圆形硅片旋转清洗夹持装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种用于圆形硅片旋转清洗夹持装置。


背景技术：

2.集成电路技术在过去的几十年里一直遵循摩尔定律不断发展，即单位集成电路面积上可容纳的晶体管数目大约每隔18个月可以增加一倍。然而，当晶体管尺寸减小到纳米级后，想再通过减小晶体管尺寸来提升集成电路的性能己经变得非常困难，而随着人类生活品质的提高，电子产品随身携带多样性的发展，最终产品需依轻、薄、小、快的规格发展。随着微电子技术的进步，芯片的集成度不断提高，元器件的尺度不断缩小，相应地对圆形硅片洁净度的要求也越来越高。对半导体圆形硅片清洗一般采用高纯水进行冲洗，但在冲洗过程中由于受夹具周围压环的遮挡限制，圆形硅片边沿难以被清洗干净。基于上述背景，如何提高圆形硅片边沿的表面清洁度成为当前面临的一个技术难题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提出一种圆形硅片旋转清洗夹持装置，用于改善圆形硅片边缘清洗效果，在清洗过程中夹持装置会高速旋转，进一步提高清洗效果，提高圆形硅片边缘的清洁度，本圆形硅片旋转清洗夹持装置主要用于电镀工艺后的清洗工序。
4.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
5.根据本实用新型提出的圆形硅片旋转清洗夹持装置，包括外盖壳体，旋转驱动模块，连接主轴，夹具固定底座，夹头旋转基座，夹爪伸缩驱动模块，夹爪本体，夹爪安装盖板，圆形硅片承托杆。旋转驱动模块安装在夹具固定底座上，旋转驱动模块与连接主轴的一端连接，连接主轴的另一端法兰端与夹头旋转基座连接，夹头旋转基座上安装有夹爪伸缩驱动模块，夹爪伸缩驱动模块连接夹爪本体，夹爪本体安装在夹头旋转基座上，夹爪本体活动部位安装有夹爪安装盖板，用于限制夹爪本体的活动范围，夹爪安装盖板安装在夹头旋转基座上，夹头旋转基座上安装有圆形硅片承托杆，外盖壳体安装在夹具固定底座上。
6.具体的，外盖壳体为圆形，壳体侧壁上开有一个与外部机构连接的通路口，壳体侧壁边缘上开有四个第一固定螺丝孔，四个所述第一固定螺丝孔呈环形阵列分布，外盖壳体通过第一固定螺丝孔安装在夹具固定底座上。
7.具体的，旋转驱动模块包含有一台驱动马达，驱动马达四角设置有4个第二固定螺丝孔，驱动马达通过第二安装螺丝孔安装在固定支架上，安装支架为金属材质，呈ul组合形状，固定支架底部设置有4个第三固定螺丝孔，固定支架通过第三安装螺丝孔固定在夹具固定底座上。
8.具体的，所述连接主轴呈圆柱形结构，连接主轴金属材质，连接主轴连接电机端设有一个第一连接孔，连接端侧壁设置有一个第四固定螺丝孔，连接主轴通过第四固定螺丝孔与驱动马达主轴连接连，连接主轴另一端设置有固定法兰，固定法兰边缘有4个第五固定
螺丝孔，四个所述第五固定螺丝孔呈环形阵列分布，固定法兰通过第五固定螺丝孔与夹头旋转基座相连。
9.进一步的，夹具固定底座为圆形，底座周围有底座侧壁，底座侧壁呈圆管状，底座侧壁的上方有一个环状限位台阶，底座平面设置有4个第六固定螺丝孔，旋转驱动模块通过第六固定螺丝孔安装在底座平面上，底座平面中心位置设置有一个连接主轴通过孔，底座侧壁顶部设置有3个第七固定螺丝孔，外盖壳体通过第七固定螺丝孔安装在夹具固定底座上。
10.具体的，夹爪伸缩驱动模块包含伸缩电缸和固定支架，所述伸缩电缸包含电缸外壳和电缸主轴，进一步的，电缸主轴的末端设置有连接卡槽和第二连接孔，第二连接孔与夹爪本体螺丝端的第三连接孔相连，所述固定支架包含电缸固定孔，电缸外壳通过电缸固定孔安装在固定支架上，固定支架底座上设置有2个第八固定螺丝孔，固定支架底座通过第八固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上，所述夹头旋转基座上安装有四个夹爪伸缩驱动模块，四个所述夹爪伸缩驱动模块呈环形阵列分布。
