搬送系统的制作方法

1.本发明涉及搬送系统。


背景技术：

2.在专利文献1中公开了一种搬送系统，该搬送系统具备：设于第1建筑的第1轨道；设于与第1建筑不同的第2建筑的第2轨道；在第1轨道行驶并搬送被搬送物、并且移载被搬送物的第1空中搬送车；在第2轨道行驶并搬送被搬送物、并且移载被搬送物的第2空中搬送车；以及对从第1空中搬送车及第2空中搬送车各自移载的被搬送物进行中继的中继部。
3.在上述搬送系统中，经由中继部在第1建筑与第2建筑之间搬送被搬送物。中继部配置于第1轨道与第2轨道之间，沿着第1轨道及第2轨道设有两个载置被搬送物的载置部。第1空中搬送车与第2空中搬送车在中继部中行驶方向相反。通过该结构，第1空中搬送车及第2空中搬送车分别在行驶方向的上游侧将被搬送物载置于中继部，并在行驶方向的下游侧从中继部获取被搬送物。
4.现有技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：日本特开2012-66933号公报


技术实现要素：

7.在以往的搬送系统中，能够供第1空中搬送车及第2空中搬送车分别在中继部中载置被搬送物的载置部为一个，因此在载置部载置有被搬送物的情况下，无法载置被搬送物。因此，也考虑在第1轨道与第2轨道之间沿着轨道的延伸方向配置多个载置部。然而，由于轨道的延伸方向上的空间存在限制，所以有时无法配置所需数量的载置部。
8.本发明的一个方面的目的为，提供一种能够恰当地配置在建筑间搬送中利用的多个保管部的搬送系统。
9.本发明的一个方面的搬送系统具备：设于第1建筑的第1轨道；设于与第1建筑不同的第2建筑的第2轨道；在第1轨道行驶并搬送被搬送物、并且移载被搬送物的第1空中搬送车；在第2轨道行驶并搬送被搬送物、并且移载被搬送物的第2空中搬送车；和用于在第1空中搬送车与第2空中搬送车之间交接被搬送物的中继部，中继部具有：多个保管部，该多个保管部暂时保管从第1空中搬送车及第2空中搬送车各自移载的被搬送物；第1移载轨道，该第1移载轨道从第1轨道延长而设置，供第1空中搬送车将被搬送物载置于保管部并且从保管部获取被搬送物；和第2移载轨道，该第2移载轨道从第2轨道延长而设置，供第2空中搬送车将被搬送物载置于保管部并且从保管部获取被搬送物，第1移载轨道具有以直线状延伸的第1去路部分、接续于第1去路部分的第1折返部分、和接续于第1折返部分且以直线状延伸的第1回路部分，第2移载轨道具有以直线状延伸的第2去路部分、接续于第2去路部分的第2折返部分、和接续于第2折返部分且以直线状延伸的第2回路部分，第1去路部分与第2回路部分在从铅垂方向观察时重叠，并且，第1回路部分与第2去路部分在从铅垂方向观察时
重叠，在第1去路部分行驶的第1空中搬送车的行驶方向与在第2回路部分行驶的第2空中搬送车的行驶方向一致，并且，在第1回路部分行驶的第1空中搬送车的行驶方向与在第2去路部分行驶的第2空中搬送车的行驶方向一致，多个保管部分别位于第1去路部分、第1回路部分、第2去路部分及第2回路部分的下方，且在从铅垂方向观察时设于第1去路部分及第2回路部分的两侧方并且设于第1回路部分及第2去路部分的两侧方，在第1去路部分行驶的第1空中搬送车及在第2回路部分行驶的第2空中搬送车能够对同一保管部移载被搬送物，并且，在第1回路部分行驶的第1空中搬送车及在第2去路部分行驶的第2空中搬送车能够对同一保管部移载被搬送物。
10.在本发明的一个方面的搬送系统中，第1去路部分与第2回路部分在从铅垂方向观察时重叠，并且，第1回路部分与第2去路部分在从铅垂方向观察时重叠，多个保管部分别在从铅垂方向观察时设于第1去路部分及第2回路部分的两侧方，并且设于第1回路部分及第2去路部分的两侧方。也就是说，两个轨道在从铅垂方向观察时重叠，因此，能够在轨道的两侧而非单侧配置保管部。因此，在搬送系统中，即使在轨道(第1去路部分、第2去路部分、第1回路部分及第2回路部分)的延伸方向上配置保管部的空间少的情况下，也能够利用与轨道正交的方向上的空间而恰当地配置所需数量的保管部。
11.在一个实施方式中，也可以是，中继部配置于第1建筑、第2建筑和第1建筑与第2建筑的中间部中的任一个。在该结构中，能够在第1建筑、第2建筑和第1建筑与第2建筑的中间部中的任一个中，在第1空中搬送车与空中搬送车之间进行被搬送物的交接。
