弧形光源及具有其的边缘三面检测光学系统的制作方法

1.本实用新型涉及表面缺陷检测领域，特别涉及一种弧形光源及具有其的边缘三面检测光学系统。


背景技术：

2.形如液晶面板、晶圆及高精度玻璃等产品的外周边缘部分需要进行表面缺陷检测以保证产品整体质量，这些产品的边缘部分包括侧表面以及与侧表面连接的上下两个表面。通常，在对边缘部分检测时需要同时检测上述三个表面，由于三个表面处于不同的平面，因此无法使用同一个成像系统同时对这三个部分成像，最简单的办法是使用3个成像系统分别对三个部分分别成像，但这样会导致整体的视觉结构变得非常复杂且需要占用较大的空间，同时为了处理图像需要配置更多的电脑，浪费更多的算力。
3.虽然利用光路折转可以实现使用一个相机对晶圆等产品的边缘三个表面同时清晰成像，但需要对其进行良好的照明才能得到较好的图像。现有的方案是在产品的上下两侧使用点光源来实现对三个表面进行同时照明。采用现有的方案，产品的侧表面与上下两个表面照明面积不同，并且与光源的距离不同，导致侧表面与上下表面亮度不一样，可能导致有的表面过曝或者亮度不够。特别是有些产品三个表面粗糙度不一致，如很多晶圆上表面是光面，下表面是毛面，反射光强是不相等的，如果使用同样的光照强度容易导致成像效果不佳。


技术实现要素：

4.本实用新型的实施例提供一种弧形光源及具有其的边缘三面检测光学系统，用以提高对产品周向边缘的三个表面进行补光时的光照均匀度，使三面检测效果更佳。
5.为了解决上述技术问题，本实用新型的实施例公开了如下技术方案：
6.一方面，提供了一种弧形光源，用于对待测产品进行补光，所述弧形光源包括：
7.弧形基座，其具有彼此相对的外表面和内表面；
8.发光单元，其布置在所述弧形基座的内部，以致所述发光单元的光线通过所述内表面向外射出，或者，所述发光单元贴附在所述内表面；
9.其中，所述内表面为内凹的弧面或球面。
10.除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述发光单元为若干个按预设规则排列的led点光源。
11.除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，至少部分所述内表面由透明或者半透明材质制成。
12.除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述待测产品具有彼此相背离的第一表面、第二表面及侧表面，所述第一表面及所述第二表面在各自的周向边缘处分别具有第一边缘面及第二边缘面，所述侧表面连接在所述第一边缘面与第二边缘面之间，其中，所述发光单元包括上段光源、下段光源以及布置在所述上段光源与下段光源之间
的中段光源，所述上段光源的光线至少部分射向所述第一边缘面，所述下段光源的光线至少部分射向所述第二边缘面，所述中段光源的光线至少部分射向所述侧表面。
13.除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述上段光源、中段光源及下段光源中两两之间连续过渡。
14.除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述上段光源、中段光源及下段光源中的至少两者彼此隔断。
15.除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述上段光源、中段光源及下段光源中的至少两者发出的光线颜色不同。
16.除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述上段光源、中段光源及下段光源中的至少两者发出的光线强度不同。
17.除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，还包括控光单元，所述控光单元与所述发光单元电连接。
18.除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述控光单元包括上控光、中控光及下控光，所述上控光、中控光及下控光分别与所述上段光源、中段光源及下段光源电连接。