11.优选的，夹爪安装盖板为圆形，其中心位置设计有夹爪本体通过孔，夹爪本体通过孔周围设置有4个第九固定螺丝孔，四个所述第九固定螺丝孔呈环形阵列分布，夹爪安装盖板通过第九固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上。
12.优选的，夹头旋转基座为圆形，夹头旋转基座周围有侧壁，侧壁呈圆管状，夹头旋转基座底部中心处设有连接主轴中心定位孔，连接主轴中心定位孔周围设置有4个第十固定螺丝孔，4个所述第十固定螺丝孔呈环形阵列分布，连接主轴法兰通过第十固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上，第十固定螺丝孔周围还设置有8个第十一固定螺丝孔，8个所述第十一固定螺丝孔呈环形阵列分布，4个夹爪伸缩驱动模块通过第十固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上，第十一固定螺丝孔周围还设置有4个夹爪本体安装孔，所述4个夹爪本体安装孔呈环形阵列分布，夹爪本体通过夹爪本体安装孔安装在夹头旋转基座上，进一步的，夹爪本体安装孔周围设置有4个第十二固定螺丝孔，所述第十二固定螺丝孔呈环形阵列分布，夹爪安装盖板通过第九固定螺丝孔和第十二固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上。
13.优选的，夹爪本体为柱状结构，夹持端有一个弧形卡槽，用于夹持固定圆形硅片，夹爪本体的中部安装有一个球形部件，以便于夹爪本体做张开闭合动作，球形部件被夹爪安装盖板固定在夹头旋转基座上，夹爪本体的另一端为螺丝端，其上安装有异形连接螺丝，异形连接螺丝顶部有一个第三连接孔，第三连接孔与夹爪伸缩驱动模块相连，所述4个夹爪本体呈环形阵列分布，夹爪本体通过第十一固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上。
14.优选的，夹头旋转基座上安装有圆形硅片承托杆，圆形硅片承托杆的上部为圆锥形杆，顶部为圆球形，圆形硅片承托杆的中部设置有限位台阶，圆形硅片承托杆底部为固定螺纹端，用于固定在夹头旋转基座上。
15.具体的，当需要夹持圆形硅片时，控制系统给夹爪伸缩驱动模块通电，夹爪伸缩驱动模块收缩使夹爪本体发生位移，夹爪本体夹持端张开，圆形硅片被放在四个夹爪本体夹持端中间，放在四个圆形硅片承托杆上，控制系统切断夹爪伸缩驱动模块的电源，夹爪伸缩驱动模块在弹簧的作用下伸开，夹爪伸缩驱动模块推动夹爪本体夹持端夹住圆形硅片的边缘，完成夹持动作；圆形硅片夹持成功后整个夹持装置会翻转180度使圆形硅片向下放在清洗槽内，旋转驱动模块通电后驱动连接主轴旋转，连接主轴带动夹头旋转基座旋转，夹头旋
转基座带动夹爪本体旋转，夹爪本体带动圆形硅片旋转，开始清洗作业，清洗完成后旋转驱动模块断电停止旋转，夹持装置再翻转180度使圆形硅片向上，夹爪伸缩驱动模块收缩使夹爪本体夹持端张开，取走圆形硅片完成整个清洗程序。
16.具体地，夹爪本体的夹持端设计有卡槽，方便夹持圆形硅片，夹持端卡槽为弧形卡槽，其与圆形硅片的边沿为点接触，极大的减小了与圆形硅片的接触面积，极大的减小了夹具对圆形硅片边缘的遮蔽，常规夹具对圆形硅片边缘的遮蔽面积(以8吋圆形硅片计算)为1244平方毫米，本圆形硅片旋转清洗夹持装置夹持端与圆形硅片的接触面积小于0.8平方毫米，接触面积减小了99.94％，极大的提高了清洗效果。
17.进一步地，当驱动马达通电时，驱动马达带动连接主轴旋转，连接主轴带动夹头旋转基座旋转，夹头旋转基座带动夹爪本体和圆形硅片旋转，完成边旋转边清洗的动作，实现无遮蔽无死角清洗，提高圆形硅片清洗效果。
