多腔圆盘型压电气泵

1.本发明属于压电气泵技术领域，具体涉及运用了驻波原理的多腔圆盘型压电气泵组件及其组装的多种多腔圆盘型压电气泵。


背景技术：

2.压电泵是利用压电材料特有的压电效应来工作的。当给压电振子上的压电陶瓷施加交变的激励，由于压电效应使压电陶瓷内部产生变形并表现为宏观的振动并迫使泵腔体积发生变化，进而引起腔内压强变化，从而实现流体的传输。
3.压电气泵具有体积小、噪声低、重量轻、寿命长等优点。并且压电泵技术已经逐渐趋于成熟，在各个领域渗透。但目前为止压电气泵还是有很多问题存在：
4.目前压电气泵很难同时输出大流量、大压力的流体。
5.目前压电气泵欠缺多个泵体组装工艺。多出入口的压电气泵结构复杂，制造及组装过程中的工序繁琐，生产成本较高，难以进一步降低废品率造成资源浪费；
6.目前压电气泵对内部腔体的构造不利于气体的运动。


技术实现要素：

7.本发明的目的是为了解决上述问题，而提供一种多腔圆盘型压电气泵组件，采用叠合式贴合封装后，多腔室串联、并联或串并联结合的各种多腔圆盘型压电气泵。
8.多腔圆盘型压电气泵组件，它包括：隔板、上泵体8、压电振子7、下泵体9、单向阀片；
9.所述的隔板包括在一个象限点上设有通孔的单孔隔板，和在两个象限点上设有通孔的双孔隔板；
10.所述的上泵体8设有上泵体腔室809、上泵体第二通气口810、上泵体第一通气口812、两个相邻的象限孔（上泵体第一象限孔801、上泵体第二象限孔802、上泵体第三象限孔803、上泵体第四象限孔804）、上泵体第一通气口流道805、上泵体第二通气口流道806；
11.所述的象限孔为设在上泵体8四周象限点上的通孔，贯通上泵体8；
12.所述的上泵体第一通气口流道805与上泵体第二通气口流道806呈90
°
，分别与相邻的两个象限孔相通；
13.所述的下泵体9的气体通路的结构与上泵体8相同或相互对称，相对安装在压电振子7上下两侧；
14.组装后，各部件位置相对应的象限孔相通，并形成气体通路。
15.所述的上泵体8和下泵体9的四个象限点上均设有象限孔。
16.所述的隔板还包括：在三个象限点上设有通孔的三孔隔板4。
17.所述的上泵体第二通气口810设在上泵体的中心部；在上泵体腔室809内，上泵体第二通气口810的周围设有上泵体裙摆811；
18.还包括底部对角导流板5、底部临边导流板6；所述的导流板是将象限孔的气体导
向排气孔;
19.所述上泵体和下泵体的第一通气口作为出气口，第二通气口作为入气口，同时，泵体的第一通气口第二通气口作用可以互换。
20.所述的第一通气口阀片、第二通气口阀片均设计为阵列错位孔形式；第一通气口阀片、第二通气口阀片均包含有四个组件；两种阀片装配后整体厚度范围应在0.25mm
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0.4mm范围内。
21.所述的泵体腔室底面为弧形底面或者平底面。
22.所述的压电振子(7)包括：金属匹配层、柔性基板、压电陶瓷。
23.本发明提供了多腔圆盘型压电气泵，它是由多腔圆盘型压电气泵组件组合而成，所述的组件包括：隔板、上泵体8、压电振子7、下泵体9、单向阀片；上8与下泵体9相同或相对称， 压电振子7将上下泵体分为两个腔室，每个腔室底部均设有出通气口和进通气口，通过通气口流道连通泵体的象限孔，组装后，贯通泵体的象限孔组成气体进排气通道。第一和第二通气口流道呈90
°
设置，分别与相邻的两个象限孔相通。组装时通过调整上下泵体的角度，利用隔板的象限通孔启闭泵体象限孔组成的气体通道，任意组装多腔室串联、并联或串并联结合的各种多腔圆盘型压电气泵。出气口和入气口可以互相转换。一个通气口设在泵体中心，通气口设有裙摆结构，可以隔绝和分离高压区和低压区，提高了产品的流量。
24.采用上述技术方案后，本发明具有以下有益效果：
25.1、压电微泵的上下泵体都有出气口和入气口，能充分利用压电振子的形变，可以达到较大的流量和压力；
26.2、整体零件数量少，厚度小且装配简单。各个零件分体制作，易于加工成型，装配时可以采用贴合封装，有利于过程管控；同时可以减少批量化生产中过程中工序步骤，有利于压电微泵的微小型化和轻薄化。
