一种交叉孔加工方法与流程

1.本发明涉及金属零件加工技术领域，尤其涉及一种交叉孔加工方法。


背景技术：

2.在半导体设备中，需要一种用于cvd(化学气象沉积)工艺中气体分流的金属器件，该器件主要作用为将cvd工艺中所需要的气体，均匀的分布到晶圆面，该金属器件内设置有横纵交错的管道，横纵管道相交处的拐角上会因钻孔加工而留有毛刺，管道中的每一个毛刺都会影响气流的走向，最终影响出气的均匀性，导致晶圆镀膜不良；另外若管道存在毛刺，如果掉落到晶圆，也将造成晶圆的报废。
3.现有最好技术为磨粒流加工，制作专用的治具，用专用的磨粒流设备，对孔内进行抛光处理，但是磨粒流内的磨料带有油泥，油泥会残留在管道内，导致金属器件的洁净度降低，进一步增加加工误差，如果使用毛刷进行简单的清洗，内壁上顽固的毛刺也就无法进行清理，另外如果通过超声波方式清理，超声波可以会直接破坏金属零件本身。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种交叉孔加工方法，解决现有技术下交叉管道内的毛刺无法去除的问题。
5.为达此目的，本发明采用以下技术方案：本发明提供一种交叉孔加工方法，包括以下步骤：
6.s1，对加工件本体使用钻头进行钻孔，形成至少一组第一通道和至少一组第二通道，第一通道和所有第二通道相连通，第二通道和所有第一通道相连通；
7.s2，将钻头再次伸入第一通道内进行空钻，打磨毛刺，钻头依次贯穿所有第一通道；
8.s3，将钻头再次伸入第二通道内进行空钻，打磨剩余毛刺，钻头依次贯穿所有第二通道。
9.作为优选地，所述交叉孔加工方法还包括以下步骤：
10.s4，打磨第一通道内的小毛刺；
11.s5，打磨第二通道内的小毛刺。
12.作为优选地，步骤s1中的所述第一通道和所述第二通道相互垂直。
13.作为优选地，步骤s1中的所述第一通道之间相互平行。
14.作为优选地，步骤s1中的所述第二通道之间相互平行。
15.作为优选地，所述加工件本体的材质为金属。
16.作为优选地，所述刷头前端包裹有砂纸，所述刷头前端能替换不同目数的砂纸。
17.有益效果：将加工件本体内部的第一通道和第二通道分别加工完成后，毛刺就会存留在第一通道和第二通道连通位置的拐角处，通过步骤s2，钻头再次进入第一通道内，可以将第一通道内的毛刺就会与钻头接触并未打磨掉，同时将部分毛刺挤入第二通道一侧，
之后通过步骤s3再将钻头进入第二通道内进行空钻，此时第二通道内的毛刺就会与钻头接触，之后就会被钻头磨削下来，将毛刺从加工件本体上磨下。
附图说明
18.图1是本发明交叉孔加工步骤s1加工流程图；
19.图2是本发明交叉孔加工步骤s2至s3加工流程图；
20.图3是本发明交叉孔加工步骤s4至s5加工流程图。
21.图中：1-加工件本体；11-第一通道；12-第二通道；2-钻头；3-刷头。
具体实施方式
22.下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
23.在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
24.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
25.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
26.现有技术下最好的选择是使用磨粒流的技术将加工件本体内部的毛刺去除，但是由于磨粒流的磨料为油泥状态，此状态会降低加工件本体内部的洁净度，无法加工晶圆，同时使用磨粒流需要使用专门的治具与加工件本体进行匹配，成本较高。
27.如图1至图3所示，为了解决上述问题，本发明提供一种交叉孔加工方法，包括以下步骤：
28.s1，对加工件本体1使用钻头2进行钻孔，形成至少一组第一通道11和至少一组第二通道12，第一通道11和所有第二通道12相连通，第二通道12和所有第一通道11相连通；
29.s2，将钻头2再次伸入第一通道11内进行空钻，打磨毛刺，钻头2依次贯穿所有第一通道11；
30.s3，将钻头2再次伸入第二通道12内进行空钻，打磨剩余毛刺，钻头2依次贯穿所有第二通道12。
31.在步骤s1之后，加工件本体1的第一通道11和第二通道12便已经加工完成，第一通道11和第二通道12的交界处的侧壁上就会残留有毛刺，之后，通过步骤s2，将步骤s1所使用的钻头2再次旋转插接在第一通道11内，进行空钻，钻头2继续保持旋转，此时第一通和第二通道12交接处的毛刺便与钻头2接触，其中一部分毛刺就会与加工件本体1分离，另一部分毛刺就会被挤入第二通道12内，在所有第一通道11内都通过被空钻之后进行步骤s3，将钻头2从第一通道11内退出再将其钻入第二通道12内，使第二通道12内的毛刺再次与钻头2接触，此时的毛刺就会再次与旋转的钻头2接触，此时的毛刺就会被打磨下来。
32.需要特别说明的是可以使用钻头2的时候可以重复多次交替进入第一通道11和第二通道12内，对毛刺进行反复清理，直至将毛刺处理干净，毛刺会被钻头反复带动，进行摆动，进而发生金属疲劳，毛刺也会从加工件本体1上脱离。
33.在使用钻头2对结束步骤s3之后，将刷头3伸入第一通道11内，对第一通道11的内壁进行打磨，打磨第一通道11内的小毛刺，通过步骤s1至s3之后，毛刺与加工件本体1分离之后，可能会在第一通道11和第二通道12相交处残留有小毛刺，通过刷头3将小毛刺磨平，在将所有第一通道11内的小毛刺磨平后，将刷头3伸入第二通道12内，对第二通道12的内壁进行打磨，打磨第一通道11和第二通道12相交处靠近第二通道12一侧的小毛刺，使第一通道11和第二通道12交接处变得更为光滑，不会出现毛刺。
34.第一通道11和第二通道12相互垂直，第一通道11之间相互平行，第二通道12之间相互平行，本发明的加工件本体1通常为矩形立方体，第一通道11和第二通道12相互垂直并相互交错设置，第一通道11和第二通道12在加工件本体1内通常设置有三组，毛刺通常分布在第一通道11和第二通道12相交处的拐角位置上，钻头2分别从第一通道11和第二通道12两个方向对拐角处的毛刺进行打磨，降低毛刺对通过加工件本体1气流所产生的误差，使晶圆镀膜加工后的良品率更高。
35.需要特别说明的是，加工件本体1的材质为金属，加工件本体1的材料也可以为其他容易产生加工毛刺的材料，此加工方法可以适配不同的加工材料，并不局限于金属材料。
36.本发明的刷头3前端包裹有砂纸，刷头3前端能替换不同目数的砂纸，砂纸的目数越高，所能够清理毛刺的体积就越小，使第一通道11和第二通道12的拐角处的毛刺能够进一步被打磨，进而降低对第一通道11和第二通道12内的气流流向的干扰，使晶圆的加工合格率更高。
37.显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