18.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
19.1.本圆形硅片旋转清洗夹持装置夹持端与圆形硅片的接触面积小于0.8平方毫米，接触面积减小了99.94％，极大的提高了清洗效果。
20.2.夹头旋转基座带动夹爪本体和圆形硅片旋转，完成边旋转边清洗的动作，实现无遮蔽无死角清洗，提高圆形硅片清洗效果。
附图说明
21.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1为本实用新型圆形硅片旋转清洗夹持装置的总体立体图001。
23.图2为图1所示的圆形硅片旋转清洗夹持装置的爆炸图，其中外盖壳体100，旋转驱动模块200，连接主轴300，夹具固定底座400，夹爪伸缩驱动模块500，夹爪安装盖板600，夹头旋转基座700，圆形硅片承托杆800，夹爪本体900。
24.图3为圆形硅片旋转清洗夹持装置的外盖壳体100结构示意图，其中壳体侧壁101，夹持装置与外部机构连接的通路口102，第一固定螺丝孔103。
25.图4为圆形硅片旋转清洗夹持装置的旋转驱动模块200结构示意图，其中驱动马达201，第二固定螺丝孔202，驱动马达固定支架203，第三固定螺丝孔204，驱动马达主轴205。
26.图5为图2所示的圆形硅片旋转清洗夹持装置的连接主轴300结构示意图，第一连接孔301，第四固定螺丝孔302，固定法兰303，第五固定螺丝孔304。
27.图6为图2所示的圆形硅片旋转清洗夹持装置的夹具固定底座400结构示意图，其中底座侧壁401，底座平面402，底座连接主轴孔403，第六固定螺丝孔404，底座凸台405，第七固定螺丝孔406。
28.图7为圆形硅片旋转清洗夹持装置的夹爪伸缩驱动模块500的结构示意图，其中连接卡槽501，第二连接孔502，电缸主轴503，电缸外壳504，电缸固定孔505，第八固定螺丝孔506，固定支架底座507。
29.图8为圆形硅片旋转清洗夹持装置的夹爪安装盖板600的结构示意图，其中夹爪本
体900的通过孔601，第九固定螺丝孔602。
30.图9为圆形硅片旋转清洗夹持装置的夹头旋转基座700的结构示意图，其中旋转基座侧壁701，连接主轴中心定位孔702，第十固定螺丝孔703，第十一固定螺丝孔704，夹爪本体900的安装孔705，第十二固定螺丝孔706。
31.图10为圆形硅片旋转清洗夹持装置的圆形硅片承托杆800的结构示意图，其中圆锥型杆801，限位台阶802，固定螺纹端803。
32.图11为圆形硅片旋转清洗夹持装置的夹爪本体900的结构示意图，其中夹持端卡槽901，夹持端杆体902，球形部件903，异形连接螺母904，第三连接孔905。
具体实施方式
33.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
34.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
35.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
36.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
37.参考如图1至图2所示，揭示了圆形硅片旋转清洗夹持装置的整体结构布局，根据本实用新型实施例的圆形硅片旋转清洗夹持装置，包括外盖壳体100，旋转驱动模块200，连接主轴300，夹具固定底座400，夹爪伸缩驱动模块500，夹爪安装盖板600，夹头旋转基座700，圆形硅片承托杆800，夹爪本体900；