19.另一方面，进一步公开了一种边缘三面检测光学系统，用于对待测产品的边缘部分进行缺陷检测，所述待测产品具有彼此相背离的第一表面、第二表面及侧表面，所述第一表面及所述第二表面在各自的周向边缘处分别具有第一边缘面及第二边缘面，所述侧表面连接在所述第一边缘面与第二边缘面之间，除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述边缘三面检测光学系统包括如上述任一项所述的弧形光源，所述弧形光源产生的光线投射至所述第一边缘面、第二边缘面及侧表面。
20.除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，边缘三面检测光学系统还包括：
21.第一光路，其接收来自所述第一边缘面的第一光线并引导所述第一光线沿着所述第一光路的传播路径传送；
22.第二光路，其接收来自所述第二边缘面的第二光线并引导所述第二光线沿着所述第二光路的传播路径传送；以及
23.第三光路，其接收来自所述侧表面的第三光线并引导所述第三光线沿着所述第三光路的传播路径传送；
24.其中，所述第一光路、所述第二路径及所述第三路径三者的光程相等。
25.又一方面，进一步公开了一种边缘三面检测装置，除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述边缘三面检测装置包括如上述任一项所述的边缘三面检测光学系统及保持机构，所述保持机构将所述边缘三面检测光学系统保持在预设位置，以致所述弧形光源产生的光线投射至所述第一边缘面、第二边缘面及侧表面。
26.上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于所述内表面为内凹的弧面或球面，使得光源距离产品周向边缘三个表面的距离容易达成一致，能够提高对产品周向边缘的三个表面进行补光时的光照均匀度。
27.上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于弧形光源的发光单元分为三个独立的光源，各光源的光照强度可以根据产品表面的是光面还是毛面或者
距离的远近，分别控制对应光源的光照强度，从而提高对产品周向边缘的三个表面进行补光时的光照均匀度，使三面检测效果更佳。
附图说明
28.下面结合附图，通过对本实用新型的具体实施方式详细描述，将使本实用新型的技术方案及其它有益效果显而易见。
29.图1是根据本实用新型实施例提供的一种弧形光源的立体图；
30.图2是根据本实用新型实施例提供的边缘三面检测光学系统的立体图，该光学系统具有弧形光源；
31.图3是根据本实用新型实施例提供的弧形光源与产品相配合的立体图；
32.图4是根据本实用新型实施例提供的弧形光源的俯视图；
33.图5是根据本实用新型实施例提供的弧形光源的前视图；
34.图6是根据本实用新型实施例提供的边缘三面检测光学系统的正视图，图中示出了各光路在正视视角下的具体走向；
35.图7是根据本实用新型实施例提供的边缘三面检测光学系统的俯视图，图中示出了各光路在俯视视角下的具体走向。
具体实施方式
36.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
37.在对形如液晶面板、晶圆及高精度玻璃等产品的外周边缘的三个表面进行缺陷检测时，往往需要对上述产品进行补光，目前的方案大多采用在产品的上下两侧使用点光源来实现对三个表面进行同时照明。现有的方案，往往又于产品的侧表面与上下两个表面照明面积不同、与光源的距离不同，导致侧表面与上下表面亮度不一样，可能导致有的表面过曝或者亮度不够，最终影响检测效果，造成缺陷不容易检出或者误检的问题，为了解决上述问题，本技术的实施例提供一种弧形光源3。其中，图1示出了弧形光源3的立体图，图3示出了弧形光源3对产品5进行照射时的配合示意图。
38.图1及图3所示，该弧形光源3，用于对待测产品5进行补光，待测产品5具有彼此相背离的第一表面51、第二表面52及侧表面53，第一表面51及第二表面52在各自的周向边缘处分别具有第一边缘面511及第二边缘面521，侧表面53连接在第一边缘面511与第二边缘面521之间，弧形光源3包括：
