一种石英盖板的安装辅助工具的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种石英盖板的安装辅助工具。


背景技术：

2.目前，在半导体工艺中，半导体刻蚀装置包括进行蚀刻工艺的反应腔室以及用于密封等功能的盖板。并且，在目前的半导体刻蚀装置中，所述反应腔室的盖板的材质通常为石英材料。
3.然而，针对现有常用的12寸的半导体刻蚀装置，其常用的安装石英盖板的方式仍然是采用人工方式进行安装，这将势必造成由于石英盖板的价格昂贵、质量重等因素引起的利用现有技术所采用的人工方式安装石英盖板具有摔坏石英盖板以及增大半导体刻蚀装置的制造成本的风险。
4.因此，如何根据现场实际情况，设计出一款可以简便并安全安装半导体刻蚀装置的石英盖板的安装工具，便成为了本领域技术人员急需解决的问题。


技术实现要素：

5.本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提供一种石英盖板的安装辅助工具，以避免造成由于石英盖板的价格昂贵、质量重等因素引起的利用人工方式安装石英盖板具有摔坏石英盖板以及增大半导体刻蚀装置的制造成本的风险问题，并提高石英盖板的安装效率。
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种石英盖板的安装辅助工具，该安装辅助工具应用于12英寸的半导体刻蚀装置中，所述半导体刻蚀装置中包括一侧面上沿轴向方向均匀设置有多个凹槽的石英盖板，所述安装辅助工具包括：底板(1)和支撑框架(2)，所述支撑框架(2)包括：
7.吊环(21)，所述吊环(21)的侧壁可以开设有若干个通孔，每一所述通孔内可以设置有第一枢转部；
8.若干个吊杆(22)，若干个所述吊杆(22)可以沿所述吊环(21)的侧壁周向设置，每一所述吊杆(22)的第一端与对应通孔内的所述第一枢转部活动连接；
9.若干个吊爪(23)，每一所述吊爪(23)可以与对应吊杆(22)的第二端连接，若干个所述吊爪(23)与所述石英盖板的对应的多个所述凹槽卡合，以实现放置在所述底板(1)上的所述石英盖板的吊装。
10.进一步的，每一所述吊杆(22)可以通过对应的所述第一枢转部实现上下枢转，每一所述吊杆(22)的枢转角度范围可以为0～90
°
。
11.进一步的，每一所述吊杆(22)靠近自身第一端的位置设置有第一支撑件(24)，所述第一支撑件(24)用于支撑所述吊杆(22)。
12.进一步的，所述支撑框架(2)还包括：
13.若干个第二枢转部(25)，每一所述第二枢转部(25)的一端与对应的所述吊爪(23)
固定连接，每一所述第二枢转部(25)的另一端与对应的所述吊杆(22)枢接，所述吊杆(22)通过对应的所述第二枢转部(25)枢转到预设角度时，通过所述第二枢转部(25)中的螺栓和螺母进行固定。
14.进一步的，每一所述吊爪(23)开设有v型槽，所述v型槽与所述石英盖板的凹槽相卡合，以实现所述石英盖板的吊装。
15.进一步的，所述支撑框架(2)还包括：
16.若干个l型支撑架(26)，若干个所述l型支撑架(26)沿所述吊环(21)的侧壁周向设置，其中，每两个相邻的所述吊杆(22)之间设置有1个l型支撑架(26)。
17.进一步的，每一所述l型支撑架(26)的第一段插接在所述吊环(21)的侧壁中，每一所述l型支撑架(26)的第二段处于悬空状态。
18.进一步的，每一所述l型支撑架(26)的长度大于所述石英盖板的高度。
19.进一步的，若干个所述l型支撑架(26)沿所述吊环(21)的侧壁周向均匀设置。
20.进一步的，所述支撑框架(2)还可以包括：
21.若干个第二支撑件(27)，每一所述第二支撑件(27)设置在对应l型支撑架(26)的所述第一段和所述第二段之间，所述第二支撑件(27)用于支撑对应的所述l型支撑架(26)。
22.与现有技术相比，本实用新型至少具有如下技术效果：
23.本实用新型提供了一种石英盖板的安装辅助工具，该安装辅助工具包括吊环、若干个吊杆和若干个吊爪，其中，若干个吊杆的一端与吊环侧壁开设的若干个通孔内的第一枢转部连接，若干个吊杆的另一端通过第二枢转部与对应的若干个吊爪连接，所述吊爪开设有v型槽，该v型槽可与石英盖板上的凹槽卡合，当通过该安装辅助工具吊装石英盖板时，可通过多个第一枢转部和第二枢转部枢转各个吊杆，以使各个吊杆移动到其连接的吊爪与石英盖板的凹槽卡合，并对第一枢转部和第二枢转部进行固定，从而实现石英盖板的吊装。
24.进一步的，该安装辅助工具还包括若干个l型支撑架，该若干个l型支撑架的第一段插接在吊环侧壁上，并通过插接位置的调整实现l型支撑架第一段长度的调整，从而使得若干个l型支撑架的第二段能够抵接石英盖板的侧壁，以保证石英盖板吊装的稳定性。由此，通过本实用新型提供的石英盖板的安装辅助工具安装石英盖板，可避免摔坏石英盖板，并且能够降低半导体刻蚀装置的制造成本，以及可提高石英盖板的安装效率。
