气体的传输装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，特别是涉及一种气体的传输装置。


背景技术：

2.目前ald(原子层沉积)设备通过栽用气体(ar)推动液体(2nte)的饱和蒸汽压经由管路和喷淋头流入腔体内进行反应，但是设备腔体存在四个喷淋头，四者的气体通量差异将导致薄膜的均匀度的差异，需要尝试调整分气体管路阀1～4的开度来确保气体通量的一致，需要花费较长的时间，同时也极难保证通量的完全一致。
3.为解决上述问题，需要提出一种新型的气体的传输装置。


技术实现要素：

4.鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种气体的传输装置，用于解决现有技术中设备腔体存在多个喷淋头，多个喷淋头的气体通量差异将导致薄膜的均匀度的差异，需要尝试调整不同分气体管路阀的开度来确保气体通量的一致，需要花费较长的时间，同时也极难保证通量的完全一致的问题。
5.为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种气体的传输装置，包括：
6.总气体管路，所述总气体管路上设置总气体管路阀以及第一气体通量检测模块，所述总气体管路用于通入载气以及蒸汽；
7.多个分气体管路，每个所述分气体管路的一端与所述总气体管路相连通，每个所述分气体管路的另一端均设置有喷淋头，每个所述分气体管路上均设置有第二气体通量检测模块以及分气体管路阀；
8.控制电路，所述控制电路用与接收所述第一气体通量检测模块以及每个所述第二气体通量检测模块的电信号，若所述分气体管路间的气体通量差异大于预设值则关闭每个所述分气体管路阀。
9.优选地，所述载气为氩气。
10.优选地，所述蒸汽为用于化学反应的饱和蒸汽。
11.优选地，所述分气体管路的数量为四个。
12.优选地，所述喷淋头上还设置有加热盘。
13.优选地，所述气体的传输装置用于原子层沉积机台。
14.优选地，所述总气体管路阀与所述分气体管路阀均为电动控制阀。
15.优选地，所述第一、二气体通量检测模块均为压力传感器。
16.如上所述，本实用新型的气体的传输装置，具有以下有益效果：
17.本实用新型在分管的气体管路上添加气体通量检测模块，因此各管路的气体通量调整会更为高效；发生各管路上气体通量差异过大，能够实现自动的卡控并中止当前工艺，从而避免产品的报废。
附图说明
18.图1显示为本实用新型的气体传输装置结构示意图。
具体实施方式
19.以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
20.请参阅图1，本实用新型提供一种气体的传输装置，包括：
21.总气体管路101，总气体管路101上设置总气体管路阀104以及第一气体通量检测模块103，总气体管路101用于通入载气以及蒸汽；
22.在一种可选的实施方式中，载气为氩气。需要说明的是，也可采用其他本领域技术人员已知的其他气体作为载气。
23.在一种可选的实施方式中，蒸汽为用于化学反应的饱和蒸汽。未经过热处理的蒸汽称为饱和蒸汽，饱和蒸汽是在一个大气压下，温度为100度的蒸汽，温度不能再升高，是饱和状态下的蒸汽。饱和蒸汽由气体分子之间的热运动现象造成的。在饱和状态下的液体称为饱和液体，其蒸汽称为干饱和蒸汽(也称饱和蒸汽)。它是无色、无味、不能燃烧又无腐蚀性的气体。
24.多个分气体管路102，每个分气体管路102的一端与总气体管路101相连通，每个分气体管路102的另一端均设置有喷淋头107，每个分气体管路102上均设置有第二气体通量检测模块106以及分气体管路阀105；
25.在一种可选的实施方式中，分气体管路102的数量为四个。需要说明的是，在实际应用中，分气体管路102的数量可为更多或更少，此处不作具体限定。
26.在一种可选的实施方式中，喷淋头107上还设置有加热盘108，其用于对饱和蒸汽进行再加热。
27.在一种可选的实施方式中，总气体管路阀104与分气体管路阀105均为电动控制阀。电动控制阀是一种以电磁阀为向导阀的水力操作式阀门。常用于给排水及工业系统中的自动控制，控制反应准确快速，根据电信号遥控开启和关闭管道路系统，实现远程操作。可取代闸阀和蝶阀用于大型电动操作系统。阀门关闭速度可调，平稳关闭而不产生压力波动。
28.在一种可选的实施方式中，第一、二气体通量检测模块均为压力传感器，可通过测量压力来得到气体通量的大小。
29.控制电路，控制电路用与接收第一气体通量检测模块103以及每个第二气体通量检测模块106的电信号，若分气体管路102间的气体通量差异大于预设值则关闭每个分气体管路阀105。即发生各管路上压力差异过大时(即表征气体通量存在差异时)，实现自动的卡控并中止当前工艺，从而避免产品的报废。
30.在一种可选的实施方式中，气体的传输装置用于原子层沉积机台。需要说明的是，也可用于其他本领域技术人员已知的机台。
31.需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构
想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
32.综上所述，本实用新型在分管的气体管路上添加气体通量检测模块，因此各管路的气体通量调整会更为高效；发生各管路上气体通量差异过大，能够实现自动的卡控并中止当前工艺，从而避免产品的报废。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
33.上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。


技术特征：
1.一种气体的传输装置，其特征在于，包括：总气体管路，所述总气体管路上设置总气体管路阀以及第一气体通量检测模块，所述总气体管路用于通入载气以及蒸汽；多个分气体管路，每个所述分气体管路的一端与所述总气体管路相连通，每个所述分气体管路的另一端均设置有喷淋头，每个所述分气体管路上均设置有第二气体通量检测模块以及分气体管路阀；控制电路，所述控制电路用与接收所述第一气体通量检测模块以及每个所述第二气体通量检测模块的电信号，若所述分气体管路间的气体通量差异大于预设值则关闭每个所述分气体管路阀。2.根据权利要求1所述的气体的传输装置，其特征在于：所述载气为氩气。3.根据权利要求1所述的气体的传输装置，其特征在于：所述蒸汽为用于化学反应的饱和蒸汽。4.根据权利要求1所述的气体的传输装置，其特征在于：所述分气体管路的数量为四个。5.根据权利要求1所述的气体的传输装置，其特征在于：所述喷淋头上还设置有加热盘。6.根据权利要求1所述的气体的传输装置，其特征在于：所述气体的传输装置用于原子层沉积机台。7.根据权利要求1所述的气体的传输装置，其特征在于：所述总气体管路阀与所述分气体管路阀均为电动控制阀。8.根据权利要求1所述的气体的传输装置，其特征在于：所述第一、二气体通量检测模块均为压力传感器。

技术总结
本实用新型提供一种气体的传输装置，包括总气体管路，总气体管路上设置总气体管路阀以及第一气体通量检测模块，总气体管路用于通入载气以及蒸汽；多个分气体管路，每个分气体管路的一端与总气体管路相连通，每个分气体管路的另一端均设置有喷淋头，每个分气体管路上均设置有第二气体通量检测模块以及分气体管路阀；控制电路，控制电路用与接收第一气体通量检测模块以及每个第二气体通量检测模块的电信号，若分气体管路间的气体通量差异大于预设值则关闭每个分气体管路阀。本实用新型在分管的气体管路上添加气体通量检测模块，因此各管路的气体通量调整会更为高效；发生各管路上气体通量差异过大，能够中止当前工艺，从而避免产品的报废。产品的报废。产品的报废。


技术研发人员：华宇 赵兴 祝家伟
受保护的技术使用者：上海华力集成电路制造有限公司
技术研发日：2023.03.14
技术公布日：2023/8/13