谐振电路、滤波器以及电子器件的制作方法

1.本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种谐振电路、滤波器以及电子器件。


背景技术：

2.滤波器是一种以谐振器为基本构成单元的选频装置，被广泛应用于诸如无线通信等领域。
3.请参考图1，图1是现有技术中常见的四串三并滤波器的电路图。如图所示，滤波器包括输入端口10a、输出端口10b、一条串联路径、以及三条并联支路。串联路径包括串联在输入端口10a和输出端口10b之间四个串联谐振器，该四个串联谐振器从输入端口10a至输出端口10b依次是串联谐振器11a至14a。三条并联支路从输入端口10a至输出端口10b依次是并联支路1至3。其中，并联支路1包括并联谐振器11b和电感11c，并联谐振器11b的一端连接至串联谐振器11a和12a之间的节点、另一端通过电感11c接地；并联支路2包括并联谐振器12b和电感12c，并联谐振器12b的一端连接至串联谐振器12a和13a之间的节点、另一端通过电感12c接地；并联支路3包括并联谐振器13b和电感13c，并联谐振器13b的一端连接至串联谐振器13a和14a之间的节点、另一端通过电感13c接地。
4.本领域技术人员所悉知的是，现有滤波器的带宽取决于谐振器的有效机电耦合系数，具体来说，谐振器的有效机电耦合系数越大，滤波器的带宽也越大。而现有谐振器的有效机电耦合系数通常都较小(例如声学谐振器的有效机电耦合系数仅仅在6％左右)，所以导致现有滤波器的带宽较小，难以满足高速发展的无线通信对于大带宽的需求。


技术实现要素：

5.为了克服现有技术中的上述缺陷，本发明提供了一种谐振电路，该谐振电路包括：
6.第一端口、第二端口、谐振器、第一电感以及第二电感；
7.所述谐振器的一端连接至所述第一端口、另一端通过所述第一电感连接至所述第二端口；
8.所述第二电感的一端连接至所述第一端口，所述第二电感的另一端连接至所述第二端口、或连接至所述谐振器和所述第一电感之间的节点。
9.根据本发明的一个方面，该谐振电路中，所述谐振器是体声波谐振器或声表面波谐振器。
10.根据本发明的另一个方面，该谐振电路中，所述第一电感和所述第二电感之间存在耦合。
11.根据本发明的又一个方面，该谐振电路中，所述第一电感和所述第二电感之间的耦合电感值的范围是0.1nh至10nh。
12.本发明还提供了一种滤波器，该滤波器包括：
13.输入端口和输出端口；
14.串联路径，该串联路径包括串联在所述输入端口和所述输出端口之间的至少一个
串联谐振单元；
15.至少一条并联支路，每一所述并联支路均包括并联谐振单元，该并联谐振单元的一端连接至所述串联路径、另一端直接与地连接或者通过第三电感与地连接；
16.其中，所述串联谐振单元和所述并联谐振单元中的一个或多个采用前述谐振电路实现。
17.根据本发明的一个方面，该滤波器中，针对于存在所述串联谐振单元未采用所述谐振电路实现的情况，未采用所述谐振电路实现的所述串联谐振单元通过一个串联谐振器实现；针对于存在所述并联谐振单元未采用所述谐振电路实现的情况，未采用所述谐振电路实现的所述并联谐振单元通过一个并联谐振器实现。
18.根据本发明的另一个方面，该滤波器中，至少一条所述并联支路中的所述并联谐振单元采用所述谐振电路实现，以及至少一条所述并联支路中的所述并联谐振单元通过所述第三电感接地，且所述谐振电路和所述第三电感分布在非同一条并联支路中；针对于任一所述谐振电路来说，若所述谐振电路所在并联支路之外的其他并联支路中存在所述第三电感，则将所述谐振电路中的所述第一电感和所述第二电感、与所述谐振电路所在并联支路之外的其他并联支路中的所述第三电感定义为一个电感组合，其中，至少存在一个所述电感组合其中的所述第一电感与同一所述电感组合中的至少一个所述第三电感之间存在耦合、和/或至少存在一个所述电感组合其中的所述第二电感与同一所述电感组合中的至少一个所述第三电感之间存在耦合。
