感光树脂组合物、图案固化膜的制造方法、固化膜及其应用与流程

1.本发明涉及感光树脂材料技术领域，具体地说，涉及一种感光树脂组合物、图案固化膜的制造方法、固化膜及其应用。


背景技术：

2.以往，在半导体元件的表面保护膜和层间绝缘膜中，使用了兼具优异耐热性和电气特性、机械特性等的聚酰亚胺、聚苯并唑树脂。近年来，使用了对这些树脂本身赋予感光特性而得的感光树脂组合物。如果使用该感光树脂组合物，则图案固化物的制造工序能够简化，能够缩短复杂的制造工序。
3.伴随着电子设备的小型化和高功能化，对树脂膜图案化与加热固化后而形成的图案固化膜有高分辨率化的要求，并从节省生产时间的角度考虑，对图案固化膜有高灵敏度的要求。现有技术记载了负性光敏聚酰亚胺成膜曝光后经过显影，曝光区保留，非曝光区溶解，形成图案化。但为了实现感光性，提升曝光敏感度，将感光基团通常为含不饱和双键的基团，通过酯键或离子键连接在聚酰胺酸的羧基上。在上述包含聚酰亚胺前体的负型感光树脂组合物中，广泛大量使用(甲基)丙烯酸酯化合物作为使曝光部光固化时的交联剂，导致胶膜在制程中残膜率低，固化后耐热性与耐药性较差，同时伴随孔底残留问题，进而难以适用于目前半导体、光电以及柔性电路板的发展趋势。


技术实现要素：

4.本发明的目的是为了解决上述技术问题，提供一种感光树脂组合物、图案固化膜的制造方法、固化膜及其应用。
5.本发明第一方面提供一种感光树脂组合物，其包含：
6.(a)具有可光聚合性基团的聚酰亚胺树脂前体、
7.(b)具有2个官能度及以上且含有芳香环的可光聚合性单体、
8.(c)光聚合引发剂、
9.(d)溶剂；
10.所述(b)成分为如下式ii所示结构：
11.式ii中r为o、s或碳原子数在1-60的2-6价的连接基团，r3表示氢原子或碳数为1～8的有机基团，n+p≥2；r4表示氢原子或丙烯酰基、甲基丙烯酰基以及其他碳原子数在10以内的含烯酰基基团。
12.进一步的，所述聚酰亚胺树脂前体具有下述式(i)所表示的结构单元：
[0013][0014]
式(i)中，q表示碳原子数2～30的四价有机基团，s表示含有碳原子数2～60的二价有机基团，r1表示氢原子或碳数为1～8的一价有机基团(可包含具有丙烯酰基结构的基团)。
[0015]
所述结构式(i)中的s表示包含来源于以下二胺的残基结构中中的至少一种；
[0016][0017]
式ia～ih中，r2代表氢原子或碳原子在1～5的烷基、烷氧基及其含氟取代基团，m代表0～2的整数；r3表示氢原子或碳数为1～8的有机基团，r4表示氢原子或丙烯酰基、甲基丙烯酰基以及其他碳原子数在10以内的含烯酰基基团。
[0018]
进一步的，所述结构式(i)中的q表示包含以下四羧酸二酐所对应的二酐残基中的一种或多种组合：均苯四甲酸二酐、3,3',4,4'-联苯四甲酸二酐、2,2',3,3'-联苯四甲酸二酐、2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、3,3',4,4'-四羧酸二苯醚二酐、3,3',4,4'-四羧酸二苯酮二酐、3,3',4,4'-四羧酸二苯磺酰二酐、4,4'-六氟异丙基邻苯二甲酸酐、4,4'-异丙基邻苯二甲酸酐、9,9'-双(3,4-二羧基苯基)芴二酸酐、环丁烷四甲酸二酐、环己烷四甲酸二酐中的一种或多种组合。
[0019]
优选的，所述(b)成分中r可为下述结构中的一种：
[0020][0021]
优选的，所述(b)成分中r3表示氢原子或碳数为1～8的有机基团，r4表示氢原子。
[0022]
进一步的，所述(b)成分可光聚合性单体的含量相对于(a)成分100质量份为1～40质量份；(c)成分光聚合引发剂的含量相对于(a)成分聚酰亚胺树脂前体100质量份为0.01～30质量份。
[0023]
本发明第二方面提供一种图案固化膜的制造方法，包含如下工序：
[0024]
将上述感光树脂组合物涂布于基板上并干燥而形成感光性树脂膜的工序；
[0025]
对所述感光性树脂膜进行图案曝光而得到树脂膜的工序；
[0026]
对图案曝光后的所述树脂膜进行显影而得到图案树脂膜的工序；
[0027]
以及对所述图案树脂膜进行加热处理的工序。
[0028]
本发明第三方面提供一种固化膜，由上述感光树脂组合物固化而成，其为图案状的固化物。
[0029]
本发明第四方面提供一种固化膜的应用，上述固化膜应用于有机电致发光元件的绝缘层、像素定义层、平坦化层，或/和半导体器件的表面保护层、绝缘层。
[0030]
与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：本发明感光树脂组合物通过具有式ii结构的可光聚合性单体作为交联剂，配合具有可光聚合性基团的聚酰亚胺树脂前体和光聚合引发剂，从而能够少用甚至不使用(甲基)丙烯酸酯化合物而得到图案固化膜。该感光树脂组合物在实现高曝光灵敏度的同时，显影过程中膜减较小，显影后所得图案分辨率高，无孔底残留。所得固化膜具有高耐热性、耐化学药品性与低逸气性。此外，在采用加热固化温度为小于或等于300℃的低温热固化时得到的聚酰亚胺固化膜，也能够抑制暴露于真空工艺如电极部的蚀刻等时产生的排气，降低而导致腔室被污染的风险。
附图说明
[0031]
图1是本发明实施例1的孔底无残留的光学显微镜图；
[0032]
图2是本发明对比例6的孔底残留的光学显微镜图。
具体实施方式
[0033]
本发明提供感光树脂组合物、固化物及图案固化物的制造方法，以下将结合具体实施方案来说明本发明。需要说明的是，下面的实施例为本发明的示例，仅用来说明本发明，而不用来限制本发明。在不偏离本发明主旨或范围的情况下，可进行本发明构思内的其他组合和各种改良。
[0034]
《感光树脂组合物》
[0035]
本发明第一方面提供一种感光树脂组合物，其包含：
[0036]
(a)具有可光聚合性基团的聚酰亚胺树脂前体、
[0037]
(b)具有2个官能度及以上且含有芳香环的可光聚合性单体、
[0038]
(c)光聚合引发剂、
[0039]
(d)溶剂；
[0040]
所述(b)成分为如下式ii所示结构：
[0041]
式ii中r为o、s或碳原子数在1-60的2-6价的连接基团，r3表示氢原子或碳数为1～8的有机基团，n+p≥2；r4表示氢原子或丙烯酰基、甲基丙烯酰基以及其他碳原子数在10以内的含烯酰基基团。
[0042]
本发明中(a)具有可光聚合性基团的聚酰亚胺树脂前体中聚酰亚胺只要有聚酰亚胺环即可，无特别限定，另外，聚酰亚胺前体只要具有通过脱水闭环而成为具有酰亚胺环的聚酰亚胺结构即可，无特别限定；
[0043]
作为可光聚合性基团，可列举碳碳双键等。
[0044]
本发明中(a)具有可光聚合性基团的聚酰亚胺树脂前体具有下述结构式(i)所示的结构单元：
[0045][0046]
式(i)中，q表示具有2～30个碳原子的四价有机基团，s表示具有2～60个碳原子的二价有机基团，r1表示氢原子或具有1～8个碳原子的一价有机基团(可包含具有丙烯酰基结构的基团)。
[0047]
本发明中(a)具有可光聚合性基团的聚酰亚胺树脂前体由二胺化合物与四羧酸二酐在一定条件下反应得到。
[0048]
优选的，所述具有可光聚合性基团的聚酰亚胺树脂前体结构式(i)中的s表示包含
以下如结构式ia～ih所示的二胺残基中的至少一种：
[0049][0050]
式ia～ih中，r2代表氢原子或碳原子在1～5的烷基、烷氧基及其含氟取代基团，m代表0～2的整数；r3表示氢原子或碳数为1～8的有机基团，r4表示氢原子或丙烯酰基、甲基丙烯酰基以及其他碳原子数在10以内的含烯酰基基团。
[0051]
作为烯酰基，可列举丙烯酰基、甲基丙烯酰基、丁烯酰基、戊烯酰等。
[0052]
本发明中含有式ia～ih所示的二胺化合物形成的感光组合物，可以在小于或等于300℃的低温热固化时得到高度交联的网状结构以及优异耐热性的聚酰亚胺固化膜。
