物品搬运车辆、轨道结构体以及包括其的物品搬运系统的制作方法

1.本发明涉及用于在制造工厂中搬运物品的物品搬运车辆、轨道结构体以及包括其的物品搬运系统。


背景技术：

2.半导体或者显示器制造工艺作为在基板(晶圆或者玻璃)上通过几十至几百步骤的处理工艺制造最终产品的工艺，可以通过对每个各工艺执行相应工艺的制造设备来执行。若结束特定制造设备中的工艺，则为了进行下一个工艺而物品(基板)可以搬运到下一个制造设备，可以在一定时段期间保管在保管设备中。
3.物品搬运系统称为如上述那样为了制造工艺而搬运或保管物品的系统，可以大体上划分为搬运物品的搬运系统和储存物品的储存系统。在物品搬运系统中，沿着设置于顶棚的轨道而行驶的oht(overhead hoist transport；天车输送系统)系统适用于半导体制造工厂。
4.另一方面，与半导体制造工艺的微细化一起被要求生产量的增加，由此物品搬运车辆(oht)的高速化以及低振动变得重要，但随着以往的车辆面临局限，研究导入如磁浮系统那样非接触方式的车辆。


技术实现要素：

5.因此，本发明的实施例的目的在于提供能够在制造工厂中实现高速化以及低振动化的物品搬运车辆、轨道结构体以及包括其的物品搬运系统。
6.根据本发明的一种物品搬运车辆在制造工厂中，在制造设备之间传送物品，所述物品搬运车辆包括：框架部件，提供用于容纳所述物品的空间；主体部件，在所述框架部件的上方以能够旋转的方式结合；磁浮致动器，设置于所述主体部件，并通过对沿着所述物品搬运车辆的行驶路径设置的侧导轨部件产生牵引力而控制对所述侧导轨部件的间距；以及磁悬浮线圈部件，通过与设置于所述侧导轨部件的上方的磁悬浮磁铁部件的相互作用而产生驱动力。
7.根据本发明的实施例，可以是，所述主体部件包括：底座主体部件，以一定的形状提供并通过旋转机构以能够旋转的方式结合于所述框架部件；以及侧面主体部件，形成于所述底座主体部件的两侧。
8.根据本发明的实施例，可以是，所述磁悬浮线圈部件固定于所述侧面主体部件的外侧并构成为以预定的间距插入到在所述磁悬浮磁铁部件中凹陷的凹部。
9.根据本发明的实施例，可以是，所述磁浮致动器包括：水平磁浮致动器，在所述侧面主体部件的外侧面与所述侧导轨部件的侧面相邻设置而控制水平方向上与所述侧导轨部件的间距；以及垂直磁浮致动器，在所述底座主体部件的两侧面与所述侧导轨部件的下表面相邻设置而控制垂直方向上与所述侧导轨部件的间距。
10.根据本发明的实施例，可以是，所述磁浮致动器根据在行驶路径的分岔区域中要
行驶的行驶方向对所述侧导轨部件选择性地产生牵引力。
11.根据本发明的实施例，可以是，所述主体部件还包括：垂直旋转轴部件，结合于所述旋转机构并向所述底座主体部件的上方延伸。
12.根据本发明的实施例，可以是，所述物品搬运车辆还包括：重力补偿致动器，形成于所述垂直旋转轴部件的上端而向在沿着所述物品搬运车辆的移动路径设置的轭部件的上方设置的上导轨部件产生牵引力。
13.根据本发明的实施例，可以是，所述物品搬运车辆还包括：分岔辅助致动器，设置于所述重力补偿致动器的两侧而根据在行驶路径的分岔区域中行驶方向对分别设置于所述上导轨部件的一侧的分岔导轨部件选择性地产生牵引力。
14.根据本发明的一种轨道结构体在制造工厂的物品搬运系统中提供物品搬运车辆的行驶路径，所述轨道结构体包括：轭部件，沿着所述行驶路径设置；侧导轨部件，设置于所述轭部件的下内侧面，并与所述物品搬运车辆的磁浮致动器相互作用而控制对所述物品搬运车辆的间距；以及磁悬浮磁铁部件，设置于所述侧导轨部件的上方，并构成为与用于产生所述物品搬运车辆的驱动力的磁悬浮线圈部件相互作用。