12.在一个实施方式中，也可以是，第1空中搬送车在第1移载轨道中按照第1去路部分、第1折返部分及第1回路部分的顺序行驶，在第1去路部分中对保管部载置被搬送物，并在第1回路部分中从保管部获取被搬送物，第2空中搬送车在第2移载轨道中按照第2去路部分、第2折返部分及第2回路部分的顺序行驶，在第2去路部分中对保管部载置被搬送物，并在第2回路部分中从保管部获取被搬送物。在该结构中，第1空中搬送车能够于在第1移载轨道行驶的过程中载置及获取被搬送物，并且，第2空中搬送车能够于在第2移载轨道行驶的过程中载置及获取被搬送物。
13.在一个实施方式中，也可以是，第1轨道具有设于第2建筑的第1延长轨道，该第1延长轨道接续于第1移载轨道的第1去路部分并与第1折返部分分支，并且与第1回路部分合流，第2轨道具有设于第1建筑的第2延长轨道，该第2延长轨道接续于第2移载轨道的第2去路部分并与第2折返部分分支，并且与第2回路部分合流，第1空中搬送车能够在第1建筑及第2建筑中进行被搬送物的移载，第2空中搬送车能够在第1建筑及第2建筑中进行被搬送物的移载。在该结构中，例如在无法对保管部移载被搬送物的情况下，能够由空中搬送车直接向其他建筑搬送被搬送物。因此，在搬送系统中，能够实现建筑间搬送的效率提高。
14.在一个实施方式中，也可以是，搬送系统具备对第1空中搬送车的动作及第2空中搬送车的动作进行控制的控制装置，控制装置根据第1建筑中的第1空中搬送车的运转状况及第2建筑中的第2空中搬送车的运转状况，控制第1移载轨道或第2移载轨道中的被搬送物的移载，或者控制被搬送物向第1建筑或第2建筑的搬送。在该结构中，例如在第1建筑中的第1空中搬送车的运转率高的情况下，通过由第2空中搬送车将被搬送物搬送到第1建筑，无需由第1空中搬送车将被搬送物搬送到第1移载轨道。因此，能够实现更高效的搬送。
15.发明效果
16.根据本发明的一个方面，能够恰当地配置在建筑间搬送中利用的多个保管部。
附图说明
17.图1是表示第1实施方式的搬送系统的图。
18.图2是图1所示的搬送系统的第1移载轨道及第2折移载部的俯视图。
19.图3是第1移载轨道及第2移载轨道的一部分的主视图。
20.图4是表示第2实施方式的搬送系统的图。
21.图5是图4所示的搬送系统的第1移载轨道及第2移载轨道的俯视图。
具体实施方式
22.以下，参照添加附图来详细说明本发明的优选实施方式。需要说明的是，在附图的说明中，对相同或相当的要素标注相同的附图标记，并省略重复说明。
23.[第1实施方式]
[0024]
如图1所示，搬送系统1是用于搬送foup(被搬送物)300的系统。搬送系统1具备第1轨道10、第2轨道20、中继部30、空中搬送车(第1空中搬送车)40a及空中搬送车(第2空中搬送车)40b(参照图2)、和控制装置50(参照图3)。
[0025]
搬送系统1例如设置于具备多个半导体处理装置(省略图示)的半导体制造工厂。搬送系统1在半导体制造工厂中设置于第1建筑100和第2建筑200。第1建筑100及第2建筑200是设置有半导体处理装置的建筑物。在搬送系统1中，在第1建筑100及第2建筑200各自中，通过空中搬送车40a、40b向半导体处理装置的装置口移载foup300。
[0026]
第1轨道10设于第1建筑100。第1轨道10是使空中搬送车40a行驶的部件，从顶棚悬吊。在本实施方式中，搬送系统1包含多个系统(区划(bay))。搬送系统1包括：作为区划内的行驶路的多个内部区划路线；和作为将不同区划之间连接的行驶路的区划间路线。第1轨道10包括：配置于多个内部区划路线的内部区划轨道11；和配置于区划间路线的区划间轨道12。内部区划轨道11以空中搬送车40a右转单向通行的方式设定。区划间轨道12也与内部区划轨道11同样地，以空中搬送车40a右转单向通行的方式设定。此外，在第1轨道10中，也可以设定为空中搬送车40a左转单向通行。
[0027]
第2轨道20设于第2建筑200。第2轨道20是使空中搬送车40b行驶的部件，从顶棚悬吊。第2轨道20包括：配置于多个内部区划路线中的一部分内部区划路线的内部区划轨道21；和配置于区划间路线的区划间轨道22。内部区划轨道21以空中搬送车40b右转单向通行的方式设定。区划间轨道22也与内部区划轨道21同样地，以空中搬送车40b右转单向通行的方式设定。此外，在第2轨道20中，也可以设定为空中搬送车40b左转单向通行。