[0053]
所述聚酰亚胺树脂前体结构式(i)中，s表示包含如结构式ia～ih所示的二胺单体的制备方法，包括以含有不饱和乙烯基酰基结构的二羟基化合物、4-氯-硝基苯或4-氟-硝基苯为原料，经亲核取代生成中间产物，再经还原制备感光树脂用二胺单体的步骤；或者，进一步包括以上述经亲核取代生成的中间产物、甲醇钠为原料，经酯碱解得到中间产物，再经还原制备感光树脂用二胺单体的步骤；或者，更进一步包括以上述经酯碱解得到的中间产物、丙烯酰氯为原料，经酰化反应、还原制备感光树脂用二胺单体的步骤。
[0054]
或者，所述聚酰亚胺树脂前体结构式(i)中，s表示包含如结构式ia～ih所示的二胺单体的制备方法，包括以含有不饱和乙烯基酰基结构的羟基化合物、2,4-二硝基氯苯或2,4-二硝基氟苯为原料，经亲核取代生成中间产物，再经还原制备感光树脂用二胺单体的步骤；或者，进一步包括以上述经亲核取代生成的中间产物、甲醇钠为原料，经酯碱解得到中间产物，再经还原制备感光树脂用二胺单体的步骤；或者，更进一步包括以上述经酯碱解得到的中间产物、丙烯酰氯为原料，经酰化反应、还原制备感光树脂用二胺单体的步骤。
[0055]
作为不饱和乙烯基酰基结构，指乙烯基和酰基通过单键连接，可以列举等。
[0056]
本发明中二胺化合物还包含本领域常规二胺化合物，所述常规二胺化合物指可通过市售途径直接购买得到或通过其他途径直接得到，即上述结构式(i)中s表示还包含以下二胺化合物所对应的二胺残基中的一种或多种组合：对苯二胺、间苯二胺、3-羧基间苯二胺、3-羟基间苯二胺联苯胺、4,4
′‑
二氨基二苯基醚、3,4
′‑
二氨基二苯基醚、3,4
′‑
二氨基二苯基砜、4,4
′‑
二氨基二苯基砜、3,4
′‑
二氨基二苯基硫醚、4,4
′‑
二氨基二苯基硫醚、1,4-二(4-氨基苯氧基)苯、二(4-氨基苯氧基苯基)砜、二(3-氨基苯氧基苯基)砜、1,4-二(4-氨基苯氧基)苯、3,3
′‑
二甲基-4，4
′‑
二氨基联苯、2,2
’‑
二甲基-4,4
′‑
二氨基联苯、2,2
′‑
二(三
氟甲基)-4,4
′‑
二氨基联苯、2,2,3,3
′‑
四甲基-4,4
′‑
二氨基联苯、3,3
′
,4,4
′‑
四甲基-4,4
′‑
二氨基联苯、以及环烷基、卤原子取代的上述芳香族化合物所得的产物。
[0057]
进一步从获得聚酰亚胺树脂前体在碱性显影液中的适度溶解性，因此得到曝光区域与未曝光区域的高对比度，形成期望的图案的角度，所述结构式ia～ih中r3优选为氢原子或碳数为1～8的有机基团，r4优选为氢原子，通过向分子结构中引入羟基、羧基或酯基，可增强树脂在碱水性显影液中的溶解性，保证在使用碱水性显影液如tmah aq，naoh aq，na2co3aq等时，未曝光区可以被充分、干净的洗去，减小残留的影响。
[0058]
进一步的，所述聚酰亚胺树脂前体中结构式(i)的s中含不饱和乙烯基酰基或肉桂基的残基片段是树脂产生感光特性的一种基本组分。含不饱和乙烯基酰基或肉桂基的残基片段的二胺占总二胺重复单元总量的5～90mol％。当上述含不饱和乙烯基酰基或肉桂基的残基片段的重复单元占总二胺重复单元总量少于5mol％时，由于树脂中感光基团比例低，导致敏感性下降从而感光特性受到损害且固化后热性能降低；此外，如果含不饱和乙烯基酰基或肉桂基的残基片段的二胺占总二胺重复单元总量的含量超过90mo1％，感光树脂组合物容易因暗光反应而产生凝胶，不利于保存和后期利用。
[0059]
本发明中的四羧酸二酐选择使用本领域常规四羧酸二酐，在本发明中结构不限。
[0060]
为了获得具有优异耐热性的聚酰亚胺树脂前体，优选含有芳香环或芳香杂环的有机基团，即上述结构式(i)中的q表示包含以下四羧酸二酐所对应的二酐残基中的一种或多种组合：均苯四甲酸二酐、3,3',4,4'-联苯四甲酸二酐、2,2',3,3'-联苯四甲酸二酐、2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、3,3',4,4'-四羧酸二苯醚二酐、3,3',4,4'-四羧酸二苯酮二酐、3,3',4,4'-四羧酸二苯磺酰二酐、4,4'-六氟异丙基邻苯二甲酸酐、4,4'-异丙基邻苯二甲酸酐、9,9'-双(3,4-二羧基苯基)芴二酸酐、环丁烷四甲酸二酐、环己烷四甲酸二酐；
[0061]
进一步地，所述聚酰亚胺树脂前体结构式(i)中，r1表示氢原子或碳原子数为1～8的有机基团(特别具有丙烯酰基结构的基团)。r1为氢原子时，该部分为羧基，可增强树脂在碱水性显影液中的溶解性，保证在使用碱水性显影液如tmah aq、naoh aq、na2co
3 aq等时，未曝光区可以被充分、干净的洗去，减小残留的影响。r1为碳原子数为1～8的有机基团时，特别具有丙烯酰基结构时，可增强膜在曝光时的交联密度，降低膜曝光区在显影液中的溶解性，从而抑制显影时的膜厚损失率。另外，从保证未曝光区的溶解性和抑制曝光区的膜厚损失率的角度出发，r1为氢原子的比例占全部重复单元的10％-90％。通过酯化剂控制酯化程度实现聚酰亚胺树脂前体中r1为氢原子或烃基的重复单元。r1为氢原子的比例低于10％时，未曝光区在碱水性显影液中的溶解性难以保证，高于90％时，膜曝光区在显影液中的溶解性过高，从而显影时的膜厚损失率大，不能满足生产要求。
[0062]
本发明中的聚酰亚胺树脂前体，通过凝胶渗透色谱法进行测定，能够通过使用标准聚苯乙烯标准曲线进行换算而求出，优选通过聚苯乙烯换算的重均分子量为10000～100000，更优选为15000～70000，进一步优选为20000～50000。当树脂重均分子量大于10000，则能够充分降低固化后的应力。当树脂重均分子量小于100000，则在溶剂中的溶解性进一步提高，溶液的粘度减小而能够进一步提高涂布操作性。
[0063]
同时，为了更好的调节本发明的聚酰亚胺树脂前体的分子量，可在聚合时加入一定的封端剂，其具体实例可为且不限于以下示例化合物中的一种或多种组合：
[0064]
单官能度的芳香胺：3-氨基苯酚、2-氨基苯酚、4-氨基苯酚、3-氨基苯甲酸、3-氨
基-邻甲基苯酸、3-氨基-间甲基苯酸、4-氨基水杨酸、5-氨基水杨酸、6-氨基水杨酸、1-氨基-8-羟基萘、1-氨基-7-羟基萘、1-氨基-6-羟基萘、1-氨基-5-羟基萘、1-氨基-4-羟基萘、1-氨基-3-羟基萘、1-氨基-2-羟基萘、1-羧基-8-氨基萘、1-羧基-7-氨基萘、1-羧基-6-氨基萘、1-羧基-5-氨基萘、1-羧基-4-氨基萘、1-羧基-3-氨基萘、1-羧基-2-氨基萘、3-氨基-4，6-二羟基嘧啶、5-氨基-8-羟基喹啉、4-氨基-8-羟基喹啉。
[0065]
单官能度的芳香酐：马来酸酐、邻苯二甲酸酐、环己烷二甲酸酐、环己戊烷二甲酸酐等酸酐。
[0066]
单官能度的芳香酸：苯甲酸、邻甲基苯甲酸、间甲基苯甲酸、对甲基苯甲酸2-羧基苯酚、3-羧基苯酚、4-羧基苯酚、2-羧基苯硫酚、3-羧基苯硫酚、4-羧基苯硫酚、羧基萘、2-羟基-萘甲酸、3-羟基-萘甲酸、4-羟基-萘甲酸、5-羟基-萘甲酸、6-羟基-萘甲酸、7-羟基-萘甲酸、8-羟基-萘甲酸、9-羟基-萘甲酸。
[0067]
本发明中所述“(b)具有2个官能度及以上且含有芳香环的可光聚合性单体”是指具有式ii所示结构的含有芳香环的可光聚合性单体，即芳香交联剂。通过含有b组分可在实现高曝光灵敏度的同时，保证固化后膜的高耐热性、耐化学药品性与低逸气性，且孔底无残留。
[0068][0069]
式ii中，r为o、s或碳原子数在1-60的2-6价连接基团，r3表示氢原子或碳数为1～8的有机基团，r4表示氢原子或丙烯酰基、甲基丙烯酰基以及其他碳原子数在10以内的含烯酰基基团，n+p≥2。
[0070]