19.本发明还提供了一种电子器件，该电子器件包括前述滤波器。
20.根据本发明的一个方面，该电子器件中，所述电子器件是双工器或多工器。
21.本发明所提供的谐振电路包括第一端口、第二端口、谐振器、第一电感以及第二电感；谐振器的一端连接至第一端口、另一端通过第一电感连接至第二端口；第二电感的一端连接至第一端口，第二电感的另一端连接至第二端口、或连接至谐振器和第一电感之间的节点。本发明所提供的谐振电路具有大的有效机电耦合系数，可以用于构建大带宽的滤波器。相应地，基于本发明所提供的谐振电路形成的滤波器以及基于该滤波器所形成电子设备可以很好地满足通信对于大带宽的要求。
附图说明
22.通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
23.图1是现有滤波器的电路图；
24.图2是根据本发明的一个具体实施例的谐振电路的电路图；
25.图3是根据本发明的另一个具体实施例的谐振电路的电路图；
26.图4是根据本发明的又一个具体实施例的谐振电路的电路图；
27.图5是根据本发明的又一个具体实施例的谐振电路的电路图；
28.图6是现有声学谐振器的阻抗频率特性曲线；
29.图7是图2所示谐振电路的阻抗频率特性曲线；
30.图8是图3所示谐振电路的阻抗频率特性曲线；
31.图9是图4所示谐振电路的阻抗频率特性曲线；
32.图10是图5所示谐振电路的阻抗频率特性曲线；
33.图11是根据本发明的一个具体实施例的滤波器的电路图；
34.图12是根据本发明的另一个具体实施例的滤波器的电路图；
35.图13是根据本发明的又一个具体实施例的滤波器的电路图
36.图14是根据本发明的又一个具体实施例的滤波器的电路图；
37.图15是根据本发明的又一个具体实施例的滤波器的电路图；
38.图16是根据本发明的又一个具体实施例的滤波器的电路图；
39.图17是根据本发明的又一个具体实施例的滤波器的电路图。
40.附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。
具体实施方式
41.为了更好地理解和阐释本发明，下面将结合附图对本发明作进一步的详细描述。
42.本发明提供了一种谐振电路，该谐振电路包括：
43.第一端口、第二端口、谐振器、第一电感以及第二电感；
44.所述谐振器的一端连接至所述第一端口、另一端通过所述第一电感连接至所述第二端口；
45.所述第二电感的一端连接至所述第一端口，所述第二电感的另一端连接至所述第二端口、或连接至所述谐振器和所述第一电感之间的节点。
46.下面将结合图2和图3对谐振电路的各个组成部分进行详细说明。
47.具体地，如图2和图3所示，本发明所提供的谐振电路包括第一端口p1和第二端口p2、谐振器101、第一电感102以及第二电感103。谐振器101和第一电感102串联在第一端口p1和第二端口p2之间，具体来说，谐振器101的一端连接至第一端口p1，谐振器101的另一端与第一电感102的一端连接，第一电感102的另一端连接至第二端口p2。第二电感103存在两种连接方式。第一种连接方式如图2所示，第二电感103的一端连接至第一端口p1、另一端连接至第二端口p2，即第二电感103并联在第一端口p1和第二端口p2之间。第二种连接方式如图3所示，第二电感103的一端连接至第一端口p1、另一端连接至谐振器101和第一电感102之间的节点，即第二电感103并联在谐振器101两端。优选地，第一电感102电感值的范围是0.1nh至10nh，第二电感103电感值的范围是0.5nh至30nh。需要说明的是，谐振电路中谐振器101优选采用体声波谐振器或声表面波谐振器实现，但本领域技术人员可以理解的是，谐振电路中的谐振器101的类型不应仅仅限于上述体声波谐振器以及声表面波谐振器，凡是适用于构建滤波器的谐振器均适用于本发明中的谐振器101的实现，为了简明起见，在此不再对谐振器101所有可能的类型进行一一列举。