15.根据本发明的实施例，可以是，构成为所述磁悬浮线圈部件以预定的间距插入到在所述磁悬浮磁铁部件中凹陷的凹部。
16.根据本发明的实施例，可以是，通过在所述物品搬运车辆中与所述侧导轨部件的侧面相邻设置的水平磁浮致动器控制水平方向上所述物品搬运车辆和所述侧导轨部件之间的间距，通过在所述物品搬运车辆中与所述侧导轨部件的下表面相邻设置的垂直磁浮致动器控制垂直方向上所述物品搬运车辆和所述侧导轨部件之间的间距。
17.根据本发明的实施例，可以是，所述轨道结构体还包括：上导轨部件，与在所述轭部件的中心部中设置于所述物品搬运车辆的上方的重力补偿致动器相互作用。
18.根据本发明的实施例，可以是，所述上导轨部件构成为在所述行驶路径的分岔区域中沿着行驶方向分岔。
19.根据本发明的实施例，可以是，所述轨道结构体还包括：分岔导轨部件，在所述分岔区域中分别设置于所述行驶方向的一侧而与设置于所述重力补偿致动器的两侧的分岔辅助致动器相互作用。
20.根据本发明的一种物品搬运系统是制造工厂的物品搬运系统，所述物品搬运系统包括：物品搬运车辆，在制造设备之间传送物品；以及轨道结构体，提供所述物品搬运车辆的行驶路径。所述轨道结构体包括：轭部件，沿着所述行驶路径设置；侧导轨部件，设置于所述轭部件的下内侧面；以及磁悬浮磁铁部件，设置于所述侧导轨部件的上方，所述物品搬运车辆包括：框架部件，提供用于容纳所述物品的空间；主体部件，在所述框架部件的上方以能够旋转的方式结合；磁浮致动器，设置于所述主体部件，并通过对所述侧导轨部件产生牵引力而控制对所述侧导轨部件的间距；以及磁悬浮线圈部件，通过与所述磁悬浮磁铁部件相互作用而产生驱动力。
21.根据本发明的物品搬运车辆、轨道结构体以及包括其的物品搬运系统通过磁浮致动器和侧导轨部件之间的牵引力来控制间距的同时通过磁悬浮线圈部件和磁悬浮磁铁部件的相互作用来产生驱动力，从而使得能够进行姿势控制以及非接触驱动，因此能够实现物品搬运车辆的高速化以及低振动化。
附图说明
22.图1示出根据本发明的制造工厂的物品搬运系统。
23.图2概要示出在根据本发明的制造工厂的物品搬运系统中在制造设备之间传送物品的物品搬运车辆。
24.图3概要示出在根据本发明的制造工厂的物品搬运系统中提供物品搬运车辆的行驶路径的轨道结构体。
25.图4是用于说明在根据本发明的制造工厂的物品搬运系统中在直行行驶区间中物品搬运车辆的工作的图。
26.图5以及图6是用于说明在根据本发明的制造工厂的物品搬运系统中在分岔行驶区间中物品搬运车辆的工作的图。
27.图7以及图8是用于说明在根据本发明的制造工厂的物品搬运系统中在分岔行驶区间中在直行方向上行驶的物品搬运车辆的工作的图。
28.图9以及图10是用于说明在根据本发明的制造工厂的物品搬运系统中在分岔行驶区间中在曲线方向上行驶的物品搬运车辆的工作的图。
29.(附图标记说明)
30.10：物品搬运车辆
31.110：框架部件
32.115：旋转机构
33.120：主体部件
34.122：底座主体部件
35.124a、124b：侧面主体部件
36.126：垂直旋转轴部件
37.130a、130b：磁浮致动器
38.132：侧面主体部件
39.132a、132b：水平磁浮致动器
40.134a、134b：垂直磁浮致动器
41.140a、140b：磁悬浮线圈部件
42.150：重力补偿致动器
43.160a、160b：分岔辅助致动器
44.20：轨道结构体
45.210：轭部件
46.220：侧导轨部件
47.220a、220b：侧导轨部件
48.230a、230b：磁悬浮磁铁部件
49.240：上导轨部件
50.250a、250b：分岔导轨部件
具体实施方式