作为烯酰基，可列举丙烯酰基、甲基丙烯酰基、丁烯酰基、戊烯酰等。
[0071]
优选的，所述(b)成分中r可为下述结构：
[0072][0073]
优选的，所述(b)成分中r3表示氢原子或碳数为1～8的有机基团，r4表示氢原子。当r3或r4表示氢原子时，(b)成分含有羧基、羟基，可增强其在碱水性显影液中的溶解性，曝光后未曝光区的(b)成分可以被充分、干净的洗去，减小显影残留的影响。
[0074]
本发明树脂组合物中(b)成分作为交联剂使用，通过具有上述构成，在保证曝光显影效果的情况下，能够少用甚至不使用(甲基)丙烯酸酯化合物而得到图案固化膜。由此，能够抑制固化反应时产生的排气。此外，在采用加热固化温度为小于或等于300℃的低温热固化时得到的聚酰亚胺固化膜，也能够抑制暴露于真空工艺如电极部的蚀刻等时产生的排气，降低而导致腔室被污染的风险。
[0075]
作为上述(b)成分的含量，从在显影液中的溶解性和所得到的固化膜的耐热性的观点考虑，相对于(a)成分100质量份优选为1～40质量份，进一步优选为1～20质量份。
[0076]
进一步，本发明中所述(c)成分“光聚合引发剂”是指通过活性光线如激光、紫外线、x射线、电子束等的照射产生自由基的化合物。可列举以下化合物：二苯甲酮、n,n
’‑
四甲基-4,4
’‑
二氨基二苯甲酮等芳香族酮化合物；烷基蒽醌等与芳香环缩环而成的醌类、苯偶姻烷基醚等苯偶姻醚化合物；肟酯化合物；苯偶酰二甲基缩酮等苯偶酰衍生物等。
[0077]
其中，从灵敏度优异、获得良好的图案角度考虑，优选肟酯化合物，具体可举出如下例子：basf生产的“irgacure oxe-01”(式iii-1)，“irgacure oxe 02”(式iii-2)，daito chemix生产的dfi-091(式iii-3)等，
[0078]
[0079]
其中(c)成分的含量，相对于(a)聚酰亚胺前体100质量份优选为0.01～30质量份，更优选为0.1～20质量份，进一步优选为1～20质量份。当(c)成分的添加量大于或等于0.01质量份时，则曝光部的交联可以更加充分地进行，组合物的感光度、分辨率、残膜率等感光特性变得更加良好，当(c)成分的添加量小于或等于30质量份时，则能够使固化后膜内光聚合引发剂残留少，所得到的固化膜具有更加良好的耐热性与低逸气性。此外，以上“光聚合引发剂”可以单独使用也可以组合两种以上使用。
[0080]
进一步，本发明还含有(d)成分溶剂，从聚酰亚胺树脂前体的溶解来考虑，优选极性溶剂，可列举以下溶剂：n-甲基-2-吡咯烷酮、n,n-二甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺、二甲基亚砜、四甲基脲、3-甲氧基丁醇、γ-丁内酯、3-甲氧基丁醇醋酸酯、δ-戊内酯、γ-戊内酯、环己酮、环戊酮、丙二醇单甲基醚乙酸酯、乳酸乙酯、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮等。其中优选γ-丁内酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、3-甲氧基丁醇、3-甲氧基丁醇醋酸酯、乳酸乙酯，它们可以单独使用，也可以组合两种以上使用。本发明的感光树脂组合物中的(d)成分的含量没有特别限制，相对于(a)成分100质量份优选为50～2000质量份，进一步为200～2000质量份，更优选为300～2000质量份。
[0081]
本发明中也可以包含(甲基)丙烯酸酯化合物(作为可光聚合的不饱和单体e成分)，用于补充提高聚合反应的灵敏度。但从抑制固化反应过程与固化后膜再次受热产生的排气的角度，(甲基)丙烯酸酯化合物占所有“光聚合性单体”总量优选至40％以下，更优选20％以下。“光聚合性单体”指感光树脂组合物中的(b)和(e)成分。(甲基)丙烯酸酯化合物可列举乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、2-甲基-1,8-辛二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯，季戊四醇四丙烯酸醋，季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、聚二季戊四醇六丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、二(三羟甲基丙烷)四(甲基)丙烯酸酯以及用环氧烷烃进行了改性的三羟甲基丙烷的三甲基丙烯酸酯或三丙烯酸酯、双三羟甲基丙烷四甲基丙烯酸酯、双三羟甲基丙烷四丙烯酸酯以及双酚a型丙烯酸酯等。
[0082]
此外，基于提高感光树脂组合物的保存性，抑制暗光反应的角度，可以向本发明的感光树脂组合物中加入自由基聚合阻聚剂。作为自由基聚合阻聚剂，可列举出例如对甲氧基苯酚、对苯二酚、间苯二酚、联苯三酚、萘胺、叔丁基邻苯二酚、菲醌、2,6-二叔丁基对甲酚、邻二硝基苯、对二硝基苯、间二硝基苯、2,2
′‑
亚甲基双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,2
′‑
亚甲基双(4-乙基-6-叔丁基苯酚)、亚硝基苯基羟胺铝盐、二苯基亚硝基胺等。这些自由基聚合阻聚剂可以单独使用，也可以两种以上组合使用。自由基聚合阻聚剂在感光树脂组合物中的含量相对于(a)成分100质量份优选为0.01～10质量份，更优选为0.1～1质量份。自由基阻聚剂的含量相对于(a)成分100质量份优选为0.01～10质量份范围内，则能同时不明显抑制感光树脂的光交联性能并确保感光树脂组合物的保存稳定性。
[0083]
为改善树脂成膜与基底的粘附性、成膜性，本发明提供的感光树脂组合物中还可以包括粘合促进剂以及表面活性剂。其中粘合促进剂优选为硅烷类耦合剂，
[0084]
如γ-氨基丙基三甲氧基硅烷、γ-氨基丙基三乙氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、
乙烯基三甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷中的一种或几种，但非限于此。粘合促进剂的添加量相对于(a)成分100质量份为0.3-20质量份。所选用表面活性剂为含氟类表面活性剂、含硅类表面活性剂、丙烯酸酯类表面活性剂、酯类、酮类试剂，表面活性剂的添加量相对于聚合物总质量的0.0003至0.05。
[0085]
《图案固化膜的制备》
[0086]
本发明第二方面提供一种图案固化膜的制备方法，包括涂布成膜、干燥、曝光、显影、热处理的步骤。具体为：
[0087]
第一，在玻璃、硅片等平滑整齐的基板上，可采用旋转涂布、喷涂、辊涂、狭缝涂布、丝网印刷等，依据涂布方式以及所使用组合物的成分、粘度、固含量等的不同，干燥后的薄膜厚度通常在0.1-30μm。而刚涂布后的膜干燥可使用烘箱、热板、红外炉等，在40-150℃干燥数分钟至数小时；
[0088]
第二，干燥后的基板以光化射线通过掩模版遮挡对其进行照射，从而对感光层曝光区域进行光固化。这里所述的光化射线包括电磁波和粒子束流，例如紫外线，x射线，电子束，辐射射线和离子束。光源没有特别限定，可以使用例如低压汞灯，高压汞灯，超高压汞灯，氛灯，碳棒弧光灯或金属卤化物灯。也可以不使用掩模版，直接激光照射进行曝光。
[0089]