附图说明
25.图1为本实用新型一实施例中提供的石英盖板的安装辅助工具的整体结构示意图。
26.其中，在图1中，1-底板，2-支撑框架，21-吊环，22-吊杆，23-吊爪，24-第一支撑件，25-第二枢转部，26-l型支撑架，27-第二支撑件。
具体实施方式
27.承如背景技术所述，在目前的半导体刻蚀装置中，所述反应腔室的盖板的材质通常为石英材料。然而，针对现有常用的12寸的半导体刻蚀装置，其常用的安装石英盖板的方式仍然是采用人工方式进行安装，这将势必造成由于石英盖板的价格昂贵、质量重等因素引起的利用现有技术所采用的人工方式安装石英盖板具有摔坏石英盖板以及增大半导体
刻蚀装置的制造成本的风险。
28.为此，本实用新型提供了一种石英盖板的安装辅助工具，为12寸的半导体刻蚀装置的盖板安装提供了一种治具，通过该安装辅助工具安装石英盖板，可避免摔坏石英盖板，并且能够降低半导体刻蚀装置的制造成本，以及可提高石英盖板的安装效率。
29.以下结合附图1和具体实施例对本实用新型提出的一种石英盖板的安装辅助工具作进一步详细说明。根据下面说明，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型还可以采用其它不同于在此描述的其它方式来实施，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
30.如本技术和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。一般说来，术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素，而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列，方法或者设备也可能包含其他的步骤或元素。在详述本实用新型实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本发明保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
31.参考图1，图1为本实用新型一实施例中提供的石英盖板的安装辅助工具的整体结构示意图。
32.本实用新型提供的一种石英盖板的安装辅助工具，应用于12英寸的半导体刻蚀装置中，所述半导体刻蚀装置中包括一侧面上沿轴向方向均匀设置有多个凹槽的石英盖板，如图1所示，所述安装辅助工具包括：底板1和支撑框架2，所述支撑框架2包括：吊环21、若干个吊杆22和若干个吊爪23。
33.在本实施例中，所述吊环21的侧壁开设有若干个通孔，每一所述通孔内设置有第一枢转部(图中未显示)。若干个吊杆22沿所述吊环21的侧壁均匀周向设置，每一所述吊杆22的第一端与对应通孔内的所述第一枢转部活动连接，其中，吊杆22的第一端为靠近吊环21的一端。每一所述吊爪23与对应吊杆22的第二端连接，若干个所述吊爪23与所述石英盖板的对应的多个所述凹槽卡合，可实现放置在所述底板1上的所述石英盖板的吊装。
34.在吊装石英盖板前，可将石英盖板放置在底板1上，然后将支撑框架2移动到石英盖板上方，使得吊环21的中心与石英盖板的中心在同一条直线上，即使得吊环21与石英盖板同轴。然后，通过各个第一枢转部枢转相应的吊杆22，以调整吊杆22在上下方向的角度，从而使得各个吊爪23靠近石英盖板的多个凹槽，以便各吊爪24与对应的各凹槽相卡合。本实施例中，通过第一枢转部上下枢转吊杆22的枢转角度范围为0～90
°
，其中90
°
为吊杆22垂直石英盖板表平面时的角度。
35.需要说明的是，每一所述吊杆22靠近自身第一端的位置还设置有第一支撑件24，所述第一支撑件24用于支撑所述吊杆22。本实施例中，吊杆22可贯穿第一支撑件24，并通过锁紧螺钉进行紧固。
36.继续参考图1，所述支撑框架2还包括若干个第二枢转部25，每一所述第二枢转部25的一端与对应的所述吊爪23固定连接，每一所述第二枢转部25的另一端与对应的所述吊杆22枢接，所述吊杆22通过对应的所述第二枢转部25枢转到预设角度时，通过所述第二枢
转部25中的螺栓和螺母进行固定。
37.作为一种优选示例，通过各个第一枢转部枢转相应的吊杆22，以调整吊杆22在上下方向的角度，从而使得各个吊爪23靠近石英盖板的多个凹槽时，再通过各个第二枢转部枢转配合，使得吊杆22进行位置局部调整，进而使得各个吊爪23能够准确卡合住石英盖板的多个凹槽，从而便于实现放置在所述底板1上的所述石英盖板的吊装。
