风量调节机柜的制作方法

1.本技术涉及加工设备温度控制领域，具体涉及一种风量调节机柜。


背景技术：

2.目前，主流的光刻机的节点尺寸已经达到20nm以下，套刻精度达到3nm甚至更低，并且12nm的芯片已经成功运用到商业生产中。光刻机在工作时，所处的局部环境在空间上的不均匀或者随时间波动、漂移均会对最终的光刻定位精度、套刻精度等数据产生影响，例如，工件台关键零部件由于温度的空间分布不均匀以及温度的波动、漂移产生形变，从而导致出现运动误差，以激光干涉仪为代表的超精密传感、测量装置由于温度、湿度和压力的空间分布不均匀以及温度、湿度和压力的波动、漂移产生测量误差。由此可见，以光刻机为代表的超精密加工设备不仅对外界大环境有要求，对于本身内部的微环境更是有着非常苛刻的要求来保证加工精度。
3.由于应用环境的特殊性，实际应用场景对风量调节的需求也是千变万化的。现有技术中，对风量的调节多为增加主设备风机的功率，加大风量，但是，光靠调整主设备风机的功率和加大风量是远远满足不了实际应用场景的，且由于主设备风机的功率和风量的增大需要调整主设备的整体框架结构，或者更换主设备整机，会造成巨大的成本压力。