48.本发明所提供的谐振电路，第一电感与谐振器串联连接可以使谐振电路的串联谐振器频率(fs)向低频移动，第二电感与谐振器并联、以及第二电感与谐振器和第一电感二者并联，可以使谐振电路的并联谐振频率(fp)向高频移动，如此一来，可以有效地增加谐振电路的带宽，进而有效增加谐振电路的有效机电耦合系数。由此可知，相较于现有谐振器来说，本发明所提供的谐振电路具有更大的有效机电耦合系数。具体来说，本发明所提供的谐振电路其有效机电耦合系数可以高达15％，远远高于现有谐振器的有效机电耦合系数(例如现有体声波谐振器的有效机电耦合系数仅在6％左右)。本领域技术人员所悉知的是，现
有滤波器的带宽一般是谐振器有效机电耦合系数的一半。基于此可知，利用本发明所提供的谐振电路代替现有谐振器去构建滤波器时，滤波器的带宽则是谐振电路有效机电耦合系数的一半。由于本发明所提供的谐振电路相较于现有谐振器来说具有更大的有效机电耦合系数，所以利用本发明所提供的谐振电路形成滤波器，可以有效提升滤波器的带宽，从而使滤波器可以满足通信对于大带宽的要求，进而适用于更多的通信应用场景。
49.在一个优选实施例中，如图4所示，第一电感102和第二电感103之间存在耦合，其中，第一电感102和第二电感103之间的耦合电感值(图中以m1表示)的范围优选是0.1nh至10nh。相较于图2所示谐振电路来说，图4所示谐振电路通过在第一电感102和第二电感103之间引入耦合，不但可以进一步提高谐振电路的有效机电耦合系数，还可以有效提高谐振电路的阻抗极大值，进而有效提高谐振电路的q值(即品质因数)。需要说明的是，如图5所示，当在图3所示谐振电路的第一电感102和第二电感103之间引入耦合(第一电感102和第二电感103之间的耦合电感值的范围优选是0.1nh至10nh)，同样是可以提高谐振电路的阻抗极大值，但是会导致谐振电路有效机电耦合系数的有所降低。虽然图5所示谐振电路相对于图3所示谐振电路的有效机电耦合系数有所降低，但仍远远大于现有谐振器的有效机电耦合系数。至于图3和图5所示谐振电路可以根据实际设计对于有效机电耦合系数和阻抗极大值的具体要求进行相应选择。此外，在本实施例中，第一电感102和第二电感103之间的耦合通过将二者近距离设置所实现，如此一来，还可以在一定程度上减小谐振电路的尺寸，利于后续基于谐振电路所形成滤波器的小型化。
50.请参考图6至图10，图6是现有声学谐振器的阻抗频率特性曲线，图7是图2所示谐振电路的阻抗频率特性曲线，图8是图3所示谐振电路的阻抗频率特性曲线，图9是图4所示谐振电路的阻抗频率特性曲线，图10是图5所示谐振电路的阻抗频率特性曲线。其中，图6中的现有声学谐振器、图7至图10中的谐振器101采用相同的体声波谐振器实现；图7至图10中第一电感102的电感值均为1.0nh、第二电感103的电感值均为5nh，图9和图10中第一电感102和第二电感103之间的耦合电感值均为0.5nh。基于图6所示曲线可以计算得到与图6所对应的现有声学谐振器的有效机电耦合系数是6.05％。基于图7所示曲线可以计算得到图2所示谐振电路的有效机电耦合系数是13.2％。基于图8所示曲线可以计算得到图3所示谐振电路的有效机电耦合系数是14.2％。基于图9所示曲线可以计算得到图4所示谐振电路的有效机电耦合系数是14.7％。基于图10所示曲线可以计算得到图5所示谐振电路的有效机电耦合系数是13.8％。由此可知，本发明所提供的谐振电路其有效机电耦合系数远远大于现有声学谐振器。此外，通过对图9和图7进行比较可知，图4所示谐振电路的阻抗极大值是4.838