27.3、压电振子发生形变过程中，压电气泵的腔室能够同时完成出气和吸气。泵体中心的裙摆结构可以隔绝和分离高压区和低压区，提高了产品的流量。
28.4、压电气泵具有多种叠合组装的方式，可以同时满足大的输出流量和输出压力。
附图说明
29.图1为本发明一种单个泵体并联结构示意图；
30.图2为本发明单孔隔板示意图；
31.图3为本发明双孔临边隔板示意图；
32.图4为本发明双孔对角隔板示意图；
33.图5为本发明三孔隔板示意图；
34.图6为本发明底部对角导流板俯视图；
35.图7为本发明底部对角导流板抛视图 ；
36.图8为本发明底部临边导流板俯视图；
37.图9为本发明底部临边导流板抛视图；
38.图10为本发明压电振子分解示意图；
39.图11为本发明上泵体示意图；
40.图12为本发明下泵体示意图；
41.图13为本发明第二通气孔阀片分解示意图；
42.图14为本发明第一通气孔阀片分解示意图；
43.图15为本发明压电振子运动时，腔体内压强分布示意图；
44.图16为本发明上泵体、下泵体弧形底面、平底面示意图；
45.图17为本发明一种单个泵体串联结构示意图；
46.图18为本发明两个并联组装的泵体并联示意图；
47.图19为本发明两个并联组装的泵体串联示意图 ；
48.图20为本发明两个串联组装的泵体并联示意图；
49.图21为本发明两个串联组装的泵体串联示意图；
50.图22为本发明第一种四个泵体组装示意图；
51.图23为本发明第二种四个泵体组装示意图；
52.上图标注如下：
53.1、 单孔隔板；
54.2、 双孔临边隔板；
55.3、 双孔对角隔板；
56.4、 三孔隔板；
57.5、 底部对角导流板 ；
58.6、 底部临边导流板；
59.7、 压电振子；
60.8、 上泵体；
61.9、 下泵体；
62.10、 第一通气孔阀片；
63.11、 第二通气孔阀片；
64.101、单孔隔板第一象限孔;
65.201、双孔临边隔板第一象限孔
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202、双孔临边隔板第二象限孔；
66.301、双孔对角隔板第一象限孔
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302、双孔对角隔板第二象限孔；
67.401、三孔隔板第一象限孔
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402、三孔隔板第二象限孔；
68.403、三孔隔板第三象限孔；
69.501、底部对角导流板第一象限孔;
70.502、底部对角导流板第三象限孔;
71.503、底部对角导流板排气孔；
72.601、底部临边导流板第一象限孔;
73.602、底部临边导流板第二象限孔
74.603、底部临边导流板排气孔；
75.701、压电陶瓷
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702、柔性基板；
76.703、金属匹配层；
77.801、上泵体第一象限孔
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802、上泵体第二象限孔；
78.803、上泵体第三象限孔
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804、上泵体第四象限孔；
79.805、上泵体第一通气口流道
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806、上泵体第二通气口流道；
80.807、上泵体引线槽
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808、上泵体环形凹处；
81.809、上泵体腔室
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810上泵体第二通气口；
