蒸镀机及其使用方法、显示面板与流程

1.本技术涉及蒸镀设备领域，具体涉及一种蒸镀机及其使用方法、显示面板。


背景技术：

2.在显示面板行业，通常采用蒸镀工艺蒸镀阴极膜层。相关技术中，通常需要两个蒸镀腔室来蒸镀阴极膜层。两个蒸镀腔室的使用带来一系列弊端，例如设备费用增加、设备体积大、制备工期延长、材料利用率低。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本技术实施例提供了一种蒸镀机及其使用方法、显示面板，以解决现有技术中为了蒸镀阴极膜层需要两个蒸镀腔室所导致的上述问题中的至少一项。
4.本技术第一方面提供了一种蒸镀机，包括：蒸镀腔室；载台，位于蒸镀腔室内，载台包括吸附表面，吸附表面用于吸附基材；以及多个蒸镀源，每个蒸镀源包括第一腔体，第一腔体的表面设置有喷嘴，喷嘴连通第一腔体和蒸镀腔室，以将第一腔体内的蒸镀材料蒸镀到基材上。其中，多个蒸镀源各自的喷嘴相对于吸附表面的倾斜角度独立可调。好处是，可以在一个蒸镀腔室内，通过单独调整每个蒸镀源相对于吸附表面的倾斜角度，从而在两侧形成相同的预定入射角。
5.结合第一方面，在一些可能的实现方式中，喷嘴和第一腔体相对固定。好处是，蒸镀源的结构简单，易于实现。
6.结合第一方面，在一些可能的实现方式中，在与吸附表面垂直的目标平面上，每个蒸镀源具有转动自由度，多个蒸镀源的旋转中心的连线平行于吸附表面。好处是，仅在需要的目标平面上具有旋转自由度，结构更稳定。
7.结合第一方面，在一些可能的实现方式中，蒸镀机还包括多个第一驱动机构，与多个蒸镀源一一对应连接；第一驱动机构用于驱动蒸镀源按照预定旋转参数旋转，预定旋转参数包括旋转方向和旋转角度。好处是，多个蒸镀源彼此独立控制，自由度高，同时便于检修和维护。
8.结合第一方面，在一些可能的实现方式中，蒸镀机还包括第二驱动机构，与载台连接，第二驱动机构用于驱动载台沿连线的方向作往复运动。好处是，能够与多个蒸镀源配合，在蒸镀膜层的相对两侧形成相同的倾斜角度，并且结构简单易于实现。
9.结合第一方面，在一些可能的实现方式中，蒸镀源还包括第一限位板和第二限位板，沿喷嘴的出料方向设置在喷嘴的两侧。好处是，利用第一限位板和第二限位板对蒸镀材料的蒸镀范围进行限位，确保得到所需的蒸镀范围。
10.结合第一方面，在一些可能的实现方式中，蒸镀源还包括第二腔体和坩埚，第二腔体的表面设置有开口，开口和第一腔体连通，坩埚位于第二腔体内。好处是，利用坩埚对蒸镀材料进行加热。
11.结合第一方面，在一些可能的实现方式中，吸附表面平行于重力方向。好处是，可
以用作垂直蒸镀机。
12.本技术第二方面提供了一种蒸镀机的使用方法，其特征在于，适用于上述任一实施例提供的蒸镀机。使用方法包括：将基材置于吸附表面上；向多个蒸镀源内分别添加蒸镀材料；分别控制多个蒸镀源的喷嘴顺时针旋转不同角度，以使多个蒸镀源在基材上的蒸镀范围相同，并且在基材的第一侧形成预定入射角；将多个蒸镀源中的蒸镀材料分别释放到蒸镀腔室内，并控制载台沿第一方向平移预定距离，以在基材表面形成第一膜层；分别控制多个蒸镀源的喷嘴逆时针旋转不同角度，以使多个蒸镀源在基材上的蒸镀范围相同，并且在基材的第二侧形成预定入射角，第二侧和第一侧相对设置；将多个蒸镀源中的蒸镀材料分别释放到蒸镀腔室内，并控制载台沿第二方向平移预定距离，第二方向和第一方向反向，以在第一膜层表面形成第二膜层，第一膜层和第二膜层构成待蒸镀膜层。
13.本技术第三方面提供了一种显示面板，包括阴极，阴极采用上述任一实施例提供的蒸镀机制备得到。