×
103ω，图2所示谐振电路的阻抗极大值是4.687
×
103ω，即针对于图2所示谐振电路来说，在第一电感和第二电感之间引入耦合，不但可以提高谐振电路的有效机电耦合系数，还可以提高谐振电路的阻抗极大值。通过对图10和图8进行比较可知，图5所示谐振电路的阻抗极大值是7.230
×
103ω，图3所示谐振电路的阻抗极大值是5.974
×
103ω，即针对于图3所示谐振电路来说，在第一电感和第二电感之间引入耦合，虽然谐振电路的有效机电耦合系数有所降低，但是大大地提高了谐振电路的阻抗极大值。
51.本发明还提供了一种滤波器，该滤波器包括：
52.输入端口和输出端口；
53.串联路径，该串联路径包括串联在所述输入端口和所述输出端口之间的至少一个
串联谐振单元；
54.至少一条并联支路，每一所述并联支路均包括并联谐振单元，该并联谐振单元的一端连接至所述串联路径、另一端直接与地连接或者通过第三电感与地连接；
55.其中，所述串联谐振单元和所述并联谐振单元中的一个或多个采用前述谐振电路实现。
56.下面将对滤波器的上述各个组成部分进行详细说明。
57.具体地，本发明所提供的滤波器包括输入端口、输出端口、一条串联路径、以及至少一条并联支路。在本实施例中，串联路径包括一个以上的串联谐振单元，该一个以上的串联谐振单元串联在输入端口和输出端口之间。每一并联支路均并联在串联路径和地之间，也就是说，针对于每一并联支路来说，其一端连接至串联路径的节点、另一端与地连接。当串联路径仅包括一个串联谐振单元时，串联路径的节点包括输入端口与串联谐振单元之间的节点、以及串联谐振单元与输出端口之间的节点。当串联路径包括两个以上的串联谐振单元时，串联路径的节点包括输入端口和与其相邻串联谐振单元之间的节点、输出端口和与其相邻串联谐振单元之间的节点、以及相邻两个串联谐振单元之间的节点。在一些应用场景中，并联支路的数量与串联路径上节点的数量相等且二者一一对应(即每一并联支路的一端连接至与其对应的节点、另一端接地)；在另一些应用场景中，并联支路与串联路径上的节点不一一对应。本发明对此不做任何限定，可以根据实际设计需求相应制定。在本实施例中，每一并联支路均包括并联谐振单元，该并联谐振单元的一端连接至串联路径上的相应节点、另一端通过第三电感与地连接。在一些应用场景中，每一并联支路中的并联谐振单元均通过独立的第三电感接地，即不同并联支路中的并联谐振单元通过不同的第三电感接地。在另一些应用场景中，至少存在两条并联支路其中的并联谐振单元通过公共的第三电感接地，即至少两条并联支路中的并联谐振单元通过同一个第三电感接地。本发明对此不做任何限定，可以根据实际设计需求进行相应制定。
58.在本实施例中，串联谐振单元和并联谐振单元中的一个或多个采用前述谐振电路实现。一种情况是，所有串联谐振单元和所有并联谐振单元均采用前述谐振电路实现。另一种情况是，所有串联谐振单元均采用前述谐振电路实现，而所有并联谐振单元则采用前述谐振电路之外的其他形式实现。又一种情况是，部分串联谐振单元采用前述谐振电路实现，其余串联谐振单元以及所有并联谐振单元则采用前述谐振电路之外的其他形式实现。又一种情况是，所有并联谐振单元均采用前述谐振电路实现，而所有串联谐振单元则采用前述谐振电路之外的其他形式实现。又一种情况是，部分并联谐振单元采用前述谐振电路实现，其余并联谐振单元以及所有串联谐振单元则采用前述谐振电路之外的其他形式实现。又一种情况是，部分串联谐振单元采用前述谐振电路实现，其余串联谐振单元采用前述谐振电路之外的其他形式实现；部分并联谐振单元采用前述谐振电路实现，其余并联谐振单元采用前述谐振电路之外的其他形式实现。需要说明的是，(1)当前述谐振电路作为串联谐振单元设置在串联路径中时，可以将前述谐振电路的第一端口作为该谐振电路的输入端、以及将第二端口作为该谐振电路的输出端，还可以将前述谐振电路的第二端口作为该谐振电路的输入端、以及将第一端口作为该谐振电路的输出端，本发明对此不做任何限定。当前述谐振电路作为并联谐振单元设置在并联支路中时，通常将前述谐振电路的第一端口连接至串联路径、以及将第二端口直接接地或通过第三电感接地。(2)当采用前述谐振电路实现的谐
