水冷热屏高度调整装置及单晶炉的制作方法

未命名 08-09 阅读:131 评论:0


1.本实用新型涉及光伏领域,特别涉及一种水冷热屏高度调整装置及单晶炉。


背景技术:

2.如图1和图2所示,单晶硅生产过程中为了使水冷热屏200接近固液界面,更好地带走固液界面结晶产生的潜热,提高拉晶速度,主要依靠单晶炉的升降模组300进行升降水冷热屏200。
3.但是单晶炉内可能会使用不同高度的热场,这时候现有的升降模组的升降行程可能会导致水冷屏的升降行程不能适应不同高度的热场,而改变现有升降模组的升降行程需要改变升降模组的结构和安装位置,成本较大,不利于操作。


技术实现要素:

4.针对现有技术的上述问题,本实用新型的目的在于提供一种水冷热屏高度调整装置及单晶炉,能够增加水冷热屏的调整行程,满足适应不同热场高度的需求。
5.为了解决上述问题,本实用新型一方面提供一种水冷热屏高度调整装置,所述水冷热屏高度调整装置包括:
6.第一l型板,包括水平设置的第一横板和垂直设置在所述第一横板下方的第一竖板,所述第一竖板与单晶炉的升降模组连接,所述第一横板从所述第一竖板的上端向水冷热屏一侧延伸;
7.第二l型板,包括水平设置的第二横板和垂直设置在所述第二横板上方的第二竖板,所述第二横板与水冷热屏连接,所述第二竖板与所述第一竖板平行设置并且位于所述第一横板的下侧和所述第一竖板的面对所述水冷热屏的一侧,所述第二横板从所述第二竖板的下端向所述水冷热屏一侧延伸;
8.调节螺栓,所述调节螺栓竖向穿设所述第二竖板和所述第一横板,通过旋转所述调节螺栓使得所述第二竖板相对于所述第一横板升降。
9.进一步地,在所述第一竖板的面对所述第二竖板的一侧形成有竖向设置的导槽,在所述第二竖板上设有滑动部,所述滑动部的至少一部分从所述第二竖板面对所述第一竖板的一侧向所述第一竖板突出,所述滑动部配合在所述导槽内并在所述第二竖板相对于所述第一横板升降时能够沿着所述导槽上下滑动。
10.进一步地,在所述第一竖板上平行设置两个所述导槽,两个所述导槽分别对称位于所述调节螺栓的两侧,在所述第二竖板上设有四个所述滑动部,每个所述导槽内配合有上下布置的两个所述滑动部。
11.进一步地,所述导槽形成为燕尾槽。
12.进一步地,所述滑动部包括:
13.燕尾型螺母,所述燕尾型螺母配合在所述燕尾槽内且能够沿着所述燕尾槽上下滑动;以及
14.连接螺栓,所述连接螺栓从所述第二竖板的面向所述水冷热屏的一侧穿设至所述第二竖板的面向所述第一竖板的一侧,且与位于所述燕尾槽内的所述燕尾型螺母螺合。
15.进一步地,所述第二竖板上设有从所述第二竖板的面向所述水冷热屏的一侧贯穿至所述第二竖板的面向所述第一竖板的一侧的开口,所述调节螺栓的螺栓头设置在所述开口内,并且所述调节螺栓的螺杆从所述开口的上表面向上穿过所述第二竖板后与所述第一横板螺纹连接。
16.进一步地,所述水冷热屏高度调整装置还包括压力轴承,所述压力轴承设置在所述调节螺栓的螺栓头和所述开口的上表面之间。
17.进一步地,水冷热屏高度调整装置还包括顶丝,所述顶丝位于所述压力轴承的下方并且插设在所述调节螺栓的螺栓头内以对所述压力轴承进行支撑。
18.进一步地,所述第一竖板的侧边设有刻度尺;所述第二竖板上设有指示所述刻度尺的指示标记。
19.本实用新型另一方面提供一种单晶炉,所述单晶炉包括:包括炉体、位于所述炉体内的水冷热屏以及位于所述炉体外并带动所述水冷热屏升降的升降模组,在所述水冷热屏与所述升降模组之间设置有水冷热屏高度调整装置,所述水冷热屏高度调整装置为以上任一项所述的水冷热屏高度调整装置。
20.由于上述技术方案,本实用新型具有以下有益效果:
