也为相同值。
58.在比较例1中，由第二弹性波谐振器s4b中的电极指间距决定的波长与由第一弹性波谐振器s4a、第三弹性波谐振器s4c中的电极指间距决定的波长相同，即为1.5374μm。关于其他结构，比较例1与实施例1相同。
59.图6的实线示出实施例1的结果，虚线示出比较例1的结果。图6的单点划线示出弹性波滤波器2中的通带的端部。需要说明的是，通带为2500mhz以上且2580mhz以下。从图6中可清楚，与比较例1相比，根据实施例1，可知在通带内的高频侧以及比通带靠高频侧的位置，功率消耗比比较例1显著小。即，可知在2550mhz至2620mhz附近，在实施例1中能够大幅降低功率消耗，能够提高耐功率性。尤其是可知在施加了大功率的作为反谐振频率的2575mhz附近，能够显著减小功率消耗。
60.因此，在弹性波滤波器2中，与以往的弹性波滤波器相比，能够有效地提高耐功率性。
61.图2是示出第一实施方式的复合滤波器装置1中的弹性波滤波器2的变形例的电路图。在本变形例中，并联臂谐振器p1具有相互串联连接的弹性波谐振器p1a、弹性波谐振器p1b、弹性波谐振器p1c及弹性波谐振器p1d。这里，弹性波谐振器p1b是本发明的第一弹性波谐振器，弹性波谐振器p1c是本发明的第二弹性波谐振器，弹性波谐振器p1d是本发明的第三弹性波谐振器。因此，n＝4的弹性波谐振器在并联臂中串联连接，三个(m＝3)弹性波谐振器p1b～p1d串联连接。在该情况下，也是作为第m弹性波谐振器的第三弹性波谐振器p1d的电极指间距在四个弹性波谐振器p1a、p1b、p1c及p1d中为最大即可。在该情况下，优选的是，第四弹性波谐振器p1d的反谐振频率位于比弹性波滤波器的通带靠低频侧的位置。
62.图7是用于说明本发明的第二实施方式的弹性波滤波器中的第一弹性波谐振器～第三弹性波谐振器的位置关系的简图的俯视图。
63.如图7所示，在第二实施方式中，第三并联臂谐振器p3具有相互串联连接的第一弹性波谐振器p3a～第三弹性波谐振器p3c。在并联臂谐振器p3中，能够通过第一弹性波谐振器p3a～第三弹性波谐振器p3c串联连接的结构来提高耐功率性，但此外，通过使第二弹性波谐振器p3b的电极指间距在第一弹性波谐振器p3a～第三弹性波谐振器p3c的电极指间距中为最大，并且，使第二弹性波谐振器p3b夹在第一弹性波谐振器p3a与第三弹性波谐振器p3c之间，能够更加有效地提高耐功率性。
64.需要说明的是，第二弹性波谐振器p3b在与弹性波传播方向x正交的y方向上夹在第一弹性波谐振器p3a与第三弹性波谐振器p3c之间。
65.在第二实施方式的弹性波滤波器中，第三并联臂谐振器p3如上述那样构成，其他结构与上述的比较例1相同。即，串联臂谐振器s4与上述的比较例1相同。
66.在第二实施方式中，也参照图8来说明能够有效地提高耐功率性。
67.图8是示出第二实施方式的弹性波滤波器的实施例2和比较例2的弹性波滤波器的频率与每单位面积的功率消耗之间的关系的图。在图8中，单点划线也示出通带的下限和上限。
68.需要说明的是，在实施例2中，由第一弹性波谐振器p3a、第三弹性波谐振器p3c的电极指间距决定的波长为1.5858μm。即，电极指间距是1.5858/2＝0.7929μm。反射器也为相同的间距。
69.另一方面，由第二弹性波谐振器p3b的电极指间距决定的波长为1.5866μm，即电极指间距为0.7933μm，反射器中的电极指间距也相同。
70.在比较例2中，将第一弹性波谐振器p3a～第三弹性波谐振器p3c的电极指间距全部设为相同，即，将由电极指间距决定的波长设为1.5858μm。关于其他结构，比较例2与实施例2相同。
71.图8的实线示出实施例2的结果，虚线示出比较例2的结果。
72.从图8中可清楚，在并联臂谐振器p3中，可知在通带中被最大地施加功率的谐振频率下，与比较例2相比，能够充分地减小功率消耗。因此，可知在第二实施方式的弹性波滤波器中，也能够有效地提高耐功率性。