39.弧形基座31，其具有彼此相对的外表面311和内表面312，在优选的实施方式中，弧形基座31还具有彼此相对的上表面313和下表面314,以及彼此相对的左表面315和右表面316，外表面311、内表面312、上表面313、下表面314、左表面315及右表面316依次围合形成所述弧形基座31，弧形基座31的内部可以是实心的也可以是空心的；
40.发光单元32，如图1所示，在一实施方式中，发光单元32布置在弧形基座31的内部，以致发光单元32的光线通过内表面312向外射出，在另一实施方式中，所述发光单元32贴附在内表面312上；
41.其中，所述内表面312为内凹的弧面或球面，以致内表面312距上表面313和下表面314的距离相等。在图1示出的实施方式中，内表面312为内凹的弧面，外表面311为外凸的弧面，这是针对产品5的第一表面51和第二表面52均为平面而设置的，虽然未示出于此，本领域的技术人员应当理解，内表面312完全可以根据第一表面51和第二表面52为外凸的球面而设置成内凹的球面，只要内表面312距第一表面51和第二表面52的距离相等即可。
42.在优选的实施方式中，发光单元32可以为若干个按预设规则排列的led点光源。
43.如图1或图3所示，当部分发光单元32设置在弧形基座31的内部时，另一部分的发光单元32贴附在内表面312上时，为了使得光线能从弧形基座31的内部射出，部分内表面312由透明或者半透明材质制成；或者，当全部发光单元32设置在弧形基座31的内部时，为了使得光线能从弧形基座31的内部射出，内表面312与发光单元32相对部分由透明或者半透明材质制成。
44.进一步的，发光单元32包括上段光源321、下段光源323以及布置在上段光源321与下段光源323之间的中段光源322，上段光源321的光线至少部分射向第一边缘面511，下段光源323的光线至少部分射向所述第二边缘面521，中段光源322的光线至少部分射向所述侧表面53。
45.在其中一实施方式中，上段光源321、中段光源322及下段光源323中两两之间连续过渡，只需保证上段光源321距第一边缘面511的距离和下段光源323距第二边缘面521的距离相等，通过将上段光源321、中段光源322及下段光源323设置在同一光照强度下即可实现对产品5的周向边缘均匀照射，获得较佳的补光效果。
46.在另一实施方式中，上段光源321、中段光源322及下段光源323中的至少两者彼此隔断，例如，在如图1示出的实施方式中，上段光源321、中段光源322及下段光源323中的三者彼此隔断，相互独立，此时不必保证上段光源321距第一边缘面511的距离和下段光源323距第二边缘面521的距离相等，可以通过调整上段光源321、中段光源322及下段光源323三者不同的光照强度或者光线颜色来实现对产品5的周向边缘均匀照射，获得较佳的补光效果。各光源的光照强度可以根据产品表面的是光面还是毛面或者距离的远近，分别控制对应光源的光照强度，从而提高对产品周向边缘的三个表面进行补光时的光照均匀度，使三面检测效果更佳。在图4示出的实施例中，内表面312与外表面311为具有共同圆心o的同心圆弧形结构，其中，圆心o距离内表面312的距离为r1，圆心o距离外表面311的距离为r2，则r2：r1＝1.5～2，在图4示出的实施例中，r1＝30mm，r2＝50mm；在图4示出的实施例中，上段光源321、中段光源322及下段光源323中的三者彼此隔断，相互独立，其中，上段光源321、中段光源322及下段光源323三者的圆心角分别为α1、α2及α3，α1、α2及α3三者间的圆心角差为γ，在优选的实施方式中，α1、α2及α3的角度大小均为为40
°
，圆心角差γ为2
°
。
47.参照图5，定义发光单元32在轴向上的高度为h，弧形基座31在轴向上的厚度为h，则有h:h＝0.5～0.8，在图5示出的实施例中，h＝15mm，h＝27mm。
48.为了实现对反光单元32的光照强度控制及光线颜色控制，还可以包括控光单元，该控光单元与所述发光单元32电连接。进一步地，控光单元包括上控光、中控光及下控光，该上控光、中控光及下控光分别与上段光源321、中段光源322及下段光源323电连接。
49.参照图2，本技术的实施例还提供一种边缘三面检测光学系统1，用于对待测产品5的边缘部分进行缺陷检测，该边缘三面检测光学系统1包括如上任一项所述的弧形光源3，弧形光源3产生的光线投射至所述第一边缘面511、第二边缘面521及侧表面53。
