冷却机构、冷却装置及测试设备的制作方法

1.本实用新型涉及测试设备技术领域，特别是涉及一种冷却机构、冷却装置及测试设备。


背景技术：

2.芯片在出货前，需要经过设计、制造及测试等多个环节。在对芯片进行测试时，常通过测试设备完成。测试设备包括电路板及冷却板，芯片与电路板电连接，冷却板与电路板贴合以控制电路板的温度，通过电路板来测试芯片的性能。
3.传统技术中，多块冷却板直接通过管路与供液机构相连，这样，易于导致冷却液不能均匀分配至各管路中，且各管路中对冷却液的阻力不尽相同，造成部分冷却板的温度过高而不能满足冷却电路板至预设温度范围内的问题。


技术实现要素：

4.基于此，有必要针对传统技术易于使得部分冷却板的温度过高而不能满足冷却电路板至预设温度范围内的问题，提供一种能够较为均匀地分配冷却液，以使得各冷却板均能将与其对应的电路板冷却至预设温度范围内的冷却机构、冷却装置及测试设备。
5.一种冷却机构，包括：
6.两个延伸方向平行的汇流排，每个所述汇流排内设有相互独立的进液流道与出液流道；
7.两根连通管，在所述延伸方向上设于两个所述汇流排的其中一端，一根所述连通管连通两个所述汇流排的所述进液流道，另一根所述连通管连通两个所述汇流排的所述出液流道；一个所述汇流排的所述进液流道远离所述连通管的另一端形成作为进液口的连通口，另一个所述汇流排的所述出液流道远离所述连通管的另一端形成作为出液口的连通口；
8.每个所述汇流排位于所述连通口与所述连通管之间具有多组相互间隔的接口组，每组所述接口组包括两个分别与所述进液流道及所述出液流道相连通的接口，所述接口组中的两个所述接口分别用于与冷却板的入口及出口连通。
9.在其中一个实施例中，两个所述汇流排在第一方向上相互间隔，两根所述连通管在所述第一方向上位于两个所述汇流排之间；所述第一方向与所述延伸方向相交。
10.在其中一个实施例中，所述冷却机构还包括进液组件，所述进液组件与作为所述进液口的所述连通口连通；
11.和/或所述冷却机构还包括出液组件，所述出液组件与作为所述出液口的所述连通口连通。
12.在其中一个实施例中，所述进液组件包括第一分液块及进液管，所述进液管的一端与作为所述进液口的所述连通口连通，所述第一分液块设于所述进液管的另一端；和/或
13.所述出液组件包括第二分液块及出液管，所述出液管的一端与作为所述出液口的
所述连通口连通，所述第二分液块设于所述出液管的另一端。
14.在其中一个实施例中，所述第一分液块与所述第二分液块一体成型。
15.在其中一个实施例中，所述第一分液块上设有与外部管路插接的第一插头；和/或
16.所述第二分液块上设有与外部管路插接的第二插头。
17.在其中一个实施例中，所述冷却机构具有一沿所述延伸方向延伸的中心线，所述冷却机构以所述中心线为基准呈轴对称结构。
18.一种冷却装置，包括供液机构及如上述的冷却机构，所述冷却机构的两个所述连通口均与所述供液机构连通。
19.在其中一个实施例中，所述冷却装置还包括多个冷却板，每个所述冷却板的入口与出口分别与一组所述接口组的两个所述接口连通。
20.一种测试设备，包括如上述的冷却装置。
21.上述冷却机、冷却装置及测试设备，使得冷却液从进液口流向每个冷却板的入口的第一流程与从每个冷却板的出口流向出液口的第二流程的总和大致相等。即为，冷却机构的设计方式，使得每个冷却板所对应的管路长度大致相同，冷却液能够均匀分配至各个冷却板中，且在各冷却板所对应的各管路中的流动阻力大致相等，从而使得各冷却板所能够提供的温度均衡，以满足将各电路板控制在预设温度范围内的要求。
附图说明
22.图1为本实用新型一实施例提供的冷却装置的结构图(图1中箭头的指向代表冷却液的流向)；
23.图2为图1中所示的冷却装置的轴测图；
24.图3为图1中所示的冷却装置的冷却机构的一汇流排的内部流道图；
25.图4为图1中所示的冷却装置的冷却机构的另一汇流排的内部流道图；
26.图5为图1中所示的冷却装置的一爆炸图；
27.图6为图5中所示的冷却装置的另一视角的结构图。
28.附图标记说明：
29.1000、冷却装置；100、冷却机构；10、汇流排；11、进液流道；12、出液流道；13、进液口；14、出液口；20、连通管；30、接口组；31、接口；40、第一接头；50、第一卡箍；60、进液组件；61、第一分液块；62、进液管；70、出液组件；71、第二分液块；72、出液管；80、第二接头；90、第二卡箍；110、第一插头；120、第二插头；200、供液机构；201、第一回液口；202、第一排液口；301、第一连接管；302、第二连接管；303、第三插头；304、第四插头。
具体实施方式
30.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
31.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽
度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
32.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
33.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
34.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
35.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
36.本技术一实施例提供一种测试设备，测试设备能够对电子元器件进行测试。具体地，测试设备用于测试芯片。可以想到的是，在另一些实施例中，测试设备还能够测试其他种类的电子元器件。
37.下面以测试设备用于测试芯片为例，对本技术做更为详细的说明，但是该说明仅仅作为示例，并不会限制本技术的保护范围。
38.参阅图1，测试设备包括冷却装置1000及电路板，冷却装置1000包括供液机构200、冷却机构100及冷却板。冷却机构100与供液机构200相连，冷却板与冷却机构100相连。供液机构200通过冷却机构100向冷却板提供冷却液，冷却液流经冷却板后再通过冷却机构100回流至供液机构200依次循环，从而使得冷却板的温度降低。冷却板与电路板贴合以控制电路板的温度，通过电路板来测试芯片的性能。
39.进一步，供液机构200内能够通入冷却介质，以与供液机构200内流动的冷却液进行换热，从而使得冷却液的温度降低，当冷却液通入冷却板内时能够满足对电路板的控温需求。具体地，通入供液机构200的冷却介质为冷却水，而供液机构200向冷却板提供的冷却液为氟化液。如一个具体实施方式中，通入供液机构200内的冷却水的温度为7℃-15℃，而供液机构200提供的冷却液的温度为15℃-30℃。可以想到的是，在另一些实施例中，对于冷
却介质及冷却液的种类不作限定，且对于通入供液机构200内的冷却介质的温度也不作限定，可以依据需要选择。
40.更进一步，参阅图2，为了便于与外部冷源相连以向供液机构200内循环通入冷却介质，供液机构200设有第一回液口201与第一排液口202。为了便于与冷却机构100相连以便于向冷却板通入冷却液，供液机构200还设有第二回液口与第二排液口。
41.一些实施例中，继续参阅图2，冷却机构100包括两个汇流排10及两个连通管20。两个汇流排10的延伸方向平行，每个汇流排10内设有相互独立的进液流道11与出液流道12(参阅图3及图4)，即为，每个汇流排10的进液流道11与出液流道12在汇流排10内部并不相互连通。两根连通管20在汇流排10的延伸方向上设于两个汇流排10的其中一端，一根连通管20连通两个汇流排10的进液流道11，另一个连通管20连通两个汇流排10的出液流道12。参阅图3，一个汇流排10的进液流道11远离连通管20的另一端形成作为进液口13的连通口，参阅图4，另一个汇流排10的出液流道12远离连通管20的另一端形成作为出液口14的连通口。具体地，作为进液口13的连通口与供液机构200的第二排液口连通，作为出液口14的连通口与供液机构200的第二回液口连通。
42.参阅图5，每个汇流排10位于连通口与连通管20之间具有多组相互间隔的接口组30，每组接口组30包括两个分别与进液流道11与出液流道12相连通的接口31，每组接口组30中的两个接口31分别与冷却板的入口与出口连通。
43.上述设置，当冷却装置1000用于冷却电路板以对其进行温度控制时，冷却液经供液机构200的第二排液口流向冷却机构100的进液口13，并从进液口13依次流向两个进液流道11，冷却液从两个进液流道11流向相应的接口组30的接口31中，进而流向与接口31连通的冷却板的入口。位于冷却板中的冷却液与电路板换热后，从其出口流向与其相对应的接口组30中的接口31中，并从接口31流向相应的出液流道12，最终从出液口14流出并从第二回液口回流至供液机构200中，依次循环。
44.本技术实施例提供的测试设备，冷却机构100的设计方式，使得冷却液从进液口13流向每个冷却板的入口的第一流程与从每个冷却板的出口流向出液口14的第二流程的总和大致相等。即为，冷却机构100的设计方式，使得每个冷却板所对应的管路长度大致相同，冷却液能够均匀分配至各个冷却板中，且在各冷却板所对应的各管路中的流动阻力大致相等，从而使得各冷却板所能够提供的温度均衡，以满足将各电路板控制在预设温度范围内的要求。
45.一些实施例中，冷却机构100具有一沿汇流排10的延伸方向延伸的中心线，冷却机构100以中心线为基准呈轴对称结构。如此，使得冷却机构100为同程式结构，能够使得每个冷却板所对应的管路长度相同，冷却液能够均匀分配至各个冷却板中，且在各冷却板所对应的各管路中的流动阻力相等，从而使得各冷却板所能提供的温度均衡，以满足将各电路板控制在预设温度范围内的要求。