73.需要说明的是，第一弹性波谐振器s4a～第三弹性波谐振器s4c的谐振频率及反谐振频率如下述的表1所示。
74.[表1]
[0075] 波长(μm)谐振频率(mhz)反谐振频率(mhz)第一弹性波谐振器s4a1.53742527.692617.69第一弹性波谐振器s4b1.52972538.942631.85第一弹性波谐振器s4c1.53742527.692617.69
[0076]
并联臂谐振器p3中的第一弹性波谐振器p3a～第三弹性波谐振器p3c的谐振频率及反谐振频率如下述的表2所示。
[0077]
[表2]
[0078] 波长(μm)谐振频率(mhz)反谐振频率(mhz)第一弹性波谐振器p3a1.58582457.512541.47第一弹性波谐振器p3b1.58662455.742539.99第一弹性波谐振器p3c1.58582457.512541.47
[0079]
需要说明的是，上述弹性波谐振器不限定于三个。在第二实施方式中，也是串联臂谐振器包括n个(n为自然数)弹性波谐振器即可。在并联臂中，n个弹性波谐振器按照第一弹性波谐振器、第二弹性波谐振器、
……
第n弹性波谐振器的顺序串联地连接即可。此外，n个弹性波谐振器包括第m弹性波谐振器(m为1＜m＜n的自然数)，并且，第m弹性波谐振器的所述电极指间距在n个弹性波谐振器的电极指间距中为最大即可。在本实施方式的情况下，n＝3，m＝2。
[0080]
图9是具有本发明的第三实施方式的弹性波滤波器的复合滤波器装置的电路图，图10是其简图的俯视图。需要说明的是，在图10中示出各谐振器的配置，省略了布线。
[0081]
如图9所示，复合滤波器装置31与复合滤波器装置1同样地具有与天线连接的共同
端子4、发送端子5、以及接收端子6。在共同端子4与发送端子5之间连接有作为发送滤波器的弹性波滤波器32。弹性波滤波器32是本发明的第三实施方式的弹性波滤波器。在共同端子4与接收端子6之间连接有作为接收滤波器的弹性波滤波器33。
[0082]
在弹性波滤波器32中，在将发送端子5与共同端子4连结的串联臂设置有串联臂谐振器s1～s5。另外，在串联臂与接地电位之间连接有并联臂谐振器p1～p4。与第一实施方式的弹性波滤波器2的不同之处在于，串联臂谐振器s1～s5分别包括单一的弹性波谐振器，未分割为多个弹性波谐振器。同样地，关于并联臂谐振器p1～p4，在弹性波滤波器32中也包括单一的弹性波谐振器。
[0083]
在作为梯型滤波器的弹性波滤波器32中，串联臂谐振器s2～s4相当于本发明中的第一弹性波谐振器～第三弹性波谐振器。
[0084]
即，作为第二弹性波谐振器的串联臂谐振器s3中的电极指间距比作为第一弹性波谐振器、第三弹性波谐振器的串联臂谐振器s2、s4的电极指间距小。而且，如图10所示，串联臂谐振器s3在压电基板7上在y方向上物理地夹在串联臂谐振器s2与串联臂谐振器s4之间。即，在与弹性波传播方向x正交的方向y上，串联臂谐振器s3夹在串联臂谐振器s2与串联臂谐振器s4之间。需要说明的是，串联臂谐振器s3的谐振频率位于弹性波滤波器32的通带外。更具体而言，位于比通带靠高频侧的位置。
[0085]
在弹性波滤波器32中，串联臂谐振器s2～s4如上述那样构成，因此，串联臂谐振器s3的发热量比串联臂谐振器s2、s4的发热量小。因此，在压电基板7上，在配置有串联臂谐振器s2～s4的部分，能够减小发热量，能够提高耐功率性。
[0086]
这样，本发明不限于将一个弹性波谐振器串联分割为具有第一弹性波谐振器～第三弹性波谐振器的构造，能够广泛应用于具有相互串联连接的第一弹性波谐振器～第三弹性波谐振器的构造。
[0087]
需要说明的是，在复合滤波器装置31中，作为接收滤波器的弹性波滤波器33具有将纵耦合谐振器型弹性波滤波器34与弹性波谐振器35连接的构造。弹性波滤波器33的电路结构没有特别限定。
[0088]