50.进一步地，参照图边缘三面检测光学系统1包括：
51.第一光路11，其具有第一接收端及第一出射端，第一接收端被定位为接收来自第一边缘面511的第一光线并将第一光线传送到第一出射端；
52.第二光路12，其具有第二接收端及第二出射端，第二接收端被定位为接收来自第二边缘面521的第二光线并将第二光线传送到第二出射端；以及
53.第三光路13，其具有第三接收端及第三出射端，第三接收端被定位为接收来自侧表面53的第三光线并将第三光线传送到第三出射端；
54.其中，第一出射端、第二出射端及第三出射端终止于一采集平面s，定义：
55.第一接收端与第一出射端间的光程为第一光程l1；
56.第二接收端与第二出射端间的光程为第二光程l2；
57.第三接收端与第三出射端间的光程为第三光程l3；则：
58.第一光程l1、第二光程l2及第三光程l3三者光程相等。
59.在下文及整个说明书中，术语“光程”，可理解为在相同时间内光线在真空中传播的距离。在传播时间相同或相位改变相同的条件下，把光在介质中传播的路程折合为光在真空中传播的相应路程。在数值上，光程等于介质折射率乘以光在介质中传播的路程。其中，由于图1及图2示出的实施例中，光线均在空气这一同一介质中传播，这里可以忽视空气折射率带来的影响，因此，第一光程l1、第二光程l2及第三光程l3三者光程相等，是指第一光线、第二光线及第三光线三者在空气这一传播介质中的传播路径相等。
60.此外，第一光路11、第二光路12及第三光路13中的“第一”、“第二”及“第三”只是为了能够区分光学系统1中的不同光路，其并不是对光路的个数或者顺序的限制。例如，第一光路11对应于接收并偏转第一边缘面511的第一光线，相应地，第二光路12对应于接收并偏转第二边缘面521的第二光线；又例如，第一光路11对应于接收并偏转第二边缘面521的第二光线，第二光路12对应于接收并偏转第一边缘面511的第一光线。
61.其中，第一出射端、第二出射端及第三出射端终止于一采集平面s是指，第一光线、第二光线及第三光线均照射至同一采集平面s上。
62.上述光学系统1，由于其通过在三个方向上分别对相关光路进行偏转，使得三个光路的光程相等，最终仅使用一个成像系统，即可在保证成像清晰度的情况下完成液晶平板、晶圆及光学玻璃等产品的边缘区域三个表面同步进行表面缺陷检测，且无需采用大景深镜头即可进行对成像后的图像进行清晰采集，缩小了系统的整体体积，简化了系统结构，降低了昂贵的设备搭建费用。
63.再次参照图1及图2，光学系统1具有置物平面p、第一方向z及第二方向x；第一方向
z与置物平面p相垂直，第二方向x与第一方向z相垂直；其中，置物平面p穿过待测产品5的中心54，以致第一边缘面511距置物平面p的距离与第二边缘面521距置物平面p的距离相等。如此布置，可使得第一光路11、第二光路12及第三光路13的接收端分别与第一边缘面511、第二边缘面521及侧表面53相对齐。
64.在本技术的实施例中，第一光路11包括第一上偏转面1111、第二上偏转面1121及第三上偏转面1131，第一上偏转面1111、第二上偏转面1121及第三上偏转面1131沿着第一光线的传送路径依次布置；
65.其中，第一上偏转面1111被配置为将第一光线从第一方向z偏转至第二方向x；
66.第二上偏转面1121被配置为将第一光线从第二方向x偏转至第一方向z；
67.第三上偏转面1131被配置为将第一光线从第一方向z偏转至第二方向x。
68.在优选的实施例中，第一上偏转面1111及第二上偏转面1121分别与第二方向x呈135
°
夹角及45
°
夹角，第三上偏转面1131与第二方向x呈45
°
夹角。
69.在本技术的实施例中，定义：
70.第一光线沿着第一方向z从第一边缘面511出发至第一上偏转面1111的距离为l1；
71.第一光线沿着第二方向x从第一上偏转面1111出发至第二上偏转面1121的距离为l2；
72.第一光线沿着第一方向z从第二上偏转面1121出发至第三上偏转面1131的距离为l3；
73.第一光线沿着第二方向x从第三上偏转面1131出发至采集平面s的距离为l4；则：
74.第一光程l1的长度为l1＝l1+l2+l3+l4。