第三，曝光后的基板在显影液进行显影，在显影液中溶去未曝光部分，以形成图案化。显影液可以使用极性有机溶剂例如n,n-二甲基甲酰胺，n,n-二甲基乙酰胺，n-甲基吡咯烷酮，γ-丁内酯等以及他们与水混合的溶剂，但从环保角度，更优选碱性水溶液做显影液。所选用的碱性水溶液显影剂包括但不限于四甲基氢氧化铵、三乙胺、二乙醇胺、二甲氨基乙醇、乙二胺、环己胺、己二胺、二乙氨基乙醇、甲胺、二甲胺等的水溶液，其中进一步优选为2.38wt％的四甲基氢氧化铵的水溶液。显影方式可以采用将显影液直接或雾状喷淋在涂膜面，或者在显影液中浸泡等进行。显影时间根据膜厚的不同，控制在5s至600s，优选为5s至300s。显影后的膜，在使用碱水溶液作为显影液的情况下，优选使用水作为漂洗剂对得到的图案化薄膜进行清洗，做定影处理。
[0090]
第四，对显影后的薄膜进行热处理，具体为：将显影后的薄膜在固化炉中进行热处理使组合物完全转化为耐热的薄膜。热处理温度优选100℃～400℃；进一步优选150℃～300℃；特别优选150℃～250℃。热处理时间控制在10min至数小时，进一步优选为30分钟以上，300分钟以下；特别优选为30分钟以上，200分钟以下。同时可以多阶段进行热处理，如于150℃使其热固化30分钟，接着于250℃使其热固化30分钟。
[0091]
《固化膜》
[0092]
本发明第三方面提供一种固化膜，由本发明的感光树脂组合物固化而成的固化膜。固化膜优选为图案状的固化物。
[0093]
《固化膜的应用》
[0094]
本发明第四方面提供一种固化膜的应用，所述固化膜应用于有机电致发光元件的绝缘层、像素定义层、平坦化层，或/和半导体器件的表面保护层、绝缘层。
[0095]
通过下面的实施例可以更好地理解本发明的上述及其他优点，但是以下实施例并非用于限制本发明的范围。
[0096]
实施例中的相关缩写化学成分如下：
[0097]
b-1：二乙二醇二甲基丙烯酸酯
[0098]
b-2：丙二醇二甲基丙烯酸酯
[0099]
e-1：三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯
[0100]
e-2：1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯
[0101]
上述化合物均通过市售方式获得。
[0102]
《单体的合成》
[0103]
合成例1
[0104]
5,7-二(4-胺基苯基氧)-香豆素(化合物a)的合成
[0105][0106]
在干燥氮气流保护下，将5,7-二羟基-香豆素(20g,112.3mmol)溶解于300mln,n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，并加入4-氟-硝基苯(31.6g,224.5mmol),碳酸钾(46.6g,336.8mmol)。50℃反应10h，倒入水中，乙酸乙酯萃取，浓缩有机相，得到硝基化合物。
[0107]
将得到的5,7-二(4-硝基苯基氧)-香豆素溶解于500ml甲醇中，加入0.2g 10wt％的pd/c，升温至50℃，持续通入氢气，搅拌反应24h，过滤掉pd/c，浓缩滤液，重结晶得到5,7-二(4-胺基苯基氧)-香豆素(化合物a)。
[0108]
合成例2
[0109]
2-羟基-3,6-二(4-胺基苯基氧)-肉桂酸甲酯(化合物b)的合成
[0110][0111]
在干燥氮气流保护下，将5,7-二(4-硝基苯基氧)-香豆素(20g,47.1mmol)溶解于300ml n,n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，并加入甲醇钠(3.9g,71.4mmol)。80℃反应16h后，用稀盐酸调ph至5，倒入水中，乙酸乙酯萃取，浓缩有机相，得到硝基化合物。
[0112]
将得到的1-羟基-3,6-二(4-硝基苯基氧)-肉桂酸甲酯溶解于500ml丙二醇甲醚中，加入0.2g 10wt％的pd/c，升温至50℃，持续通入氢气，搅拌反应24h，过滤掉pd/c，浓缩滤液，重结晶得到2-羟基-3,6-二(4-胺基苯基氧)-肉桂酸甲酯(化合物b)。
[0113]
合成例3
[0114]
2-丙烯酰氧基-3,6-二(4-胺基苯基氧)-肉桂酸甲酯(化合物c)的合成
[0115][0116]
在干燥氮气流保护下，将2-羟基-3,6-二(4-硝基苯基氧)-肉桂酸甲酯(20g,44.2mmol)溶解于n，n-二甲基甲酰胺(dmf)中，并加入丙烯酰氯8g,三乙胺5ml。50℃反应10h，倒入水中，乙酸乙酯萃取，浓缩有机相，得到硝基化合物。
[0117]
将得到的2-丙烯酰氧基-3,6-二(4-硝基苯基氧)-肉桂酸甲酯溶解于500ml丙酮中，加入0.2g 10wt％的pd/c，升温至50℃，持续通入氢气，搅拌反应24h，过滤掉pd/c，浓缩滤液，重结晶得到2-丙烯酰氧基-3,6-二(4-胺基苯基氧)-肉桂酸甲酯(化合物c)。
[0118]
《可光聚合性单体的合成》
[0119]
合成例4
[0120][0121]
将1,1,1-三(4-羟基苯基)乙烷(2.4g，7.8mmol)、n,n-二甲基甲酰胺(7.3g)、三氯氧磷(12g)进行维尔斯迈尔-哈克反应，反应时间1-3h,于冰水中沉降，过滤干燥得到1,1,1-三(4-羟基,3-醛基苯基)乙烷；
[0122][0123]
向膦酰基乙酸三甲酯(5.1g，28mmol，)和叔丁醇钾(3.91g，34.9mmol，)的无水thf(100ml)中，滴加加入含有1,1,1-三(4-羟基,3-醛基苯基)乙烷(2.73g，7mmol)的thf(100ml)溶液超过15分钟。搅拌所得悬浮液,从0℃升温至50℃反应12h。减压蒸发溶剂，残余物用水(50ml)稀释。水层用etoac萃取，合并的有机层用纯水洗涤数次后，浓缩，干燥得混合物芳香交联剂d，n+p＝3。
[0124]
合成例5
[0125][0126]
向加有合成例4得到的芳香交联剂d(10g)与2ml的无水thf(80ml)中，滴加含有丙烯酰氯(0.5g)的thf(5ml)溶液。搅拌溶液，从0℃升温至30℃反应12h。减压蒸发溶剂，残余
物用水(50ml)稀释。水层用etoac萃取，合并的有机层用纯水洗涤数次后，浓缩，干燥得混合物芳香交联剂e，其中p＝s+t，n+p＝3。
[0127]
合成例6
[0128][0129]
将4，4
’‑
羟基二苯醚(1.62g，8mmol)、n,n-二甲基甲酰胺(5.8g)、三氯氧磷(10g)进行维尔斯迈尔-哈克反应，反应时间1-3h,于冰水中沉降，过滤干燥得到3,3
’‑
醛基4，4
’‑
羟基二苯醚；
[0130][0131]
向膦酰基乙酸三甲酯(2.55g，14mmol，)和叔丁醇钾(1.95g，17.4mmol，)的无水thf(60ml)中，滴加加入3,3
’‑
醛基4，4
’‑
羟基二苯醚(1.81g，7mmol)的溶液thf(60ml)超过15分钟。搅拌所得悬浮液,从0℃升温至50℃反应12h。减压蒸发溶剂，残余物用水(50ml)稀释。水层用etoac萃取，合并的有机层用纯水洗涤数次后，浓缩，干燥得混合物芳香交联剂f，其中n+p＝2。
[0132]
《聚酰亚胺树脂前体的合成》
[0133]
制备例1：制备聚酰亚胺树脂前体a1
[0134]
在干燥的氮气气流下，将化合物a(1.80g,5mmol)，4,4'-二氨基二苯醚(0.80g,4mmo1)、二(4-胺基苯基)四甲基二硅氧烷(0.32g,1mmol)、六氟异丙基邻苯二甲酸酐(2.66g,6mmo1)、环丁烷四甲酸酐(0.59g,3mmol)、马来酸酐(0.196g,2mmol)溶于50g的n，n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，室温下搅拌24小时。接着将溶液倒入2升乙醇中，过滤收集聚合物固体沉淀。在60℃的真空干燥烘箱中将聚合物固体干燥24小时，将其作为聚酰亚胺树脂前体a1。
[0135]
制备例2：制备聚酰亚胺树脂前体a2
[0136]