图11是具有本发明的第四实施方式的弹性波滤波器的复合滤波器装置的电路图。在复合滤波器装置41中，在共同端子4与发送端子5之间连接有第四实施方式的弹性波滤波器42。在弹性波滤波器42中，在将共同端子4与发送端子5连结的串联臂中，从发送端子5侧起依次配置有串联臂谐振器s1～s5。这里，串联臂谐振器s1具有弹性波谐振器s1a、相互并联连接的弹性波谐振器s1b1、s1b2、弹性波谐振器s1c、以及相互并联连接的弹性波谐振器s1d1、s1d2。
[0089]
另外，串联臂谐振器s2具有相当于本发明的第一弹性波谐振器的弹性波谐振器s2a、相当于第二弹性波谐振器的弹性波谐振器s2b1、s2b2、以及第三弹性波谐振器s2c。弹性波谐振器s2b1与弹性波谐振器s2b2并联地连接。
[0090]
串联臂谐振器s3～s5具有将多个弹性波谐振器串联连接的构造。并联臂谐振器p1～p4也具有将多个弹性波谐振器串联连接的构造。并联臂谐振器p3、p4的接地电位侧端部被共同连接，经由电感器l3而与接地电位连接。
[0091]
在复合滤波器装置41中，在串联臂谐振器s2中，第二弹性波谐振器s2b1、s2b2的电极指间距比第一弹性波谐振器s2a、第三弹性波谐振器s2c的电极指间距小。第一弹性波谐
振器s2a与第三弹性波谐振器s2c的电极指间距可以相等，也可以不相等。
[0092]
另外，第二弹性波谐振器s2b1与s2b2的电极指间距可以相等，也可以不相等。不过，如上所述，第二弹性波谐振器s2b1、s2b2的电极指间距需要比第一弹性波谐振器s2a、第三弹性波谐振器s2c的电极指间距小。
[0093]
图13是用于说明第四实施方式的弹性波滤波器中的弹性波谐振器s2a、s2b1、s2b2、s2c的位置关系的简图的俯视图。在压电基板7上，在与弹性波传播方向x正交的y方向上，作为第二弹性波谐振器的弹性波谐振器s2b1、s2b2物理地夹在第一弹性波谐振器s2a与第三弹性波谐振器s2c之间。而且，第二弹性波谐振器s2b1、s2b2的谐振频率位于弹性波滤波器42的通带的高频侧。即，位于通带外。
[0094]
由于在弹性波滤波器42中如上述那样构成，因此，在串联臂谐振器s2中，能够减小发热量，能够提高耐功率性。即，难以发热的第二弹性波谐振器s2b1、s2b2夹在第一弹性波谐振器s2a与第三弹性波谐振器s2c之间。因此，能够减小发热量，提高耐功率性。
[0095]
如第二弹性波谐振器s2b1、s2b2那样，第二弹性波谐振器也可以是被分割为将多个弹性波谐振器并联连接的结构。在该情况下，分割数量可以为三个以上。
[0096]
另外，在第一实施方式～第四实施方式中，第一弹性波谐振器、第三弹性波谐振器也可以具有被并联分割的构造。
[0097]
图12是具有本发明的第五实施方式的弹性波滤波器的复合滤波器装置的电路图。图12所示的复合滤波器装置41a与图11所示的复合滤波器装置41大致同样地构成。不同之处在于，代替图11所示的并联臂谐振器p1而使用了弹性波谐振器p1a、p1b、p1c1、p1c2及p1d。弹性波谐振器p1c1、p1c2是第一分割谐振器、第二分割谐振器，相互并联地连接。在该构造中，弹性波谐振器p1a、弹性波谐振器p1b、相互并联连接的弹性波谐振器p1c1、p1c2、以及弹性波谐振器p1d串联地连接。这里，弹性波谐振器p1b相当于本发明的第一弹性波谐振器，作为第一分割谐振器、第二分割谐振器的弹性波谐振器p1c1、p1c2相当于第二弹性波谐振器，弹性波谐振器p1d相当于第三弹性波谐振器。
[0098]
复合滤波器装置41a在其他方面与图11所示的复合滤波器装置41相同。
[0099]
也可以如复合滤波器装置41a那样，在弹性波滤波器42a中，本发明的第一并联臂谐振器～第三并联臂谐振器在并联臂相互连接。第二弹性波谐振器p1c1、p1c2的电极指间距比第一弹性波谐振器p1b、第三弹性波谐振器p1d的电极指间距大。需要说明的是，第一弹性波谐振器p1b与第三弹性波谐振器p1d的电极指间距可以相等，也可以不相等。另外，弹性波谐振器p1c1与弹性波谐振器p1c2的电极指间距可以相等，也可以不同。在本发明中，在并联臂谐振器中，也可以如上述那样使用本发明的第一弹性波谐振器～第三弹性波谐振器。
