一种承托机构的制作方法

1.本实用新型涉及一种半导体设备中的机构，尤其是一种用于安装分子泵的承托机构。


背景技术：

2.在半导体设备中，分子泵常用作真空泵，其需要与摆阀对接，实现抽真空作业；
3.在安装分子泵时，现有竖置或横置两种方式；当采用横置方式时，需要多人合作抬托分子泵与摆阀对接，再通过螺栓连接分子泵与摆阀；由于分子泵较重，在安装时如抬托时间较长，当力所不及时分子泵有掉落危险，存在安全隐患；另外当半导体设备后期维护时，分子泵周围的半导体设备零部件较多，人员操作不便。


技术实现要素：

4.为解决现有技术中的至少一个技术问题，本实用新型实施例提供一种承托机构，用于使得分子泵与摆阀对接或分离更方便，消除安全隐患，且便于后期维护操作。为实现以上技术目的，本实用新型实施例采用的技术方案是：
5.本实用新型实施例提供了一种承托机构，包括：
6.底架；所述底架的一端具有第一安装部，用于安装摆阀，所述底架的另一端具有第二安装部，用于安装分子泵；
7.承载板，设置于底架上的第二安装部；
8.支撑座，设置在所述承载板上，用于承托分子泵；
9.横向滑动机构，设置在所述承载板与底架的第二安装部之间，用于承载板朝向或背离底架的第一安装部移动；
10.高度调整机构，设置在所述支撑座与所述承载板之间，用于调整支撑座相对于承载板的高度。
11.进一步地，所述横向滑动机构为两组滑块滑轨组件，分设在底架第二安装部的两侧；所述滑块滑轨组件包括滑块和滑轨，所述滑块安装在底架的第二安装部上，所述滑轨安装在承载板的底部。
12.更进一步地，所述滑块的前侧与后侧分别设有支撑块。
13.更进一步地，所述支撑块顶端设有滑轮。
14.进一步地，所述高度调整机构包括调整板和数个调整螺栓；所述承载板上开有调节孔和螺栓孔，所述调整板位于承载板的下方，所述支撑座下端穿过承载板上的调节孔与调整板连接，所述调整螺栓下端与调整板连接，上端穿过承载板上的螺栓孔，与螺母连接。
15.更优地，所述承载板上还开有安装孔。
16.进一步地，所述支撑座为v型座。
17.更进一步地，所述支撑座配置为两个，前后间隔设置。
18.本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果是：
19.1）在安装分子泵时，能够将承载板和支撑座置于背离摆阀的位置，以获得较大操作空间；通过可以调节高度的支撑座来承托分子泵，又通过承载板的滑动使得分子泵可以靠近摆阀，对接容易且消除了分子泵掉落的安全隐患。
20.2）在后期维护时，方便将分子泵与摆阀分离，分离后的分子泵周围具有较大的操作空间，便于维护操作。
附图说明
21.图1为本实用新型实施例中的承托机构主视图。
22.图2为本实用新型实施例中的承托机构一侧视图。
23.图3为本实用新型实施例中的承托机构另一侧视图。
24.图4为本实用新型实施例中的承托机构立体图。
具体实施方式
25.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
26.如图1、图2、图3和图4所示，本实用新型实施例提出的一种承托机构，包括：
27.底架1；所述底架1的一端具有第一安装部101，用于安装摆阀a，所述底架1的另一端具有第二安装部102，用于安装分子泵b；
28.承载板2，设置于底架1上的第二安装部102；
29.支撑座3，设置在所述承载板2上，用于承托分子泵b；
30.横向滑动机构4，设置在所述承载板2与底架1的第二安装部102之间，用于承载板2朝向或背离底架1的第一安装部102移动；
31.高度调整机构5，设置在所述支撑座3与所述承载板2之间，用于调整支撑座3相对于承载板2的高度。
32.在本实用新型提出的实施例中，首先可以将摆阀a通过螺栓固定在底架1一端的第一安装部101；然后将承载板2向背离摆阀a的方向移出，这样在安装分子泵b时具有较大的操作空间；然后将分子泵b通过吊装设备或人力摆放至支撑座3上，分子泵b通过支撑座3承托受力，不容易掉落；通过高度调整机构5调整支撑座3和其上承托的分子泵b的高度，使得分子泵b与摆阀a的接口在高度方向大致对齐，然后通过移动承载板2，将分子泵b向摆阀a方向移动，细微调节高度调整机构5，使得分子泵b与摆阀a的接口在高度方向对齐，再通过螺栓使得两者连接，安装过程简单安全，既方便分子泵b与摆阀a对接，又消除了分子泵b掉落的隐患；当设备需要维护时，可以先拆卸连接摆阀a与分子泵b的螺栓，通过移动承载板2使得分子泵b与摆阀a分离，之后分子泵b周围可具有较大的操作空间，便于后期维护操作。
33.在一个实施例中，底架1采用钢架，其第一安装部101与第二安装部102均为钢架体，根据不同型号的摆阀a和分子泵b，第一安装部101可高于或低于第二安装部102或与第二安装部102等高；
34.在一个实施例中，所述横向滑动机构4为两组滑块滑轨组件，分设在底架1第二安装部102的两侧；所述滑块滑轨组件包括滑块401和滑轨402，所述滑块401安装在底架1的第
二安装部102上，所述滑轨402安装在承载板2的底部；通过滑块401和滑轨402的配合，承载板2连带其上的支撑座3和分子泵b可以比较顺滑地朝向或背离摆阀a移动；在本实施例中滑轨402安装在承载板2的底部可以明显提高承载板2的承载力；在其它的实施例中也可以反过来安装，将滑轨402安装在底架1的第二安装部102上，将滑块401安装在承载板2的底部，但此种常规安装方式中的承载板2只能依靠自身强度获得对应的承载力，而缺少了滑轨402对承载板2的加强作用；
35.作为本实施例的优化，所述滑块401的前侧与后侧分别设有支撑块403；在承载板2朝向摆阀a方向移动后，承载板2的前端可以搭载于滑块401前侧的支撑块403上，在承载板2向背离摆阀a方向移动后，承载板2的后端可以搭载于滑块401后侧的支撑块403上，防止因为分子泵b的重量使得承载板2变形；
36.作为本实施例的进一步优化，所述支撑块403顶端设有滑轮，有利于承载板2滑动时减少与支撑块403间的摩擦力；
37.在本实施例中，滑块401后侧的支撑块403安装在电气箱6顶端，在其它的实施例中，底架1的第二安装部102也可以向后延伸，以安装滑块401后侧的支撑块403；
38.在一个实施例中，如图2所示，所述高度调整机构5包括调整板501和数个调整螺栓502；所述承载板2上开有调节孔和螺栓孔，所述调整板501位于承载板2的下方，所述支撑座3下端穿过承载板2上的调节孔与调整板501连接，所述调整螺栓502下端与调整板501连接，上端穿过承载板2上的螺栓孔，与螺母连接；通过调节调整螺栓502和配套的螺母，可以调节调整板501的高度，从而调节支撑座3相对于承载板2的高度；在本实施例中，调整螺栓502配置为四个，在每个支撑座3的两侧各设有一个调整螺栓502；
39.作为本实施例的优化，所述承载板2上还开有安装孔201；通过安装孔201可以穿过线缆或管路等；
40.作为本实施例的优化，所述支撑座3为v型座，能够适配多种口径的分子泵，适配性强，且分子泵a安置比较牢固；
41.作为本实施例的优化，所述支撑座3配置为两个，前后间隔设置，以稳固地承托分子泵b；
42.本实用新型实施例提出的承托机构，通过可以调节高度的支撑座来承托分子泵，又通过承载板的滑动使得分子泵可以靠近或远离摆阀，在分子泵与摆阀对接安装时，操作空间大，对接容易，且消除了分子泵掉落的隐患；当需要操作维护时方便分子泵与摆阀分离，分离后的分子泵周围具有较大的操作空间。
43.最后所应说明的是，以上具体实施方式仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