振单元多于两个的时候，这些谐振单元的结构可以相同，也可以不同。至于这些谐振单元具体采用图2至图5中哪个谐振单元实现，则需要根据实际设计需求相应制定，本发明对此不做任何限定；(3)当存在串联谐振单元未采用前述谐振电路实现(即采用前述谐振电路之外的其他形式实现)时，本发明对于前述谐振电路之外的其他形式不作具体限定，例如这些未采用前述谐振电路实现的串联谐振单元均通过一个串联谐振器实现，等等；(4)当存在并联谐振单元未采用前述谐振电路实现(即采用前述谐振电路之外的其他形式实现)时，本发明对于前述谐振电路之外的其他形式不作具体限定，例如这些未采用前述谐振电路实现的并联谐振单元均通过一个并联谐振器实现，等等。
59.由于本发明所提供的谐振电路相较于现有谐振器具有更大的有效机电耦合系数，所以利用本发明所提供的谐振电路代替现有谐振器去构建滤波器，可以有效提升滤波器的带宽。也就是说，相较于现有滤波器来说，本发明所提供的滤波器具有更大的带宽，通常可以高达7％-10％，因此可以很好地满足通信对于大带宽的要求，适用于更多的通信应用场景。
60.下面将结合图11和图12以两个优选实施例对本发明所提供的滤波器进行说明。
61.在一个优选实施例中，如图11所示，滤波器包括输入端口200a、输出端口200b、设置在该输入端口200a和输出端口200b之间的串联路径、以及三条并联支路。串联路径包括四个串联谐振单元，该四个串联谐振单元从输入端口200a侧至输出端口200b侧依次是串联谐振单元201、串联谐振单元202、串联谐振单元203以及串联谐振单元204。在本实施例中，串联谐振单元203采用图4所示谐振电路实现，串联谐振单元201、串联谐振单元202以及串联谐振单元204则均采用一个串联谐振器实现。三条并联支路从输入端口200a侧至输出端口200b侧分别以并联支路1、并联支路2以及并联支路3表示。其中，并联支路1包括并联谐振单元205，该并联谐振单元205的一端连接至串联谐振单元201和串联谐振单元202之间的节点、另一端通过第三电感208接地；并联支路2包括并联谐振单元206，该并联谐振单元206的一端连接至串联谐振单元202和串联谐振单元203之间的节点、另一端通过第三电感209接地；并联支路3包括并联谐振单元207，该并联谐振单元207的一端连接至串联谐振单元203和串联谐振单元204之间的节点、另一端通过第三电感210接地。在本实施例中，并联谐振单元205、并联谐振单元206以及并联谐振单元207均采用一个并联谐振器实现。
62.在另一个优选实施例中，图12所示滤波器与图11所示滤波器不同之处在于，图12中的四个串联谐振单元(即串联谐振单元201至204)均采用一个串联谐振器实现，并联支路3中的并联谐振单元207采用图5所示谐振电路实现。
63.针对于存在并联谐振单元采用前述谐振电路实现的情况(至于是否存在串联谐振单元采用前述谐振电路实现，本发明对此不做任何限定)，在一个优选实施例中，至少一条并联支路中的并联谐振单元采用前述谐振电路实现，以及至少一条并联支路中的并联谐振单元通过第三电感接地，且谐振电路和第三电感分布在非同一条并联支路中(针对于仅一条并联支路中的并联谐振单元采用前述谐振电路实现、且仅一条并联支路中的并联谐振单元通过第三电感接地的情况，该谐振电路和第三电感分布在两条并联支路中；针对于其他情况，谐振电路和第三电感分布在两条以上的并联支路中)。针对于任一谐振电路来说，若该谐振电路所在并联支路之外的其他并联支路中存在第三电感，则将该谐振电路中的第一电感和二电感、与该谐振电路所在并联支路之外的其他并联支路中的第三电感定义为一个