82.811、上泵体裙摆
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812上泵体第一通气口 ；
83.901、下泵体第一象限孔
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902、下泵体第二象限孔；
84.903、下泵体第三象限孔
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904、下泵体第四象限孔；
85.905、下泵体第一通气口流道
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906、下泵体第二通气口流道；
86.907、下泵体腔室
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908、下泵体环形凸处；
87.909、下泵体裙摆
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910、下泵体第二通气口；
88.911、下泵体第一通气口；
89.1001、第一通气口阀片组件一
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1002、第一通气口阀片组件二1003、第一通气口阀片组件三
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1004、第一通气口阀片组件四 1101、第二通气口阀片组件一
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1102、第二通气口阀片组件二1103、第二通气口阀片组件三
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1104、第二通气口阀片组件四。
具体实施方式
90.实施例1 多腔圆盘型压电气泵组件
91.请参见图1-14，多腔圆盘型压电气泵组件，1、多腔圆盘型压电气泵组件，其特征在于：隔板、上泵体8、压电振子7、下泵体9、第一通气口阀片10、第二通气口阀片11、底部对角导流板5、底部临边导流板6；
92.所述的隔板包括在一个象限点上设有通孔的单孔隔板1，以及在两个象限点上设有象限孔的双孔临边隔板2和双孔对角隔板3；
93.所述的上泵体8设有上泵体腔室809、上泵体第二通气口810、上泵体第一通气口812、上泵体第一象限孔801、上泵体第二象限孔802、上泵体第三象限孔803、上泵体第四象限孔804、上泵体第一通气口流道805、上泵体第二通气口流道806；
94.所述的上泵体腔室809为圆形阶梯凹陷部；上泵体环形凹处808
95.所述的象限孔为设在上泵体8四周象限点上的通孔，贯通上泵体8；
96.所述的上泵体第一通气口流道805与上泵体第二通气口流道806呈90
°
，分别与相邻的两个象限孔相通；
97.在上泵体外侧存在引线槽807，压电振子引出线穿出的凹口。
98.所述的上泵体第二通气口810设在上泵体的中心部，在上泵体腔室809内，上泵体第二通气口810的周围设有上泵体裙摆811；用以分离低压区和高压区，从而使压电振子自由振动，保持同时吸气和出气的正常工作状态。
99.所述的下泵体9设有下泵体第一象限孔901、下泵体第二象限孔902、
100.下泵体第三象限孔903、下泵体第四象限孔904、下泵体第一通气口流道905、下泵体第二通气口流道906、下泵体腔室907、下泵体环形凸处908、下泵体裙摆909、下泵体第二通气口910、下泵体第一通气口911；
101.下泵体环形凸处908与上泵体环形凹处808啮合，支撑固定压电振子7；下泵体9其它结构与上泵体8相同。
102.第一通气孔阀片11由第一通气口阀片组件一1101、第一通气口阀片组件二1102、
