X射线管单个模块可转换的条型除静电装置的制作方法

x射线管单个模块可转换的条型除静电装置
技术领域
1.本发明涉及x射线管单个模块可转换的条型除静电装置，更具体地，涉及一种可以在使用条型除静电装置过程中防止因x射线管故障或失灵而导致lcd、半导体等制造工艺线全部停止的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置。


背景技术：

2.一般而言，在电子设备、lcd、半导体等的制造工序中，为了预先防止细微灰尘附着于电子设备、lcd、半导体晶片或因静电而导致元件损毁等问题，一般安装除静电装置。
3.除静电装置大致可以分为电晕放电装置和x射线辐射装置，最近，主要利用克服了电晕放电装置具有的因高电压放电导致的溅射现象、产生臭氧气体、因调整离子平衡引起的不便等缺点的x射线辐射装置，即x射线离子发生器。
4.所述x射线离子发生器是通过生成并辐射x射线而使气体分子离子化，从而使除电对象物体表面的静电发生中和的装置，主要以照射软x射线(soft x-ray)的方式体现。这种x射线离子发生器不产生细微灰尘，也不需要使空气对流，因而作为更适合的方式而倍受瞩目，被开发成例如条状(柱状)离子发生器等的多样方式。
5.但是，以往技术的x射线离子发生器被用于在电子设备、lcd、半导体等制造工艺线中除静电时，当需要更换和维修x射线管时，必须将电子设备、lcd、半导体等制造工艺生产线全部停止后才能更换和维修x射线管模块，从而不仅会与更换和维修x射线管所需时间相应地延迟电子设备、lcd、半导体等的制造工艺时间，而且存在所述x射线管的更换和维修耗费人力的问题。
6.为了改善这种问题，本技术人在韩国授权专利第10-2065346号中提出了名为“利用x射线的除静电装置”的发明，在所述专利中，上述因x射线管故障或失灵导致lcd、半导体等的制造工艺线全部停止的问题得到了改善，但存在无法使用包括原有条型离子发生器的离子发生器制品的问题。另外，虽然试图通过设置重叠时间并依次控制主x射线模块和子x射线模块，以此来消除可能会因细微的时间间隔而发生的不照射x射线的细微间隔，但当主x射线模块电源突然关闭时，无法接入电源，从而存在无法应用重叠时间的问题。
7.【现有技术文献】
8.【专利文献】
9.(专利文献1)韩国授权专利第10-0759587号(2007.09.11.)
10.(专利文献2)韩国授权专利第10-2065346号(2020.01.07.)


技术实现要素：

11.技术课题
12.本发明旨在解决如上所述的问题，目的在于提供一种可以在使用条型除静电装置过程中防止因x射线管故障或失灵而导致lcd、半导体等制造工艺线全部停止的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置。
13.本发明的目的不限于以上提及的目的，未提及的其他目的是本发明技术领域的技术人员可以从以下记载明确理解的。
14.技术方案
15.为了达成上述目的，本发明的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置包括：一个以上的电压发生模块，所述电压发生模块利用从外部供应的电力产生电压；一个以上的主x射线模块，所述主x射线模块分别对应于所述电压发生模块，接收电压供应并辐射x射线；一个以上的辅助x射线模块，所述辅助x射线模块并列位于分别与所述主x射线模块对应的位置，具有与所对应的所述主x射线模块的照射区域相同的照射区域，分别对应于所述电压发生模块，接收电压供应并辐射x射线；及转换部，所述转换部在特定主x射线模块运转不正常时，将运转转换到对应于所述特定主x射线模块的辅助x射线模块。
16.另外，其特征在于，还包括状态监控部，所述状态监控部感测所述主x射线模块或所述辅助x射线模块的运转状态是否正常。
17.另外，其特征在于，所述状态监控部包括：运转确认部，所述运转确认部感测所述各个主x射线模块和辅助x射线模块的on/off状态；寿命确认部，所述寿命确认部利用所述各个主x射线模块和辅助x射线模块的累计运转时间来确认寿命；其中，如果感测到x射线模块的off状态或累计运转时间预计超过预设寿命时间中至少一个以上，则判断为运转不正常。
18.另外，其特征在于，所述状态监控部包括照射量确认部，所述照射量确认部比较所述各个主x射线模块和辅助x射线模块的照射量相比预设x射线照射量的实际x射线照射量，其中，当实际x射线照射量小于预设x射线照射量时，判断为运转不正常。
19.另外，其特征在于，还包括位置设置部，所述位置设置部设置指称所述主x射线模块和所述辅助x射线模块各自的位置的地址值，而且，所述转换部基于所述地址值，将运转转换到对应于所述特定主x射线模块的辅助x射线模块。
20.另外，其特征在于，所述转换部能控制使得特定主x射线模块和对应于所述特定主x射线模块的辅助x射线模块同时运转。
21.发明效果
22.本发明的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置，在特定主x射线模块运转不正常时(寿命用尽或故障时)，使运转转换到与所述特定主x射线模块对应的辅助x射线模块，可以无间断地连续去除电子设备或电子部件的静电，因而具有能够提高相应电子设备或电子制品的生产收率和生产速度的效果。