[0028]
如图2所示，在中继部30中，在空中搬送车40a与空中搬送车40b之间进行foup300的交接。中继部30设于第1建筑100与第2建筑200的中间部。中继部30具有保管架(保管部)31、第1移载轨道32和第2移载轨道33。在图2中，以虚线示出第1移载轨道32，以实线示出第2移载轨道33。
[0029]
第1移载轨道32供空中搬送车40a在保管架31载置foup300，并且供空中搬送车40a从保管架31获取foup300。在本实施方式中，第1移载轨道32设有两个。第1移载轨道32从第1轨道10延长而设置。第1移载轨道32接续(连接)于区划间轨道12。
[0030]
如图2所示，第1移载轨道32具有第1去路部分32a、第1回路部分32b和第1折返部分32c。第1去路部分32a以直线状延伸。在本实施方式中，第1去路部分32a从第1建筑100侧朝向第2建筑200侧延伸。第1去路部分32a使空中搬送车40a沿着第1方向d1行驶。第1方向d1是空中搬送车40a从第1建筑100侧趋向第2建筑200侧的方向。
[0031]
第1回路部分32b以直线状延伸。在本实施方式中，第1回路部分32b从第1建筑100侧朝向第2建筑200侧延伸。第1回路部分32b与第1去路部分32a平行。第1回路部分32b使空中搬送车40a沿着与第1方向d1相反的第2方向d2行驶。第2方向d2是空中搬送车40a从第2建筑200侧趋向第1建筑100侧的方向。
[0032]
第1折返部分32c接续(连接)于第1去路部分32a及第1回路部分32b。第1折返部分32c将第1去路部分32a的第2建筑200侧的端部与第1回路部分32b的第2建筑200侧的端部连接。第1折返部分32c使空中搬送车40a的行驶方向折返(使其进行方向转换)。在本实施方式中，第1折返部分32c使空中搬送车40a的行驶方向从第1方向d1折返为第2方向d2。第1折返部分32c包括：以与第1去路部分32a及第1回路部分32b正交的方式延伸的直线部分；和将直线部分与第1去路部分32a及第1回路部分32b各自连接的弯曲形状的连接部分。需要说明的是，第1折返部分32c也可以整体是弯曲形状。
[0033]
第2移载轨道33供空中搬送车40b在保管架31载置foup300，并且供空中搬送车40b从保管架31获取foup300。在本实施方式中，第2移载轨道33设有两个。第2移载轨道33从第2轨道20延长而设置。第2移载轨道33接续(连接)于区划间轨道22。
[0034]
第2移载轨道33具有第2去路部分33a、第2回路部分33b和第2折返部分33。第2去路部分33a以直线状延伸。在本实施方式中，第2去路部分33a从第2建筑200侧朝向第1建筑100侧延伸。第2去路部分33a使空中搬送车40b沿着第2方向d2行驶。
[0035]
第2回路部分33b以直线状延伸。在本实施方式中，第2回路部分33b从第2建筑200侧朝向第1建筑100侧延伸。第2回路部分33b与第2去路部分33a平行。第2回路部分33b使空中搬送车40b沿着第1方向d1行驶。
[0036]
第2折返部分33c接续(连接)于第2去路部分33a及第2回路部分33b。第2折返部分33c将第2去路部分33a的第1建筑100侧的端部与第2回路部分33b的第1建筑100侧的端部连接。第2折返部分33c使空中搬送车40b的行驶方向折返。在本实施方式中，第2折返部分33c使空中搬送车40b的行驶方向从第2方向d2折返为第1方向d1。第2折返部分33c包括：以与第2去路部分33a及第2回路部分33b正交的方式延伸的直线部分；和将直线部分与第2去路部分33a及第2回路部分33b各自连接的弯曲形状的连接部分。需要说明的是，第2折返部分33c也可以整体是弯曲形状。
[0037]
第1去路部分32a与第2回路部分33b在从铅垂方向观察时重叠。第1回路部分32b与第2去路部分33a在从铅垂方向观察时重叠。第1移载轨道32和第2移载轨道33以在从铅垂方向观察时形成闭合区域的方式配置。第1移载轨道32的第1折返部分32c(直线部分)与第2移载轨道33的第2折返部分33c(直线部分)在从铅垂方向观察时相对置地配置。
[0038]