在干燥的氮气气流下，将化合物a(1.80g,5mmol)，4,4'-二氨基二苯醚(0.80g,4mmo1)、二(4-胺基苯基)四甲基二硅氧烷(0.32g,1mmol)、六氟异丙基邻苯二甲酸酐(2.66g,6mmo1)、环丁烷四甲酸酐(0.59g,3mmol)、马来酸酐(0.196g,2mmol)溶于50g的n，n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，室温下搅拌24小时，再升温至50℃，滴加入n,n-二甲基甲酰胺二甲基缩醛(1.19g,10mmol)，反应5h。接着将溶液倒入2升乙醇中，过滤收集聚合物固体沉淀。在60℃的真空干燥烘箱中将聚合物固体干燥24小时，将其作为聚酰亚胺树脂前体a2。
[0137]
制备例3：制备聚酰亚胺树脂前体a3
[0138]
在干燥的氮气气流下，将化合物a(0.36g,1mmol)，4,4'-二氨基二苯醚(1.60g,8mmo1)、二(4-胺基苯基)四甲基二硅氧烷(0.32g,1mmol)、六氟异丙基邻苯二甲酸酐(2.66g,6mmo1)、环丁烷四甲酸酐(0.59g,3mmol)、马来酸酐(0.196g,2mmol)溶于50g的n，n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，室温下搅拌24小时，再加入6mmol的乙酸酐与6mmol吡啶，反应6h。接着将溶液倒入2升乙醇中，过滤收集聚合物固体沉淀。在60℃的真空干燥烘箱中将聚合物
固体干燥24小时，将其作为聚酰亚胺树脂前体a3。
[0139]
制备例4：制备聚酰亚胺树脂前体a4
[0140]
在干燥的氮气气流下，将化合物a(1.80g,5mmol)，双(3-胺基-4-羟基苯基)砜(1.12g,4mmo1)、二(4-胺基苯基)四甲基二硅氧烷(0.32g,1mmol)、六氟异丙基邻苯二甲酸酐(2.66g,6mmo1)、环丁烷四甲酸酐(0.59g,3mmol)、马来酸酐(0.196g,2mmol)溶于50g的n，n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，室温下搅拌24小时，再升温至100℃，反应6h。接着将溶液倒入2升乙醇中，过滤收集聚合物固体沉淀。在60℃的真空干燥烘箱中将聚合物固体干燥24小时，将其作为聚酰亚胺树脂前体a4。
[0141]
制备例5：制备聚酰亚胺树脂前体a5
[0142]
在干燥的氮气气流下，将化合物b(2.55g,6.5mmol)，4,4'-二氨基二苯醚(1.04g,5.2mmo1)、二(4-胺基苯基)四甲基二硅氧烷(0.42g,1.3mmol)、六氟异丙基邻苯二甲酸酐(3.46g,7.8mmo1)、环丁烷四甲酸酐(0.77g,3.9mmol)、马来酸酐(0.25g,2.6mmol)溶于50g的n，n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，室温下搅拌24小时。接着将溶液倒入2升乙醇中，过滤收集聚合物固体沉淀。在60℃的真空干燥烘箱中将聚合物固体干燥24小时，将其作为聚酰亚胺树脂前体a5。
[0143]
制备例6：制备聚酰亚胺树脂前体a6
[0144]
在干燥的氮气气流下，将化合物b(4.59g,11.7mmol)、二(4-胺基苯基)四甲基二硅氧烷(0.42g,1.3mmol)、六氟异丙基邻苯二甲酸酐(3.46g,7.8mmo1)、环丁烷四甲酸酐(0.77g,3.9mmol)、马来酸酐(0.25g,2.6mmol)溶于50g的n，n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，室温下搅拌24小时，再升温至50℃，滴加入n,n-二甲基甲酰胺二甲基缩醛(1.67g,14mmol)，反应5h。接着将溶液倒入2升乙醇中，过滤收集聚合物固体沉淀。在60℃的真空干燥烘箱中将聚合物固体干燥24小时，将其作为聚酰亚胺树脂前体a6。
[0145]
制备例7：制备聚酰亚胺树脂前体a7
[0146]
在干燥的氮气气流下，将化合物b(2.55g,6.5mmol)，4,4'-二氨基二苯醚(1.04g,5.2mmo1)、二(4-胺基苯基)四甲基二硅氧烷(0.42g,1.3mmol)、六氟异丙基邻苯二甲酸酐(3.46g,7.8mmo1)、环丁烷四甲酸酐(0.77g,3.9mmol)、马来酸酐(0.25g,2.6mmol)溶于50g的n，n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，室温下搅拌24小时，再加入7.8mmol乙酸酐与7.8mmol吡啶，反应6h。接着将溶液倒入2升乙醇中，过滤收集聚合物固体沉淀。在60℃的真空干燥烘箱中将聚合物固体干燥24小时，将其作为聚酰亚胺树脂前体a7。
[0147]
制备例8：制备聚酰亚胺树脂前体a8
[0148]
在干燥的氮气气流下，将化合物b(2.55g,6.5mmol)，双(3-胺基-4-羟基苯基)砜(1.46g,5.2mmo1)、二(4-胺基苯基)四甲基二硅氧烷(0.42g,1.3mmol)、六氟异丙基邻苯二甲酸酐(3.46g,7.8mmo1)、环丁烷四甲酸酐(0.77g,3.9mmol)、马来酸酐(0.25g,2.6mmol)溶于50g的n，n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，室温下搅拌24小时，再升温至100℃，反应6h。接着将溶液倒入2升乙醇中，过滤收集聚合物固体沉淀。在60℃的真空干燥烘箱中将聚合物固体干燥24小时，将其作为聚酰亚胺树脂前体a8。
[0149]
制备例9：制备聚酰亚胺树脂前体a9
[0150]
在干燥的氮气气流下，将化合物c(2.23g,5mmol)，4,4'-二氨基二苯醚(0.80g,4mmo1)、二(4-胺基苯基)四甲基二硅氧烷(0.32g,1mmol)、六氟异丙基邻苯二甲酸酐
(2.66g,6mmo1)、环丁烷四甲酸酐(0.59g,3mmol)、马来酸酐(0.196g,2mmol)溶于50g的n，n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，室温下搅拌24小时。接着将溶液倒入2升乙醇中，过滤收集聚合物固体沉淀。在60℃的真空干燥烘箱中将聚合物固体干燥24小时，将其作为聚酰亚胺树脂前体a9。
[0151]
制备例10：制备聚酰亚胺树脂前体a10
[0152]
在干燥的氮气气流下，将化合物c(2.23g,5mmol)，4,4'-二氨基二苯醚(0.80g,4mmo1)、二(4-胺基苯基)四甲基二硅氧烷(0.32g,1mmol)、六氟异丙基邻苯二甲酸酐(2.66g,6mmo1)、环丁烷四甲酸酐(0.59g,3mmol)、马来酸酐(0.196g,2mmol)溶于50g的n，n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，室温下搅拌24小时，再升温至50℃，滴加入n,n-二甲基甲酰胺二甲基缩醛(1.19g,10mol)，反应5h。接着将溶液倒入2升乙醇中，过滤收集聚合物固体沉淀。在60℃的真空干燥烘箱中将聚合物固体干燥24小时，将其作为聚酰亚胺树脂前体a10。
[0153]
制备例11：制备聚酰亚胺树脂前体a11
[0154]
在干燥的氮气气流下，将化合物c(2.23g,5mmol)，4,4'-二氨基二苯醚(0.80g,4mmo1)、二(4-胺基苯基)四甲基二硅氧烷(0.32g,1mmol)、六氟异丙基邻苯二甲酸酐(2.66g,6mmo1)、环丁烷四甲酸酐(0.59g,3mmol)、马来酸酐(0.196g,2mmol)溶于50g的n，n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，室温下搅拌24小时，再加入1mmol乙酸酐与1mmol吡啶，反应6h。接着将溶液倒入2升乙醇中，过滤收集聚合物固体沉淀。在60℃的真空干燥烘箱中将聚合物固体干燥24小时，将其作为聚酰亚胺树脂前体a11。