技术特征：
1.一种承托机构，其特征在于，包括：底架(1)；所述底架(1)的一端具有第一安装部(101)，用于安装摆阀(a)，所述底架(1)的另一端具有第二安装部(102)，用于安装分子泵(b)；承载板(2)，设置于底架(1)上的第二安装部(102)；支撑座(3)，设置在所述承载板(2)上，用于承托分子泵(b)；横向滑动机构(4)，设置在所述承载板(2)与底架(1)的第二安装部(102)之间，用于承载板(2)朝向或背离底架(1)的第一安装部(101)移动；高度调整机构(5)，设置在所述支撑座(3)与所述承载板(2)之间，用于调整支撑座(3)相对于承载板(2)的高度。2.如权利要求1所述的承托机构，其特征在于，所述横向滑动机构(4)为两组滑块滑轨组件，分设在底架(1)第二安装部(102)的两侧；所述滑块滑轨组件包括滑块(401)和滑轨(402)，所述滑块(401)安装在底架(1)的第二安装部(102)上，所述滑轨(402)安装在承载板(2)的底部。3.如权利要求2所述的承托机构，其特征在于，所述滑块(401)的前侧与后侧分别设有支撑块(403)。4.如权利要求3所述的承托机构，其特征在于，所述支撑块(403)顶端设有滑轮。5.如权利要求1～4中任一项所述的承托机构，其特征在于，所述高度调整机构(5)包括调整板(501)和数个调整螺栓(502)；所述承载板(2)上开有调节孔和螺栓孔，所述调整板(501)位于承载板(2)的下方，所述支撑座(3)下端穿过承载板(2)上的调节孔与调整板(501)连接，所述调整螺栓(502)下端与调整板(501)连接，上端穿过承载板(2)上的螺栓孔，与螺母连接。6.如权利要求1～4中任一项所述的承托机构，其特征在于，所述承载板(2)上还开有安装孔(201)。7.如权利要求1～4中任一项所述的承托机构，其特征在于，所述支撑座(3)为v型座。8.如权利要求7所述的承托机构，其特征在于，所述支撑座(3)配置为两个，前后间隔设置。

技术总结
本实用新型提供一种承托机构，包括：底架；所述底架的一端具有第一安装部，用于安装摆阀，所述底架的另一端具有第二安装部，用于安装分子泵；承载板，设置于底架上的第二安装部；支撑座，设置在所述承载板上，用于承托分子泵；横向滑动机构，设置在所述承载板与底架的第二安装部之间，用于承载板朝向或背离底架的第一安装部移动；高度调整机构，设置在所述支撑座与所述承载板之间，用于调整支撑座相对于承载板的高度。本实用新型提出的承托机构可以使得分子泵与摆阀对接或分离更方便，消除安全隐患，且便于后期维护操作。且便于后期维护操作。且便于后期维护操作。


技术研发人员：范雄 田文康
受保护的技术使用者：无锡尚积半导体科技有限公司
技术研发日：2023.03.15
技术公布日：2023/8/13