如图3所示，第1移载轨道32的第1去路部分32a及第1回路部分32b、与第2移载轨道33的第2去路部分33a及第2回路部分33b在上下方向上配置于不同的高度位置。第1移载轨道32的第1去路部分32a及第1回路部分32b位于第2移载轨道33的第2去路部分33a及第2回路部分33b的下方。换言之，第2移载轨道33的第2去路部分33a及第2回路部分33b位于第1移
载轨道32的第1去路部分32a及第1回路部分32b的上方。
[0039]
在保管架31上载置foup300。多个保管架31支承foup300。保管架31例如从顶棚悬吊。保管架31可以是ohb(overhead buffer)。保管架31上的区域能够在其上载置foup300。保管架31的该区域是能够供在第1轨道10及第2轨道20中停止的空中搬送车40a、40b移载foup300的暂时保管区域。保管架31可以是载置一个foup300的结构，也可以是载置多个foup300的结构。
[0040]
多个保管架31包括多个保管架31a、31b。如图2或图3所示，多个保管架31a配置于能够供在第1去路部分32a行驶的空中搬送车40a及在第2回路部分33b行驶的空中搬送车40b移载foup300的位置。多个保管架31b配置于能够供在第1回路部分32b行驶的空中搬送车40a及在第2去路部分33a行驶的空中搬送车40b移载foup300的位置。
[0041]
具体而言，多个保管架31分别位于第1去路部分32a、第1回路部分32b、第2回路部分33b及第2回路部分33b的下方，且在从铅垂方向观察时设于第1去路部分32a分及第2回路部分33b的两侧方，并且，设于第1回路部分32b及第2去路部分33a的两侧方。即，在第1去路部分32a与第1回路部分32b的对置方向(第2去路部分33a与第2回路部分33b的对置方向)上，保管架31a在从铅垂方向观察时在隔着第1去路部分32a及第2回路部分33b的位置配置有一对。同样地，保管架31b在从铅垂方向观察时在隔着第1回路部分32b及第2去路部分33a的位置配置有一对。
[0042]
如图2所示，多个保管架31沿着第1去路部分32a、第1回路部分32b、第2去路部分33a及第2回路部分33b配置。在本实施方式中，配置有6个保管架31。在多个保管架31中，相对于空中搬送车40a、40b的行驶方向而言的foup300的方向是恒定的。
[0043]
空中搬送车40a、40b中包括例如oht(overhead hoist transfer)等。foup300是容纳半导体晶片的容器(foup：front opening unified pod)。
[0044]
如图3所示，空中搬送车40a、40b具有把持部41、升降机构42和移动机构43。空中搬送车40a、40b具有能够与控制装置50进行通信的收发部44。
[0045]
把持部41是把持及释放foup300的装置。把持部41能够把持foup300的凸缘部310。在空中搬送车40a、40b从保管架31获取foup300时，把持部41把持foup300的凸缘部310。在空中搬送车40a、40b向保管架31载置foup300时，把持部41释放foup300的凸缘部310。
[0046]
升降机构42是使把持部41沿铅垂方向升降的装置。升降机构42能够使把持部41在铅垂方向上升降。升降机构42具有卷起机构42a和带42b。卷起机构42a由移动机构43保持。卷起机构42a是将带42b在铅垂方向上卷起及放出的装置。卷起机构42a能够将带42b在铅垂方向上卷起及放出。带42b从卷起机构42a垂下，在其下端保持有把持部41。升降机构42能够卷起及放出使由把持部41把持着的foup300到达保管架31的距离。
[0047]
移动机构43是使把持部41及升降机构42从空中搬送车40a、40b相对于两方的侧方移动的装置。即，移动机构43能够使把持部41及升降机构42从空中搬送车40a、40b相对于与空中搬送车40a、40b的行进方向垂直的水平方向移动。移动机构43能够使把持部41及升降机构42移动到保管架31各自的上方。在由把持部41把持着foup300的情况下，移动机构43能够使该foup300相对于保管架31的铅垂方向上方移动。
[0048]
如图2所示，在第1去路部分32a行驶的空中搬送车40a的行驶方向与在第2回路部分33b行驶的空中搬送车40b的行驶方向以第1方向d1一致。在第1回路部分32b行驶的空中