51.以下，参照附图来详细说明本发明的实施例，以使得本发明所属技术领域中具有
通常知识的人能够容易地实施。本发明可以以各种不同方式实现，不限于在此说明的实施例。
52.为了清楚地说明本发明，省略了与说明无关的部分，贯穿说明书整体对相同或类似的构成要件标注相同的附图标记。
53.另外，在多个实施例中，对具有相同结构的构成要件，使用相同的附图标记来仅说明代表性实施例，在其余的其它实施例中仅说明与代表性实施例不同的结构。
54.在说明书整体中，当表述某部分与其它部分“连接(或者结合)”时，其不仅是“直接连接(或者结合)”的情况，还包括将其它部件置于中间“间接连接(或者结合)”的情况。另外，当表述某部分“包括”某构成要件时，只要没有特别相反记载，其意指可以还包括其它构成要件而不是排除其它构成要件。
55.只要没有不同地定义，包括技术或科学术语在内在此使用的所有术语具有与本发明所属技术领域中具有通常知识的人一般所理解的含义相同的含义。在通常使用的词典中定义的术语之类的术语应解释为具有与相关技术文脉上具有的含义一致的含义，只要在本技术中没有明确定义，不会理想性或过度地解释为形式性含义。
56.以下，说明在根据本发明的制造工厂中用于非接触行驶的物品搬运车辆10，轨道结构体20以及包括其的物品搬运系统的结构。
57.图1示出根据本发明的制造工厂的物品搬运系统。以下，作为适用本发明的制造工厂，例示说明制造半导体产品的半导体制造工厂。然而，可以适用本发明的制造工厂的范围不限于特定类型，可以适用于各种产业群的制造工厂。例如，本发明的物品搬运系统可以适用于显示面板、电子设备、汽车或者二次电池等各种制造工厂。
58.可以是，半导体制造工厂构成为一个或更多的无尘室，在各无尘室设置用于执行半导体制造工艺的制造设备1。通常，可以通过对基板(例如：晶圆)重复执行多个制造工艺而最终完成处理的基板，若在特定半导体制造设备中完成制造工艺，则向用于下一个制造工艺的制造设备1搬运基板。在此，晶圆可以以保管在能够容纳多个基板的搬运容器(例如：前开式晶圆传送盒，foup)中的状态搬运。收纳有晶圆的搬运容器可以通过物品搬运车辆10搬运。物品搬运车辆10可以称为沿着设置于棚顶的轨道而行驶的oht(overhead hoist transport；天车输送系统)。
59.参照图1，在半导体制造工厂内设置用于执行工艺的制造设备1，提供在制造设备1之间传送物品的物品搬运车辆10和提供搬运车辆的行驶路径的轨道结构体20。在此，当物品搬运车辆10在制造设备1之间搬运物品时，既可以将物品直接从特定制造设备向另一个制造设备搬运，也可以将物品保管在储存装置中之后向另一个制造设备搬运。
60.储存装置可以使用以多层排列的架形态的仓库2。另外，作为储存装置，可以提供设置于轨道结构体20的侧方的侧道缓冲器(side track buffer)和设置于轨道结构体20的下方的下道缓冲器(under track buffer)之类临时保管设备3。
61.通常，物品搬运车辆10通过以行驶轮接触于轨道的状态旋转而行驶。另外，物品搬运车辆10在行驶路径的分岔区域中位于上方的转向轮接触于转向导轨，从而向特定方向选择性地行驶。
62.在普通的接触式行驶以及转向方法的情况下，因轮和轨道之间的接触而可能产生振动以及冲击，若振动以及冲击传递到晶圆则存在产生次品的危险。另外，物品搬运车辆10
的行驶速度越快则由于轮和轨道之间的接触所产生的振动以及冲击更大，因此存在物品搬运车辆10的行驶速度受限的问题。另外，因轮和轨道之间的接触而可能产生各种颗粒，其可能成为阻碍制造工厂的清洁环境的因素。