附图说明
23.图1是示出本发明实施例的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置的立体图。
24.图2是简要示出本发明实施例的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置的构成的构成框图。
25.图3是示出本发明实施例的主x射线模块和辅助x射线模块的分解立体图。
26.图4是示出本发明实施例的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置的概念图。
27.图5是示出本发明另一实施例的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置的概念图。
28.图6是示构成出本发明实施例的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置的状态监控部的构成框图。
29.图7是示出本发明又一实施例的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置的概念图。
具体实施方式
30.参照下文中与附图一起详细描述的实施例，本发明的优点及特征以及实现他们的方法将会显而易见。但是，本发明并非限定于以下公开的实施例，以互不相同的多种形态体现，本实施例只提供用于使本发明的公开更完整，向本发明所属技术领域的技术人员完整地告知发明的范畴，本发明只由权利要求项的范畴所定义。
31.下面参照附图，详细描述实施本发明所需的具体内容。与附图无关，相同的构件标记指称相同的构成要素，“及/或”包括提及的各个项目及一个以上的所有组合。
32.虽然为了叙述多样构成要素而使用了“第一”“第二”等，但这些构成要素当然不由这些术语所限定。这些术语只用于将一个构成要素区别于其他构成要素。因此，下面提及的第一构成要素在本发明的技术思想内，当然也可以是第二构成要素。
33.本说明书中使用的术语用于描述实施例，并非要限制本发明。在本说明书中，只要在语句中未特别提及，单数型也包括复数型。说明书中使用的“包括(comprises)”及/或“包括的(comprising)”，不排除在提及的构成要素之外存在或添加一个以上的其他构成要素。
34.如果没有不同的定义，本说明书中使用的所有术语(包括技术及科学术语)可以用作本发明所属技术领域的技术人员可以共同理解的意义。另外，一般使用的字典定义的术语，只要未明确地特别定义，不得过于或过度地解释。
35.下面参照附图，详细描述本发明的优选实施例。
36.图1是示出本发明实施例的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置的立体图，图2是简要示出本发明实施例的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置的构成的构成框图。
37.参照图1至图2，x射线管单个模块可转换的条型除静电装置1000大致包括主体10、电压发生模块100、主x射线模块200、辅助x射线模块300和转换部400。
38.首先，所述主体10整体上沿一个方向以长条形状形成，在一端配备有连接器。
39.另外，在所述主体10下部面形成有与主x射线模块200或辅助x射线模块300对应的形状和大小的开口11，与所述开口11联通而在主体10内部形成有容纳空间12，而且，所述开口11和所述容纳空间12与以主x射线模块200或辅助x射线模块300的数量对应的方式形成。
40.其次，电压发生模块100用于利用外部供应的电力来产生电压，所述电压发生模块100在所述主体10内配备至少一个以上。
41.所述各个主体10内配备的所述电压发生模块100通过所述连接器而与外部(控制器c)电连接或通信连接。
42.对所述电压发生模块100进行更具体描述，所述电压发生模块100配置成利用外部供应的电力来产生电压并提供给主x射线模块200，所述电压发生模块100与所述主x射线模块200的数量对应地配备。
43.所述电压发生模块100可以对应于除电环境等各种因素并参照其容量而以多种规
格构成。
44.接下来，主x射线模块200对应于所述电压发生模块100而构成对，从所述电压发生模块100接收电压供应并辐射x射线。
45.所述主x射线模块200配备至少一个以上，可拆卸地附着于所述主体10，而且，优选所述主x射线模块200与所述电压发生模块100个数对应地配备。
46.图3是示出本发明实施例的主x射线模块和辅助x射线模块的分解立体图。
47.参照图3，对所述主x射线模块200进行更具体描述，所述主x射线模块200包括x射线模块壳体210和x射线管220，所述x射线管220配备于所述x射线模块壳体210内，利用从所述电压发生模块100供应的电压来辐射x射线。