搬送车40a的行驶方向与在第2去路部分33a行驶的空中搬送车40b的行驶方向以第2方向d2一致。
[0049]
在第1移载轨道32及第2移载轨道33各自中停止的空中搬送车40a、40b能够相对于保管架31移载foup300。空中搬送车40a、40b能够相对于同一保管架31移载foup300。即，无论是在第1移载轨道32中的空中搬送车40a中还是在第2移载轨道33中的空中搬送车40b中，均能够在与保管架31之间进行foup300的交接(移载)。
[0050]
空中搬送车40a、40b从把持部41把持着foup300的凸缘部310的状态，使移动机构43动作而使foup300移动到保管架31各自的上方。接着，空中搬送车40a、40b使卷起机构42a动作而将带42b放出，使foup300下降并载置于保管架31上。通过以上，空中搬送车40a、40b向保管架31移载(载置)foup300。
[0051]
另外，空中搬送车40a、40b通过把持部41把持载置于保管架31上的状态下的foup300的凸缘部310。接着，空中搬送车40a、40b使卷起机构42a动作而将带42b卷起，使foup300上升。接着，空中搬送车40a、40b使移动机构43动作而使foup300移动。通过以上，空中搬送车40a、40b从保管架31移载(获取)foup300。
[0052]
收发部44配置于空中搬送车40a、40b的规定位置。空中搬送车40a、40b的收发部44能够与控制装置50进行通信。收发部44与控制装置50例如经由沿着第1轨道10或第2轨道铺设的馈线(省略图示)而相互通信。空中搬送车40a、40b基于由收发部44接受到的搬送指令而搬送foup300。
[0053]
控制装置50控制空中搬送车40a、40b的动作。控制装置50是由cpu(central processing unit)、rom(read only memory)及ram(random access memory)等构成的电子控制单元。控制装置50对空中搬送车40a、40b发送搬送指令。
[0054]
接下来，说明空中搬送车40a及空中搬送车40b的动作。如图2所示，空中搬送车40a若将在第1建筑100的内部区划路线中获取到的foup300搬送到了第1移载轨道32，则按照第1去路部分32a、第1折返部分32c及第1回路部分32b的顺序在第1移载轨道32行驶。空中搬送车40a在第1去路部分32a中在空的保管架31a的位置处停止，将foup300载置于保管架31a。空中搬送车40a在将foup300载置于保管架31a之后，在第1折返部分32c行驶而将行驶方向从第1方向d1转换成第2方向d2。空中搬送车40a行驶到第1回路部分32b并在规定位置停止，从保管架31b获取foup300。空中搬送车40a将获取到的foup300向第1建筑100搬送。
[0055]
空中搬送车40b若将在第2建筑200的内部区划路线中获取到的foup300搬送到了第2移载轨道33，则按照第2去路部分33a、第2折返部分33c及第2回路部分33b的顺序在第2移载轨道33行驶。空中搬送车40b在第2去路部分33a中在空的保管架31b的位置处停止，将foup300载置于保管架31b。空中搬送车40b在将foup300载置于保管架31b之后，在第2折返部分33c行驶而将行驶方向从第2方向d2转换成第1方向d1。空中搬送车40b行驶到第2回路部分33b并在规定位置停止，从保管架31a获取foup300。空中搬送车40b将获取到的foup300向第2建筑200搬送。
[0056]
如以上说明那样，在本实施方式的搬送系统1中，在中继部30中，第1去路部分32a与第2回路部分33b在从铅垂方向观察时重叠，并且，第1回路部分32b与第2去路部分33a在从铅垂方向观察时重叠。多个保管架31分别在从铅垂方向观察时设于第1去路部分32a及第2回路部分33b的两侧方，并且设于第1回路部分32b及第2去路部分33a的两侧方。也就是说，
两个轨道在从铅垂方向观察时重叠，因此，能够在轨道的两侧而非单侧配置保管架31。因此，在搬送系统1中，即使在轨道(第1去路部分32a、第2去路部分33a、第1回路部分33b及第2回路部分33b)的延伸方向上配置保管架31的空间少的情况下，也能够利用与轨道正交的方向上的空间而恰当地配置所需数量的保管架31。