46.参阅图2，两个汇流排10在第一方向上相互间隔，两根连通管20在第一方向上位于两个汇流排10之间，第一方向与延伸方向相交。具体地，第一方向与延伸方向垂直，两根连通管20均沿第一方向上延伸。如图1所示，延伸方向为图1中的x方向，第一方向为图1中的y方向。如此，使得每个冷却板所对应的管路长度相等，使得冷却液均匀分配至各个冷却板中，并使得各冷却板所对应的各管路中的流动阻力相等，使得各冷却板所能够提供的冷却
液温度均衡，以满足将各电路板控制住预设温度范围内的要求。
47.进一步，参阅图1，冷却机构100还包括第一接头40，第一接头40与汇流排10相连，连通管20的两端均与第一接头40相连。具体地，冷却机构100还包括第一卡箍50，连通管20套接于第一接头40外，第一卡箍50卡接于连通管20外。这样设置，以方便连通管20与汇流排10的连接。
48.一些具体实施方式中，连通管20采用dn25epdm橡胶软管。当然，在另一些实施例中，连通管20也可以采用其他规格及材质制备形成，在此不作限定。
49.一些实施例中，冷却机构100还包括进液组件60，进液组件60连通进液口13与第二排液口，以便于冷却液从供液机构200流向冷却机构100内。冷却机构100还包括出液组件70，出液组件70连通出液口14与第二回液口，以便于冷却液从冷却机构100回流至供液机构200中。
50.进一步，进液组件60包括第一分液块61及进液管62，进液管62的一端与进液口13连通，第一分液块61设于进液管62的另一端并与第二排液口连通。出液组件70包括第二分液块71及出液管72，出液管72的一端与出液口14连通，第二分液块71设于出液管72的另一端并与第二回液口连通。从供液机构200流出的冷却液首先进入第一分液块61，再通过进液管62进入汇流排10，同样地，与电路板换热后的冷却液经汇流排10首先进入出液管72，并经出液管72进入第二分液块71后再回流至供液机构200中。具体地，进液管62与出液管72均采用dn40epdm橡胶软管。另一些实施例中，进液管62与出液管72也可以采用其他规格及材质制备形成，在此亦不作限定。
51.在此需要说明的是，在另一些实施例中，进液组件60与出液组件70还可以采用其他方式设置，在此亦不作限定。
52.一些实施例中，参阅图6，冷却机构100还包括第二接头80，第二接头80与汇流排10相连，进液管62和出液管72均通过第二接头80与汇流排10连通。冷却机构100还包括第二卡箍90，进液管62与出液管72分别套接于相应的第二接头80外，第二卡箍90卡接于进液管62外以将进液管62与第二接头80固定，且第二卡箍90卡接于储液管外以将出液管72与第二接头80固定。
53.进液管62与出液管72均沿第一方向延伸，且两者的长度相等，以便于设置。具体地，第一分液块61与第二分液块71一体成型，以简化冷却机构100的结构。可以理解的是，在另一些实施例中，第一分液块61与第二分液块71也可以分体设置，以便于安装。
54.冷却装置1000还包括第一连接管301，第一分液块61上设有第一插头110，第一连接管301的一端与第二排液口连通，另一端设有第三插头303，第一插头110与第三插头303插接锁定。冷却装置1000还包括第二连接管302，第二分液块71上设有第二插头120，第二连接管302的一端与第二回液口连通，另一端设有第四插头304，第二插头120与第四插头304插接锁定。这样设置，以便于冷却机构100与供液机构200的连通；同时，连接管与分液块采用快拆式的插头进行连接，以便于两者的连接固定及拆卸。
55.一些具体实施方式中，第一连接管301与第二连接管302均沿汇流排10的延伸方向延伸且长度相同。第一连接管301与供液机构200连接的一端通过插头插接锁定，第二连接管302与供液机构200连接的一端也通过插头插接锁定。应当理解的是，在另一些实施例中，对于第一连接管301与第二连接管302的长度关系不作限定，且第一连接管301与第二连接
管302也可以采用其他方式与供液机构200相连。
56.本技术另一实施例还提供一种上述测试设备所包括的冷却装置1000，以及上述冷却装置1000所包括的冷却机构100。
57.本技术提供的冷却机构100、冷却装置1000及测试设备，具有如下有益效果：
58.1、冷却机构100采用同程式管路结构，使得各个冷却板所对应的管路长度相同，冷却液能够均匀分配至各个冷却板中，且在各冷却板所对应的各管路中的流动阻力相等，从而使得各冷却板所能提供的温度均衡，以满足将各电路板控制在预设温度范围内的要求。
59.2、第一分液块61与第二分液块71分体设置，使得分液块的体积较小，以便于安装。
60.3、连接管与分液块采用自锁式插头进行连接，以便于连接管与分液块的安装与拆卸。
61.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
62.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