38.在本实施例中，每一所述吊爪23开设有v型槽，所述v型槽与所述石英盖板的凹槽相卡合，以实现所述石英盖板的吊装。
39.如图1所示，每一所述吊爪23靠近石英盖板的一侧开设有v型槽，石英盖板沿轴向方向均匀设置有多个凹槽，并且每一凹槽尺寸大小相同。每一凹槽的内腔壁与石英盖板上表面形成一边缘段。当通过各个第二枢转部枢转配合，可使得吊杆22进行位置局部调整，从而使得吊爪23上开设的v型槽能够准确与该边缘段进行卡合，进而使得各个吊爪23能够准确卡合住石英盖板的多个凹槽，从而便于实现放置在所述底板1上的所述石英盖板的吊装。
40.继续参考图1，所述支撑框架2还包括若干个l型支撑架26，若干个所述l型支撑架26沿所述吊环21的侧壁周向设置，其中，每两个相邻的所述吊杆22之间设置有1个l型支撑架26。
41.在本实施例中，吊杆22的个数为4个，l型支撑架26的个数也相应为4个，并且与吊杆22间隔设置，其中，l型支撑架26与吊杆22在吊环21的侧壁均匀间隔设置。由此，可通过均匀设置的l型支撑架26实现石英盖板吊装的稳定性保护。
42.需要说明的是，每一所述l型支撑架26的第一段插接在所述吊环21的侧壁中，每一所述l型支撑架26的第二段处于悬空状态。
43.如图1所示，每一所述l型支撑架26包括第一段和第二段，其中，l型支撑架26的第一段与石英盖板的表面平行，l型支撑架26的第二段与石英盖板的表面所在方向垂直，所述第一段和第二段为一体结构。其中，l型支撑架26的第一段插接在吊环21的侧壁中，以便在水平方向调整l型支撑架26的位置。l型支撑架26的第二段为悬空状态，以便于通过第二段内侧部分抵接石英盖板的外侧壁，从而通过l型支撑架26实现石英盖板吊装的稳定性保护。
44.例如，当通过各个第二枢转部枢转配合，使得吊杆22进行位置局部调整，从而使得吊爪23上开设的v型槽能够准确与石英盖板上的凹槽进行卡合时，可调整若干个l型支撑架26的第一段，使得若干个l型支撑架26在水平方向上靠近石英盖板的外侧壁，直至抵接石英盖板的外侧壁，从而在通过吊杆22和吊爪23对石英盖板进行吊装时，能够通过l型支撑架26的支撑作用，提高石英盖板吊装的稳定性。
45.可以理解的是，每一所述l型支撑架26的长度大于所述石英盖板的高度，即l型支撑架26第二段的长度需大于所述石英盖板的高度。
46.参考图1，所述支撑框架2还包括若干个第二支撑件27，每一所述第二支撑件27设置在对应l型支撑架26的所述第一段和所述第二段之间，所述第二支撑件27用于支撑对应的所述l型支撑架26。
47.在吊装时，石英盖板会发生晃动，从而导致l型支撑架26承载更多的外力，所以为防止l型支撑架26损坏，本实施例中在l型支撑架26的所述第一段和所述第二段之间设置第二支撑件27，以提高l型支撑架26的承载力，从而提高l型支撑架26的使用寿命。
48.可以理解的是，为了降低本实用新型所提供的石英盖板的安装辅助工具的设计成
本，可以利用钢质材料作为吊环21、吊杆22和吊爪23的材质。
49.综上所述，本实用新型提供了一种石英盖板的安装辅助工具，该安装辅助工具包括吊环、若干个吊杆和若干个吊爪，其中，若干个吊杆的一端与吊环侧壁开设的若干个通孔内的第一枢转部连接，若干个吊杆的另一端通过第二枢转部与对应的若干个吊爪连接，所述吊爪开设有v型槽，该v型槽可与石英盖板上的凹槽卡合，当通过该安装辅助工具吊装石英盖板时，可通过多个第一枢转部和第二枢转部的配合以枢转各个吊杆，以使各个吊杆移动到其连接的吊爪与石英盖板的凹槽卡合，并对第一枢转部和第二枢转部进行固定，从而实现石英盖板的吊装。
50.进一步的，该安装辅助工具还包括若干个l型支撑架，该若干个l型支撑架的第一段插接在吊环侧壁上，并通过插接位置的调整实现l型支撑架第一段长度的调整，从而使得若干个l型支撑架的第二段能够抵接石英盖板的侧壁，以保证石英盖板吊装的稳定性。由此，通过本实用新型提供的石英盖板的安装辅助工具安装石英盖板，可避免摔坏石英盖板，并且能够降低半导体刻蚀装置的制造成本，以及可提高石英盖板的安装效率。
51.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
52.本说明书中的各个实施例均采用相关的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于装置、电子设备以及计算机可读存储介质实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。
53.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均包含在本实用新型的保护范围内。