14.根据本技术实施例提供的蒸镀机及其使用方法、显示面板。其中，蒸镀机包括多个蒸镀源，多个蒸镀源各自的喷嘴相对于载台的吸附表面的倾斜角度独立可调。这种情况下，可以在一个蒸镀腔室内，通过单独调整每个蒸镀源相对于吸附表面的倾斜角度，从而在两侧形成相同的预定入射角。
附图说明
15.图1为相关技术中的蒸镀机的第一工作状态示意图。
16.图2为图1所示蒸镀机的第二工作状态示意图。
17.图3为预定入射角与待蒸镀膜层的位置关系示意图。
18.图4为本技术一实施例提供的蒸镀机的第一工作状态的结构示意图。
19.图5为图4所示蒸镀机的第二工作状态的结构示意图。
20.图6为本技术一实施例提供的蒸镀机的使用方法的流程示意图。
21.图7为本技术一实施例提供的显示面板的截面结构示意图。
具体实施方式
22.如背景技术中提到的，相关技术中蒸镀显示面板的阴极膜层时，通常需要两个蒸镀腔室。
23.具体而言，图1为相关技术中的蒸镀机的第一工作状态示意图。图2为图1所示蒸镀机的第二工作状态示意图。结合图1和图2所示，蒸镀机包括蒸镀腔室11、载台12和蒸镀源13。蒸镀腔室11是一个密闭腔室，为蒸镀过程提供一个密闭环境。蒸镀源13用于对蒸镀材料进行加热，以使蒸镀材料蒸发，并通过喷嘴131将蒸镀材料喷射到蒸镀腔室11内。为了限制喷嘴131中蒸镀材料的出射范围，可以在喷嘴131周围设置限位板132。载台12用于吸附基材，基材用于承接喷射到蒸镀腔室11内的蒸镀材料，以在基材表面形成蒸镀膜层。例如，基材可以是玻璃基板。
24.以显示面板中的阴极膜层为例，阴极膜层通常为铝镁合金，即由两种材料构成。因此，蒸镀源13用于同时提供蒸发状态的铝和镁，并使蒸发状态的铝从第一喷嘴a出射，使蒸发状态的镁从第二喷嘴b出射。
25.阴极膜层的蒸镀过程需要两组蒸镀腔室11、载台12和蒸镀源13。具体而言，首先，参阅图1，在第一个蒸镀腔室11内，将蒸镀源13顺时针旋转第一角度a，以在玻璃基板左侧形成预定入射角c。图3为预定入射角与待蒸镀膜层的位置关系示意图。如图3所示，预定入射角c是指蒸镀材料的出射范围边缘线与掩膜板21的边缘线之间的夹角。预定入射角c可以确保蒸镀材料蒸镀到预定区域q。这种情况下，随着玻璃基板向右平移，可以在玻璃基板上形成第一膜层，该第一膜层的左侧具有倾斜角，倾斜角的角度等于预定入射角c。其次，参阅图2，控制玻璃基板继续向右平移至第二个蒸镀腔室11内，将蒸镀源13逆时针旋转第二角度b，以在玻璃基板右侧形成预定入射角c。这种情况下，随着玻璃基板向右平移，可以在第一膜层上方形成第二膜层，第二膜层的右侧具有倾斜角，倾斜角的角度等于预定入射角c。第一膜层和第二膜层叠置构成阴极膜层，该阴极膜层的左侧和右侧具有相同的倾斜角。
26.从上述蒸镀过程可见，为了确保阴极膜层左侧和右侧都形成相同的预定倾斜角，需要两组蒸镀腔室11和蒸镀源13相互配合。多出来的一组蒸镀腔室11和蒸镀源13带来如下弊端，例如，设备成本增加，设备体积增大，制备工期增加，蒸镀材料利用率减小等。
27.发明人经过深入研究发现，造成上述问题的原因至少包括：第一喷嘴a和第二喷嘴b中蒸镀材料的出射角度只能随蒸镀源13整体同步调整，在确保第一喷嘴a和第二喷嘴b的蒸镀范围d相同的前提下，导致只能在一侧形成预定入射角c，而无法同时在两侧形成预定入射角c。
28.有鉴于此，本技术实施例提供了一种蒸镀机及其使用方法、显示面板。其中，蒸镀机包括多个蒸镀源，多个蒸镀源各自的喷嘴相对于载台的吸附表面的倾斜角度独立可调。这种情况下，通过单独调整每个蒸镀源的喷嘴的倾斜角度，可以在两侧形成相同的预定入射角c。
29.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
30.图4为本技术一实施例提供的蒸镀机的第一工作状态的结构示意图。图5为图4所示蒸镀机的第二工作状态的结构示意图。结合图4和图5所示，蒸镀机包括蒸镀腔室11、载台12和多个蒸镀源13。