技术特征：
1.一种冷却机构，其特征在于，包括：两个延伸方向平行的汇流排(10)，每个所述汇流排(10)内设有相互独立的进液流道(11)与出液流道(12)；两根连通管(20)，在所述延伸方向上设于两个所述汇流排(10)的其中一端，一根所述连通管(20)连通两个所述汇流排(10)的所述进液流道(11)，另一根所述连通管(20)连通两个所述汇流排(10)的所述出液流道(12)；一个所述汇流排(10)的所述进液流道(11)远离所述连通管(20)的另一端形成作为进液口(13)的连通口，另一个所述汇流排(10)的所述出液流道(12)远离所述连通管(20)的另一端形成作为出液口(14)的连通口；每个所述汇流排(10)位于所述连通口与所述连通管(20)之间具有多组相互间隔的接口组(30)，每组所述接口组(30)包括两个分别与所述进液流道(11)及所述出液流道(12)相连通的接口(31)，所述接口组(30)中的两个所述接口(31)分别用于与冷却板的入口及出口连通。2.根据权利要求1所述的冷却机构，其特征在于，两个所述汇流排(10)在第一方向上相互间隔，两根所述连通管(20)在所述第一方向上位于两个所述汇流排(10)之间；所述第一方向与所述延伸方向相交。3.根据权利要求1所述的冷却机构，其特征在于，所述冷却机构还包括进液组件(60)，所述进液组件(60)与作为所述进液口(13)的所述连通口连通；和/或所述冷却机构还包括出液组件(70)，所述出液组件(70)与作为所述出液口(14)的所述连通口连通。4.根据权利要求3所述的冷却机构，其特征在于，所述进液组件(60)包括第一分液块(61)及进液管(62)，所述进液管(62)的一端与作为所述进液口(13)的所述连通口连通，所述第一分液块(61)设于所述进液管(62)的另一端；和/或所述出液组件(70)包括第二分液块(71)及出液管(72)，所述出液管(72)的一端与作为所述出液口(14)的所述连通口连通，所述第二分液块(71)设于所述出液管(72)的另一端。5.根据权利要求4所述的冷却机构，其特征在于，所述第一分液块(61)与所述第二分液块(71)一体成型。6.根据权利要求4所述的冷却机构，其特征在于，所述第一分液块(61)上设有与外部管路插接的第一插头(110)；和/或所述第二分液块(71)上设有与外部管路插接的第二插头(120)。7.根据权利要求1-6任一项所述的冷却机构，其特征在于，所述冷却机构具有一沿所述延伸方向延伸的中心线，所述冷却机构以所述中心线为基准呈轴对称结构。8.一种冷却装置，其特征在于，包括供液机构(200)及如权利要求1-7任一项所述的冷却机构，所述冷却机构的两个所述连通口均与所述供液机构(200)连通。9.根据权利要求8所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置还包括多个冷却板，每个所述冷却板的入口与出口分别与一组所述接口组(30)的两个所述接口(31)连通。10.一种测试设备，其特征在于，包括如权利要求8或9所述的冷却装置。

技术总结
本实用新型涉及一种冷却机构、冷却装置及测试设备，包括：两个延伸方向平行的汇流排，每个汇流排内设有相互独立的进液流道与出液流道；两根连通管，在延伸方向上设于两个汇流排的其中一端，一根连通管连通两个汇流排的进液流道，另一根连通管连通两个汇流排的出液流道；一个汇流排的进液流道远离连通管的另一端形成作为进液口的连通口，另一个汇流排的出液流道远离连通管的另一端形成作为出液口的连通口；每个汇流排位于连通口与连通管之间具有多组相互间隔的接口组，每组接口组包括两个分别与进液流道及出液流道相连通的接口，接口组中的两个接口分别用于与冷却板的入口及出口连通。连通。连通。


技术研发人员：蒋诚 李抱抱 邱国志
受保护的技术使用者：杭州长川科技股份有限公司
技术研发日：2023.03.27
技术公布日：2023/8/8