[0100]
图14是第六实施方式的弹性波滤波器的电路图。弹性波滤波器51是作为发送滤波器而使用的梯型滤波器。这里，在输入端5a与输出端4a之间配置有多个串联臂谐振器s1～s5。在将串联臂与接地电位连结的多个并联臂中，分别设置有并联臂谐振器p1～p4。也可以如弹性波滤波器51那样，不对复合滤波器装置而对单体的弹性波滤波器51应用本发明。这里，串联臂谐振器s2～s4与第四实施方式同样地构成本发明的第一弹性波谐振器～第三弹性波谐振器，由此能够提高耐功率性。
[0101]
需要说明的是，在弹性波滤波器51中，也可以将不构成串联臂谐振器s2～s4而构成串联臂谐振器s1的弹性波谐振器52～54构成为第一弹性波谐振器～第三弹性波谐振器，
由此提高耐功率性。
[0102]
即，在本发明中，相互串联连接的第一弹性波谐振器～第三弹性波谐振器的位置没有特别限定。
[0103]
图15是本发明的第七实施方式的弹性波滤波器的电路图。在弹性波滤波器61中，在将输入端62与输出端63连结的串联臂中，串联地连接有串联臂谐振器s1～s3和纵耦合谐振器型弹性波滤波器64。而且，在将串联臂与接地电位连结的并联臂连接有并联臂谐振器p1。这样，在具有纵耦合谐振器型弹性波滤波器64的弹性波滤波器61中，例如也能够通过将串联臂谐振器s1～s3构成为本发明的第一弹性波谐振器～第三弹性波谐振器，来提高耐功率性。
[0104]
即，本发明中的第一弹性波谐振器～第三弹性波谐振器不限定于梯型滤波器。
[0105]
图16是作为本发明的第八实施方式的复合滤波器装置71的电路图。复合滤波器装置71具有与天线连接的共同端子4。在该共同端子4连接有三个以上的带通型滤波器72～74
……
的一端。通过在这样的三个以上的带通型滤波器72～74
……
中的至少一个使用本发明的弹性波滤波器，能够提高耐功率性。
[0106]
即，本发明的复合滤波器装置不仅能够应用于具有发送滤波器及接收滤波器的双工器，还能够应用于三个以上的带通型滤波器的一端彼此共同连接的多工器等各种复合滤波器装置。
[0107]
附图标记说明
[0108]
1、1a...复合滤波器装置；
[0109]
2、3...弹性波滤波器；
[0110]
4...共同端子；
[0111]
4a...输出端；
[0112]
5...发送端子；
[0113]
5a...输入端；
[0114]
6...接收端子；
[0115]
7...压电基板；
[0116]
11...idt电极；
[0117]
11a、12a...第一电极指、第二电极指；
[0118]
12、13...反射器；
[0119]
31...复合滤波器装置；
[0120]
32、33...弹性波滤波器；
[0121]
34...纵耦合谐振器型弹性波滤波器；
[0122]
35...弹性波谐振器；
[0123]
41、41a...复合滤波器装置；
[0124]
42、42a...弹性波滤波器；
[0125]
51...弹性波滤波器；
[0126]
52～54...弹性波谐振器；
[0127]
61...弹性波滤波器；
[0128]
62...输入端；
[0129]
63...输出端；
[0130]
64...纵耦合谐振器型弹性波滤波器；
[0131]
71...复合滤波器装置；
[0132]
72～74...带通型滤波器；
[0133]
l1～l5...电感器；
[0134]
p1～p4...并联臂谐振器；
[0135]
p1a～p1d...弹性波谐振器；
[0136]
p1a、p1b、p1c1、p1c2、p1d...弹性波谐振器；
[0137]
p3a、p3b、p3c...第一弹性波谐振器、第二弹性波谐振器、第三弹性波谐振器；
[0138]
p11～p14...并联臂谐振器；
[0139]