[0057]
在本实施方式的搬送系统1中，中继部30设于第1建筑100与第2建筑200的中间部。在该结构中，无需在第1建筑100内及第2建筑200内分别设置用于设置中继部30的空间。因此，能够有效地利用第1建筑100内及第2建筑200内的空间。
[0058]
在本实施方式的搬送系统1中，空中搬送车40a在第1移载轨道32中按照第1去路部分32a、第1折返部分32c及第1回路部分32b的顺序行驶。空中搬送车40a在第1去路部分32a中对保管架31a载置foup300，在第1回路部分32b中从保管架31b获取foup300。空中搬送车40b在第2移载轨道33中按照第2去路部分33a、第2折返部分33c及第2回路部分33b的顺序行驶。空中搬送车40b在第2去路部分33a中对保管架31b载置foup300，在第2回路部分33b中从保管架31a获取foup300。在该结构中，空中搬送车40a能够于在第1移载轨道32行驶的过程中载置及获取foup300，并且，空中搬送车40b能够于在第2移载轨道33行驶的过程中载置及获取foup300。
[0059]
[第2实施方式]
[0060]
接下来，说明第2实施方式。如图4及图5所示，搬送系统1a具备第1轨道10a、第2轨道20a、中继部30、空中搬送车40a及空中搬送车40b、和控制装置50(参照图3)。
[0061]
第1轨道10a具有设于第2建筑200的第1延长轨道13，该第1延长轨道13接续(连接)于第1移载轨道32的第1去路部分32a并与第1折返部分32c分支，并且与第1回路部分32b合流。第1延长轨道13接续(连接)于第1去路部分32a及第1回路部分32b并从第1建筑100侧朝向第2建筑200侧以直线状延伸，设置于第2建筑200内。第1延长轨道13在第2建筑200内包括配置于多个内部区划路线的内部区划轨道、和配置于区划间路线的区划间轨道。空中搬送车40a能够在第1建筑100及第2建筑200中进行foup300的移载。空中搬送车40a基本上在第1建筑100中搬送foup300。
[0062]
第2轨道20a具有设于第1建筑100的第2延长轨道23，该第2延长轨道23接续(连接)于第2移载轨道33的第2去路部分33a并与第2折返部分33c分支，并且与第2回路部分33b合流。第2延长轨道23接续(连接)于第2去路部分33a及第2回路部分33b并从第2建筑200侧朝向第1建筑100侧以直线状延伸，设于第1建筑100内。第2延长轨道23在第1建筑100内包括配置于多个内部区划路线的内部区划轨道、和配置于区划间路线的区划间轨道。空中搬送车40b能够在第1建筑100及第2建筑200中进行foup300的移载。空中搬送车40b基本上在第2建筑200中搬送foup300。
[0063]
在搬送系统1a中，在中继部30中，能够经由保管架31在空中搬送车40a与空中搬送车40b之间进行foup300的交接。
[0064]
接下来，说明空中搬送车40a及空中搬送车40b的动作。空中搬送车40a在向中继部30的保管架31移载foup300时，在第1移载轨道32上按照第1去路部分32a、第1折返部分32c及第1回路部分32b的顺序行驶。空中搬送车40a在向第2建筑200搬送foup300之际，在趋向第2建筑200时从第1移载轨道32的第1去路部分32a通过并进入第1延长轨道13。空中搬送车40a在从第2建筑200返回第1建筑100时，从第1延长轨道13进入第1移载轨道32的第1回路部
分32b。
[0065]
空中搬送车40b在向保管架31移载foup300时，在第2移载轨道33上按照第2去路部分33a、第2折返部分33c及第2回路部分33b的顺序行驶。空中搬送车40b在向第1建筑100搬送foup300之际，在趋向第1建筑100时从第2移载轨道33的第2去路部分33a通过并进入第2延长轨道23。空中搬送车40b在从第1建筑100返回第2建筑200时，从第2延长轨道23进入第2移载轨道33的第2回路部分33b。
[0066]
在搬送系统1a中，控制装置50根据第1建筑100中的空中搬送车40a的运转状况及第2建筑200中的空中搬送车40b的运转状况，控制第1移载轨道32或第2移载轨道33中的foup300的移载或者foup300向第1建筑100或第2建筑200的搬送。运转状况是指第1建筑100及第2建筑200中的空中搬送车40a、40b的运转台数、运转率、运转台数的比率等。