技术特征：
1.一种石英盖板的安装辅助工具，其特征在于，应用于12英寸的半导体刻蚀装置中，所述半导体刻蚀装置中包括一侧面上沿轴向方向均匀设置有多个凹槽的石英盖板，所述安装辅助工具包括：底板(1)和支撑框架(2)，所述支撑框架(2)包括：吊环(21)，所述吊环(21)的侧壁开设有若干个通孔，每一所述通孔内设置有第一枢转部；若干个吊杆(22)，若干个所述吊杆(22)沿所述吊环(21)的侧壁周向设置，每一所述吊杆(22)的第一端与对应通孔内的所述第一枢转部活动连接；若干个吊爪(23)，每一所述吊爪(23)与对应吊杆(22)的第二端连接，若干个所述吊爪(23)与所述石英盖板的对应的多个所述凹槽卡合，以实现放置在所述底板(1)上的所述石英盖板的吊装。2.如权利要求1所述的石英盖板的安装辅助工具，其特征在于，每一所述吊杆(22)通过对应的所述第一枢转部实现上下枢转，每一所述吊杆(22)的枢转角度范围为0～90
°
。3.如权利要求1所述的石英盖板的安装辅助工具，其特征在于，每一所述吊杆(22)靠近自身第一端的位置设置有第一支撑件(24)，所述第一支撑件(24)用于支撑所述吊杆(22)。4.如权利要求1所述的石英盖板的安装辅助工具，其特征在于，所述支撑框架(2)还包括：若干个第二枢转部(25)，每一所述第二枢转部(25)的一端与对应的所述吊爪(23)固定连接，每一所述第二枢转部(25)的另一端与对应的所述吊杆(22)枢接，所述吊杆(22)通过对应的所述第二枢转部(25)枢转到预设角度时，通过所述第二枢转部(25)中的螺栓和螺母进行固定。5.如权利要求1所述的石英盖板的安装辅助工具，其特征在于，每一所述吊爪(23)开设有v型槽，所述v型槽与所述石英盖板的凹槽相卡合，以实现所述石英盖板的吊装。6.如权利要求1所述的石英盖板的安装辅助工具，其特征在于，所述支撑框架(2)还包括：若干个l型支撑架(26)，若干个所述l型支撑架(26)沿所述吊环(21)的侧壁周向设置，其中，每两个相邻的所述吊杆(22)之间设置有1个l型支撑架(26)。7.如权利要求6所述的石英盖板的安装辅助工具，其特征在于，每一所述l型支撑架(26)的第一段插接在所述吊环(21)的侧壁中，每一所述l型支撑架(26)的第二段处于悬空状态。8.如权利要求7所述的石英盖板的安装辅助工具，其特征在于，每一所述l型支撑架(26)的长度大于所述石英盖板的高度。9.如权利要求8所述的石英盖板的安装辅助工具，其特征在于，若干个所述l型支撑架(26)沿所述吊环(21)的侧壁周向均匀设置。10.如权利要求9所述的石英盖板的安装辅助工具，其特征在于，所述支撑框架(2)还包括：若干个第二支撑件(27)，每一所述第二支撑件(27)设置在对应l型支撑架(26)的所述第一段和所述第二段之间，所述第二支撑件(27)用于支撑对应的所述l型支撑架(26)。

技术总结
本实用新型提供了一种石英盖板的安装辅助工具，应用于半导体技术领域，该安装辅助工具包括底板和支撑框架，支撑框架包括：吊环、若干个吊杆和若干个吊爪，其中，吊环的侧壁开设有若干个通孔，每一通孔内设置有第一枢转部；若干个吊杆沿吊环的侧壁均匀周向设置，每一吊杆的第一端与对应通孔内的第一枢转部活动连接；每一吊爪与对应吊杆的第二端连接，若干个吊爪与石英盖板的对应的多个凹槽卡合，以实现放置在底板上的石英盖板的吊装。本实用新型在对石英盖板进行吊装时，可提高石英盖板吊装的稳定性，并且能够降低半导体刻蚀装置的制造成本，以及可提高石英盖板的安装效率。以及可提高石英盖板的安装效率。以及可提高石英盖板的安装效率。


技术研发人员：陈文捷 刘志攀
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：2023.02.28
技术公布日：2023/8/13