s1～s5...串联臂谐振器；
[0140]
s1a～s1d...弹性波谐振器；
[0141]
s1b1、s1b2、s1d1、s1d2...弹性波谐振器；
[0142]
s2a～s2e...弹性波谐振器；
[0143]
s2b1、s2b2...弹性波谐振器；
[0144]
s3a～s3d...弹性波谐振器；
[0145]
s4a～s4c...弹性波谐振器；
[0146]
s5a～s5d...弹性波谐振器；
[0147]
s11～s15...串联臂谐振器。

技术特征：
1.一种弹性波滤波器，具有输入端和输出端，在将所述输入端与所述输出端连结的串联臂具备按照第一弹性波谐振器、第二弹性波谐振器、
……
第n弹性波谐振器的顺序串联连接的n个弹性波谐振器，其中，n为自然数，所述n个弹性波谐振器分别具有多根电极指，所述n个弹性波谐振器包括第m弹性波谐振器，其中，m为1＜m＜n的自然数，所述第m弹性波谐振器夹在所述第一弹性波谐振器与第n弹性波谐振器之间，所述第m弹性波谐振器的所述电极指间距在所述n个弹性波谐振器的电极指间距中为最小。2.一种弹性波滤波器，具有输入端和输出端，并且具备将所述输入端与所述输出端连结的串联臂以及将所述串联臂与接地电位连结的并联臂，在所述并联臂具备按照第一弹性波谐振器、第二弹性波谐振器、
……
第n弹性波谐振器的顺序串联连接的n个弹性波谐振器，其中，n为自然数，所述n个弹性波谐振器分别具有多根电极指，所述n个弹性波谐振器包括第m弹性波谐振器，其中，m为1＜m＜n的自然数，所述第m弹性波谐振器夹在所述第一弹性波谐振器与第n弹性波谐振器之间，所述第m弹性波谐振器的所述电极指间距在所述n个弹性波谐振器的电极指间距中为最大。3.根据权利要求1所述的弹性波滤波器，其中，所述n个弹性波谐振器在所述串联臂中配置于所述输入端侧。4.根据权利要求1至3中任一项所述的弹性波滤波器，其中，所述第m弹性波谐振器的谐振频率位于所述弹性波滤波器的通带外。5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波滤波器，其中，在连接所述n个弹性波谐振器之间的连接节点处未连接该n个弹性波谐振器以外的电路元件，并且，连接所述n个弹性波谐振器之间的连接节点未与接地电位连接。6.根据权利要求1所述的弹性波滤波器，其中，所述第m弹性波谐振器具有并联连接的第一分割谐振器及第二分割谐振器，所述第一分割谐振器及所述第二分割谐振器的电极指间距的双方比所述第一弹性波谐振器及所述第n弹性波谐振器的电极指间距小。7.根据权利要求2所述的弹性波滤波器，其中，所述第m弹性波谐振器具有并联连接的第一分割谐振器及第二分割谐振器，所述第一分割谐振器及所述第二分割谐振器的电极指间距的双方比所述第一弹性波谐振器及所述第n弹性波谐振器的电极指间距大。8.一种复合滤波器装置，其中，所述复合滤波器装置具备：权利要求1至7中任一项所述的弹性波滤波器；以及通带与所述弹性波滤波器不同的至少一个带通型滤波器，所述弹性波滤波器与所述至少一个带通型滤波器的一端彼此被共同连接。

技术总结
提供一种弹性波滤波器，能够提高耐功率性。弹性波滤波器(2)具有输入端和输出端，在将所述输入端与所述输出端连结的串联臂具备按照第一、第二、第三弹性波谐振器(S4a、S4b、S4c)的顺序串联连接的n个(n＝3)弹性波谐振器，第一、第二及第三弹性波谐振器(S4a、S4b、S4c)具有多根电极指，第一～第三弹性波谐振器(S4a～S4c)包括第m弹性波谐振器(m为1<m＜n的自然数，m＝2)，第二弹性波谐振器(S4b)的电极指间距在第一、第二及第三弹性波谐振器(S4a、S4b、S4c)的电极指间距中为最小。S4c)的电极指间距中为最小。S4c)的电极指间距中为最小。


技术研发人员：冈田圭司
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：2021.11.12
技术公布日：2023/8/4