[0067]
例如在第1建筑100中空中搬送车40a的运转台数达到规定数的情况下，控制装置50对空中搬送车40b发送将foup300向保管架31移载的搬送要求。例如在第1建筑100中空中搬送车40a的运转台数未达到规定数的情况下，控制装置50对空中搬送车40b发送将foup300搬送至第1建筑100的搬送要求。
[0068]
如以上说明那样，在本实施方式的搬送系统1a中，空中搬送车40a能够在第1建筑100及第2建筑200中进行foup300的移载，空中搬送车40b能够在第1建筑100及第2建筑200进行foup300的移载。由此，在搬送系统1a中，例如在无法向保管架31移载foup300的情况下，空中搬送车40a、40b能够向其他建筑直接搬送foup300。因此，在搬送系统1a中，能够谋求提高建筑间搬送的效率。
[0069]
在本实施方式的搬送系统1a中，控制装置50根据第1建筑100中的空中搬送车40a的运转状况及第2建筑200中的空中搬送车40b的运转状况，控制第1移载轨道32或第2移载轨道33中的foup300的移载或者foup300向第1建筑100或第2建筑200的搬送。在该结构中，例如在第1建筑100中的空中搬送车40a的运转率高的情况下，通过由空中搬送车40b将foup300搬送到第1建筑100，第1建筑100内的空中搬送车的台数增加。因此，在第1建筑100中，能够实现更高效的搬送。
[0070]
以上说明了本发明的实施方式，但本发明不必限定于上述的实施方式，能够在不脱离其主旨的范围内进行各种变更。
[0071]
在上述实施方式中，将第1移载轨道32及第2移载轨道33设于第1建筑100与第2建筑200之间的形态作为一例进行了说明。然而，第1移载轨道32及第2移载轨道33也可以设于第1建筑100内或第2建筑200内。
[0072]
在上述实施方式中，将保管架31在第1去路部分32a与第1回路部分32b的对置方向(第2去路部分33a与第2回路部分33b的对置方向)上隔着第1去路部分32a及第2回路部分33b、以及第1回路部分32b及第2去路部分33a而相对置地配置有一对的形态作为一例进行了说明。然而，保管架31也可以配置成例如交错状。
[0073]
在上述实施方式中，将保管架31在第1去路部分32a与第1回路部分32b的对置方向(第2去路部分33a与第2回路部分33b的对置方向)上相对置地配置的多个保管架31的个数相同的形态作为一例进行了说明。然而，保管架31的个数也可以不一致，只要根据设计适当设定即可。
[0074]
在上述实施方式中，将被搬送物为foup300的形态作为一例进行了说明。然而，被
搬送物也可以是例如容纳玻璃基板的容器、标线片盒、fosb、smif pod、一般零部件等。
[0075]
在上述实施方式中，将搬送系统1设置于半导体制造工厂的形态作为一例进行了说明。然而，不限定于半导体制造工厂，搬送系统也能够适用于其他设施。
[0076]
附图标记说明
[0077]
1、1a：搬送系统，10、10a：第1轨道，13：第1延长轨道，20、20a：第2轨道，23：第2延长轨道，30：中继部，31、31a、31b：保管架(保管部)，32：第1移载轨道，32a：第1去路部分，32b：第1回路部分，32c：第1折返部分，33：第2移载轨道，33a：第2去路部分，33b：第2回路部分，33c：第2折返部分，40a：空中搬送车(第1空中搬送车)，40b：空中搬送车(第2空中搬送车)，50：控制装置，100：第1建筑，200：第2建筑，300：foup(被搬送物)。

技术特征：