38.参考如图2，3，6所示，外盖壳体100为圆形，壳体侧壁上开有一个与外部机构连接的通路口102，壳体侧壁边缘上开有四个第一固定螺丝孔103，四个所述第一固定螺丝孔103呈环形阵列分布，外盖壳体通过第一固定螺丝孔103和第七固定螺丝孔406安装在夹具固定底座上。
39.参考如图2至图11所示，圆形硅片承托杆800安装在夹头旋转基座700上，用于承托圆形硅片；夹爪本体900通过夹爪安装盖板600安装在夹头旋转基座700上，用于夹持圆形硅片；夹爪伸缩驱动模块500通过固定螺丝安装在夹头旋转基座700的背部，用于驱动夹爪的运动，当夹爪伸缩驱动模块500通电时，电缸主轴503收缩拉动夹爪本体900的夹持端杆体902打开，放入圆形硅片后电缸主轴503断电，电缸主轴503在弹簧的作用下伸开，推动夹爪
本体900的夹持端杆体902向中心闭合夹住圆形硅片；夹头旋转基座700与连接主轴300的固定法兰303连接，连接主轴300的另一端与旋转驱动模块200连接，旋转驱动模块200的驱动马达201通过驱动马达固定支架203固定在夹具固定底座400上，当控制系统给驱动马达201通电时，驱动马达201会带动连接主轴300和夹头旋转基座700旋转，夹头旋转基座700带动圆形硅片旋转。
40.具体的，当需要夹持圆形硅片时，控制系统给夹爪伸缩驱动模块500通电，夹爪伸缩驱动模块500收缩使夹爪本体900发生位移，夹爪本体900夹持端杆体902张开，圆形硅片被放在四个夹爪本体900夹持端杆体902中间，放在四个圆形硅片承托杆800上，控制系统切断夹爪伸缩驱动模块500的电源，夹爪伸缩驱动模块500在弹簧的作用下伸开，推动夹爪本体900夹持端凹槽903夹住圆形硅片的边缘，完成夹持动作；圆形硅片夹持成功后整个夹持装置会翻转180度使圆形硅片向下放在清洗槽内，旋转驱动模块200通电后驱动连接主轴旋转，连接主轴300带动夹头旋转基座700旋转，夹头旋转基座700带动夹爪本体900旋转，夹爪本体900带动圆形硅片旋转，开始清洗作业，清洗完成后旋转驱动模块断电停止旋转，夹持装置再翻转180度使圆形硅片向上，夹爪伸缩驱动模块500收缩使夹爪本体900夹持端杆体902张开，取走圆形硅片完成整个清洗程序。
41.具体地，参考图2，7，8，11所示，揭示了夹爪本体900的结构布局，夹持端卡槽901为弧形凹槽，其与圆形硅片的边沿为点接触，极大的减小了与圆形硅片的接触面积，极大的减小了夹具对圆形硅片边缘的遮蔽，常规夹具对圆形硅片边缘的遮蔽面积(以8吋圆形硅片计算)为1244平方毫米，本圆形硅片旋转清洗夹持装置夹持端与圆形硅片的接触面积小于0.8平方毫米，接触面积减小了99.94％，极大的提高了清洗效果。
42.具体的，夹持端杆体902为圆柱型塑胶材质，球形部件903为球形塑胶材质，方便夹爪本体900以圆球为中心活动，夹爪安装盖板600为塑胶材质，中心有球形孔，通过螺丝孔把夹爪本体900安装在夹头旋转基座700上，即保证了夹爪本体900的顺利活动又限制了其活动范围；驱动端连接孔904与夹爪伸缩驱动模块500连接，通过电缸502的伸缩驱动夹爪本体900完成开合动作。
43.进一步的，参考图2，7，9，10，11所示，揭示了夹爪伸缩驱动模块500的构造，其由电缸502，电缸固定支架503组成，电缸502由电缸外壳和轴心组成，其内部设有电磁线圈和弹簧，在通电和断电过程中完成伸缩动作；电缸固定支架503为塑胶材质，通过螺丝孔将电缸固定在夹头旋转基座700上；圆形硅片承托杆800通过其底部的螺纹固定在夹头旋转基座700上；夹头旋转基座700，夹爪伸缩驱动模块500，圆形硅片承托杆800，夹爪本体900和夹爪安装盖板600五个部分组合在一起形成一个完整的夹持系统。