技术实现要素：

4.为了克服上述现有技术存在的问题，本技术的主要目的在于提供一种能够根据不同应用环境的需求从而调节风量大小的风量调节机柜。
5.为了实现上述目的，本技术具体采用以下技术方案：
6.一种风量调节机柜，包括：
7.柜体，所述柜体设有至少一个密封风腔，所述密封风腔包括进风腔、出风腔、第一进风口和第一出风口；
8.风机组件，所述风机组件设置于所述进风腔，用于使外部的空气能够依次流经所述第一进风口、所述进风腔和所述出风腔后由所述第一出风口流出；
9.风阀，所述风阀设置于所述第一进风口，用于调节由所述第一进风口流入所述进风腔的气流大小。
10.在一些实施例中，所述密封风腔还包括隔板，所述隔板设置于所述密封风腔内，用于将所述密封风腔分隔为所述进风腔和所述出风腔，所述风机组件安装于所述隔板。
11.在一些实施例中，所述隔板开设有通孔，所述风机组件包括风机，所述风机安装于所述隔板，且所述风机包括第二进风口和第二出风口，所述第二进风口位于所述进风腔，所述第二出风口位于所述通孔。
12.在一些实施例中，所述风机组件还包括密封组件，所述密封组件设置于所述通孔，以通过所述密封组件防止所述出风腔的风倒灌回所述进风腔。
13.在一些实施例中，所述密封组件包括第一密封圈和套筒，所述套筒穿设于所述通
孔，所述第二出风口穿设于所述套筒，所述第一密封圈套设于所述第二出风口与所述套筒的连接处。
14.在一些实施例中，所述密封组件还包括第二密封圈，所述第二密封圈套设于所述套筒且位于所述套筒与所述隔板之间。
15.在一些实施例中，所述密封组件还包括紧固件，所述紧固件穿设于所述套筒、所述第二密封圈和所述隔板。
16.在一些实施例中，所述柜体包括第一壳体和至少一第二壳体，所述第一壳体包括第一本体和顶盖板，所述顶盖板盖合于所述第一本体，以形成所述第一壳体，所述第一进风口和所述第一出风口分别开设于所述顶盖板；
17.所述第二壳体包括第二本体和第一密封板，所述第二壳体设置于所述第一壳体内，所述第一密封板盖合于所述第二本体，以围合形成一所述第二壳体。
18.在一些实施例中，所述第一壳体还包括前盖板，所述前盖板可拆卸设置于所述第一壳体，所述第二壳体还包括第二密封板，每一所述密封风腔设有一维修口，所述第二密封板可拆卸设置于所述维修口。
19.在一些实施例中，所述风量调节机柜还包括滚轮，所述滚轮设置于所述柜体；
20.或者，每一所述风机组件至少设置两个风机。
21.本技术公开了一种风量调节机柜，包括柜体、风机组件和风阀，所述柜体设有至少一个密封风腔，所述密封风腔包括进风腔、出风腔、第一进风口和第一出风口，所述风机组件设置于所述进风腔，用于使外部的空气能够依次流经所述第一进风口、所述进风腔和所述出风腔后由所述第一出风口流出，所述风阀设置于所述第一进风口，用于调节由所述第一进风口流入所述进风腔的气流大小。相比于现有技术，本技术通过在第一进风口处设置有风阀，从而通过风阀能够调节由第一进风口流入进风腔的气流大小，进而使得风量调节机柜能够根据不同应用环境的需求输出定量的预定温度气流，以满足环境需求，且无需调整主设备的整体框架结构，或者更换主设备整机，降低了成本。
附图说明
22.图1为本技术实施例提供的风量调节机柜的侧面剖视结构示意图。
23.图2为图1中a处的局部放大图。
24.图3为本技术实施例提供的风量调节机柜的爆炸视图。
25.图4为本技术实施例提供的风量调节机柜侧视结构示意图。
26.附图标记：
27.1、柜体；10、第一壳体；11、进风腔；110、维修口；12、出风腔；13、第一进风口；14、第一出风口；15、第二壳体；16、顶盖板；17、第一密封板；18、前盖板；19、第二密封板；2、风机组件；21、风机；210、第二进风口；211、第二出风口；22、密封组件；220、第一密封圈；221、套筒；222、第二密封圈；223、紧固件；3、风阀；4、隔板；41、通孔；5、安装架；6、滚轮。
具体实施方式
28.为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并
不用于限定本技术。
29.在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；除非另有规定或说明，术语“多个”是指两个或两个以上，术语“多种”是指两种或两种以上；术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
30.本说明书的描述中，需要理解的是，本技术实施例所描述的“上”、“下”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本技术实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。
31.对于以光刻机为代表的超精密加工设备的环境控制，由于设备置于高级洁净室外，设备内部的微环境还需有独立的温控设备，如浸没冷却，空气冷却等。空气冷却由于其布局简单，且可以利用洁净室冷冻水换热，十分方便，因此被广泛采用。但是，由于空气本身的比热容小，在环境微调节中很容易产生波动以及产生局部不均匀性，所以对于超精密温控设备来说，内部的每一环节都需要做好稳定控制以及温度流场均匀分布的设计。
32.本技术的实施例公开了一种风量调节机柜，用于将定量的预定温度的气流输送至超精密加工设备，以对超精密加工设备进行冷却，并满足超精密加工设备内部微环境的需求。
33.参照图1所示，图1为本技术实施例提供的风量调节机柜的侧面剖视结构示意图。该风量调节机柜包括柜体1、风机组件2和风阀3，柜体1设有至少一个密封风腔，所述密封风腔包括进风腔11、出风腔12、第一进风口13和第一出风口14，其中，进风腔11与出风腔12连通，第一进风口13连通于进风腔11，第一出风口14连通于出风腔12。风机组件2设置于进风腔11内，用于驱动预定温度的空气流动，使预定温度的空气能够依次流经第一进风口13、进风腔11和出风腔12后由第一出风口14流出，并提供给超精密加工设备。风阀3设置于第一进风口13，用于调节由第一进风口13流入进风腔11的气流大小，从而使该风量调节机柜能够根据实际需求提供定量的预定温度气流。