电感组合。例如，滤波器包括三条并联支路(分别以并联支路1、并联支路2、以及并联支路3表示)，并联支路1和并联支路2中的并联谐振单元均采用前述谐振电路实现，并联支路3中的并联谐振单元采用前述谐振电路之外的其他结构(例如谐振器)实现，并联支路1中的并联谐振单元通过第三电感接地，并联支路2和并联支路3中的并联谐振单元直接接地，这种情况下，并联支路1之外的其他并联支路(即并联支路2和并联支路3)中并不存在第三电感，并联支路2之外的其他并联支路(即并联支路1和并联支路3)中存在第三电感(具体来说是并联支路1中存在第三电感)，所以定义并联支路2中谐振电路中的第一电感和第二电感、与并联支路1中的第三电感为一个电感组合，且该滤波器仅包括这一个电感组合。又例如，滤波器包括三条并联支路(分别以并联支路1、并联支路2、以及并联支路3表示)，并联支路1和并联支路2中的并联谐振单元均采用前述谐振电路实现，并联支路3中的并联谐振单元采用前述谐振电路之外的其他结构(例如谐振器)实现，并联支路1、并联支路2以及并联支路3中的并联谐振单元均通过第三电感接地，这种情况下，针对于并联支路1来说，其他并联支路(即并联支路2和并联支路3)中存在第三电感，所以并联支路1中谐振电路中的第一电感和第二电感、与并联支路2和并联支路3中的第三电感构成一个电感组合；同样地，针对于并联支路2来说，其他并联支路(即并联支路1和并联支路3)中存在第三电感，所以并联支路2中谐振电路中的第一电感和第二电感、与并联支路1和并联支路3中的第三电感构成一个电感组合；也就是说，该滤波器包括两个电感组合。针对于滤波器中的电感组合来说，至少存在一个电感组合其中的第一电感与同一电感组合中的至少一个第三电感之间存在耦合、和/或至少存在一个电感组合其中的第二电感与同一电感组合中的至少一个第三电感之间存在耦合，如此一来，有利于提升滤波器通带右侧的近阻带抑制。优选地，第一电感与第三电感之间的耦合电感值、以及第二电感与第三电感之间的耦合电感值的范围均是0.1nh-10nh。下面以五个具体实施例进行说明。
64.在一个具体实施例中，如图13所示，图13所示滤波器与图12所示滤波器的不同之处在于，并联支路3中的谐振电路中的第一电感102除了与第二电感103之间存在耦合之外，还分别与并联支路1中的第三电感208以及并联支路2中的第三电感209分别耦合(图中以m2表示并联支路3中第一电感102与并联支路1中第三电感208之间的耦合电感值、以及以m3表示并联支路3中第一电感102与并联支路2中第三电感209之间的耦合电感值)。
65.在另一个具体实施例中，如图14所示，图14所示滤波器与图12所示滤波器的不同之处在于，并联支路3中的谐振电路中的第一电感102除了与第二电感103之间存在耦合之外，还与并联支路1中的第三电感208耦合。
66.在又一个具体实施例中，如图15所示，图15所示滤波器与图12所示滤波器的不同之处在于，并联支路3中的谐振电路中的第一电感102除了与第二电感103之间存在耦合之外，还与并联支路2中的第三电感209耦合。
67.在又一个具体实施例中，如图16所示，图16所示滤波器与图12所示滤波器的不同之处在于，并联支路3中的谐振电路中的第二电感103除了与第一电感102之间存在耦合之外，还与并联支路2中的第三电感209耦合。其中，图中以m4表示并联支路3中第二电感103与并联支路2中第三电感209之间的耦合电感值。