第一通气口阀片组件三1103、第一通气口阀片组件四1104所述的四个零件都有半圆形的孔。利用圆孔错位，从而实现第一通气孔阀片的单向阀功能；第一通气口阀片组件一1101、第一通气口阀片组件二1102的圆孔和第一通气口阀片组件四1104的圆孔错位，并通过第一通气口阀片组件三1103隔离形成空腔，从而实现第一通气孔阀11的单向止停功能。
103.第二通气孔阀片10由第二通气孔阀片组件一1001，第二通气孔阀片组件二1002，第二通气孔阀片组件四1004组成，利用圆孔错位，从而实现第二通气孔阀片的单向阀功能。
104.所述的压电振子由压电陶瓷701、柔性基板702和金属匹配层703共同组成，柔性基板702一侧中间有一个圆形凸起的金属匹配层703，另一侧基板中间圆盘上粘接压电陶瓷701。
105.实施例2单个泵体的双腔并联组装
106.以下介绍几种压电气泵的叠合组装形式。
107.参照图1、11、12，所述单个泵体的双腔并联组装。双孔临边隔板2（1）第一象限孔201与第二象限孔202分别对齐上泵体8第二象限孔802和第一象限孔801。上泵体第四象限孔804与第一象限孔801分别与下泵体9第三象限孔903、第二象限孔902。下泵体9第四象限孔904、第一象限孔901分别对应双孔临边隔板2（2）第一象限孔201、第二象限孔202。所述并联形式组装的单个压电气泵输出流量显著增加。
108.基于上述结构，本实施例的圆盘型多腔圆盘型压电气泵单个泵体并联结构的工作过程为：
109.将压电振子的导线通过上泵体引线槽807连接电源的正负极，压电振子7开始振动，正常工作。气体从双孔临边盖板2（1）第二象限孔202进入，经过上泵体8的第四象限孔804，经过第二通气孔阀片10（1）进入第二通气孔812，上泵体8气腔室内一部分气体受到压电振子7的弹性形变，通过第一通气孔阀片11（1）从第一通气孔排出。气体通过上泵体出气孔流道806进入上泵体第一象限孔801。上泵体第一通气孔801对齐下泵体第三象限孔903。
110.下泵体气体由下泵体第一象限孔901进入，经过下泵体第二通气孔阀片10（2）进入第二通气孔911，下泵体9气腔室内一部分气体受到压电振子7的弹性形变，经过第一通气孔阀片11（2）第一通气孔孔排出。气体通过下泵体出气孔流道906进入下泵体第三象限孔903，上下泵体排出气体汇合，共同从双孔临边盖板2（2）第二象限孔202排出。（后续装配方案中，振子，阀片安装方式与图一无异，便于显示整体装配结构，遂不予展示）。
111.实施例3单个泵体的双腔串联组装
112.参照图17、11、12，所述单个泵体的双腔串联组装。双孔临边隔板2（1）第一象限孔201与第二象限孔202分别对齐上泵体8第四象限孔804和第三象限孔803。上泵体（2）第四象限孔804与第一象限孔801分别对齐下泵体9第一象限孔901、第四象限孔904。下泵体9第二象限孔902、第三象限孔903分别对应双孔临边隔板2（2）第一象限孔201、第二象限孔202。所述串联形式组装的单个压电气泵输出压力显著增加。
113.实施例4 两个并联组装的泵体并联构成的压电气泵
114.参照图18，所述压电气泵由两个并联组装的泵体并联构成。双孔临边隔板2（1）第一象限孔201与第二象限孔202分别对齐上泵体8（1）第一象限孔801和第四象限孔804。上泵体8（1）第一象限孔801与第四象限孔804分别对齐下泵体9（1）第三象限孔903、第四象限孔904。下泵体9（1）第四象限孔904、第一象限孔901分别对应隔板1（2）第一象限孔201、第二象
限孔202。
115.所述压电气泵通过叠合的形式设置有两个泵体，每个泵体具有两个压电腔，通过上述结构，使此压电气泵具有四个压电腔，大大提高了输出流体的流量和输出压力，使压电气泵的适用范围更广。
116.实施例5两个并联组装的泵体串联构成的压电气泵
