一种光刻均胶机的制作方法

1.本发明是一种光刻均胶机，属于光刻均胶技术领域。


背景技术：

2.基片是芯片的重要组成部件之一，将平面型晶体管以及集成电路安装到基片上会形成芯片，其中基片光刻是芯片生产中重要工序之一，而在基片光刻工序前，一般要将聚酰亚胺胶均匀涂抹到基片表面，用于满足后续基片光刻要求，一般采用光刻均胶机对基片进行聚酰亚胺胶的均胶作业，现有技术中光刻均胶机一般由机架、安装在机架上端右侧滑动连接上胶机构、转动连接在机架上端并延伸入机架内的放置台、安装在机架内用于驱动放置台旋转的第一驱动设备、转动设置在机架上端左侧的轴、安装在机架内并可驱动轴旋转的第二驱动设备以及安装在轴外端并位于放置台正上方的机械夹具构成，在使用时，利用机械夹具的两个夹爪对基片进行夹持，然后启动第二驱动设备，从而驱动轴以及机械夹具发生转动，进而使夹持的基片转动到放置台正上端，然后使松开机械夹具的夹爪松开对基片的夹持，再将基片紧固安装到放置台上，然后使上胶机构在机架上进行滑动，使上胶机构的上胶头移动到基片正上方，然后利用上胶机构对基片进行上胶，然后使上胶机构返回原位，然后启动第一驱动设备，从而驱动放置台旋转，并使基片发生旋转，再离心力作用下，实现对基片进行均胶处理，然后利用机械夹具对均胶后的基片进行夹持，然后再利用第二驱动设备以及轴将基片从放置台上转出并输送到下一个工序上，但是在利用机械夹具的两个夹爪对基片进行取放料时，机械夹具的夹爪易对基片表面的边缘位置发生接触，造成对均胶面产生损坏的概率较大，会影响均胶效果。


技术实现要素：

3.针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种光刻均胶机，以解决上述背景技术中提出的问题，本发明达到对基片进行提放式取放料的目的，有效减少对基片的均胶面产生损坏概率，提升均胶效果。
4.为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种光刻均胶机，包括底箱，所述底箱上端转动连接转罩且转罩延伸入底箱内部，所述转罩环形外端下侧安装环形齿轮且环形齿轮位于底箱内，所述环形齿轮右端啮合传动齿轮，所述传动齿轮上端与第三驱动设备的活动部连接且第三驱动设备的固定部设置在底箱内部顶端，所述转罩内部顶端安装吸附件的一端，所述吸附件的另一端与抽气设备的进口连通且抽气设备位于底箱内部底端，所述底箱上端左侧转动连接竖向布置的转轴，所述底箱内部顶端设置第二驱动设备的固定部且第二驱动设备位于转罩左侧，所述第二驱动设备的活动部穿过底箱并与转轴连接，所述转轴上端设置横向布置的安装板，所述安装板上端右侧安装第一升降设备的固定部，所述第一升降设备的活动部穿过安装板并与调节件连接，且调节件位于转轴右端与转罩左端之间，所述调节件右端对称设置两个横向布置的横板，且两个横板位于转罩前后两侧，所述底箱上端设置上胶机构且上胶机构位于转罩右侧。
5.进一步地，所述上胶机构包括安装箱，所述安装箱下端设置移动件且移动件安装在底箱上端，所述安装箱内部右壁设置横向布置的上胶筒，所述上胶筒左端上侧连通安装带单向阀的l型上胶管的横向部且l型上胶管延伸出安装箱左侧，所述l型上胶管的竖向部设置在转罩正上方，所述上胶筒内滑动连接活塞，所述安装箱右端安装横向布置的第二升降设备的固定部，所述第二升降设备的活动部穿过安装箱并与活塞连接，所述上胶筒左端下侧连通设置补胶件且补胶件位于安装箱内。