63.因此，本发明的实施例提供能够以非接触方式执行行驶以及转向的物品搬运车辆10。根据本发明，由于在物品搬运车辆10和轨道结构体20之间不产生摩擦，能够防止振动以及冲击。因此，防止振动以及冲击传递到物品，能够提高物品搬运车辆10的行驶速度。另外，由于防止因防止轮和轨道的接触而产生的颗粒，能够保持制造工厂内清洁环境。
64.物品搬运车辆10可以沿着设置于制造工厂的轨道结构体20行驶，并从制造设备1收取物品而将其传送到另一制造设备1。物品搬运车辆10可以大体上由用于移动的行驶部和用于转载物品的物品装卸部构成。物品装卸部可以包括用于把持物品的手单元、使手单元朝向制造设备1的装载端口水平移动的滑动单元、用于使手单元下降以及上升的带形态的升降单元等。然而，本发明涉及用于非接触方式的行驶以及走势的物品搬运车辆10的结构，省略对用于装卸物品的结构的说明，可以适用用于装卸物品的各种构造。
65.物品搬运车辆10的行驶部可以包括用于物品搬运车辆10的加速、减速、制动、转向等的驱动装置以及用于控制驱动装置的控制器。另一方面，物品搬运车辆10的行驶部可以以物品搬运车辆10的行驶方向为基准在前方和后方分别形成。即，可以是，前方的行驶部和后方的行驶部构成一个车体而传送物品，前方的行驶部和后方的行驶部彼此关联来工作。然而，在本发明中，为了便于说明，不将前方和后方的行驶部彼此区分而以一个行驶部为基准进行说明，不仅是2个行驶部，还可以在以更多的行驶部构成的物品搬运车辆10中适用本发明。
66.图2以及图3概要示出在根据本发明的制造工厂的物品搬运系统中在制造设备1之间传送物品的物品搬运车辆10以及提供物品搬运车辆10的行驶路径的轨道结构体20的构造。
67.根据本发明的制造工厂的物品搬运系统包括在制造设备之间传送物品的物品搬运车辆10以及提供物品搬运车辆10的行驶路径的轨道结构体20。
68.轨道结构体20包括沿着行驶路径设置的轭部件210、设置于轭部件210的下内侧面的侧导轨部件220a、220b以及设置于侧导轨部件220a、220b的上方的磁悬浮磁铁部件230a、230b。
69.物品搬运车辆10包括提供用于容纳物品的空间的框架部件110、在框架部件110的上方以能够旋转的方式结合的主体部件120、设置于主体部件120且通过对侧导轨部件220a、220b产生牵引力而控制对侧导轨部件220a、220b的间距的磁浮致动器130a、130b以及通过与磁悬浮磁铁部件230a、230b的相互作用而产生驱动力的磁悬浮线圈部件140a、140b。
70.轨道结构体20可以提供用于物品搬运车辆10的行驶的行驶路径，并设置于制造工厂的顶棚。
71.侧导轨部件220a、220b构成为与执行物品搬运车辆10的悬浮以及姿势控制的磁浮致动器130a、130b相互作用。磁悬浮磁铁部件230a、230b构成为与产生物品搬运车辆10的驱动力的磁悬浮线圈部件140a、140b相互作用。
72.轨道结构体20可以包括设置于轭部件210的中心部的上导轨部件240。上导轨部件240构成为与用于使物品搬运车辆10悬浮的重力补偿致动器150相互作用。如图7至图10所
示，上导轨部件240构成为在行驶路径的分岔区域中沿着行驶方向分岔。作为参考，图7至图10示出在行驶路径的分岔区域中从上方观察的物品搬运车辆10的分岔行驶过程。
73.物品搬运车辆10可以沿着通过轨道结构体20形成的行驶路径行驶。
74.框架部件110可以构成为在内部形成用于容纳物品的空间并保护从外部的物体传送中的物品。以物品搬运车辆10的行驶方向为基准，框架部件110的左侧以及右侧可以开放成使物品能够滑移，然而，框架部件110的前方和后方可以为了保护物品而具备构造物。在框架部件110的前方和后方可以设置物品搬运车辆10的行驶所需的电子设备(例如：相机、距离传感器、传输器)。