117.参照图19，所述压电气泵由两个并联组装的泵体串联构成。双孔临边隔板2（1）第一象限孔201与第二象限孔202分别对齐上泵体8（1）第四象限孔804和第三象限孔803。上泵体8（1）第四象限孔804与第三象限孔803分别对齐下泵体9（1）第四象限孔904、第三象限孔903。下泵体9（1）第二象限孔902、第三象限孔903分别对应隔板1（2）第一象限孔201、第二象限孔202。双孔临边隔板2（2）第一象限孔201与第二象限孔202分别对齐上泵体8（2）第一象限孔801和第四象限孔804。上泵体8（2）第一象限孔801与第四象限孔804分别对齐下泵体9（2）第三象限孔903、第四象限孔904。下泵体9（2）第二象限孔902、第三象限孔903分别对应双孔临边隔板2（3）第一象限孔201、第二象限孔202。所述压电气泵通过叠合的形式设置有两个泵体，每个泵体具有两个压电腔，通过上述结构，使此压电气泵具有四个压电腔，大大提高了输出流体的流量和输出压力，使压电气泵的适用范围更广。
118.实施例6两个并联组装的泵体并联构成的压电气泵
119.参照图20，所述压电气泵由两个并联组装的泵体并联构成。双孔临边隔板2（1）第一象限孔201与第二象限孔202分别对齐上泵体8（1）第四象限孔804和第三象限孔803。上泵体8（1）第一象限孔801与第四象限孔804分别对齐下泵体9（1）第四象限孔904、第一象限孔901。下泵体9（1）第一象限孔901、第二象限孔902分别对应隔板1（2）第一象限孔201、第二象限孔202。双孔临边隔板2（2）第一象限孔201与第二象限孔202分别对齐上泵体8（2）第四象限孔804和第三象限孔803。上泵体8（2）第一象限孔801与第四象限孔804分别对齐下泵体9（2）第四象限孔904、第一象限孔901。下泵体9（2）第二象限孔902、第三象限孔903分别对应双孔临边隔板2（3）第一象限孔201、第二象限孔202。所述压电气泵通过叠合的形式设置有两个泵体，每个泵体具有两个压电腔，通过上述结构，使此压电气泵具有四个压电腔，大大提高了输出流体的流量和输出压力，使压电气泵的适用范围更广。
120.实施例7两个并联组装的泵体串联构成的压电气泵
121.参照图21，所述压电气泵由两个并联组装的泵体串联构成。双孔临边隔板2（1）第一象限孔201与第二象限孔202分别对齐上泵体8（1）第四象限孔804和第三象限孔803。上泵体8（1）第一象限孔801与第四象限孔804分别对齐下泵体9（1）第四象限孔904、第一象限孔901。下泵体9（1）第一象限孔901、第二象限孔902分别对应隔板1（2）第一象限孔201、第二象限孔202。双孔临边隔板2（2）第一象限孔201与第二象限孔202分别对齐上泵体8（2）第四象限孔804和第三象限孔803。上泵体8（2）第一象限孔801与第四象限孔804分别对齐下泵体9（2）第四象限孔904、第一象限孔901。下泵体9（2）第二象限孔902、第三象限孔903分别对应双孔临边隔板2（3）第一象限孔201、第二象限孔202。所述压电气泵通过叠合的形式设置有两个泵体，每个泵体具有两个压电腔，通过上述结构，使此压电气泵具有四个压电腔，大大提高了输出流体的流量和输出压力，使压电气泵的适用范围更广。
122.实施例8四个单独泵体构成的压电气泵
[0123] 参照图22，所述压电气泵由四个单独泵体构成。整体结构由两组图10泵体并联组
成。双孔临边隔板2（1）第一象限孔201与第二象限孔202分别对齐上泵体8（1）第四象限孔804和第三象限孔803。上泵体8（1）第四象限孔804与第一象限孔801分别对齐下泵体9（1）第四象限孔904、第三象限孔903。下泵体9（1）第三象限孔903、第一象限孔901分别对应对角隔板3（1）第一象限孔301、第三象限孔302。双孔对角隔板1（1）第一象限孔301与第三象限孔302分别对齐上泵体8（2）第四象限孔804和第二象限孔802。上泵体8（2）第一象限孔801与第四象限孔804分别对齐下泵体9（2）第三象限孔903、第四象限孔904。下泵体9（2）第三象限孔903、第二象限孔902分别对应双孔临边隔板2（2）第一象限孔201、第二象限孔202。双孔临边隔板2（2）第一象限孔201与第二象限孔202分别对齐上泵体8（3）第三象限孔803和第四象限孔804。上泵体8（3）第四象限孔804与第三象限孔803分别对齐下泵体9（3）第四象限孔904、第四象限孔903。下泵体9（3）第四象限孔904、第二象限孔902分别对应对角隔板1（2）第一象限孔301、第三象限孔302。双孔对角隔板3（2）第一象限孔301与第三象限孔302分别对齐上泵体8（4）第一象限孔801和第三象限孔803。上泵体8（4）第四象限孔804与第一象限孔801分别对齐下泵体9（4）第四象限孔904、第三象限孔903。下泵体9（4）第三象限孔903、第二象限孔902分别对应双孔临边导流板5（1）第一象限孔501、第二象限孔502。