21.根据本实用新型实施例的水冷热屏高度调整装置,在升降模组带动水冷热屏达到升降行程的极端时,可以进一步旋转调节螺栓,从而使得调节螺栓在与升降模组固定连接的第一l型板的第一横板上进行旋进或旋出,带动第二l型板相对于第一l型板进一步升降,通过第二l型板带动水冷热屏进行进一步升降,从而到达增加水冷热屏的升降行程的目的,使得水冷热屏可以进一步接近固液界面,水冷热屏升降装置能够在现有升降模组的升降行程的基础上进一步增加水冷热屏的行程,满足适应不同热场高度的需求,并且还无需对现有升降模组的内部结构和安装位置改动。
附图说明
22.为了更清楚地说明本实用新型的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它附图。
23.图1是现有单晶炉的升降模组和水冷热屏连接的结构图;
24.图2是图1中的区域a的放大图;
25.图3是根据本实用新型一个实施例的单晶炉的结构图;
26.图4是图3中的区域b的放大图;
27.图5是根据本实用新型一个实施例的水冷热屏高度调整装置的结构图;
28.图6根据图5实施例的压力轴承和调节螺栓的结构图;
29.图7是根据本实用新型一个实施例的第一竖板的沿水平方向截取的截面图。
30.附图标记:
31.100、水冷热屏高度调整装置;11、第一横板;12、第一竖板;12a、燕尾槽;13、刻度
尺;21、调节螺栓;21a、螺栓头;21b、螺杆;22、压力轴承;23、顶丝;31、第二竖板;32、第二横板;33、连接螺栓;34、指示标记;200、水冷热屏;300、升降模组。
具体实施方式
32.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
33.需要说明的是,本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象,而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便这里描述的本实用新型的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外,术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含。
34.下面,说明本实用新型实施例的水冷热屏高度调整装置100。
35.如图3至图7所示,本实用新型实施例的水冷热屏高度调整装置100包括第一l型板、第二l型板及调节螺栓21。
36.首先,说明第一l型板。第一l型板包括水平设置的第一横板11和垂直设置在第一横板11下方的第一竖板12,第一竖板12与单晶炉的升降模组300连接,第一横板11从第一竖板12的上端向水冷热屏200一侧延伸。具体地,第一竖板12与升降模组300的升降输出端连接,可以在升降模组300的驱动下升降;第一横板11设置在第一竖板12的上端并且从第一竖板12的上端向水冷热屏200侧延伸。
37.可选地,通过第一固定螺栓穿过第二竖板31,与单晶炉的升降模组300连接,具体地,第一固定螺栓穿过第二竖板31与升降模组300的升降输出端连接。单晶炉的升降模组300可以带动第一l型板进行升降运动。
38.接着,说明第二l型板。第二l型板包括水平设置的第二横板32和垂直设置在第二横板32上方的第二竖板31,第二横板32用于与水冷热屏200连接。具体地,第二竖板31与第一竖板12平行设置。第二竖板31设置在第一竖板12的面对水冷热屏200的一侧并且位于第一横板11的下方。第二横板32设置在第一竖板31的下方并且从第一竖板31的下端向水冷热屏200侧延伸。
39.可选地,通过第二固定螺栓穿过第二横板32,与水冷热屏200连接。第二l型板可以与水冷热屏200同步升降运动。
40.最后,说明调节螺栓21。调节螺栓21竖向穿设第二竖板31和第一横板11,通过旋转调节螺栓21可以调节第二竖板31和第一横板11之间的距离,从而调节第二l型板相对于第一l型板升降。