31.其中，载台12位于蒸镀腔室11内。载台12包括吸附表面s，吸附表面s用于吸附基材。例如，吸附表面上设置有多个孔，每个孔连接真空泵，真空泵用于抽走孔内的空气，以使孔内形成负压，进而用于吸附基材。基材用于承载待蒸镀膜层。基材可以是玻璃基板，或显示面板的半成品，即显示面板制备过程中的中间产品。在一示例中，吸附表面s平行于重力方向，即蒸镀源13为垂直蒸镀源。
32.蒸镀源13可以整体位于蒸镀腔室11内，也可以部分位于蒸镀腔室11内，其余部分位于蒸镀腔室11外。蒸镀源13包括第一腔体q1，第一腔体q1用于容纳蒸发状态的蒸镀材料，并对蒸镀材料进行导流。第一腔体q1的表面设置有喷嘴131，喷嘴131连通第一腔体q1和蒸镀腔室11，以将第一腔体q1内的蒸镀材料蒸镀到基材上。在一示例中，蒸镀源13和载台12的吸附表面s相对设置在蒸镀腔室11的两侧，喷嘴131朝向吸附表面s。
33.多个蒸镀源13各自的喷嘴131相对于吸附表面s的倾斜角度独立可调，即多个喷嘴
131可以相对于吸附表面s形成不同的倾斜角度。这里提到的倾斜角度，可以用喷嘴131中蒸镀材料的出射范围的中轴线和吸附表面s之间的夹角来衡量。
34.喷嘴131和第一腔体q1相对固定。例如，喷嘴131为开设在第一腔体q1壁体上的通孔。这种情况下，需要通过旋转第一腔体q1来改变喷嘴131相对于吸附表面s的倾斜角度。
35.具体而言，如图4所示，在与吸附表面s垂直的目标平面上，每个蒸镀源13具有转动自由度，即每个蒸镀源13均可在该目标平面上旋转。多个蒸镀源13的旋转中心的连线l平行于吸附表面s，即如图4所示，多个蒸镀源13可在距离吸附表面s相同高度处的同一竖直平面上旋转。
36.这种情况下，蒸镀机还可以包括多个第一驱动机构(图中未示出)，与多个蒸镀源13一一对应连接。第一驱动机构用于驱动蒸镀源13按照预定旋转参数旋转，预定旋转参数包括旋转方向和旋转角度。
37.进一步地，如图3所示的蒸镀机还可以包括第二驱动机构(图中未示出)，与载台11连接。第二驱动机构用于驱动载台11沿连线l的方向作往复运动。这样可以和多个蒸镀源13相互配合，即参阅图4，在多个蒸镀源13在目标平面(即图3中的竖直平面)上顺时针旋转一定角度时，载台11向右平移，以在左侧形成预定入射角c。在多个蒸镀源13在目标平面上逆时针旋转一定角度时，载台11向左平移，以在右侧形成预定入射角c。
38.蒸镀源13还可以包括第一限位板1331和第二限位板1332，沿喷嘴13的出料方向设置在喷嘴13的两侧。第一限位板1331和第二限位板1332用于对蒸镀材料的蒸镀范围进行限位。
39.在其它实施例中，第一腔体q1和吸附表面s相对固定，喷嘴131相对于第一腔体q1可转动，即喷嘴131和第一腔体q1可转动连接。例如，第一腔体q1的壁体上开设有通孔，通孔内设置有转动连接件，喷嘴131和转动连接件连接。这种情况下，需要通过旋转喷嘴131来改变喷嘴131相对于吸附表面s的倾斜角度，而无需移动第一腔体q1。比较而言，喷嘴131和第一腔体q1相对固定使得蒸镀源13的结构更简单，易于实现。
40.蒸镀机中蒸镀源13的数量可以根据工艺需求合理设置。例如，在蒸镀显示面板的阴极膜层的过程中，当阴极膜层为铝镁合金时，蒸镀机需要偶数个蒸镀源13，每组蒸镀源13分别用于蒸镀铝和镁。应当理解，蒸镀机中的多个蒸镀源13也可以用于蒸镀相同蒸镀材料，用于形成单一材料的蒸镀膜层。
41.蒸镀源13还包括第二腔体q2和坩埚135。第二腔体q 2的表面设置有开口，开口连通第二腔体q2和第一腔体q1。坩埚135位于第二腔体q2内。坩埚135用于加热蒸镀材料，以使蒸镀材料蒸发。
