一种蒸发器的制作方法

1.本实用新型涉及蒸发器领域，具体涉及一种蒸发器。


背景技术：

2.在半导体晶片处理中，化学气相沉积(cvd)被广泛用于制备薄膜和涂层。cvd技术包括在有利于所需反应的温度和压力条件下，将气态反应物输送至发生化学反应的基底表面上。在cvd处理中使用升华器或起泡器方法输送固体前体，其中，前体通常置于升华器或起泡器存储器中，然后将前体加热至其升华温度，使其转变成可以用氢、氦、氩或氮等载气输送至cvd反应器的气态化合物。
3.现有技术中，固体前体在蒸发器系统中由于暴露的表面积较少及缺少均匀温度来提供最大程度的升华，进而难以使快速流动的载气流完全饱和。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.本实用新型提供了一种蒸发器，解决的技术问题是：如何增大固体前体在蒸发器中暴露的表面积，并受热均匀，能够加快载气流完全饱和的速度。
6.(二)技术方案
7.为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：
8.一种蒸发器，包括：
9.容器，该容器设有容腔，并包括位于所述容腔内的格栅，所述格栅将所述容腔分隔成至少两个升华腔，所述格栅设有连通口，所述升华腔之间通过所述连通口依次串联，所述容器还设有与首端所述升华腔连通的进气口及与末端所述升华腔连通的出气口；
10.进气组件，所述进气组件与所述进气口连接；
11.出气组件，所述出气组件与所述出气口连接；
12.其中，固体产品通过载气从所述进气组件进入所述进气口，依次贯穿各所述升华腔，并从所述出气口向所述出气组件输出。
13.在一些实施方式中，所述升华腔数量为8个。
14.在一些实施方式中，所述容腔为圆柱腔，末端所述升华腔位于所述容器中部，其余所述升华腔环绕末端所述升华腔设置，所述进气口和出气口位于所述容器顶部，所述出气口位于顶部的中心，所述进气口位于顶部边缘。
15.在一些实施方式中，末端所述升华腔为与所述容腔同中心设置的圆柱腔，其余所述升华腔的横截面为扇形的一部分。
16.在一些实施方式中，与所述升华腔连通的所述进气口和连通口、两个所述连通口或连通口和出气口分别位于所述升华腔的两端，以使载气经过整个所述升华腔。
17.在一些实施方式中，所述容器包括一顶盖，所述顶盖密封盖设于所述容腔顶部，所述进气组件和出气组件连接于所述顶盖上。
18.在一些实施方式中，所述顶盖为法兰盖，所述法兰盖上设有连接螺栓和把手。
19.(三)有益效果
20.与现有技术相比，本实用新型提供的蒸发器，具备以下有益效果：
21.该蒸发器工作时，固体产品通过载气从进气组件进入进气口，依次贯穿各升华腔，并从出气口向出气组件输出；其中，载气带动固体产品贯穿各升华腔的过程中，贯穿路径较长，固体产品吹扫的接触面积更大，使得流动的载气流更快的达到饱和状态，同时，贯穿路径较长而单个升华腔体积减小，使固体前体在各升华腔中能够充分均匀受热，使得流动的载气能够更加快速的完全饱和。可以看出，本实用新型的蒸发器能够增大固体前体在蒸发器中暴露的表面积，并均匀受热，能够加快载气流完全饱和的速度。
附图说明
22.图1为实施例中蒸发器的俯视图；
23.图2为图1中a截面的剖视图；
24.图3为实施例中容腔的立体图；
25.图4为实施例中容腔的俯视图；
26.图5为实施例中载气依次贯穿各升华腔的示意图。
27.附图标记：容器1、进气组件2、出气组件3、容腔11、格栅12、升华腔13、连通口14、进气口15、出气口16、顶盖17、连接螺栓18、把手19。
具体实施方式
28.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
29.相关技术中，固体前体在蒸发器系统中由于暴露的表面积较少及缺少均匀温度来提供最大程度的升华，进而难以使快速流动的载气流完全饱和。
30.参阅图1至图5所示，图1为实施例中蒸发器的俯视图，图2为图1中a截面的剖视图，图3为实施例中容腔的立体图，图4为实施例中容腔的俯视图，图5为实施例中载气依次贯穿各升华腔的示意图。
31.为解决上述技术问题，本实施例提供一种蒸发器，包括：容器1、进气组件2和出气组件3。
32.参阅图3、图4和图5，容器1设有容腔11，并包括位于容腔11内的格栅12，格栅12将容腔11分隔成至少两个升华腔13，格栅12设有连通口14，升华腔13之间通过连通口14依次串联，容器1还设有与首端升华腔13连通的进气口15及与末端升华腔13连通的出气口16。
33.上述容器1通过容腔11容纳载气和固体前体，其中，格栅12可以一体成型于容腔11的腔壁，升华腔13之间彼此隔开，只通过连通口14连通，连通口14可以设置连通管道；进气口15用于引入载气，出气口16用于输出载气；首端升华腔13是与进气口15连通的升华腔13，末端升华腔13是与出气口16连通的升华腔13，首端和末端是指载气在各升华腔13流动方向的前端和后端。
34.参阅图1和图2，进气组件2与进气口15连接。
35.上述进气组件2用于向容腔11内引入载气，可以包括进气管道和设置在进气管道