[0155]
制备例12：制备聚酰亚胺树脂前体a12
[0156]
在干燥的氮气气流下，将化合物c(2.23g,5mmol)，双(3-胺基-4-羟基苯基)砜(1.12g,4mmo1)、二(4-胺基苯基)四甲基二硅氧烷(0.32g,1mmol)、六氟异丙基邻苯二甲酸酐(2.66g,6mmo1)、环丁烷四甲酸酐(0.59g,3mmol)、马来酸酐(0.196g,2mmol)溶于50g的n，n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，室温下搅拌24小时，再升温至150℃，反应6h。接着将溶液倒入2升乙醇中，过滤收集聚合物固体沉淀。在60℃的真空干燥烘箱中将聚合物固体干燥24小时，将其作为聚酰亚胺树脂前体a12。
[0157]
制备例13：制备聚酰亚胺树脂前体a13
[0158]
在干燥的氮气气流下，将4,4'-二氨基二苯醚(1.80g,9mmo1)、二(4-胺基苯基)四甲基二硅氧烷(0.32g,1mmol)、六氟异丙基邻苯二甲酸酐(2.66g,6mmo1)、环丁烷四甲酸酐(0.59g,3mmol)、马来酸酐(0.196g,2mmol)溶于50g的n，n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，室温下搅拌24小时。接着将溶液倒入2升乙醇中，过滤收集聚合物固体沉淀。在60℃的真空干燥烘箱中将聚合物固体干燥24小时，将其作为聚酰亚胺树脂前体a13。
[0159]
制备例14：制备聚酰亚胺树脂前体a14
[0160]
在干燥的氮气气流下，将4,4'-二氨基二苯醚(1.80g,9mmo1)、二(4-胺基苯基)四甲基二硅氧烷(0.32g,1mmol)、六氟异丙基邻苯二甲酸酐(2.66g,6mmo1)、环丁烷四甲酸酐(0.59g,3mmol)、马来酸酐(0.196g,2mmol)溶于50g的n，n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，室温下搅拌24小时，再升温至50℃，滴加入n,n-二甲基甲酰胺二甲基缩醛(1.19g,10mol)，反应5h。接着将溶液倒入2升乙醇中，过滤收集聚合物固体沉淀。在60℃的真空干燥烘箱中将聚合物固体干燥24小时，将其作为聚酰亚胺树脂前体a14。
[0161]
制备例15：制备聚酰亚胺树脂前体a15
[0162]
在干燥的氮气气流下，将4,4'-二氨基二苯醚(1.80g,9mmo1)、二(4-胺基苯基)四甲基二硅氧烷(0.32g,1mmol)、六氟异丙基邻苯二甲酸酐(2.66g,6mmo1)、环丁烷四甲酸酐(0.59g,3mmol)、马来酸酐(0.196g,2mmol)溶于50g的n，n-二甲基吡咯烷酮(nmp)中，室温下搅拌24小时，再加入1mmol乙酸酐与1mmol吡啶，反应6h。接着将溶液倒入2升乙醇中，过滤收集聚合物固体沉淀。在60℃的真空干燥烘箱中将聚合物固体干燥24小时，将其作为聚酰亚胺树脂前体a15。
[0163]
《感光树脂组合物》
[0164]
实施例1
[0165]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a1，0.8g芳香交联剂d(作为可光聚合性单体b)，0.2g三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(作为可光聚合的不饱和单体e-1)，0.04g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0166]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0167]
实施例2
[0168]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a2，1.2g芳香交联剂d(作为可光聚合性单体b)，0.3g 1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯(作为可光聚合的不饱和单体e-2)，0.048g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0169]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0170]
实施例3
[0171]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a3，0.8g芳香交联剂e(作为可光聚合性单体b)，0.2g三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(作为可光聚合的不饱和单体e-1)，0.032g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0172]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理
后图案化的薄膜。
[0173]
实施例4
[0174]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a4，0.9g芳香交联剂f(作为可光聚合性单体b)，0.2g三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(作为可光聚合的不饱和单体e-1)，0.04g oxe-01(作为聚合光引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0175]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0176]
实施例5
[0177]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a5，1.50g芳香交联剂d(作为可光聚合性单体b)，0.2g 1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯(作为可光聚合的不饱和单体e-2)，0.032g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0178]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0179]
实施例6
[0180]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a6，0.7g芳香交联剂e(作为可光聚合性单体b)，0.4g三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(作为可光聚合的不饱和单体e-1)，0.032g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0181]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0182]
实施例7
[0183]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a7，1.0g芳香交联剂e(作为可光聚合性单体b)，0.032g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0184]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0185]