42.根据本实施例提供的蒸镀机，通过在同一蒸镀腔室内设置多个蒸镀源13，并且多个蒸镀源13各自的喷嘴131相对于吸附表面s的倾斜角度独立可调，可以在一个蒸镀腔室内，通过单独调整每个蒸镀源131相对于吸附表面s的倾斜角度，从而在两侧形成相同的预定入射角c。
43.本技术实施例还提供了一种蒸镀机的使用方法，适用于上述任一实施例提供的蒸镀机。图6为本技术一实施例提供的蒸镀机的使用方法的流程示意图。如图6所示，使用方法600包括：
44.步骤s610，将基材置于吸附表面上。
45.参阅图4和图5，利用载台11的吸附表面s吸附基材，以使基材固定。
46.步骤s620，向多个蒸镀源内分别添加蒸镀材料。
47.继续参阅图4和图5，以多个蒸镀源包括第一蒸镀源133和第二蒸镀源134，蒸镀机用于蒸镀阴极膜层为例，分别向第一蒸镀源133中添加第一蒸镀材料，向第二蒸镀源134中添加第二蒸镀材料。第一蒸镀材料可以是铝，第二蒸镀材料可以是镁。
48.步骤s630，分别控制多个蒸镀源的喷嘴顺时针旋转不同角度，以使多个蒸镀源在基材上的蒸镀范围相同，并且在基材的第一侧形成预定入射角。
49.继续参阅图4和图5，控制第一蒸镀源133在竖直平面上顺时针旋转第一角度d，控制第二蒸镀源134在竖直平面上顺时针旋转第二角度e，第二角度e和第一角度d不等。第一角度d和第二角度e可以根据实验数据计算得到。这种情况下，第一蒸镀源133和第二蒸镀源134的蒸镀范围相同，并且可以在左侧形成预定入射角c。应当理解，第一蒸镀源133和第二蒸镀源134各自的限位板，即第一限位板1331和第二限位板1332各自与蒸镀范围的边界线是相交的，图示仅为示意，可能未相交。
50.步骤s640，将多个蒸镀源中的蒸镀材料分别释放到蒸镀腔室内，并控制载台沿第一方向平移预定距离，以在基材表面形成第一膜层。
51.继续参阅图4和图5，将第一蒸镀源133和第二蒸镀源134中的蒸镀材料同时释放到蒸镀腔室内。与此同时，控制载台11沿第一方向，即图4所示水平向右的方向平移预定距离，预定距离取决于待蒸镀区域，从而在基材表面形成第一膜层111。第一膜层111的左侧形成预定倾斜角度。
52.步骤s650，分别控制多个蒸镀源的喷嘴逆时针旋转不同角度，以使多个蒸镀源在基材上的蒸镀范围相同，并且在基材的第二侧形成预定入射角，第二侧和第一侧相对设置。
53.继续参阅图4和图5，控制第一蒸镀源133在竖直平面上逆时针旋转第三角度f，控制第二蒸镀源134在竖直平面上逆时针旋转第四角度g，第四角度g和第三角度f不等。第三角度f和第四角度g可以根据实验数据计算得到。这种情况下，第一蒸镀源133和第二蒸镀源134的蒸镀范围相同，并且可以在右侧形成预定入射角c。
54.步骤s660，将多个蒸镀源中的蒸镀材料分别释放到蒸镀腔室内，并控制载台沿第二方向平移预定距离，第二方向和第一方向反向，以在第一膜层111表面形成第二膜层112，第一膜层111和第二膜层112构成待蒸镀膜层。
55.继续参阅图4和图5，将第一蒸镀源133和第二蒸镀源134中的蒸镀材料同时释放到蒸镀腔室内。与此同时，控制载台11沿第二方向，即图4所示水平向左的方向平移预定距离，预定距离取决于待蒸镀区域，从而在第一膜层111表面形成第二膜层112，第二膜层112的右侧形成预定倾斜角度。第二膜层112和第一膜层111构成阴极膜层，阴极膜层的左右两侧具有相同的预定倾斜角度。
56.本技术实施例还提供了一种显示面板。图7为本技术一实施例提供的显示面板的截面结构示意图。显示面板可以是有机发光显示面板，也可以是量子点发光显示面板。如图7所示，显示面板包括阴极71，阴极71采用上述任一实施例提供的蒸镀机制备得到，具体可以采用图6所示使用方法来制备阴极71。