[0124]
实施例9四个单独泵体构成的压电气泵
[0125]
参照图23，所述压电气泵由四个单独泵体构成，整体结构由两组图10泵体串联组成。双孔对角隔板3（1）第一象限孔301与第三象限孔302分别对齐上泵体8（1）第四象限孔804和第二象限孔802。上泵体8（1）第四象限孔804与第一象限孔801分别对齐下泵体9（1）第四象限孔904、第三象限孔903。下泵体9（1）第四象限孔904、第三象限孔903分别双孔临边隔板2（1）第一象限孔201、第二象限孔202。双孔临边隔板（1）第一象限孔201与第二象限孔202分别对齐上泵体8（2）第四象限孔804和第一象限孔802。上泵体8（2）第四象限孔804与第一象限孔801分别对齐下泵体9（2）第四象限孔904、第三象限孔903。下泵体9（2）第三象限孔903、第二象限孔902分别对应双孔临边隔板2（2）第一象限孔201、第二象限孔202。双孔临边隔板2（2）第一象限孔201与第二象限孔202分别对齐上泵体8（3）第三象限孔803和第四象限孔804。上泵体8（3）第四象限孔804与第一象限孔801分别对齐下泵体9（3）第一象限孔901、第四象限孔904。下泵体9（3）第三象限孔903、第一象限孔901分别对应对角隔板3（2）第一象限孔301、第三象限孔303。双孔对角隔板3（2）第一象限孔301与第三象限孔303分别对齐上泵体8（4）第一象限孔801和第三象限孔803。上泵体8（4）第四象限孔804与第一象限孔801分别对齐下泵体9（4）第四象限孔904、第三象限孔903。下泵体9（4）第四象限孔904、第二象限孔902分别对应双孔对角导流板5（1）第一象限孔501、第三象限孔502。
[0126]
本发明的单个泵体运用了高频声驻波和阀片整流技术，其中上、下泵体之间构成了腔室。所述上泵体顶部设有排线槽，上泵体、下泵体均在底部设有气体流道。压电泵上泵体和下泵体出口流道和入口流道的横截面积是与气体出、入口面积相等，在结构上保证了气体的流畅运动。
[0127]
压电气泵的出口和入口是按照驻波原理来设置的，压电气泵出入口采用了驻波原理，压电气泵在工作时会产生频率相同、传输方向相反的两种波。而压电气泵的出口、入口均为节点式出口、节点式入口。压电气泵的出口流道、入口流道呈90
°
，保证了一个泵体只占用两个象限，方便构造泵体的串并联结构。上下泵体的出气侧、入气侧皆设有笔直通道，且出气和入气部分都设有阀片，这样结构的压电气泵出气口和入气口可以互相转换。可以根
据实际情况，选择有两种结构不同的单向阀片。
[0128]
上泵体一侧有一个圆形通孔、两个笔直流体通道和四个圆孔，所述圆形通孔为压电气泵通气孔，与一个笔直流体通道组合形成进气通道，所述另一笔直流体通道一端设有一个圆形通孔形成另一个进气通道，所述四个圆孔分布在上泵体对角线，其中两个圆孔可以作为入气孔或是出气孔。泵体另一侧有固定压电振子的圆形阶梯凹槽，凹槽内部环形的阶梯形凸起，用以安装支撑压电振子，并使凹槽内部中心与压电振子之间保持形成一个上泵气腔室，从而使压电振子保持正常工作状态，一个长方形的用来铺设金属导线的开口槽与圆形凹槽一边相连。上泵体出口处设置裙摆，振子振动时会产生高压区和低压区，裙摆结构可以有效分离高压区和低压区，增加能量利用效率，提高泵体效率。下泵体的结构和上泵体一致。
[0129]
压电气泵可以在泵体底面设置为弧面，便于气体流通，并且可以根据实际情况要求，将泵体底面设置为平面。
[0130]
压电振子由压电陶瓷、柔性基板、金属匹配层组成，三者之间用厌氧胶粘接。柔性基板四周设有车轮幅条式聚酰亚胺薄膜，一侧基板中间有金属匹配层，另一侧中间粘接压电陶瓷。压电振子结构简单，厚度薄，适用于构造微型压电泵。柔性基板第一可以作为基板，作为压电振子的主体，连接了压电陶瓷和金属匹配层，第二可以作为电极，在接交流电路时，与压电陶瓷一起产生压电效应。