34.在本实施例中，密封风腔设有一个，可以理解，在其他实施例中，可根据需要设计n个进、出密封风腔的组合来满足不同需求的应用场景。
35.在本实施例中，风阀3设为自动风阀，自动风阀可检测风速，并根据风速的大小自动开启与关闭，例如，当风速过快时，风量过大，风阀3自动开启，对流入风阀3的气流进行调节。更加方便与主设备联机控制需求风量的大小，从而实现风量大小的高精准控制。可以理解，在其他实施例中，风阀3也可以为手动风阀。
36.在实际的应用场景中，例如，在使用该风量调节机柜对光刻机内部的微环境进行冷却时，首先将风阀3的进风口通过供风设备的出风管与供风设备连接，将第一出风口14通过光刻机的进风管与光刻机连接，然后启动风机组件2和供风设备，使供风设备能够输出恒定温度的风至风阀3，风阀3对恒定温度的风根据需要调节大小，然后经调节后预定量的气流依次流经第一进风口13、进风腔11、风机组件2和出风腔12后由第一出风口14流出，以提
供给光刻机内部的微环境，进而通过恒定温度的风对光刻机内部的微环境进行冷却。
37.相比于现有技术，本技术通过在第一进风口13处设置有风阀3，从而通过风阀3能够调节由第一进风口13流入进风腔11的气流大小，进而使得风量调节机柜能够根据不同应用环境的需求输出定量的预定温度气流，以满足环境需求，且无需调整主设备的整体框架结构，或者更换主设备整机，降低了成本。
38.参照图1和图2所示，图2为图1中a处的局部放大图。密封风腔还包括隔板4和安装架5，隔板4设置于密封风腔内，用于将密封风腔分隔为进风腔11和出风腔12，且隔板4开设有通孔41。安装架5设置于进风腔11内，且连接于隔板4。风机组件2包括风机21，风机21安装于安装架5，且风机21包括第二进风口210和第二出风口211，第二进风口210位于进风腔11，且第二进风口210朝向风阀3，第二出风口211位于通孔41。当风机21启动时，经风阀3调节后预定量的气流依次流经第一进风口13、进风腔11、第二进风口210、第二出风口211和出风腔12后由第一出风口14流出。
39.在本实施例中，通过隔板4将进风腔11和出风腔12进行隔离，从而防止了进风与出风在同一个腔体内导致气流混流，进而导致风压、风速、气流的温度和湿度受到影响。
40.在本实施例中，风机21设有两个，两个风机21可以根据超精密加工设备内部的容量选择性开启，例如，超精密加工设备内部的容量较小，则可以仅开启一个风机21进行工作，保证了节能性以及节约了成本。且两个风机21使得在一个风机21长时间工作或者短路进而损坏后，可进行替换。可以理解，在其他实施例中，风机21的数量也可以根据需要设置。
41.继续参照图2所示，风机组件2还包括密封组件22，密封组件22设置于通孔41，以通过密封组件22防止出风腔12的风倒灌回进风腔11。具体地，密封组件22包括第一密封圈220、套筒221、第二密封圈222和紧固件223，套筒221穿设于通孔41，第二出风口211穿设于套筒221，第一密封圈220套设于第二出风口211与套筒221的连接处，用于密封第二出风口211与套筒221的连接处。第二密封圈222套设于套筒221且位于套筒221与隔板4之间，用于密封套筒221与隔板4的贴合处。紧固件223穿设于套筒221、第二密封圈222和隔板4，用于将套筒221和第二密封圈222固定于隔板4。
42.在本实施例中，套筒221用于固定第一密封圈220，且套筒221的材质为金属，可以理解，在其他实施例中，套筒221的材质也可以为其他。
43.在本实施例中，紧固件223为螺钉，可以理解，在其他实施例中，紧固件223也可以为其他结构。
44.参照图3所示，图3为本技术实施例提供的风量调节机柜的爆炸视图。柜体1还包括第一壳体10和至少一第二壳体15，其中，第一壳体10为风量调节机柜壳体，第二壳体15为密封风腔壳体，可以在一个风量调节机柜壳体内设置若干个密封风腔壳体，即，可以在第一壳体10内设置若干个第二壳体15，第二壳体15的数量与密封风腔的数量相同，如此，通过设置不同组合数量的密封风腔来满足不同需求的应用场景。
45.第一壳体10包括第一本体、顶盖板16和前盖板18，顶盖板16盖合于第一本体，以形成第一壳体10，第一进风口13和第一出风口14分别开设于顶盖板16，前盖板可拆卸设置于第一壳体10，且位于第二密封板19的一侧。或者，另一实施例是，也可以将前盖板18设置为不可拆卸，即前盖板18和第一本体设置为一整体，第一壳体10仅包括第一本体和顶盖板16，或者，在其他实施例中，也可以将第一壳体10的其他面的盖板设置为可拆卸。
46.第二壳体15包括第二本体、第一密封板17和第二密封板19，第二壳体15设置于第一壳体10内，第一密封板17盖合于第二本体，以围合形成一个第二壳体15。每一密封风腔设有一维修口110，第二密封板19可拆卸设置于维修口110，用于方便维护风机21，且保证了进风腔11的密封性。另外，也可以将第二密封板19设置为不可拆卸，即第二密封板19与第二本体设置为一整体，第二壳体15仅包括第二本体和第一密封板17，并且，风机21的维修可以通过拆卸顶盖板16和第一密封板17来进行；或者，也可以将第二壳体15的其他面板设置为可拆卸，第二壳体15可拆卸的面板与第一壳体10可拆卸的盖板的位置相对应，只要能达到方便拆卸维修即可。
47.在本实施例中，第一密封板17用于密封进风腔11和出风腔12，保证了进风腔11和出风腔12的密封性。
48.本技术的风量调节机柜整机结构小巧，对安装空间尺寸要求的范围小，方便了风量调节机柜的安装。
49.参照图4所示，图4为本技术实施例提供的风量调节机柜侧视结构示意图。风量调节机柜还包括滚轮6，滚轮6设置于柜体1，方便了风量调节机柜的移动。
50.以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