41.可选地,调节螺栓21的螺栓头可以设置在第二竖板31上,调节螺栓21的螺杆可以从下向上穿过第一横板11并且与第一横板11螺纹连接,旋转调节螺栓21,从而使得调节螺栓21在与调节螺栓21的螺杆螺纹连接的第一横板11上旋进或旋出,带动第二竖板31相对于第一横板11升降运动,进而带动第二l型板相对于第一l型板升降运动。调节螺栓21竖向穿
设第二竖板31,可以与第二竖板31可转动连接。
42.可选地,为了增加第一横板11和调节螺栓21连接的稳固性,可以在第一横板11的上方设置与调节螺栓21相螺合的第一紧固螺母。可选地,调节螺栓22的螺栓头21a与第二竖板31可转动连接,调节螺栓22的螺杆21b与第二竖板31非螺纹连接(螺杆21b穿过第二竖板的通孔),避免调节螺栓22转动时,调节螺栓22在第二竖板31内旋进旋出,发生相对位而造成调整水冷热屏200的精度下降的情况。
43.在不旋转调节螺栓21的情况下,第一l型板和第二l型板彼此固定,此时的水冷热屏高度调整装置100仅仅起到将水冷热屏200固定在升降模组100上的作用,此时仅仅通过升降模组100来调节水冷热屏200的高度;当在单晶炉内更换不同高度的热场之后,由于热场的高度变化,导致单晶炉内坩埚的高度发生变化,此时,会导致原来的升降模组100驱动水冷热屏200的升降行程不能满足现有的固液界面高度的需求,因此,在升降模组100带动水冷热屏200达到升降行程的极端时,可以进一步旋转调节螺栓21,从而使得调节螺栓21在与升降模组300固定连接的第一l型板的第一横板11上进行旋进或旋出,带动第二l型板相对于第一l型板进一步升降,通过第二l型板带动水冷热屏200进行进一步升降,从而到达增加水冷热屏200的升降行程的目的,使得水冷热屏可以进一步接近固液界面。由此,本技术的水冷热屏升降装置100能够在现有升降模组的升降行程的基础上进一步增加水冷热屏200的行程,满足适应不同热场高度的需求,并且还无需对现有升降模组的内部结构和安装位置改动。
44.根据本实用新型一些实施例,在第一竖板12的面对所述第二竖板31的一侧形成有竖向设置的导槽,在第二竖板31上设有滑动部,滑动部的至少一部分从所述第二竖板面对第一竖板的一侧向所述第一竖板突出,滑动部配合在导槽内并在所述第二竖板31相对于所述第一横板11升降时能够沿着所述导槽上下滑动。
45.如图5所示,滑动部的至少一部分突出第二竖板31,且被限制在沿着竖直方向延伸的导槽内,只能沿着导槽的延伸方向上下运动,滑动部通过螺栓固定连接第二竖板31,从而使得第二竖板31被限制沿着导槽的延伸方向移动,进而使得第二l型板沿着竖直方向升降运动。
46.进一步地,在第一竖板12上平行设置两个导槽,两个导槽分别对称位于调节螺栓21的两侧,在第二竖板31上设有四个滑动部,每个导槽内配合有上下布置的两个滑动部。由此,能够使得第二竖板31相对第一竖板12能够平稳地沿着导槽延伸方向移动。
47.根据本实用新型一些实施例,导槽形成为燕尾槽12a。滑动部包括燕尾型螺母和连接螺栓33。燕尾型螺母配合在燕尾槽12a内且能够沿着燕尾槽12a上下滑动。连接螺栓33横向穿设第二竖板31,即连接螺栓33从第二竖板31的面向水冷热屏的一侧穿设至第二竖板31的面向第一竖板12的一侧,且与位于燕尾槽内的燕尾型螺母螺合。如图7所示的t形的燕尾槽,与燕尾型螺母相配合。
48.当需要调整水冷热屏200的位置时,可以稍微松开连接螺栓33,使得第二竖板31、连接螺栓33及燕尾型螺母作为整体可以沿着燕尾槽12a的延伸方向上下滑动,当调整到预定位置,拧紧连接螺栓33,从而使得第二竖板31和第一竖板12紧密连接,相对位置固定,从而使得水冷热屏200位置稳定。
49.可选地,燕尾槽12a包括平行设置的两个,两个燕尾槽12a分别对应位于调节螺栓
21的两侧,燕尾型螺母包括四个,四个燕尾型螺母两两配合在燕尾槽12a内,连接螺栓33包括四个,四个连接螺栓33分别与四个燕尾型螺母一一对应设置。