上的阀门。
36.参阅图1和图2，出气组件3与出气口16连接。
37.上述进气组件2用于输出容腔11内的载气，可以包括输出管道和设置在输出管道上的阀门。
38.其中，固体产品通过载气从进气组件2进入进气口15，依次贯穿各升华腔13，并从出气口16向出气组件3输出。
39.结合图5所示，以上技术方案的蒸发器工作时，容器1外部加热，可以选用氮气作为载气，固体产品通过载气从进气组件2进入进气口15，依次贯穿各升华腔13，升华气化后从出气口16向出气组件3输出；其中，载气带动固体产品贯穿各升华腔13的过程中，贯穿路径较长，固体产品吹扫的接触面积更大，使得流动的载气流更快的达到饱和状态，同时，贯穿路径较长而单个升华腔13体积减小，使固体前体在各升华腔13中能够充分均匀受热，使得流动的载气能够更加快速的完全饱和。可以看出，本技术方案的蒸发器能够增大固体前体在蒸发器中暴露的表面积，并均匀受热，能够加快载气流完全饱和的速度。
40.参阅图4所示，在升华腔13的一种实施方式中，升华腔13数量为8个，当然，升华腔13的数量还可以根据固体实际升华效果增加或减少。
41.参阅图1和图2所示，为了最大化利用容腔11空间，并增大进气口15和出气口16的间距，进而方便进气组件2和出气组件3的安装，容腔11为圆柱腔，末端升华腔13位于容器1中部，其余升华腔13环绕末端升华腔13设置，进气口15和出气口16位于容器1顶部，出气口16位于顶部的中心，进气口15位于顶部边缘。如此，出气口16和进气口15错开，在容器1顶部为进气组件2和出气组件3留足了安装空间。
42.进一步地，末端升华腔13为与容腔11同中心设置的圆柱腔，其余升华腔13的横截面为扇形的一部分。如此，各升华腔13能够充分利用容腔11的空间。
43.参阅图5所示，为了延长载气流动路径，与升华腔13连通的进气口15和连通口14、两个连通口14或连通口14和出气口16分别位于升华腔13的两端，以使载气经过整个升华腔13。其中，升华腔13的两端分别设置进气口15、连通口14和出气口16中的两个，两个口之间即载气的流动路径，如此，载气能够在升华腔13内更加充分的加热和升华固体前体。
44.参阅图1和图2所示，在进气组件2和出气组件3的一种安装方式中，容器1包括一顶盖17，顶盖17密封盖设于容腔11顶部，进气组件2和出气组件3连接于顶盖17上。其中，顶盖17可以是法兰盖，法兰盖通过连接螺栓18与容器1主体连接，法兰盖上还可以设置把手19，把手19方便法兰盖的操作。
45.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解为在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种蒸发器，其特征在于，包括：容器，该容器设有容腔，并包括位于所述容腔内的格栅，所述格栅将所述容腔分隔成至少两个升华腔，所述格栅设有连通口，所述升华腔之间通过所述连通口依次串联，所述容器还设有与首端所述升华腔连通的进气口及与末端所述升华腔连通的出气口；进气组件，所述进气组件与所述进气口连接；出气组件，所述出气组件与所述出气口连接；其中，固体产品通过载气从所述进气组件进入所述进气口，依次贯穿各所述升华腔，并从所述出气口向所述出气组件输出。2.根据权利要求1所述的蒸发器，其特征在于，所述升华腔数量为8个。3.根据权利要求1所述的蒸发器，其特征在于，所述容腔为圆柱腔，末端所述升华腔位于所述容器中部，其余所述升华腔环绕末端所述升华腔设置，所述进气口和出气口位于所述容器顶部，所述出气口位于顶部的中心，所述进气口位于顶部边缘。4.根据权利要求3所述的蒸发器，其特征在于，末端所述升华腔为与所述容腔同中心设置的圆柱腔，其余所述升华腔的横截面为扇形的一部分。5.根据权利要求1所述的蒸发器，其特征在于，与所述升华腔连通的所述进气口和连通口、两个所述连通口或连通口和出气口分别位于所述升华腔的两端，以使载气经过整个所述升华腔。6.根据权利要求1所述的蒸发器，其特征在于，所述容器包括一顶盖，所述顶盖密封盖设于所述容腔顶部，所述进气组件和出气组件连接于所述顶盖上。7.根据权利要求6所述的蒸发器，其特征在于，所述顶盖为法兰盖，所述法兰盖上设有连接螺栓和把手。

技术总结
本实用新型公开了一种蒸发器，涉及蒸发器领域，该蒸发器包括：容器、进气组件和出气组件，容器设有容腔，并包括位于容腔内的格栅，格栅将容腔分隔成至少两个升华腔，格栅设有连通口，升华腔之间通过连通口依次串联，容器还设有与首端升华腔连通的进气口及与末端升华腔连通的出气口；进气组件与进气口连接；出气组件与出气口连接；其中，固体产品通过载气从进气组件进入进气口，依次贯穿各升华腔，并从出气口向出气组件输出。本实用新型的蒸发器能够增大固体前体在蒸发器中暴露的表面积，并均匀受热，能够加快载气流完全饱和的速度。能够加快载气流完全饱和的速度。能够加快载气流完全饱和的速度。


技术研发人员：董岐
受保护的技术使用者：大连恒坤新材料有限公司
技术研发日：2023.03.28
技术公布日：2023/7/19