75.另一方面，框架部件110通过旋转机构115与主体部件120结合，旋转机构115使下方的框架部件110和上方的主体部件120结合成能够彼此旋转。框架部件110和主体部件120能够以通过旋转机构115形成的旋转轴为基准彼此旋转。即，主体部件120和框架部件110所朝向的方向可以彼此不同，其使得后面说明的图9以及图10那样的物品搬运车辆10的曲线行驶时能够顺畅行驶。
76.主体部件120作为用于物品搬运车辆10行驶的车体，用于驱动的驱动装置、用于通信以及控制的设备可以设置于主体部件120。如前面所说明那样，主体部件120可以分别设置于物品搬运车辆10的前方和后方。主体部件120可以通过旋转机构115在上方支承框架部件110，从而运输物品。
77.根据本发明的实施例，主体部件120可以包括以一定形状提供并通过旋转机构115与框架部件110以能够旋转的方式结合的底座主体部件122以及形成于底座主体部件122的两侧的侧面主体部件124a、124b。如图2所示，可以是，底座主体部件122通过旋转机构115结合于框架部件110，在底座主体部件122的上方左侧和上方右侧分别设置侧面主体部件124a、124b。底座主体部件122和侧面主体部件124a、124b既可以构成为一体，也可以单独制造后组装。
78.追加地，主体部件120可以还包括从底座主体部件122的中心向上方延伸的垂直旋转轴部件126。可以设置在垂直旋转轴部件126的上端形成而产生与物品搬运车辆10的负载对应的牵引力的重力补偿致动器150。在重力补偿致动器150的两侧可以设置用于辅助物品搬运车辆10的转向的分岔辅助致动器160a、160b。
79.磁浮致动器130a、130b向线圈施加电信号而通过与电磁铁之类磁性体的相互作用来产生牵引力。
80.磁浮致动器130a、130b可以通过对沿着物品搬运车辆10的行驶路径设置的侧导轨部件220产生牵引力，控制对侧导轨部件220的间距。磁浮致动器130a、130b可以与侧导轨部件220相互作用来产生牵引力。参照图2，可以以物品搬运车辆10的行驶方向为基准，在左侧以及右侧设置磁浮致动器130a、130b。
81.根据本发明的实施例，磁浮致动器130a、130b可以包括在侧面主体部件122a、122b的外侧面与侧导轨部件220a、220b的侧面相邻设置而控制水平方向上与侧导轨部件220a、220b的间距的水平磁浮致动器132a、132b以及在底座主体部件122的两侧面与侧导轨部件220a、220b的下表面相邻设置而控制垂直方向上与侧导轨部件220a、220b的间距的垂直磁浮致动器134a、134b。
82.参照图2，可以是，在侧面主体部件124a、124b的外侧面设置水平磁浮致动器132a、
132b，在底座主体部件122的两侧面设置垂直磁浮致动器134a、134b。水平磁浮致动器132a、132b可以通过对侧导轨部件220a、220b均等地产生牵引力，恒定地保持物品搬运车辆10和侧导轨部件220a、220b的间隙。虽未图示，可以设置对物品搬运车辆10和侧导轨部件220a、220b之间的水平方向(x方向)的间距进行检测的间隙传感器，可以对应于通过间隙传感器测定到的水平方向间距来控制水平磁浮致动器132a、132b的牵引力。
83.垂直磁浮致动器134a、134b可以对侧导轨部件220a、220b产生与物品搬运车辆10的负载对应的牵引力。同样，可以设置对物品搬运车辆10和侧导轨部件220a、220b之间的垂直方向(z方向)的间距进行检测的间隙传感器，可以对应于通过间隙传感器测定到的垂直方向间距来控制水平磁浮致动器132a、132b的牵引力。