实施例8
[0186]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a8，0.7g芳香交联剂f(作为可光聚合性单体b)，0.3g三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(作为可光聚合的不饱和单体e-1)，0.04g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0187]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0188]
实施例9
[0189]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a9，1.0g芳香交联剂d(作为可光聚合性单体b)，0.4g三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(作为可光聚合的不饱和单体e-1)，0.04g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0190]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0191]
实施例10
[0192]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a10，0.8g芳香交联剂e(作为可光聚合性单体b)，0.2g三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(作为可光聚合的不饱和单体e-1)，0.048g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0193]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0194]
实施例11
[0195]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a11，0.9g芳香交联剂f(作为可光聚合性单体b)，0.04g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0196]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0197]
实施例12
[0198]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a12，0.7g芳香交联剂f(作为可光聚合性单体b)，0.3g 1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯(作为可光聚合的不饱和单体e-2),0.04g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0199]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0200]
对比例1
[0201]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a13，0.8g芳香交联剂d(作为可光聚合性单体b)，0.2g三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(作为可光聚合的不饱和单体e-1),0.04g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0202]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0203]
对比例2
[0204]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a14，1.0g芳香交联剂e(作为可光聚合性单体b)，0.2g三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(作为可光聚合的不饱和单体e-1),0.04g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0205]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下
进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0206]
对比例3
[0207]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a15，0.8g芳香交联剂f(作为可光聚合性单体b)，0.3g三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(作为可光聚合的不饱和单体e-1),0.04g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0208]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0209]
对比例4
[0210]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a1，0.2g三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(作为可光聚合的不饱和单体e-1)，0.04g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0211]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0212]
对比例5
[0213]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a5，0.4g三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(作为可光聚合的不饱和单体e-1)，0.04g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0214]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0215]
对比例6
[0216]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a5，1.0g二乙二醇二甲基丙烯酸酯(作为可光聚合性单体b)，0.2g三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(作为可光聚合的不饱和单体e-1),0.04g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混
合均匀，得到感光树脂组合物。
[0217]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0218]
对比例7
[0219]