技术特征：
1.一种风量调节机柜，其特征在于，包括：柜体，所述柜体设有至少一个密封风腔，所述密封风腔包括进风腔、出风腔、第一进风口和第一出风口；风机组件，所述风机组件设置于所述进风腔，用于使外部的空气能够依次流经所述第一进风口、所述进风腔和所述出风腔后由所述第一出风口流出；风阀，所述风阀设置于所述第一进风口，用于调节由所述第一进风口流入所述进风腔的气流大小。2.根据权利要求1所述的风量调节机柜，其特征在于，所述密封风腔还包括隔板，所述隔板设置于所述密封风腔内，用于将所述密封风腔分隔为所述进风腔和所述出风腔，所述风机组件安装于所述隔板。3.根据权利要求2所述的风量调节机柜，其特征在于，所述隔板开设有通孔，所述风机组件包括风机，所述风机安装于所述隔板，且所述风机包括第二进风口和第二出风口，所述第二进风口位于所述进风腔，所述第二出风口位于所述通孔。4.根据权利要求3所述的风量调节机柜，其特征在于，所述风机组件还包括密封组件，所述密封组件设置于所述通孔，以通过所述密封组件防止所述出风腔的风倒灌回所述进风腔。5.根据权利要求4所述的风量调节机柜，其特征在于，所述密封组件包括第一密封圈和套筒，所述套筒穿设于所述通孔，所述第二出风口穿设于所述套筒，所述第一密封圈套设于所述第二出风口与所述套筒的连接处。6.根据权利要求5所述的风量调节机柜，其特征在于，所述密封组件还包括第二密封圈，所述第二密封圈套设于所述套筒且位于所述套筒与所述隔板之间。7.根据权利要求6所述的风量调节机柜，其特征在于，所述密封组件还包括紧固件，所述紧固件穿设于所述套筒、所述第二密封圈和所述隔板。8.根据权利要求1所述的风量调节机柜，其特征在于，所述柜体包括第一壳体和至少一第二壳体，所述第一壳体包括第一本体和顶盖板，所述顶盖板盖合于所述第一本体，以形成所述第一壳体，所述第一进风口和所述第一出风口分别开设于所述顶盖板；所述第二壳体包括第二本体和第一密封板，所述第二壳体设置于所述第一壳体内，所述第一密封板盖合于所述第二本体，以围合形成一所述第二壳体。9.根据权利要求8所述的风量调节机柜，其特征在于，所述第一壳体还包括前盖板，所述前盖板可拆卸设置于所述第一壳体，所述第二壳体还包括第二密封板，每一所述密封风腔设有一维修口，所述第二密封板可拆卸设置于所述维修口。10.根据权利要求1～9任一项所述的风量调节机柜，其特征在于，所述风量调节机柜还包括滚轮，所述滚轮设置于所述柜体；或者，每一所述风机组件至少设置两个风机。

技术总结
本申请公开了一种风量调节机柜，包括柜体、风机组件和风阀，所述柜体设有至少一个密封风腔，所述密封风腔包括进风腔、出风腔、第一进风口和第一出风口，所述风机组件设置于所述进风腔，用于使外部的空气能够依次流经所述第一进风口、所述进风腔和所述出风腔后由所述第一出风口流出，所述风阀设置于所述第一进风口，用于调节由所述第一进风口流入所述进风腔的气流大小。相比于现有技术，本申请通过在第一进风口处设置有风阀，从而通过风阀能够调节由第一进风口流入进风腔的气流大小，进而使得风量调节机柜能够根据不同应用环境的需求输出定量的预定温度气流，以满足环境需求，且无需调整主设备的整体框架结构，或者更换主设备整机，降低了成本。降低了成本。降低了成本。


技术研发人员：刘伟明
受保护的技术使用者：苏州英维克温控技术有限公司
技术研发日：2023.03.10
技术公布日：2023/7/14