84.即，磁浮致动器130a、130b可以控制物品搬运车辆10的垂直方向悬浮以及水平方向位置控制。
85.另外，磁浮致动器130a、130b可以根据在行驶路径的分岔区域中要行驶的行驶方向对侧导轨部件220a、220b选择性地产生牵引力。例如，如图5那样，当在分岔区域中要向右侧方向行驶时，右侧的磁浮致动器130b激活而向右侧的侧导轨部件220b产生牵引力。相反，左侧的磁浮致动器130a非激活，因此物品搬运车辆10可以沿着右侧的侧导轨部件220b移动。参照图7以及图8，当在分岔区域中向直行方向(右侧方向)行驶时，右侧的磁浮致动器130b激活而向右侧的侧导轨部件220b产生牵引力，从而物品搬运车辆10可以向直行方向行驶。
86.另外，如图6那样，当在分岔区域中要向左侧方向行驶时，左侧的磁浮致动器130a激活而向左侧的侧导轨部件220a产生牵引力。相反，右侧的磁浮致动器130b非激活，因此物品搬运车辆10可以沿着左侧的侧导轨部件220a移动。参照图9以及图10，当在分岔区域中向曲线方向(左侧方向)行驶时，左侧的磁浮致动器130a激活而向左侧的侧导轨部件220a产生牵引力，从而物品搬运车辆10可以向直行方向行驶。
87.磁悬浮线圈部件140a、140b可以通过与磁悬浮磁铁部件230a、230b的相互作用而产生用于行驶的推动力。
88.根据本发明的实施例，磁悬浮线圈部件140a、140b可以固定于侧面主体部件124a、124b的外侧并构成为能够以预定的间距插入到在磁悬浮磁铁部件230b中凹陷的凹部。参照图4，可以是，磁悬浮线圈部件140a、140b设置成固定于侧面主体部件124a、124b的外侧水平面，磁悬浮线圈部件140a、140b的凸出的部位插入到在磁悬浮磁铁部件230b中凹陷的凹部。在此，可以设计成在磁悬浮线圈部件140a、140b和磁悬浮磁铁部件230b之间保持一定的间距。
89.即，磁悬浮线圈部件140a、140b产生用于物品搬运车辆10行驶的推动力。
90.根据本发明的实施例，磁浮致动器130a、130b可以根据在行驶路径的分岔区域中要行驶的行驶方向对侧导轨部件220a、220b选择性地产生牵引力。
91.根据本发明的实施例，物品搬运车辆10的主体部件120可以还包括结合于旋转机构115且向底座主体部件122的上方延伸的垂直旋转轴部件126。参照图2，垂直旋转轴部件126构成为从旋转机构115的旋转轴朝向垂直方向(z方向)延伸。
92.根据本发明的实施例，物品搬运车辆10可以还包括形成于垂直旋转轴部件126的上端而向在沿着物品搬运车辆10的移动路径设置的轭部件210的上方设置的上导轨部件
240产生牵引力的重力补偿致动器150。重力补偿致动器150可以通过与上导轨部件240的相互作用而产生与物品搬运车辆10的负载对应的牵引力。
93.轨道结构体20可以还包括在分岔区域中分别设置于行驶方向的一侧的分岔导轨部件250a、250b。
94.物品搬运车辆10可以还包括设置于重力补偿致动器150的两侧而根据在行驶路径的分岔区域中行驶方向对分别设置于上导轨部件240的一侧的分岔导轨部件250a、250b选择性地产生牵引力的分岔辅助致动器160a、160b。
95.分岔辅助致动器160a、160b与磁浮致动器130a、130b一起在分岔区域中确定物品搬运车辆10的行驶方向。
96.例如，如图5那样，当物品搬运车辆10要向右侧方向行驶时，右侧的磁浮致动器130b激活而对右侧的分岔导轨部件250b产生牵引力。参照图7以及图8，当物品搬运车辆10要向直行方向(右侧方向)行驶时，右侧的分岔辅助致动器160b与右侧的磁浮致动器130b一起激活，使得物品搬运车辆10能够向直行方向行驶。