48.所述主x射线模块200可以通过所述开口11而进入主体10内的所述容纳空间12或取出，当所述主x射线模块200进入主体10的内侧时，所述主x射线模块200与所述电压发生模块100实现物理连接或电气连接，从而可以接受所述电压发生模块100提供的电压。
49.即，所述主x射线模块200可以通过上述开口11而以一种插装方式简便地更换，因此，所述主x射线模块200配备的x射线管220也可以是利用上述插装方式容易地更换。
50.接下来，辅助x射线模块300对应于所述电压发生模块100构成对，并列位于与所述主x射线模块200分别对应的位置，具有与所对应的所述主x射线模块200的照射区域相同的照射区域，从所述电压发生模块100接收电压并辐射x射线。
51.参照图3，所述辅助x射线模块300包括x射线模块壳体310和x射线管320，所述x射线管320配备于所述x射线模块壳体320内，利用从所述电压发生模块100供应的电压来辐射x射线。
52.所述辅助x射线模块300也可以以与前述主x射线模块200相同的插装形式而与主体10可拆卸地加装，通过所述开口11插入并容纳于所述主体10内的容纳空间12。
53.所述辅助x射线模块300是与上述的主x射线模块200相同的构成，因而不再赘述。
54.所述主x射线模块200和所述辅助x射线模块300优选地，如图1所示，所述主x射线模块200在位于上部的主体10中插入成一列，所述辅助x射线模块300与所述主x射线模块200并列地在位于下部的主体10中插入成一列。
55.综上所述，所述主x射线模块200和所述辅助x射线模块300并列构成一对，并构成向一对主x射线模块200或辅助x射线模块300提供电压的电压发生模块100。即，意指一个主x射线模块200和一个辅助x射线模块300以及一个电压发生模块100构成一对(电压发生模块：x射线模块＝1：2构成)。
56.接下来，所述转换部400配备于所述主体10内部，包括感测所述主x射线模块200或所述辅助x射线模块300的运转状态是否正常的状态监控部410。
57.另外，所述转换部400的作用是根据来自所述状态监控部410的感测结果，当判断为特定主x射线模块200运转不正常时，转换到对应于所述特定主x射线模块200的辅助x射线模块300。
58.所述转换部400通过控制所述主x射线模块200或所述辅助x射线模块300的电压接入，从而可以实现向对应于所述主x射线模块200的辅助x射线模块300的转换。
59.其中，一个主x射线模块200和一个辅助x射线模块300以及一个电压发生模块100构成一对，因而通过将所述电压发生模块100的电压接入方向向主x射线模块200或辅助x射
线模块300控制，可实现模块单位的运转转换。
60.图4是示出本发明实施例的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置的概念图。
61.因此，参照图4，所述转换部400根据来自所述状态监控部410的感测结果，当判断为特定主x射线模块200运转不正常时，所述转换部400切断所述特定主x射线模块200的电压接入，向对应于所述特定主x射线模块200的辅助x射线模块300接入电压，将运转转换到所述辅助x射线模块300。即，通过切断对运转不正常的特定主x射线模块200的电压接入，向对应于所述特定主x射线模块200的辅助x射线模块210接入电压，从而转换为x射线管单个模块单位。
62.图5是示出本发明另一实施例的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置的概念图。
63.另外，参照图5，本发明另一实施例的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置1000，其转换部400’不是象图2或图4所示配备于主体10内部，而是配备于外部的控制器c’上构成。
64.综上所述，图2或图4意指转换部400额外配备于除静电装置制品内的构成，图5意指在位于除静电装置制品外部的控制器c’中包括转换部400’的构成。
65.另一方面，作为附加示例，参照图2，所述x射线管单个模块可转换的条型除静电装置1000可以还包括位置设置部420，所述位置设置部420设置指称多个主x射线模块200和辅助x射线模块300各自位置的地址值。
66.所述位置设置部420优选但不限于在所述转换部400内构成。
67.因此，所述转换部400可以配置成当判断为多个所述主x射线模块200中至少一个以上不正常时，基于所述地址值，将运转转换到对应于运转不正常的特定主x射线模块200的辅助x射线模块300。
68.参照图2和图4，对此举例描述，x射线管单个模块可转换的条型除静电装置1000由n个主x射线模块200、对应于所述n个主x射线模块200的n个辅助x射线模块300构成(其中，n指大于2的正整数，代表从1起的n个的构成)。
69.另外，所述电压发生模块100当然也配备n个，以便与所述n个主x射线模块200对应。
70.首先，所述位置设置部420按如下设置，即，将第一主x射线模块200的地址值设置为“1_1”，将第二主x射线模块200的地址值设置为“1_2”，将第n主x射线模块200的地址值设置为“1_n”，将第一辅助x射线模块300的地址值设置为“2_1”，将第二辅助x射线模块300的地址值设置为“2_2”，将第n辅助x射线模块300的地址值设置为“2_n”。