44.具体地，参考图2，4，5，6所示，揭示了夹具固定底座400、旋转驱动模块200、连接主轴300的结构布局，夹具固定底座400为连接主轴300的通过孔，连接主轴300的第一连接孔301通过第四固定螺丝孔302安装在驱动马达主轴205上，驱动马达201安装在驱动马达固定支架203上，驱动马达固定支架203通过第三固定螺丝孔204和第六固定螺丝孔404安装在夹具固定底座平面402上，连接主轴300的固定法兰303通过第五固定螺丝孔304和第十固定螺丝孔703安装在夹头旋转基座700上，当驱动马达201通电时，驱动马达201带动连接主轴300旋转，连接主轴300带动夹头旋转基座700旋转，夹头旋转基座700带动夹爪本体900和圆形硅片旋转，完成边旋转边清洗的动作，实现无遮蔽无死角清洗，提高清洗效果。
45.综合以上改良设计，常规夹具对圆形硅片边缘的遮蔽面积(以8吋圆形硅片计算)为1244平方毫米，本圆形硅片旋转清洗夹持装置夹持端与圆形硅片的接触面积小于0.8平方毫米，接触面积减小了99.94％，极大的提高了清洗效果。
46.综上所述，本实用新型所涉及的圆形硅片旋转清洗夹持装置可以减少夹具与圆形硅片的接触面99.94％，减少圆形硅片边沿的遮蔽面积99.94％％，提高圆形硅片边沿清洗效果99％以上。夹头旋转基座带动夹爪本体和圆形硅片旋转，完成边旋转边清洗的动作，实现无遮蔽无死角清洗，提高圆形硅片清洗效果。
47.以上实施例显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

技术特征：
1.圆形硅片旋转清洗夹持装置，其特征在于：包括外盖壳体，旋转驱动模块，连接主轴，夹具固定底座，夹头旋转基座，夹爪伸缩驱动模块，夹爪本体，夹爪安装盖板，圆形硅片承托杆，旋转驱动模块安装在夹具固定底座上，旋转驱动模块与连接主轴的一端连接，连接主轴的另一端法兰端与夹头旋转基座连接，夹头旋转基座上安装有夹爪伸缩驱动模块，夹爪伸缩驱动模块连接夹爪本体，夹爪本体安装在夹头旋转基座上，夹爪本体活动部位安装有夹爪安装盖板，用于限制夹爪本体的活动范围，夹爪安装盖板安装在夹头旋转基座上，夹头旋转基座上安装有圆形硅片承托杆，外盖壳体安装在夹具固定底座上。2.根据权利要求1所述的圆形硅片旋转清洗夹持装置，其特征在于：外盖壳体为圆形，壳体侧壁上开有一个与外部机构连接的通路口，壳体侧壁边缘上开有四个第一固定螺丝孔，四个所述第一固定螺丝孔呈环形阵列分布，外盖壳体通过第一固定螺丝孔安装在夹具固定底座上。3.根据权利要求1所述的圆形硅片旋转清洗夹持装置，其特征在于：旋转驱动模块包含有一台驱动马达，驱动马达四角设置有4个第二固定螺丝孔，驱动马达通过第二安装螺丝孔安装在固定支架上，安装支架为金属材质，呈ul组合形状，固定支架底部设置有4个第三固定螺丝孔，固定支架通过第三安装螺丝孔固定在夹具固定底座上。4.根据权利要求1所述的圆形硅片旋转清洗夹持装置，其特征在于：所述连接主轴呈圆柱形结构，连接主轴金属材质，连接主轴连接电机端设有一个第一连接孔，连接端侧壁设置有一个第四固定螺丝孔，连接主轴通过第四固定螺丝孔与驱动马达主轴连接连，连接主轴另一端设置有固定法兰，固定法兰边缘有4个第五固定螺丝孔，四个所述第五固定螺丝孔呈环形阵列分布，固定法兰通过第五固定螺丝孔与夹头旋转基座相连。5.根据权利要求1所述的圆形硅片旋转清洗夹持装置，其特征在于：夹具固定底座为圆形，底座周围有底座侧壁，底座侧壁呈圆管状，底座侧壁的上方有一个环状限位台阶，底座平面设置有4个第六固定螺丝孔，旋转驱动模块通过第六固定螺丝孔安装在底座平面上，底座平面中心位置设置有一个连接主轴通过孔，底座侧壁顶部设置有3个第七固定螺丝孔，外盖壳体通过第七固定螺丝孔安装在夹具固定底座上。6.