97.另外，如图6那样，当物品搬运车辆10要向左侧方向行驶时，左侧的磁浮致动器130a激活而对左侧的分岔导轨部件250a产生牵引力。参照图9以及图10，当物品搬运车辆10要向曲线方向(左侧方向)行驶时，左侧的分岔辅助致动器160a与左侧的磁浮致动器130a一起激活而使得物品搬运车辆10能够向曲线方向(左侧方向)行驶。
98.本实施例以及本说明书中所附的附图只不过明确表示包括在本发明中的技术构思的一部分，显而易见由本领域技术人员能够在包括在本发明的说明书以及附图中的技术构思的范围内容易导出的变形例和具体实施例均包括在本发明的权利范围中。
99.因此，本发明的构思不应局限于所说明的实施例，不仅是所附的权利要求书，与其权利要求书等同或等价变形的所有构思属于本发明构思的范畴。

技术特征：
1.一种物品搬运车辆，在制造工厂中，在制造设备之间传送物品，其中，所述物品搬运车辆包括：框架部件，提供用于容纳所述物品的空间；主体部件，在所述框架部件的上方以能够旋转的方式结合；磁浮致动器，设置于所述主体部件，并通过对设置于所述物品搬运车辆的两侧的侧导轨部件产生牵引力而控制对所述侧导轨部件的间距；以及磁悬浮线圈部件，通过与设置于所述侧导轨部件的上方的磁悬浮磁铁部件的相互作用而产生驱动力。2.根据权利要求1所述的物品搬运车辆，其中，所述主体部件包括：底座主体部件，以一定的形状提供并通过旋转机构以能够旋转的方式结合于所述框架部件；以及侧面主体部件，形成于所述底座主体部件的两侧。3.根据权利要求2所述的物品搬运车辆，其中，所述磁悬浮线圈部件固定于所述侧面主体部件的外侧并构成为以预定的间距插入到在所述磁悬浮磁铁部件中凹陷的凹部。4.根据权利要求2所述的物品搬运车辆，其中，所述磁浮致动器包括：水平磁浮致动器，在所述侧面主体部件的外侧面与所述侧导轨部件的侧面相邻设置而控制水平方向上与所述侧导轨部件的间距；以及垂直磁浮致动器，在所述底座主体部件的两侧面与所述侧导轨部件的下表面相邻设置而控制垂直方向上与所述侧导轨部件的间距。5.根据权利要求1所述的物品搬运车辆，其中，所述磁浮致动器根据在行驶路径的分岔区域中要行驶的行驶方向对所述侧导轨部件选择性地产生牵引力。6.根据权利要求2所述的物品搬运车辆，其中，所述主体部件还包括：垂直旋转轴部件，结合于所述旋转机构并向所述底座主体部件的上方延伸。7.根据权利要求6所述的物品搬运车辆，其中，所述物品搬运车辆还包括：重力补偿致动器，形成于所述垂直旋转轴部件的上端而向在沿着所述物品搬运车辆的移动路径设置的轭部件的上方设置的上导轨部件产生牵引力。8.根据权利要求7所述的物品搬运车辆，其中，所述物品搬运车辆还包括：分岔辅助致动器，设置于所述重力补偿致动器的两侧而根据在行驶路径的分岔区域中行驶方向对分别设置于所述上导轨部件的一侧的分岔导轨部件选择性地产生牵引力。9.一种轨道结构体，在制造工厂的物品搬运系统中提供物品搬运车辆的行驶路径，其中，所述轨道结构体包括：轭部件，沿着所述行驶路径设置；
侧导轨部件，设置于所述轭部件的下内侧面，并与所述物品搬运车辆的磁浮致动器相互作用而控制对所述物品搬运车辆的间距；以及磁悬浮磁铁部件，设置于所述侧导轨部件的上方，并构成为与用于产生所述物品搬运车辆的驱动力的磁悬浮线圈部件相互作用。10.根据权利要求9所述的轨道结构体，其中，构成为所述磁悬浮线圈部件以预定的间距插入到在所述磁悬浮磁铁部件中凹陷的凹部。11.