6.进一步地，所述补胶件包括贴合在安装箱内部底端并用于存储聚酰亚胺胶的存储罐，所述上胶筒左端下侧连通设置带单向阀的吸胶管的一端，且吸胶管的另一端延伸入存储罐内，所述安装箱内部底端设置定位筒且定位筒位于存储罐外端，所述存储罐上端螺纹连接端盖并延伸入端盖内，所述端盖转动连接在吸胶管环形端且端盖位于上胶筒下侧。
7.进一步地，所述移动件包括固定在底箱上端的两个平行布置的固定板，两个所述固定板之间转动连接横向布置的丝杆，所述丝杆外端通过滚动螺母副连接滑块且滑块位于底箱上侧，所述滑块上端设置安装箱，所述底箱上端右侧安装第一驱动设备的固定部且第一驱动设备设置在位于右方的固定板右侧，所述第一驱动设备的活动部与丝杆连接。
8.进一步地，两个所述固定板之间对称安装两个圆杆，且两个圆杆位于丝杆前后两侧，两个所述圆杆均贯穿滑块且滑块与圆杆滑动连接。
9.进一步地，所述滑块下端均匀设置多个滚动构件的固定部，多个所述滚动构件的滚动部均滚动连接在底箱上端。
10.进一步地，所述调节件包括安装在第一升降设备的活动部下端的矩形筒，两个所述横板左端均延伸入矩形筒内且矩形筒与横板滑动连接，所述矩形筒内部转动连接纵向布置的双向螺杆，所述双向螺杆贯穿两个横板且横板与双向螺杆螺纹连接。
11.进一步地，两个所述横板上端均设置弧形板且弧形板与横板呈一体化成型结构，两个所述弧形板相对布置且弧形板位于矩形筒右侧。
12.进一步地，所述矩形筒上端对称安装两个圆柱，且两个圆柱位于第一升降设备前后两侧，两个所述圆柱上端均贯穿安装板且安装板与圆柱滑动连接。
13.进一步地，所述吸附件包括一端与抽气设备的进口连通的连接管，所述转罩上端面中间位置向下凹陷形成吸孔且吸孔延伸至转罩内部顶端，所述转罩内部顶端安装上宽下窄布置的吸罩且吸罩上端与吸孔连通布置，所述连接管的另一端延伸入转罩内并吸罩下端转动连接。
14.本发明的有益效果：两个弧形板会在两个横板上端形成一个放置腔，可将基片放置到放置腔内，此时两个横板会对基片进行托举，而两个弧形板会对基片进行限位，并利用第二电机、转轴，使安装板以及设置在安装板上的部件以及放置的基片进行转动，进而使基片转动到转罩正上方，再利用第一电动推杆，驱动矩形筒、两个横板以及基片下移，使基片定位放置到转罩上端，并使横板与基片分离，可对基片进行均胶作业，当完成后，可利用第一电动推杆使矩形筒以及两个横板上移，并将基片从转罩上端提起，再利用第二电机，使转轴、安装板、安装板上的部件以及基片从转罩上方转出，达到对基片进行提放式取放料的目的，有效减少对基片的均胶面产生损坏概率，提升均胶效果。
15.利用双向螺杆使两个横板相对运动，进而两个弧形板相对运动，达到调整两个弧
形板之间距离的目的，提升使用范围。
16.利用气泵、连接管对吸罩内的空气进行抽取，从而使吸罩内产生负压，并在负压作用下，将基片吸附在转罩上端，达到对基片进行吸附式紧固的目的，有效减少对基片损坏概率，提升产品质量。
17.使螺栓的杆部贯穿贯穿安装板以及两个辅助板并与螺母螺纹连接，实现安装板与转轴之间紧固安装，当螺栓与螺母之间无法正常拆卸时，可对位于两个辅助板之间的螺栓的杆部进行切断处理，达到对安装板的便捷拆卸的目的。
18.可将存储有酰亚胺胶的存储罐安插到定位筒内，使存储罐的定位安装，再将吸胶管安插到存储罐内，并使端盖螺纹连接到存储罐上，对存储罐的开口进行封堵，并使吸胶管与存储罐之间稳定安装，达到便捷更换存储罐的目的，利用第二电动推杆，从而使活塞向右移动，进而使存储罐内酰亚胺胶沿着吸胶管抽入上胶筒内，再利用第二电动推杆，使活塞向左移动，从而将上胶筒内酰亚胺胶挤入l型上胶管内，并使酰亚胺胶从l型上胶管滴落到转罩上端的基片上，实现上胶作业。