根据权利要求1所述的圆形硅片旋转清洗夹持装置，其特征在于：夹爪伸缩驱动模块包含伸缩电缸和固定支架，所述伸缩电缸包含电缸外壳和电缸主轴，进一步的，电缸主轴的末端设置有连接卡槽和第二连接孔，第二连接孔与夹爪本体螺丝端的第三连接孔相连，所述固定支架包含电缸固定孔，电缸外壳通过电缸固定孔安装在固定支架上，固定支架底座上设置有2个第八固定螺丝孔，固定支架底座通过第八固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上，所述夹头旋转基座上安装有四个夹爪伸缩驱动模块，四个所述夹爪伸缩驱动模块呈环形阵列分布。7.根据权利要求1所述的圆形硅片旋转清洗夹持装置，其特征在于：夹爪安装盖板为圆形，其中心位置设计有夹爪本体通过孔，夹爪本体通过孔周围设置有4个第九固定螺丝孔，四个所述第九固定螺丝孔呈环形阵列分布，夹爪安装盖板通过第九固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上。8.根据权利要求1所述的圆形硅片旋转清洗夹持装置，其特征在于：夹头旋转基座为圆形，夹头旋转基座周围有侧壁，侧壁呈圆管状，夹头旋转基座底部中心处设有连接主轴中心定位孔，连接主轴中心定位孔周围设置有4个第十固定螺丝孔，4个所述第十固定螺丝孔呈
环形阵列分布，连接主轴法兰通过第十固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上，第十固定螺丝孔周围还设置有8个第十一固定螺丝孔，8个所述第十一固定螺丝孔呈环形阵列分布，4个夹爪伸缩驱动模块通过第十固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上，第十一固定螺丝孔周围还设置有4个夹爪本体安装孔，所述4个夹爪本体安装孔呈环形阵列分布，夹爪本体通过夹爪本体安装孔安装在夹头旋转基座上，进一步的，夹爪本体安装孔周围设置有4个第十二固定螺丝孔，所述第十二固定螺丝孔呈环形阵列分布，夹爪安装盖板通过第九固定螺丝孔和第十二固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上。9.根据权利要求1所述的圆形硅片旋转清洗夹持装置，其特征在于：夹爪本体为柱状结构，夹持端有一个弧形卡槽，用于夹持固定圆形硅片，夹爪本体的中部安装有一个球形部件，以便于夹爪本体做张开闭合动作，球形部件被夹爪安装盖板固定在夹头旋转基座上，夹爪本体的另一端为螺丝端，其上安装有异形连接螺丝，异形连接螺丝顶部有一个第三连接孔，第三连接孔与夹爪伸缩驱动模块相连，所述4个夹爪本体呈环形阵列分布，夹爪本体通过第十一固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上。10.根据权利要求1所述的圆形硅片旋转清洗夹持装置，其特征在于：夹头旋转基座上安装有圆形硅片承托杆，圆形硅片承托杆的上部为圆锥形杆，顶部为圆球形，圆形硅片承托杆的中部设置有限位台阶，圆形硅片承托杆底部为固定螺纹端，用于固定在夹头旋转基座上。

技术总结
本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种用于圆形硅片旋转清洗夹持装置，本装置包括外盖壳体，旋转驱动模块，连接主轴，夹具固定底座，夹头旋转基座，夹爪伸缩驱动模块，夹爪本体，夹爪安装盖板，圆形硅片承托杆；本旋转清洗夹持装置带动圆形硅片在清洗槽内高速旋转，进行边旋转边清洗的动作，实现无遮蔽无死角清洗，提高清洗效果。本装置用于改善圆形硅片边缘清洗效果，本圆形硅片旋转清洗夹持装置主要用于电镀工艺后的清洗工序。本实用新型所涉及的圆形硅片旋转清洗夹持装置可以减少夹具与圆形硅片的接触面99.94％，减少圆形硅片边沿的遮蔽面积99.94％％，提高圆形硅片边沿清洗效果99％以上。清洗效果99％以上。清洗效果99％以上。


技术研发人员：代胜利 董风娥 李金涛
受保护的技术使用者：广东芯微精密半导体设备有限公司
技术研发日：2022.12.13
技术公布日：2023/8/13