技术特征：
1.一种交叉孔加工方法，其特征在于，包括以下步骤：s1，对加工件本体(1)使用钻头(2)进行钻孔，形成至少一组第一通道(11)和至少一组第二通道(12)，第一通道(11)和所有第二通道(12)相连通，第二通道(12)和所有第一通道(11)相连通；s2，将钻头(2)再次伸入第一通道(11)内进行空钻，打磨毛刺，钻头(2)依次贯穿所有第一通道(11)；s3，将钻头(2)再次伸入第二通道(12)内进行空钻，打磨剩余毛刺，钻头(2)依次贯穿所有第二通道(12)。2.根据权利要求1所述的交叉孔加工方法，其特征在于，所述交叉孔加工方法还包括以下步骤：s4，刷头(3)伸入第一通道(11)内，对第一通道(11)的内壁进行打磨，打磨第一通道(11)内的小毛刺；s5，刷头(3)伸入第二通道(12)内，对第二通道(12)的内壁进行打磨，打磨第二通道(12)内的小毛刺。3.根据权利要求1所述的交叉孔加工方法，其特征在于，步骤s1中的所述第一通道(11)和所述第二通道(12)相互垂直。4.根据权利要求1所述的交叉孔加工方法，其特征在于，步骤s1中的所述第一通道(11)之间相互平行。5.根据权利要求1所述的交叉孔加工方法，其特征在于，步骤s1中的所述第二通道(12)之间相互平行。6.根据权利要求1所述的交叉孔加工方法，其特征在于，所述加工件本体(1)的材质为金属。7.根据权利要求2所述的交叉孔加工方法，其特征在于，所述刷头(3)前端包裹有砂纸，所述刷头(3)前端能替换不同目数的砂纸。

技术总结
本发明属于金属零件加工技术领域，公开了一种交叉孔加工方法。其中使用钻头对加工件本体上已经钻成的第一通道和第二通道再次进行钻探，可以使第一通道和第二通道交接处的毛刺被磨削下来；解决现有技术下交叉管道内的毛刺无法去除的问题。无法去除的问题。无法去除的问题。


技术研发人员：姚力军 潘杰 张林桥 昝小磊
受保护的技术使用者：宁波江丰芯创科技有限公司
技术研发日：2023.08.18
技术公布日：2023/10/8