71.接下来，所述转换部400控制n个电压发生模块100向n个主x射线模块200接入电压以启动主x射线模块200后，如果所述状态监控部410感测到n个主x射线模块200中的第二主x射线模块200运转不正常，则所述转换部400切断所述第二主x射线模块200的电压接入，控制第二电压发生模块100向对应于所述第二主x射线模块200地址值“1_2”的地址值为“2_2”的第二辅助x射线模块300接入电压以转换运转。
72.图6是示出构成本发明实施例的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置的状态监控部的构成框图。
73.另一方面，参照图6，本发明实施例的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置
1000的状态监控部410可以包括运转确认部411和寿命确认部412构成。
74.所述运转确认部411感测所述各个主x射线模块200和辅助x射线模块300的on/off状态。
75.所述寿命确认部412利用所述各个主x射线模块200和辅助x射线模块300的累计运转时间来确认寿命。优选地，所述寿命确认部412在所述主x射线模块200的剩余寿命不是未枯竭状态，即不足安全许可寿命时，可以判断为相应主x射线模块200的剩余寿命不足。其中，所述安全许可寿命可以为各主x射线模块200的预设运转寿命的5％至10％。
76.例如，当主x射线模块200的预设运转寿命为5000小时，安全许可寿命为250小时(例如，运转寿命的5％)时，如果所述主x射线模块200的剩余寿命为300小时，则所述寿命确认部412可以判断为剩余寿命充足，但如果所述主x射线模块200的剩余寿命为200小时，则可以判断为剩余寿命不足。
77.因此，所述状态监控部410如果感测到各个所述主x射线模块200的off状态或累计运转时间超过预设寿命时间中至少一个以上时，则判断为运转不正常。
78.另外，所述状态监控部410可以还包括照射量确认部413构成。所述照射量确认部413的作用是将所述各个主x射线模块200和辅助x射线模块300的照射量相对于预设x射线照射量来比较实际x射线照射量。
79.因此，所述状态监控部410如果感测到各个所述主x射线模块200的实际x射线照射量小于预设x射线照射量中至少一个以上，则判断为运转不正常。
80.因此，所述状态监控部410可以针对主x射线模块200的运转不正常情况更精密地判断，由此，对于运转不正常的主x射线模块200，可以停止运转并使得接受检修，可以在制造工艺线中利用辅助x射线模块300而连续照射x射线。
81.如上所述，以主x射线模块200为基准对所述状态监控部410进行了描述，但当然也可以相反地将辅助x射线模块300用作基准。
82.另外，作为附加实施例，所述转换部400在来自所述状态监控部410的感测结果为特定主x射线模块200运转不正常时，使所述电压发生模块100的电压接入特定主x射线模块200和对应于所述特定主x射线模块200的辅助x射线模块300两者后，经过预设的重叠时间后，可以控制所述电压发生模块100以便切断向所述特定主x射线模块200的电压接入。
83.当特定主x射线模块200的运转不正常时，存在在切断向特定主x射线模块200的电压接入的时间点与向对应于所述特定主x射线模块的辅助x射线模块300的电压接入开始的时间点之间发生细微时间间隔的隐患，即使在发生这种细微时间间隔的状态下，等待除静电的电子设备或电子部件沿着传送带从后方向前方连续移送，因而最终可能发生除静电对象在一部分区间，在未除静电的状态下向前方移送的事故。
84.本发明通过如此设置重叠时间并依次控制，具有的优点是可以从根本上解决当主x射线模块200运转不正常时，因如前所述的细微时间间隔(即，切断向主x射线模块200的高电压接入的时间点与向辅助x射线模块300的电压接入开始时间点之间的细微时间间隔)和制品向前方连续移送导致发生未除静电区间的问题。
85.另外，所述转换部400可以配置成在所述状态监控部410感测到特定主x射线模块200的off状态的瞬间，使移送被除电体的装置停止预设的既定时间(与辅助x射线模块电压接入所需时间相应)后重新再启动。优选地，当所述移送被除电体的装置由传输带构成时，
配置成使所述传输带停止所述既定时间后再启动。由于所述特定主x射线模块200为off状态，不仅无法向所述特定主x射线模块200接入电压，而且所述重叠时间也失去意义，因此上述作法是为了确保向对应于所述特定主x射线模块200的辅助x射线模块300的电压接入时间。由此，可以进一步弥补并从根本上解决因所述细微时间间隔和制品连续向前方移送导致发生未除静电去区间的问题。
86.图7是示出根据本发明又一实施例的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置的概念图。