1.一种搬送装置，其具备：设于第1建筑的第1轨道；设于与所述第1建筑不同的第2建筑的第2轨道；在所述第1轨道行驶并搬送被搬送物、并且移载所述被搬送物的第1空中搬送车；在所述第2轨道行驶并搬送所述被搬送物、并且移载所述被搬送物的第2空中搬送车；和用于在所述第1空中搬送车与所述第2空中搬送车之间交接所述被搬送物的中继部，所述中继部具有：多个保管部，该多个保管部暂时保管从所述第1空中搬送车及所述第2空中搬送车各自移载的所述被搬送物；第1移载轨道，该第1移载轨道从所述第1轨道延长而设置，供所述第1空中搬送车将所述被搬送物载置于所述保管部并且从所述保管部获取所述被搬送物；和第2移载轨道，该第2移载轨道从所述第2轨道延长而设置，供所述第2空中搬送车将所述被搬送物载置于所述保管部并且从所述保管部获取所述被搬送物，所述第1移载轨道具有以直线状延伸的第1去路部分、接续于所述第1去路部分的第1折返部分、和接续于所述第1折返部分且以直线状延伸的第1回路部分，所述第2移载轨道具有以直线状延伸的第2去路部分、接续于所述第2去路部分的第2折返部分、和接续于所述第2折返部分且以直线状延伸的第2回路部分，所述第1去路部分与所述第2回路部分在从铅垂方向观察时重叠，并且，所述第1回路部分与所述第2去路部分在从所述铅垂方向观察时重叠，在所述第1去路部分行驶的所述第1空中搬送车的行驶方向与在所述第2回路部分行驶的所述第2空中搬送车的行驶方向一致，并且，在所述第1回路部分行驶的所述第1空中搬送车的行驶方向与在所述第2去路部分行驶的所述第2空中搬送车的行驶方向一致，多个所述保管部分别位于所述第1去路部分、所述第1回路部分、所述第2去路部分及所述第2回路部分的下方，且在从所述铅垂方向观察时设于所述第1去路部分及所述第2回路部分的两侧方，并且设于所述第1回路部分及所述第2去路部分的两侧方，在所述第1去路部分行驶的所述第1空中搬送车及在所述第2回路部分行驶的所述第2空中搬送车能够对同一所述保管部移载所述被搬送物，并且，在所述第1回路部分行驶的所述第1空中搬送车及在所述第2去路部分行驶的所述第2空中搬送车能够对同一所述保管部移载所述被搬送物。2.根据权利要求1所述的搬送系统，其中，所述中继部配置于所述第1建筑、所述第2建筑和所述第1建筑与所述第2建筑的中间部中的任一个。3.根据权利要求1或2所述的搬送系统，其中，所述第1空中搬送车在所述第1移载轨道中按照所述第1去路部分、所述第1折返部分及所述第1回路部分的顺序行驶，所述第1空中搬送车在所述第1去路部分中对所述保管部载置所述被搬送物，并在所述第1回路部分中从所述保管部获取所述被搬送物，所述第2空中搬送车在所述第2移载轨道中按照所述第2去路部分、所述第2折返部分及
所述第2回路部分的顺序行驶，所述第2空中搬送车在所述第2去路部分中对所述保管部载置所述被搬送物，并在所述第2回路部分中从所述保管部获取所述被搬送物。4.根据权利要求1至3中任一项所述的搬送系统，其中，所述第1轨道具有设于所述第2建筑的第1延长轨道，该第1延长轨道接续于所述第1移载轨道的所述第1去路部分并与所述第1折返部分分支，并且与所述第1回路部分合流，所述第2轨道具有设于所述第1建筑的第2延长轨道，该第2延长轨道接续于所述第2移载轨道的所述第2去路部分并与所述第2折返部分分支，并且与所述第2回路部分合流，所述第1空中搬送车能够在所述第1建筑及所述第2建筑中进行所述被搬送物的移载，所述第2空中搬送车能够在所述第1建筑及所述第2建筑中进行所述被搬送物的移载。5.根据权利要求4所述的搬送系统，其中，所述搬送系统具备对所述第1空中搬送车的动作及所述第2空中搬送车的动作进行控制的控制装置，所述控制装置根据所述第1建筑中的所述第1空中搬送车的运转状况及所述第2建筑中的所述第2空中搬送车的运转状况，控制所述第1移载轨道或所述第2移载轨道中的所述被搬送物的移载，或者控制所述被搬送物向所述第1建筑或所述第2建筑的搬送。

技术总结
搬送系统(1)具备：设于第1建筑(100)的第1轨道(10)；设于第2建筑(200)的第2轨道(20)；空中搬送车(40A、40B)；和用于在空中搬送车(40A)与空中搬送车(40B)之间交接FOUP(300)的中继部(30)。在第1去路部分(32a)行驶的空中搬送车(40A)及在第2回路部分(33b)行驶的空中搬送车(40B)能够对同一保管架(31)移载FOUP(300)，并且，在第1回路部分(32b)行驶的空中搬送车(40A)及在第2去路部分(33a)行驶的空中搬送车(40B)能够对同一保管架31移载FOUP(300)。(40B)能够对同一保管架31移载FOUP(300)。(40B)能够对同一保管架31移载FOUP(300)。


技术研发人员：本告阳一
受保护的技术使用者：村田机械株式会社
技术研发日：2021.10.13
技术公布日：2023/8/13