75.在本技术的实施例中，第二光路12包括第一下偏转面1211、第二下偏转面1221及第三下偏转面1231，第一下偏转面1211、第二下偏转面1221及第三下偏转面1231沿着第二光线的传送路径依次布置；
76.其中，第一下偏转面1211被配置为将第二光线从第一方向z偏转至第二方向x；
77.第二下偏转面1221被配置为将第二光线从第二方向x偏转至第一方向z；
78.第三下偏转面1231被配置为将第二光线从第一方向z偏转至第二方向x。
79.在优选的实施例中，第一下偏转面1211及第二下偏转面1221分别与第二方向x呈45
°
夹角及135
°
夹角，第三下偏转面1231与第二方向x呈135
°
夹角。
80.在本技术的实施例中，定义：
81.第二光线沿着第一方向z从第二边缘面521出发至第一下偏转面1211的距离为l5；
82.第二光线沿着第二方向x从第一下偏转面1211出发至第二下偏转面1221的距离为l6；
83.第二光线沿着第一方向z从第二下偏转面1221出发至第三下偏转面1231的距离为l7；
84.第二光线沿着第二方向x从第三下偏转面1231出发至采集平面s的距离为l8；则：
85.第二光程l2的长度为l2＝l5+l6+l7+l8。
86.在本技术的实施例中，第三光路13包括第一中偏转面1311、第二中偏转面1321、第三中偏转面1331及第四中偏转面1341，第一中偏转面1311、第二中偏转面1321、第三中偏转面1331及第四中偏转面1341沿着第三光线的传送路径依次布置；光学系统1还具有第三方
向y，第一方向z、第二方向x及第三方向y两两相互垂直；
87.其中，第一中偏转面1311被配置为将第三光线从第二方向x偏转至第三方向y；
88.第二中偏转面1321被配置为将第三光线从第三方向y偏转至第二方向x；
89.第三中偏转面1331被配置为将第三光线从第二方向x偏转至第三方向y；
90.第四中偏转面1341被配置为将第三光线从第三方向y偏转至第二方向x。
91.在优选的实施例中，第一中偏转面1311及第四中偏转面1341分别与第二方向x呈135
°
夹角及45
°
夹角，第二中偏转面1321及第三中偏转面1331分别与第三方向y呈135
°
夹角及45
°
夹角。
92.在本技术的实施例中，定义：
93.第三光线沿着第二方向x从侧表面53出发至第一中偏转面1311的距离为s1；
94.第三光线沿着第三方向y从第一中偏转面1311出发至第二中偏转面1321的距离为s2；
95.第三光线沿着第二方向x从第二中偏转面1321出发至第三中偏转面1331的距离为s3；
96.第三光线沿着第三方向y从第三中偏转面1331出发至第四中偏转面1331的距离为s4；
97.第三光线沿着第三方向y从第三中偏转面1331出发至采集平面s的距离为s5；则：
98.第一光程l3的长度为l3＝s1+s2+s3+s4+s5。
99.在优选的实施例中，l1＝l2＝l3，即：;1+;2+;3+;4＝;5+;6+;7+l8＝s1+s2+s3+s4+s5，其中，第一光路11与第二光路12关于置物平面p互为镜像，以致：l1＝l5；l2＝l6；l3＝l7；l4＝l8＝s5；s2＝s4。其中，s1、l2和l6，l1和l3，l5和l7，l4、l8、s5和s3，均有对应偏转面的尺寸决定，因此，当l1或l2确定后，只需调整s2或s4即可；又或者，当l3确定后，只需调整l1和l3以及l5和l7即可。
100.再次参照图1及图2，在本技术的实施例中，光学系统1还具有与第二方向x相平行的光轴t，光轴t位于置物平面p内；其中，第四中偏转面1341、第一中偏转面1311及待测产品5沿着光轴t依次布置，第二中偏转面1321及第三中偏转面1331在第三方向y上分别与第一中偏转面1311及第四中偏转面1341相对设置。
101.为了使得边缘区域的图像显示更清晰，在本技术的另一实施例中，光学系统1还包括第一光源14与第二光源15，第一光源14与第二光源15射出的光线照射在待测产品5的外周边缘以构成一采光区m，部分采光区m在光轴t的方向上与第一中偏转面1311相对，部分采光区m在第一方向z上与第一上偏转面1111或第一下偏转面1211相对。
102.为了能够将上述偏转面保持在预设的位置关系，在图2示出的实施例中，第一光路11包括第一上传输部、第二上传输部及第三上传输部；