附图说明
19.通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本发明一种光刻均胶机的结构示意图；图2为本发明一种光刻均胶机中安装箱的剖视图；图3为本发明一种光刻均胶机中底箱与转罩的装配图；图4为本发明一种光刻均胶机中底箱、转轴以及安装板的装配图；图5为本发明一种光刻均胶机中矩形筒、安装板、第一电动推杆以及横板的装配图；图6为本发明一种光刻均胶机中矩形筒的剖视图。
20.图中：1-底箱、2-矩形筒、3-转轴、4-安装板、5-第一电动推杆、6-横板、7-转罩、8-l型上胶管、9-安装箱、11-固定板、12-第一电机、13-丝杆、14-滑块、21-双向螺杆、31-辅助板、32-第二电机、61-弧形板、71-吸孔、72-吸罩、73-第三电机、74-传动齿轮、75-连接管、76-环形齿轮、91-第二电动推杆、92-活塞、93-上胶筒、94-吸胶管、95-端盖、96-存储罐、97-定位筒。
实施方式
21.为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
22.请参阅图1和图3，本发明提供一种技术方案：一种光刻均胶机，包括底箱1，将基片放置到延伸入底箱1内部并转动连接在底箱1上端的转罩7上端，此时基片贴合在开设在转罩7上端面中间位置并与吸罩72上端连通的吸孔71上端，然后启动位于底箱1内部底端的抽气设备，因连接管75一端与抽气设备的进口连通，而连接管75的另一端延伸入转罩7内并吸罩72下端转动连接，进而在连接管75辅助下，将安装在转罩7内部顶端并呈上宽下窄布置的吸罩72内的空气进行抽取，从而使吸罩72内产生负压，并在负压作用下，将基片吸附在转罩
7上端，达到对基片进行吸附式紧固的目的，有效减少对基片损坏概率，提升产品质量，然后向基片上端面滴上聚酰亚胺胶，然后启动固定部设置在底箱1内部顶端的第三驱动设备，从而驱动与第三驱动设备的活动部连接的传动齿轮74发生旋转，因传动齿轮74啮合在安装在转罩7环形外端下侧并位于底箱1内的环形齿轮76右端，所以传动齿轮74旋转会使环形齿轮76旋转，从而使转罩7以及吸附在转罩7上端基片进行旋转，在离心力作用，使基片上滴落的聚酰亚胺胶均匀分布到基片表面上，实现均胶作业，其中第三驱动设备可采用第三电机73、抽气设备可采用气泵。
23.如图1、图4、图5和图6所示，启动固定部设置在底箱1内部顶端并位于转罩7左侧的第二驱动设备，因第二驱动设备的活动部穿过底箱1并与转动连接在底箱1上端左侧且呈竖向布置的转轴3连接，所以第二驱动设备工作会驱动转轴3旋转，进而使设置在转轴3上端并呈横向布置的安装板4转动，第二驱动设备可采用带有减速器的第二电机32，将第一升降设备的固定部安装到安装板4上端右侧，且第一升降设备的活动部穿过安装板4并与位于转轴3右端与转罩7左端之间的矩形筒2连接，通过第一升降设备驱动矩形筒2上下移动，第一升降设备可采用第一电动推杆5，并将位于第一升降设备前后两侧的两个圆柱对称安装到矩形筒2上端上，而两个与安装板4滑动连接的圆柱上端均贯穿安装板4，两个圆柱配合使用，可对矩形筒2移动进行导向，将两个左端延伸入矩形筒2内并呈横向布置的横板6对称滑动连接在矩形筒2右端上，而两个横板6位于转罩7前后两侧，两个横板6配合使用，可对基片进行托举，并且转动连接在矩形筒2内并呈纵向布置的双向螺杆21贯穿两个横板6且横板6与双向螺杆21螺纹连接，通过双向螺杆21调整两个横板6之间距离，将相对布置的两个与横板6呈一体化成型结构并位于矩形筒2右侧的弧形板61分别设置到两个横板6上端上，一体化成型结构的设计，方便生产，两个弧形板61配合使用，可对基片进行限位。