根据权利要求9所述的轨道结构体，其中，通过在所述物品搬运车辆中与所述侧导轨部件的侧面相邻设置的水平磁浮致动器控制水平方向上所述物品搬运车辆和所述侧导轨部件之间的间距，通过在所述物品搬运车辆中与所述侧导轨部件的下表面相邻设置的垂直磁浮致动器控制垂直方向上所述物品搬运车辆和所述侧导轨部件之间的间距。12.根据权利要求9所述的轨道结构体，其中，所述轨道结构体还包括：上导轨部件，与在所述轭部件的中心部中设置于所述物品搬运车辆的上方的重力补偿致动器相互作用。13.根据权利要求12所述的轨道结构体，其中，所述上导轨部件构成为在所述行驶路径的分岔区域中沿着行驶方向分岔。14.根据权利要求13所述的轨道结构体，其中，所述轨道结构体还包括：分岔导轨部件，在所述分岔区域中分别设置于所述行驶方向的一侧而与设置于所述重力补偿致动器的两侧的分岔辅助致动器相互作用。15.一种物品搬运系统，是制造工厂的物品搬运系统，其中，所述物品搬运系统包括：物品搬运车辆，在制造设备之间传送物品；以及轨道结构体，提供所述物品搬运车辆的行驶路径，所述轨道结构体包括：轭部件，沿着所述行驶路径设置；侧导轨部件，设置于所述轭部件的下内侧面；以及磁悬浮磁铁部件，设置于所述侧导轨部件的上方，所述物品搬运车辆包括：框架部件，提供用于容纳所述物品的空间；主体部件，在所述框架部件的上方以能够旋转的方式结合；磁浮致动器，设置于所述主体部件，并通过对所述侧导轨部件产生牵引力而控制对所述侧导轨部件的间距；以及磁悬浮线圈部件，通过与所述磁悬浮磁铁部件相互作用而产生驱动力。16.根据权利要求15所述的物品搬运系统，其中，所述主体部件包括：底座主体部件，以一定的形状提供并通过旋转机构以能够旋转的方式结合于所述框架部件；以及
侧面主体部件，形成于所述底座主体部件的两侧。17.根据权利要求16所述的物品搬运系统，其中，所述磁悬浮线圈部件固定于所述侧面主体部件的外侧并构成为以预定的间距插入到在所述磁悬浮磁铁部件中凹陷的凹部。18.根据权利要求16所述的物品搬运系统，其中，所述磁浮致动器包括：水平磁浮致动器，在所述侧面主体部件的外侧面与所述侧导轨部件的侧面相邻设置而控制水平方向上对所述侧导轨部件的间距；以及垂直磁浮致动器，在所述底座主体部件的两侧面与所述侧导轨部件的下表面相邻设置而控制垂直方向上对所述侧导轨部件的间距。19.根据权利要求15所述的物品搬运系统，其中，所述磁浮致动器根据在所述行驶路径的分岔区域中要行驶的行驶方向对所述侧导轨部件选择性地产生牵引力。20.根据权利要求16所述的物品搬运系统，其中，所述搬运车辆还包括：垂直旋转轴部件，结合于所述旋转机构并向所述底座主体部件的上方延伸；重力补偿致动器，形成于所述垂直旋转轴部件的上端而向在沿着所述物品搬运车辆的移动路径设置的轭部件的上方设置的上导轨部件产生牵引力；以及分岔辅助致动器，设置于所述重力补偿致动器的两侧而根据在所述行驶路径的分岔区域中要行驶的行驶方向对形成于所述上导轨部件的两侧的分岔导轨部件选择性地产生牵引力。

技术总结
本发明的实施例的目的在于提供能够在制造工厂中实现高速化以及低振动化的物品搬运车辆、轨道结构体以及包括其的物品搬运系统。根据本发明的一种物品搬运车辆在制造工厂中，在制造设备之间传送物品，所述物品搬运车辆包括：框架部件，提供用于容纳所述物品的空间；主体部件，在所述框架部件的上方以能够旋转的方式结合；磁浮致动器，配置于所述主体部件，并通过对配置于所述物品搬运车辆的两侧的侧导轨部件产生牵引力而控制对所述侧导轨部件的间距；以及磁悬浮线圈部件，通过与设置于所述侧导轨部件的上方的磁悬浮磁铁部件的相互作用而产生驱动力。而产生驱动力。而产生驱动力。


技术研发人员：郑完熙 金局生 林度延 明鲁勋
受保护的技术使用者：细美事有限公司
技术研发日：2022.09.22
技术公布日：2023/7/13