57.为了例示和描述的目的已经给出了以上描述。此外，此描述不意图将本技术的实施例限制到在此公开的形式。尽管以上已经讨论了多个示例方面和实施例，但是本领域技
术人员将认识到其某些变型、修改、改变、添加和子组合。

技术特征：
1.一种蒸镀机，其特征在于，包括：蒸镀腔室；载台，位于所述蒸镀腔室内，所述载台包括吸附表面，所述吸附表面用于吸附基材；以及多个蒸镀源，每个所述蒸镀源包括第一腔体，所述第一腔体的表面设置有喷嘴，所述喷嘴连通所述第一腔体和所述蒸镀腔室，以将所述第一腔体内的蒸镀材料蒸镀到所述基材上；其中，所述多个蒸镀源各自的喷嘴相对于所述吸附表面的倾斜角度独立可调。2.根据权利要求1所述的蒸镀机，其特征在于，所述喷嘴和所述第一腔体相对固定。3.根据权利要求2所述的蒸镀机，其特征在于，在与所述吸附表面垂直的目标平面上，每个蒸镀源具有转动自由度，所述多个蒸镀源的旋转中心的连线平行于所述吸附表面。4.根据权利要求3所述的蒸镀机，其特征在于，还包括多个第一驱动机构，与所述多个蒸镀源一一对应连接；所述第一驱动机构用于驱动蒸镀源按照预定旋转参数旋转，所述预定旋转参数包括旋转方向和旋转角度。5.根据权利要求3或4所述的蒸镀机，其特征在于，还包括第二驱动机构，与所述载台连接，所述第二驱动机构用于驱动所述载台沿所述连线的方向作往复运动。6.根据权利要求1-4中任一项所述的蒸镀机，其特征在于，所述蒸镀源还包括第一限位板和第二限位板，沿所述喷嘴的出料方向设置在所述喷嘴的两侧。7.根据权利要求1-4中任一项所述的蒸镀机，其特征在于，所述蒸镀源还包括第二腔体和坩埚，所述第二腔体的表面设置有开口，所述开口和所述第一腔体连通，所述坩埚位于所述第二腔体内。8.根据权利要求1-4中任一项所述的蒸镀机，其特征在于，所述吸附表面平行于重力方向。9.一种蒸镀机的使用方法，其特征在于，适用于权利要求1-8中任一项所述的蒸镀机；所述使用方法包括：将基材置于所述吸附表面上；向所述多个蒸镀源内分别添加蒸镀材料；分别控制所述多个蒸镀源的喷嘴顺时针旋转不同角度，以使所述多个蒸镀源在所述基材上的蒸镀范围相同，并且在所述基材的第一侧形成预定入射角；将所述多个蒸镀源中的所述蒸镀材料分别释放到所述蒸镀腔室内，并控制所述载台沿第一方向平移预定距离，以在所述基材表面形成第一膜层；分别控制所述多个蒸镀源的喷嘴逆时针旋转不同角度，以使所述多个蒸镀源在所述基材上的蒸镀范围相同，并且在所述基材的第二侧形成所述预定入射角，所述第二侧和所述第一侧相对设置；将所述多个蒸镀源中的所述蒸镀材料分别释放到所述蒸镀腔室内，并控制所述载台沿第二方向平移所述预定距离，所述第二方向和所述第一方向反向，以在所述第一膜层表面形成第二膜层，所述第一膜层和所述第二膜层构成待蒸镀膜层。10.一种显示面板，其特征在于，包括阴极，所述阴极采用权利要求1-8中任一项所述的蒸镀机制备得到。

技术总结
本申请提供了一种蒸镀机及其使用方法、显示面板，解决了现有技术中蒸镀阴极膜层需要两个蒸镀腔室所导致的蒸镀机成本高、体积大，生产周期长，蒸镀材料利用率低中的至少一个问题。其中，蒸镀机包括蒸镀腔室；载台，位于蒸镀腔室内，载台包括吸附表面，吸附表面用于吸附基材；以及多个蒸镀源，每个蒸镀源包括第一腔体，第一腔体的表面设置有喷嘴，喷嘴连通第一腔体和蒸镀腔室，以将第一腔体内的蒸镀材料蒸镀到基材上；其中，多个蒸镀源各自的喷嘴相对于吸附表面的倾斜角度独立可调。于吸附表面的倾斜角度独立可调。于吸附表面的倾斜角度独立可调。


技术研发人员：郑盛夫
受保护的技术使用者：昆山国显光电有限公司
技术研发日：2023.08.18
技术公布日：2023/10/11