24.具体地，先对双向螺杆21进行转动，因双向螺杆21与两个横板6螺纹连接，所以双向螺杆21转动同时使两个横板6相对运动，进而两个弧形板61相对运动，达到调整两个弧形板61之间距离的目的，提升使用范围，此时两个弧形板61会在两个横板6上端形成一个放置腔，然后将基片放置到放置腔内，此时两个横板6会对基片进行托举，而两个弧形板61会对基片进行限位，然后启动第二电机32，从而驱动转轴3旋转，进而安装板4以及设置在安装板4上的部件进行转动，从而使放置的基片进行转动，进而使基片转动到转罩7正上方，然后启动第一电动推杆5，进而驱动矩形筒2下移，从而使两个横板6下移，进而使基片下移，使基片定位放置到转罩7上端，并使横板6与基片分离，然后可对基片进行均胶作业，当完成后，可利用第一电动推杆5使矩形筒2以及两个横板6上移，从而使横板6与基片接触，并将基片从转罩7上端提起，然后再利用第二电机32，使转轴3、安装板4以及安装板4上的部件发生转动，从而使基片从转罩7上方转出，达到对基片进行提放式取放料的目的，有效减少对基片的均胶面产生损坏概率，提升均胶效果。
25.如图1和图4所示，将两个呈圆形结构的辅助板31均安装到转轴3外端，此时位于上侧的辅助板31贴合在安装板4下端，将多个螺栓呈圆形布置放置到安装板4上端，再使螺栓的杆部贯穿贯穿安装板4以及两个辅助板31并与位于转轴3外侧且贴合在位于下侧的辅助板31下端的螺母螺纹连接，实现安装板4与转轴3之间紧固安装，当螺栓与螺母之间无法正常拆卸时，可对位于两个辅助板31之间的螺栓的杆部进行切断处理，达到对安装板4的便捷拆卸的目的。
26.如图1和图2所示，将两个平行布置的固定板11固定到底箱1上端上，并将横向布置的丝杆13转动连接到两个固定板11之间，且位于丝杆13前后两侧的两个圆杆对称安装到两个固定板11之间，两个固定板11配合使用，为丝杆13等部件提供安装载体，启动安装在底箱1上端右侧并设置在位于右方的固定板11右侧的第一驱动设备，从而驱动与第一驱动设备的活动部连接的丝杆13旋转，因位于底箱1上侧并呈矩形结构的滑块14通过滚动螺母副连接在丝杆13外端上，所以丝杆13旋转，会使滑块14左右移动，并且两个与滑块14滑动连接的圆杆均贯穿滑块14，所以两个圆杆会对滑块14的移动进行导向，而滑块14移动会使固定部均匀设置在滑块14下端的多个滚动构件的滚动部在底箱1上端进行滚动，用于辅助滑块14运动，并且滑块14移动会使设置在滑块14上端的安装箱9进行运动，实现上胶或回位，其中第一驱动设备可采用第一电机12，滚动构件可采用牛眼球如图1和图2所示，将横向布置的上胶筒93设置到安装箱9内部右壁上，通过上胶筒93为l型上胶管8等部件提供安装载体，并将延伸出安装箱9左侧且竖向部设置在转罩7正上方并带有单向阀的l型上胶管8的横向部连通安装到上胶筒93左端上侧上，再将活塞92滑动连接到上胶筒93内，利用活塞92使对上胶筒93进行酰亚胺胶的排出或抽取作业，将固定部安装在安装箱9右端并呈横向布置的第二升降设备的活动部穿过安装箱9并与活塞92连接，用于驱动活塞92在上胶筒93内左右移动，第二升降设备可采用第二电动推杆91，将带单向阀的吸胶管