87.参照图7，本发明的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置1000可以还包括输出感测结果的输出部500和配置成与外部装备进行有线或无线通信的通信部600构成。
88.所述输出部500包括可供使用者直观确认的显示部、音响输出部和警告部，通过所述输出部500，可以将关于所述状态监控部410判断特定主x射线模块200运转不正常的异常情况，通过包括所述显示部、所述音响输出部和所述警告部在内的至少一个以上通知给使用者。
89.另外，可以通过所述通信部600，将所述异常情况信息发送给所述制造工艺线负责人的便携终端20。
90.具有如上所述构成的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置1000，虽然对从主x射线模块200向助x射线模块300的运转转换的构成进行了描述，但当然也可以从辅助x射线模块300向主x射线模块200进行运转，当然，也可以配置成可通过转换部400、400’或控制器c、c’，使对应于主x射线模块200的所述辅助x射线模块300同时运转。
91.以上参照附图描述了本发明的实施例，但本发明所属技术领域的技术人员可以理解，本发明在不变更其技术思想或必需特征的情况下，可以以其他具体形态实施。因此，以上记述的实施例在所有方面应理解为只是示例而非限定。
92.附图标记
93.1000：x射线管单个模块可转换的条型除静电装置
94.10：主体
95.11：开口
96.12：容纳空间
97.100：电压发生模块
98.200：主x射线模块
99.300：辅助x射线模块
100.400、400’：转换部
101.410：状态监控部
102.411：运转确认部
103.412：寿命确认部
104.413：照射量确认部
105.500：输出部
106.600：通信部
107.c、c’：控制器。

技术特征：
1.一种x射线管单个模块可转换的条型除静电装置，包括：一个以上的电压发生模块，所述电压发生模块利用从外部供应的电力产生电压；一个以上的主x射线模块，所述主x射线模块分别对应于所述电压发生模块，接收电压供应并辐射x射线；一个以上的辅助x射线模块，所述辅助x射线模块并列位于分别与所述主x射线模块对应的位置，具有与所对应的所述主x射线模块的照射区域相同的照射区域，分别对应于所述电压发生模块，接收电压供应并辐射x射线；及转换部，所述转换部在特定主x射线模块运转不正常时，将运转转换到对应于所述特定主x射线模块的辅助x射线模块。2.根据权利要求1所述的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置，其特征在于，还包括状态监控部，所述状态监控部感测所述主x射线模块或所述辅助x射线模块的运转状态是否正常。3.根据权利要求2所述的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置，其特征在于，所述状态监控部包括：运转确认部，所述运转确认部感测所述各个主x射线模块和辅助x射线模块的on/off状态；寿命确认部，所述寿命确认部利用所述各个主x射线模块和辅助x射线模块的累计运转时间来确认寿命；其中，如果感测到x射线模块的off状态或累计运转时间预计超过预设寿命时间中至少一个以上，则判断为运转不正常。4.根据权利要求2所述的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置，其特征在于，所述状态监控部包括照射量确认部，所述照射量确认部比较所述各个主x射线模块和辅助x射线模块的照射量相比预设x射线照射量的实际x射线照射量，其中，当实际x射线照射量小于预设x射线照射量时，判断为运转不正常。5.根据权利要求1所述的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置，其特征在于，还包括位置设置部，所述位置设置部设置指称所述主x射线模块和所述辅助x射线模块各自的位置的地址值，而且，所述转换部基于所述地址值，将运转转换到对应于所述特定主x射线模块的辅助x射线模块。6.根据权利要求1所述的x射线管单个模块可转换的条型除静电装置，其特征在于，所述转换部能控制使得特定主x射线模块和对应于所述特定主x射线模块的辅助x射线模块同时运转。

技术总结
本发明的X射线管单个模块可转换的条型除静电装置包括：一个以上的电压发生模块，所述电压发生模块利用从外部供应的电力产生电压；一个以上的主X射线模块，所述主X射线模块分别对应于所述电压发生模块，接收电压供应并辐射X射线；一个以上的辅助X射线模块，所述辅助X射线模块并列位于分别与所述主X射线模块对应的位置，具有与所对应的所述主X射线模块的照射区域相同的照射区域，分别对应于所述电压发生模块，接收电压供应并辐射X射线；及转换部，所述转换部在特定主X射线模块运转不正常时，将运转转换到对应于所述特定主X射线模块的辅助X射线模块。X射线模块。X射线模块。


技术研发人员：李东勋 李炳俊 朴进哲 许时焕 薛东圭 全真又 曹泳焕 张珍赫
受保护的技术使用者：禅才高科技股份有限公司
技术研发日：2021.12.02
技术公布日：2023/8/4