68.在又一个具体实施例中，如图17所示，图17所示滤波器与图12所示滤波器的不同之处在于，并联支路3中的谐振电路中除了第一电感102与第二电感103之间存在耦合之外，
第一电感102还与并联支路1中的第三电感208耦合，以及第二电感103还与并联支路2中的第三电感209耦合。
69.本领域技术人员可以理解的是，上述实施例中，均是仅一条并联支路(即并联支路3)中的并联谐振单元采用前述谐振电路实现，在其他实施例中，还可能是两条以上并联支路中的并联谐振单元均采用前述谐振电路实现。举例说明，滤波器包括三条并联支路(分别以并联支路1、并联支路2、以及并联支路3表示)，并联支路1和并联支路2中的并联谐振单元均采用前述谐振电路实现，并联支路3中的并联谐振单元采用前述谐振电路之外的其他结构(例如谐振器)实现，并联支路1和并联支路2中的并联谐振单元直接接地，并联支路3中的并联谐振单元通过第三电感接地，这种情况下为了实现滤波器右侧通带右侧的近阻带抑制，可以通过以下15种方式实现：
①
并联支路1中的第一电感和并联支路3中的第三电感之间存在耦合；
②
并联支路1中的第二电感和并联支路3中的第三电感之间存在耦合；
③
并联支路2中的第一电感和并联支路3中的第三电感之间存在耦合；
④
并联支路2中的第二电感和并联支路3中的第三电感之间存在耦合；
⑤
并联支路1中的第一电感和第二电感与并联支路3中的第三电感之间分别存在耦合；
⑥
并联支路2中的第一电感和第二电感与并联支路3中的第三电感之间分别存在耦合；
⑦
并联支路1中的第一电感和并联支路3中的第三电感之间存在耦合，并联支路2中的第一电感和并联支路3中的第三电感之间存在耦合；
⑧
并联支路1中的第一电感和并联支路3中的第三电感之间存在耦合，并联支路2中的第二电感和并联支路3中的第三电感之间存在耦合；
⑨
并联支路1中的第二电感和并联支路3中的第三电感之间存在耦合，并联支路2中的第一电感和并联支路3中的第三电感之间存在耦合；
⑩
并联支路1中的第二电感和并联支路3中的第三电感之间存在耦合，并联支路2中的第二电感和并联支路3中的第三电感之间存在耦合；并联支路1中的第一电感和第二电感与并联支路3中的第三电感之间分别存在耦合，并联支路2中的第一电感和并联支路3中的第三电感之间存在耦合；并联支路1中的第一电感和第二电感与并联支路3中的第三电感之间分别存在耦合，并联支路2中的第二电感和并联支路3中的第三电感之间存在耦合；并联支路1中的第一电感和并联支路3中的第三电感之间存在耦合、并联支路2中的第一电感和第二电感与并联支路3中的第三电感之间分别存在耦合；并联支路1中的第二电感和并联支路3中的第三电感之间存在耦合、并联支路2中的第一电感和第二电感与并联支路3中的第三电感之间分别存在耦合；并联支路1中的第一电感和第二电感与并联支路3中的第三电感之间分别存在耦合、并联支路2中的第一电感和第二电感与并联支路3中的第三电感之间分别存在耦合。
70.本发明还提供了一种电子器件，该电子器件包括前述滤波器。在一个具体实施例中，电子器件是双工器。该双工器包括公共端子、发射端子、接收端子、连接在公共端子和发射端子之间的发射滤波器、以及连接在接收端子和公共端子之间的接收滤波器，其中，发射滤波器和/或接收滤波器采用前述滤波器实现。需要说明的是，为了简明起见，在此不再对前述滤波器的结构进行重复描述。此外，本领域技术人员可以理解的是，上述双工器不应该成为对电子器件类型的限制，凡是包括滤波器的电子器件均落入本发明的保护范围，例如多工器等，为了简明起见，在此不再对电子器件的所有可能进行一一列举。由于前述滤波器
具有大带宽，所以基于前述滤波器所形成的电子器件相应可以满足通信对于大带宽的要求。