94的一端连通设置到上胶筒93左端下侧，而吸胶管94的另一端延伸入贴合在安装箱9内部底端的存储罐96内，利用吸胶管94使上胶筒93与存储罐96连通，并且存储罐96可对聚酰亚胺胶进行存储，并将位于存储罐96外端的定位筒97设置到安装箱9内部底端上，利用定位筒97使存储罐96定位放置到安装箱9内部，再将转动连接在吸胶管94环形端并位于上胶筒93下侧的端盖95螺纹连接到存储罐96上端，并使存储罐96上端延伸入端盖95内，利用端盖95对存储罐96开口进行封堵。
27.具体地，打开安装箱9的箱门，然后将存储有酰亚胺胶的存储罐96安插到定位筒97内，使存储罐96的定位安装，然后将吸胶管94安插到存储罐96内，并使端盖95贴合到存储罐96上端，然后对端盖95进行转动，使端盖95螺纹连接到存储罐96上，对存储罐96的开口进行封堵，并使吸胶管94与存储罐96之间稳定安装，达到便捷更换存储罐96的目的，然后启动第二电动推杆91，从而使活塞92沿着上胶筒93向右移动，进而使存储罐96内酰亚胺胶沿着吸胶管94抽入上胶筒93内，然后利用第二电动推杆91，使活塞92沿着上胶筒93向左移动，从而将上胶筒93内酰亚胺胶挤入l型上胶管8内，并使酰亚胺胶从l型上胶管8滴落到转罩7上端的基片上，实现上胶作业。
28.虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：
1.一种光刻均胶机，其特征在于：包括底箱（1），所述底箱（1）上端转动连接转罩（7）且转罩（7）延伸入底箱（1）内部，所述转罩（7）环形外端下侧安装环形齿轮（76）且环形齿轮（76）位于底箱（1）内，所述环形齿轮（76）右端啮合传动齿轮（74），所述传动齿轮（74）上端与第三驱动设备的活动部连接且第三驱动设备的固定部设置在底箱（1）内部顶端，所述转罩（7）内部顶端安装吸附件的一端，所述吸附件的另一端与抽气设备的进口连通且抽气设备位于底箱（1）内部底端，所述底箱（1）上端左侧转动连接竖向布置的转轴（3），所述底箱（1）内部顶端设置第二驱动设备的固定部且第二驱动设备位于转罩（7）左侧，所述第二驱动设备的活动部穿过底箱（1）并与转轴（3）连接，所述转轴（3）上端设置横向布置的安装板（4），所述安装板（4）上端右侧安装第一升降设备的固定部，所述第一升降设备的活动部穿过安装板（4）并与调节件连接，且调节件位于转轴（3）右端与转罩（7）左端之间，所述调节件右端对称设置两个横向布置的横板（6），且两个横板（6）位于转罩（7）前后两侧，所述底箱（1）上端设置上胶机构且上胶机构位于转罩（7）右侧。2.根据权利要求1所述的一种光刻均胶机，其特征在于：所述上胶机构包括安装箱（9），所述安装箱（9）下端设置移动件且移动件安装在底箱（1）上端，所述安装箱（9）内部右壁设置横向布置的上胶筒（93），所述上胶筒（93）左端上侧连通安装带单向阀的l型上胶管（8）的横向部且l型上胶管（8）延伸出安装箱（9）左侧，所述l型上胶管（8）的竖向部设置在转罩（7）正上方，所述上胶筒（93）内滑动连接活塞（92），所述安装箱（9）右端安装横向布置的第二升降设备的固定部，所述第二升降设备的活动部穿过安装箱（9）并与活塞（92）连接，所述上胶筒（93）左端下侧连通设置补胶件且补胶件位于安装箱（9）内。3.