以15gγ-丁内酯和25g乳酸乙酯作为溶剂，向其中加入4.00g聚酰亚胺树脂前体a9，0.8g丙二醇二甲基丙烯酸酯(作为可光聚合性单体b)，0.2g三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(作为可聚合的不饱和单体e-1),0.04g oxe-01(作为光聚合引发剂c)，0.04g叔丁基邻苯二酚(作为自由基聚合阻聚剂)，0.16g乙烯基三甲氧基硅烷(作为粘合促进剂)，搅拌混合均匀，得到感光树脂组合物。
[0220]
所得感光树脂组合物过滤后，通过旋转涂布的方法涂布于6英寸的玻璃基底上，再于120℃下干燥120s得到干燥的涂层。接着，得到的涂层通过使用高压汞灯在掩模版遮挡下进行曝光，随后在2.38wt％的四甲基氢氧化铵(tmah)中浸泡进行显影60s，用水进行清洗30s。接着在氮气保护的烘箱中，经过150℃处理0.5h，250℃处理0.5h进行固化，得到热处理后图案化的薄膜。
[0221]
按照下述评价方法评价实施例1-12、对照例1-7所得感光树脂组合物，得到如表1所示结果。
[0222]
《感光树脂组合物评价方法》
[0223]
(1)显影时膜损速率评价
[0224]
将所得感光树脂组合物膜经前述的涂布、曝光后，用椭偏仪测量曝光区膜厚在2.38％tmah(四甲基氢氧化铵)中浸泡60s后的变化，以显影前的膜厚减去显影后的膜厚的差值作为显影时的膜损速率，以膜损速率＜0.5μm/min为优，以膜损速率在0.5μm/min～0.7μm/min为良，以膜损速率》0.7μm/min为劣。
[0225]
(2)解析度评价
[0226]
所得感光树脂组合物膜经前述的曝光、显影、清洗后，用sem检测刻蚀线条状态，以宽度小于10μm的线条仍能被清楚刻蚀，无弯曲，无缺陷为优；以宽度在10～20μm的线条能被清楚刻蚀，无弯曲，无缺陷为良；以只有宽度在20μm以上的线条能被清楚刻蚀，无弯曲，无缺陷为劣。
[0227]
(3)孔底残留评价
[0228]
孔底残留是显影的区域未显影干净，将所得感光树脂组合物膜经前述的曝光、显影、清洗后，用光学显微镜观察，孔底无残留为优，孔底残留边距相对于孔尺寸的比例在0.1以下为良，孔底残留边距相对于孔尺寸的比例在0.1以上为劣。
[0229]
(4)耐碱性评价
[0230]
将所得感光树脂组合物直接干燥、固化处理得到无图案化的薄膜，取具有5cm*5cm薄膜的玻璃片，浸泡在0.1n的氢氧化钠水溶液中，于100℃，2个大气压下，进行处理10个小时，随后检查涂层的表面图案情况。
[0231]
(5)耐酸性评价
[0232]
将所得感光树脂组合物直接干燥、固化处理得到无图案化的薄膜，取具有5cm*5cm薄膜的玻璃片，浸泡在0.1n的氯化氢水溶液中，进行处理10个小时，随后检查涂层的表面图案情况。
[0233]
(6)耐有机溶剂性
[0234]
将热处理后具有图案涂层的玻璃片，浸泡在二甲基亚砜中，于50℃下，进行处理10个小时，随后检查涂层的表面图案情况。
[0235]
(7)热稳定性
[0236]
将所得感光树脂组合物直接干燥、固化处理得到无图案化的薄膜，取少量薄膜样品用热失重分析仪(tga)，测定样品的1％热失重温度(t
d1
)。
[0237]
(8)逸气性评价
[0238]
将所得感光树脂组合物直接干燥、固化处理得到无图案化的薄膜，取1.6μm的薄膜，裁成5mm*50mm的干净样条，置于tga中，从室温升温至250℃，保温30min，测定并计算在这30min内，样品的单位面积失重重量，以小于50ng/cm2为优，以50～70ng/cm2为良，以大于70ng/cm2为劣。
[0239]
表1
[0240][0241]
(b)a、(c)a代表组分添加量相对聚酰亚胺树脂前体重量的百分数(e)a代表组分添加量占所有光聚合性单体总量的百分数。

技术特征：
1.一种感光树脂组合物，其特征在于，其包含如下成分：(a)具有可光聚合性基团的聚酰亚胺树脂前体、(b)具有2个官能度及以上且含有芳香环的可光聚合性单体、(c)光聚合引发剂、(d)溶剂；所述(b)成分为如下式ii所示结构：式ii中r为o、s或碳原子数在1-60的2-6价的连接基团，r3表示氢原子或碳数为1～8的有机基团，r4表示氢原子或丙烯酰基、甲基丙烯酰基以及其他碳原子数在10以内的含烯酰基基团，n+p≥2。2.一种根据权利要求1所述的感光树脂组合物，其特征在于，所述(a)成分为具有下述结构式(i)所示结构单元的聚酰亚胺树脂前体：或/和或/和式(i)中，q表示碳原子数2～30的四价有机基团，s表示碳原子数2～60的二价有机基团，r1表示氢原子或碳数为1～8的一价有机基团。3.一种根据权利要求2所述的感光树脂组合物，其特征在于，所述结构式(i)中的s表示包含以下结构式ia～ih所示的二胺残基结构中的至少一种：式ia～ih中，r2代表氢原子或碳原子在1～5的烷基、烷氧基及其含氟取代基团，m代表0～2的整数；r3表示氢原子或碳数为1～8的有机基团，r4表示氢原子或丙烯酰基、甲基丙烯酰基以及其他碳原子数在10以内的含烯酰基基团。4.一种根据权利要求1或2所述的感光树脂组合物，其特征在于，所述(b)成分中r为下述结构ⅱ1～ⅱ30中的一种：
5.一种根据权利要求1或2所述的感光树脂组合物，其特征在于，所述(b)成分中r3表示氢原子或碳数为1～8的有机基团，r4表示氢原子。6.一种根据权利要求2所述的感光树脂组合物，其特征在于，所述结构式(i)中的q表示包含以下四羧酸二酐所对应的二酐残基中的一种或多种组合：均苯四甲酸二酐、3,3',4,4'-联苯四甲酸二酐、2,2',3,3'-联苯四甲酸二酐、2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、3,3',4,4'-四羧酸二苯醚二酐、3,3',4,4'-四羧酸二苯酮二酐、3,3',4,4'-四羧酸二苯磺酰二酐、4,4'-六氟异丙基邻苯二甲酸酐、4,4'-异丙基邻苯二甲酸酐、9,9'-双(3,4-二羧基苯基)芴二酸酐、环丁烷四甲酸二酐、环己烷四甲酸二酐。7.一种根据权利要求1或2所述的感光树脂组合物，其特征在于，所述(b)成分可光聚合性单体的含量相对于(a)成分100质量份为1～40质量份；(c)成分光聚合引发剂的含量相对于(a)成分100质量份为0.01～30质量份。8.一种图案固化膜的制造方法，其特征在于，包含如下工序：将权利要求1～7中任一项所述的感光树脂组合物涂布于基板上并干燥而形成感光性树脂膜的工序；对所述感光性树脂膜进行图案曝光而得到树脂膜的工序；对图案曝光后的所述树脂膜进行显影而得到图案树脂膜的工序；以及对所述图案树脂膜进行加热处理的工序。9.一种固化膜，其特征在于，由权利要求1～7中任一项所述的感光树脂组合物固化而成，其为图案状的固化物。10.一种根据权利要求9所述的固化膜的应用，其特征在于，所述固化膜应用于有机电致发光元件的绝缘层、像素定义层、平坦化层，或/和半导体器件的表面保护层、绝缘层。

技术总结
本发明公开了感光树脂组合物、图案固化膜的制造方法、固化膜及其应用。该感光树脂组合物包含：(A)具有可光聚合性基团的聚酰亚胺树脂前体、(B)具有2个官能度及以上且含有芳香环的可光聚合性单体、(C)光聚合引发剂和(D)溶剂；所述(B)成分为如下式II所示结构：式II中R为O、S或碳原子数在1-60的2-6价的连接基团，R3表示氢原子或碳数为1-8的有机基团，R4表示氢原子或丙烯酰基、甲基丙烯酰基以及其他碳原子数在10以内的含烯酰基基团，n+p≥2。该感光树脂组合物具有高敏感度，显影过程中膜减较小，显影后所得图案分辨率高，同时孔底无残留，所得固化膜具有高耐热性、耐化学药品性与低逸气性。耐化学药品性与低逸气性。耐化学药品性与低逸气性。


技术研发人员：王元强 周小明 韩家斌 肖桂林 鲁丽平 柯晓明 彭新潮 朱双全
受保护的技术使用者：湖北鼎龙控股股份有限公司
技术研发日：2023.06.29
技术公布日：2023/10/8