[0131]
所述上泵体顶部设有环形凹槽、下泵体顶部设有环形突起，压电振子设置在上下泵体环形啮合处。整个泵体运用了高频声驻波和阀片整流技术，所述上、下泵体之间构成了腔室。本发明的压电气泵通过叠合的形式设置有两个及两个以上的泵体，每个泵体具有两个压电腔室，同时提高输出的流量以及输出的压力，使压电气泵有更广泛的应用。
[0132]
所述泵体底部设置有气体进入流道和气体排出流道，所述进入流道和排出流道连通间隔板的连接孔，位于端部的泵体外侧设置有底部导流槽。对应流体入口和流体出口的分别设置有单向阀片。
[0133]
所述压电泵体以单个泵体以串联和并联的方式安装。两个泵体有多种组装方式。单个泵体采用串或和并联方式组装基础上，两个泵体串联、并联形式组装。所述泵体之间设置有间隔板，位于端部的泵体外侧设置有封盖引流板。
[0134]
单个、两个或两个以上的泵体统一采用叠合式安装。每个泵体具有两个压电腔。通过上述结构，多个泵体的压电气泵至少具有四个压电腔，同时显著提高了输出的流量以及输出压力，使压电气泵的适用范围更广。

技术特征：
1.多腔圆盘型压电气泵组件，其特征在于：隔板、上泵体8、压电振子（7）、下泵体（9）、阀片；所述的隔板包括在一个象限点上设有通孔的单孔隔板，和在两个象限点上设有通孔的双孔隔板；所述的上泵体（8）设有上泵体腔室(809)、上泵体第二通气口(810)、上泵体第一通气口(812)、两个象限孔、上泵体第一通气口流道(805)、上泵体第二通气口流道(806)；所述的象限孔为设在上泵体(8)四周象限点上的通孔，贯通上泵体(8)；所述的上泵体第一通气口流道(805)与上泵体第二通气口流道(806)呈90
°
，分别与相邻的两个象限孔相通；所述的下泵体(9)的气体通路与上泵体(8)相同或相互对称，相对安装在压电振子(7)上下两侧；组装后，各部件位置相对应的象限孔相通，并形成气体通路。2.根据权利要求1所述的多腔圆盘型压电气泵组件，其特征在于：所述的上泵体(8)和下泵体(9)的四个象限点上均设有象限孔。3.根据权利要求2所述的多腔圆盘型压电气泵组件，其特征在于：所述的隔板还包括：在三个象限点上设有通孔的三孔隔板4。4.根据权利要求1、2或3所述的多腔圆盘型压电气泵组件，其特征在于：所述的上、下泵体第二通气口设在上泵体的中心部，在上泵体腔室内，上泵体第二通气口的周围设有上泵体裙摆。5.根据权利要求4所述的多腔圆盘型压电气泵组件，其特征在于：还包括底部对角导流板(5)、底部临边导流板(6)。6.根据权利要求5所述的多腔圆盘型压电气泵组件，其特征在于：所述单泵中上泵体和下泵体的第一通气口作为出气口，第二通气口作为入气口，同时，泵体的第一通气口第二通气口作用可以互换。7.根据权利要求6所述的多腔圆盘型压电气泵组件，其特征在于：第一通气口阀片、第二通气口阀片均设计为阵列错位孔形式；第一通气口阀片、第二通气口阀片均包含有四个组件；两种阀片装配后整体厚度范围应在0.25mm
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0.4mm范围内。8.根据权利要求7所述的多腔圆盘型压电气泵组件，其特征在于：泵体腔室底面为弧形底面或者平底面。9.根据权利要求8所述的多腔圆盘型压电气泵组件，其特征在于：所述的压电振子(7)包括：金属匹配层、柔性基板、压电陶瓷。

技术总结
本发明公开了多腔圆盘型压电气泵，它是由多腔圆盘型压电气泵组件组合而成，所述的组件包括：隔板、上泵体、压电振子、下泵体、单向阀片；上与下泵体相同或相对称，压电振子将上下泵体分为两个腔室，每个腔室底部均设有出通气口和进通气口，通过通气口流道连通泵体的象限孔，组装后，贯通泵体的象限孔组成气体进排气通道。第一和第二通气口流道呈90


技术研发人员：刘国君 刘润宇 王猛 曹帅启 刘增浩 傅镪 王哲 沈望皓 王聪慧 李新波
受保护的技术使用者：吉林大学
技术研发日：2023.05.22
技术公布日：2023/8/14