50.第二l型板的第二竖板31带动与其相连的四个燕尾螺母,四个燕尾螺母两两在两个平行的燕尾槽12a内滑动,使得第二l型板能够顺畅且稳定地进行升降运动,从而带动与第二l型板相连的水冷热屏200稳定的移动到预定位置,再拧紧四个连接螺栓33,从而使得第二l型板和第一l型板的位置保持稳定,进而使得水冷热屏200的位置稳定地维持在预定位置。
51.根据本实用新型一些实施例,第二竖板31上设有从第二竖板21的面向水冷热屏200的一侧贯穿至第二竖板21的面向第一竖板12的一侧的开口。调节螺栓21的螺栓头21a设置在开口内并且调节螺栓21的螺杆21b从开口的上表面向上穿过所述第二竖板31和第一横板11,与第一横板11螺纹连接。
52.其中,开口可以是矩形(如图5所示),三角形、梯形等。通过设置开口,能够减少调节螺栓21穿设的长度,减少其转动的阻力。
53.进一步地,水冷热屏高度调整装置100还包括压力轴承22。压力轴承22设置在调节螺栓21的螺栓头21a和开口的上表面之间。
54.压力轴承22的转动阻力较低,螺栓头21a抵接压力轴承22,螺栓头21a的转动带动压力轴承22转动,即通过压力轴承22能够减少调节螺栓21的转动时与开口上表面之间的摩擦阻力,从而使得水冷热屏200的高度调整更加顺畅。
55.进一步地,如图5和图6所示,水冷热屏高度调整装置100还包括顶丝23。顶丝23位于压力轴承22的下方并且插设在调节螺栓11的螺栓头21a内以对压力轴承22进行支撑。通过拧紧顶丝23,。使得调节螺栓11的螺栓头21a与顶丝23之间连接稳定,通过顶丝23能够进一步支撑压力轴承22,防止压力轴承脱离。
56.根据本实用新型一些实施例,第一竖板12的侧边设有刻度尺13。
57.通过刻度尺13能够让方便操作人员清晰的查看第一竖板12相对第二竖板31的相对移动的距离,从而准确获知水冷热屏200调节的距离。
58.进一步地,第二竖板31上与刻度尺13对应处设有指示标记34。其中,指示标记34可以为箭头、横线等。
59.第二l型板的第二竖板31指示标记34可以准确地对准第一竖板12刻度尺13,从而增加调节的精度。
60.下面,说明本实用新型实施例的单晶炉。
61.单晶炉包括炉体、位于炉体内的水冷热屏200以及位于炉体外并带动水冷热屏200升降的升降模组300,在水冷热屏200与升降模组300之间设置有上述的水冷热屏高度调整装置100。
62.如图3和图4所示,本实用新型实施例的单晶炉包括两个相对设置的水冷热屏高度调整装置100。
63.单晶炉设置两个水冷热屏高度调整装置100,分别设置在水冷热屏200的两侧,从而能够更稳定地带动水冷热屏200移动。通过两个水冷热屏高度调整装置100对水冷热屏200的高度调整过程中,可以利用刻度尺13和指示标记34,使得两侧的水冷热屏高度调整装置100调整水冷热屏200的高度保持一致,使得水冷热屏200的保持水平。
64.包括水冷热屏高度调整装置的单晶炉,在升降模组300带动水冷热屏200达到升降行程的极端时,可以进一步旋转调节螺栓21,从而使得调节螺栓21在与升降模组300固定连接的第一l型板的第一横板11上进行旋进或旋出,带动第二l型板相对于第一l型板进一步升降,通过第二l型板带动水冷热屏进行进一步升降,从而到达增加水冷热屏200的升降行程的目的,使得水冷热屏200可以进一步接近固液界面,水冷热屏升降装置能够在现有升降模组300的升降行程的基础上进一步增加水冷热屏200的调整行程,满足适应不同热场高度的需求,并且还无需对现有升降模组300的内部结构和安装位置改动。
65.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征:
1.一种水冷热屏高度调整装置,其特征在于,包括:第一l型板,包括水平设置的第一横板和垂直设置在所述第一横板下方的第一竖板,所述第一竖板与单晶炉的升降模组连接,所述第一横板从所述第一竖板的上端向水冷热屏一侧延伸;第二l型板,包括水平设置的第二横板和垂直设置在所述第二横板上方的第二竖板,所述第二横板与水冷热屏连接,所述第二竖板与所述第一竖板平行设置并且位于所述第一横板的下侧和所述第一竖板的面对所述水冷热屏的一侧,所述第二横板从所述第二竖板的下端向所述水冷热屏一侧延伸;调节螺栓,所述调节螺栓竖向穿设所述第二竖板和所述第一横板,通过旋转所述调节螺栓使得所述第二竖板相对于所述第一横板升降。2.根据权利要求1所述的水冷热屏高度调整装置,其特征在于,在所述第一竖板的面对所述第二竖板的一侧形成有竖向设置的导槽,在所述第二竖板上设有滑动部,所述滑动部的至少一部分从所述第二竖板面对所述第一竖板的一侧向所述第一竖板突出,所述滑动部配合在所述导槽内并在所述第二竖板相对于所述第一横板升降时能够沿着所述导槽上下滑动。3.根据权利要求2所述的水冷热屏高度调整装置,其特征在于,在所述第一竖板上平行设置两个所述导槽,两个所述导槽分别对称位于所述调节螺栓的两侧,在所述第二竖板上设有四个所述滑动部,每个所述导槽内配合有上下布置的两个所述滑动部。4.根据权利要求3所述的水冷热屏高度调整装置,其特征在于,所述导槽形成为燕尾槽。5.根据权利要求4所述的水冷热屏高度调整装置,其特征在于,所述滑动部包括:燕尾型螺母,所述燕尾型螺母配合在所述燕尾槽内且能够沿着所述燕尾槽上下滑动;以及连接螺栓,所述连接螺栓从所述第二竖板的面向所述水冷热屏的一侧穿设至所述第二竖板的面向所述第一竖板的一侧,且与位于所述燕尾槽内的所述燕尾型螺母螺合。6.根据权利要求5所述的水冷热屏高度调整装置,其特征在于,所述第二竖板上设有从所述第二竖板的面向所述水冷热屏的一侧贯穿至所述第二竖板的面向所述第一竖板的一侧的开口,所述调节螺栓的螺栓头设置在所述开口内,并且所述调节螺栓的螺杆从所述开口的上表面向上穿过所述第二竖板后与所述第一横板螺纹连接。7.根据权利要求6所述的水冷热屏高度调整装置,其特征在于,所述水冷热屏高度调整装置还包括压力轴承,所述压力轴承设置在所述调节螺栓的螺栓头和所述开口的上表面之间。8.根据权利要求7所述的水冷热屏高度调整装置,其特征在于,还包括顶丝,所述顶丝位于所述压力轴承的下方并且插设在所述调节螺栓的螺栓头内以对所述压力轴承进行支撑。9.根据权利要求1所述的水冷热屏高度调整装置,其特征在于,所述第一竖板的侧边设有刻度尺;所述第二竖板上设有指示所述刻度尺的指示标记。10.一种单晶炉,包括炉体、位于所述炉体内的水冷热屏以及位于所述炉体外并带动所述水冷热屏升降的升降模组,其特征在于,
在所述水冷热屏与所述升降模组之间设置有水冷热屏高度调整装置,所述水冷热屏高度调整装置为权利要求1至9任一项所述的水冷热屏高度调整装置。

技术总结
本实用新型提供一种水冷热屏高度调整装置及单晶炉,所述水冷热屏高度调整装置包括:第一L型板,所述第一L型板包括水平设置的第一横板和垂直设置在所述第一横板下方的第一竖板,所述第一竖板与单晶炉的升降模组连接;第二L型板,包括水平设置的第二横板和垂直在所述第二横板上方的第二竖板,所述第二横板与水冷热屏连接,所述第二竖板与所述第一竖板平行设置并且位于所述第一横板的下侧和所述第一竖板的面对所述水冷热屏一侧;调节螺栓,所述调节螺栓竖向穿设所述第二竖板和所述第一横板。本实用新型的水冷热屏高度调整装置能够增加水冷热屏的高度的调整行程,满足适应不同热场高度的需求。场高度的需求。场高度的需求。


技术研发人员:尤志剑 陈铁旦 焦继兰
受保护的技术使用者:晶澳(邢台)太阳能有限公司
技术研发日:2023.03.06
技术公布日:2023/8/8
版权声明

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