根据权利要求2所述的一种光刻均胶机，其特征在于：所述补胶件包括贴合在安装箱（9）内部底端并用于存储聚酰亚胺胶的存储罐（96），所述上胶筒（93）左端下侧连通设置带单向阀的吸胶管（94）的一端，且吸胶管（94）的另一端延伸入存储罐（96）内，所述安装箱（9）内部底端设置定位筒（97）且定位筒（97）位于存储罐（96）外端，所述存储罐（96）上端螺纹连接端盖（95）并延伸入端盖（95）内，所述端盖（95）转动连接在吸胶管（94）环形端且端盖（95）位于上胶筒（93）下侧。4.根据权利要求2所述的一种光刻均胶机，其特征在于：所述移动件包括固定在底箱（1）上端的两个平行布置的固定板（11），两个所述固定板（11）之间转动连接横向布置的丝杆（13），所述丝杆（13）外端通过滚动螺母副连接滑块（14）且滑块（14）位于底箱（1）上侧，所述滑块（14）上端设置安装箱（9），所述底箱（1）上端右侧安装第一驱动设备的固定部且第一驱动设备设置在位于右方的固定板（11）右侧，所述第一驱动设备的活动部与丝杆（13）连接。5.根据权利要求4所述的一种光刻均胶机，其特征在于：两个所述固定板（11）之间对称安装两个圆杆，且两个圆杆位于丝杆（13）前后两侧，两个所述圆杆均贯穿滑块（14）且滑块（14）与圆杆滑动连接。6.根据权利要求4所述的一种光刻均胶机，其特征在于：所述滑块（14）下端均匀设置多个滚动构件的固定部，多个所述滚动构件的滚动部均滚动连接在底箱（1）上端。7.根据权利要求1所述的一种光刻均胶机，其特征在于：所述调节件包括安装在第一升降设备的活动部下端的矩形筒（2），两个所述横板（6）左端均延伸入矩形筒（2）内且矩形筒（2）与横板（6）滑动连接，所述矩形筒（2）内部转动连接纵向布置的双向螺杆（21），所述双向
螺杆（21）贯穿两个横板（6）且横板（6）与双向螺杆（21）螺纹连接。8.根据权利要求7所述的一种光刻均胶机，其特征在于：两个所述横板（6）上端均设置弧形板（61）且弧形板（61）与横板（6）呈一体化成型结构，两个所述弧形板（61）相对布置且弧形板（61）位于矩形筒（2）右侧。9.根据权利要求7所述的一种光刻均胶机，其特征在于：所述矩形筒（2）上端对称安装两个圆柱，且两个圆柱位于第一升降设备前后两侧，两个所述圆柱上端均贯穿安装板（4）且安装板（4）与圆柱滑动连接。10.根据权利要求1所述的一种光刻均胶机，其特征在于：所述吸附件包括一端与抽气设备的进口连通的连接管（75），所述转罩（7）上端面中间位置向下凹陷形成吸孔（71）且吸孔（71）延伸至转罩（7）内部顶端，所述转罩（7）内部顶端安装上宽下窄布置的吸罩（72）且吸罩（72）上端与吸孔（71）连通布置，所述连接管（75）的另一端延伸入转罩（7）内并吸罩（72）下端转动连接。

技术总结
本发明提供一种光刻均胶机，包括底箱，所述底箱上端转动连接转罩，所述转罩环形外端下侧安装环形齿轮，所述环形齿轮右端啮合传动齿轮，所述传动齿轮上端与第三驱动设备的活动部连接且第三驱动设备的固定部设置在底箱内部顶端，所述底箱上端左侧转动连接转轴，所述底箱内部顶端设置第二驱动设备的固定部，所述第二驱动设备的活动部穿过底箱并与转轴连接，所述转轴上端设置安装板，所述安装板上端右侧安装第一升降设备的固定部，所述第一升降设备的活动部穿过安装板并与调节件连接，所述调节件右端对称设置两个横板，该设计达到对基片进行提放式取放料的目的，有效减少对基片的均胶面产生损坏概率，提升均胶效果。提升均胶效果。提升均胶效果。


技术研发人员：梁海霞 施欢乐 郭瑛 施恩泽
受保护的技术使用者：盐城合瑞恩科技有限公司
技术研发日：2023.04.19
技术公布日：2023/8/9