71.对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化涵括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，显然“包括”一词不排除其他部件、单元或步骤，单数不排除复数。系统权利要求中陈述的多个部件、单元或装置也可以由一个部件、单元或装置通过软件或者硬件来实现。
72.以上所揭露的仅为本发明的一些较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明权利要求所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。

技术特征：
1.一种谐振电路，该谐振电路包括：第一端口、第二端口、谐振器、第一电感以及第二电感；所述谐振器的一端连接至所述第一端口、另一端通过所述第一电感连接至所述第二端口；所述第二电感的一端连接至所述第一端口，所述第二电感的另一端连接至所述第二端口、或连接至所述谐振器和所述第一电感之间的节点。2.根据权利要求1所述的谐振电路，其中，所述谐振器是体声波谐振器或声表面波谐振器。3.根据权利要求1或2所述的谐振电路，其中，所述第一电感和所述第二电感之间存在耦合。4.根据权利要求4所述的谐振电路，其中，所述第一电感和所述第二电感之间的耦合电感值的范围是0.1nh-10nh。5.一种滤波器，该滤波器包括：输入端口和输出端口；串联路径，该串联路径包括串联在所述输入端口和所述输出端口之间的至少一个串联谐振单元；至少一条并联支路，每一所述并联支路均包括并联谐振单元，该并联谐振单元的一端连接至所述串联路径、另一端直接与地连接或者通过第三电感与地连接；其中，所述串联谐振单元和所述并联谐振单元中的一个或多个采用如权利要求1至4中任一项所述的谐振电路实现。6.根据权利要求5所述的滤波器，其中：针对于存在所述串联谐振单元未采用所述谐振电路实现的情况，未采用所述谐振电路实现的所述串联谐振单元通过一个串联谐振器实现；针对于存在所述并联谐振单元未采用所述谐振电路实现的情况，未采用所述谐振电路实现的所述并联谐振单元通过一个并联谐振器实现。7.根据权利要求5或6所述的滤波器，其中：至少一条所述并联支路中的所述并联谐振单元采用所述谐振电路实现，以及至少一条所述并联支路中的所述并联谐振单元通过所述第三电感接地，且所述谐振电路和所述第三电感分布在非同一条并联支路中；针对于任一所述谐振电路来说，若所述谐振电路所在并联支路之外的其他并联支路中存在所述第三电感，则将所述谐振电路中的所述第一电感和所述第二电感、与所述谐振电路所在并联支路之外的其他并联支路中的所述第三电感定义为一个电感组合，其中，至少存在一个所述电感组合其中的所述第一电感与同一所述电感组合中的至少一个所述第三电感之间存在耦合、和/或至少存在一个所述电感组合其中的所述第二电感与同一所述电感组合中的至少一个所述第三电感之间存在耦合。8.一种电子器件，该电子器件包括如权利要求5至7中任一项所述的滤波器。9.根据权利要求8所述的电子器件，其中，所述电子器件是双工器或多工器。

技术总结
本发明提供了一种谐振电路，包括第一端口、第二端口、谐振器、第一电感以及第二电感；所述谐振器的一端连接至所述第一端口、另一端通过所述第一电感连接至所述第二端口；所述第二电感的一端连接至所述第一端口，所述第二电感的另一端连接至所述第二端口、或连接至所述谐振器和所述第一电感之间的节点。相应地，本发明还提供了一种滤波器以及电子器件。本发明所提供的谐振电路具有大的有效机电耦合系数，可以很好地满足大带宽的通信需求。可以很好地满足大带宽的通信需求。可以很好地满足大带宽的通信需求。


技术研发人员：蔡洵 赖志国 杨清华
受保护的技术使用者：苏州汉天下电子有限公司
技术研发日：2023.06.16
技术公布日：2023/9/13