103.其中，第一上传输部、第二上传输部及第三上传输部分别为第1三棱镜111、第2三棱镜112及第3三棱镜113，第1三棱镜111、第2三棱镜112及第3三棱镜113分别具有第1分离面、第2分离面及第3分离面，第1分离面、第2分离面及第3分离面分别构成为第一上偏转面1111、第二上偏转面1121及第三上偏转面1131。
104.进一步地，第二光路12包括第一下传输部、第二下传输部及第三下传输部；
105.其中，第一下传输部、第二下传输部及第三下传输部分别为第4三棱镜121、第5三
棱镜122及第6三棱镜123，第4三棱镜121、第5三棱镜122及第6三棱镜123分别具有第4分离面、第5分离面及第6分离面，第4分离面、第5分离面及第6分离面分别构成为第一下偏转面1211、第二下偏转面1221及第三下偏转面1231。
106.进一步地，第三光路13包括第一中传输部、第二中传输部、第三中传输部及第四中传输部；
107.其中，第一中传输部、第二中传输部、第三中传输部及第四中传输部分别为第7三棱镜131、第8三棱镜132、第9三棱镜133及第10三棱镜134，第7三棱镜131、第8三棱镜132、第9三棱镜133及第10三棱镜134分别具有第7分离面、第8分离面、第9分离面及第10分离面，第7分离面、第8分离面、第9分离面及第10分离面分别构成为第一中偏转面1311、第二中偏转面1321、第三中偏转面1331及第四中偏转面1341。
108.本技术实施例还公开一种边缘三面检测装置，包括如上述任一项的边缘三面检测光学系统1、保持机构及拍摄机构4，拍摄机构4包括相机41及布置在相机41与边缘三面检测光学系统1之间的镜头42，所述保持机构将所述边缘三面检测光学系统1保持在预设位置，以致所述弧形光源3产生的光线投射至所述第一边缘面、第二边缘面及侧表面。本实施例的边缘三面检测装置对应地包括上述任一项实施例中的弧形光源3，其实现原理和技术效果类似，此处不再赘述。
109.以上对本实用新型实施例所提供的一种弧形光源及具有其的边缘三面检测光学系统进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例的技术方案的范围。

技术特征：
1.一种弧形光源(3)，用于对待测产品(5)进行补光，其特征在于，所述弧形光源包括：弧形基座(31)，其具有彼此相对的外表面(311)和内表面(312)；发光单元(32)，其布置在所述弧形基座(31)的内部，以致所述发光单元(32)的光线通过所述内表面(312)向外射出，或者，所述发光单元(32)贴附在所述内表面(312)；其中，所述内表面(312)为内凹的弧面或球面。2.如权利要求1所述的弧形光源(3)，其特征在于，所述发光单元(32)为若干个按预设规则排列的led点光源。3.如权利要求1所述的弧形光源(3)，其特征在于，至少部分所述内表面(312)由透明或者半透明材质制成。4.如权利要求1所述的弧形光源(3)，其特征在于，所述待测产品(5)具有彼此相背离的第一表面(51)、第二表面(52)及侧表面(53)，所述第一表面(51)及所述第二表面(52)在各自的周向边缘处分别具有第一边缘面(511)及第二边缘面(521)，所述侧表面(53)连接在所述第一边缘面(511)与第二边缘面(521)之间，其中，所述发光单元(32)包括上段光源(321)、下段光源(323)以及布置在所述上段光源(321)与下段光源(323)之间的中段光源(322)，所述上段光源(321)的光线至少部分射向所述第一边缘面(511)，所述下段光源(323)的光线至少部分射向所述第二边缘面(521)，所述中段光源(322)的光线至少部分射向所述侧表面(53)。5.如权利要求4所述的弧形光源(3)，其特征在于，所述上段光源(321)、中段光源(322)及下段光源(323)中两两之间连续过渡。6.如权利要求4所述的弧形光源(3)，其特征在于，所述上段光源(321)、中段光源(322)及下段光源(323)中的至少两者彼此隔断。7.如权利要求4所述的弧形光源(3)，其特征在于，所述上段光源(321)、中段光源(322)及下段光源(323)中的至少两者发出的光线颜色不同。8.如权利要求4所述的弧形光源(3)，其特征在于，所述上段光源(321)、中段光源(322)及下段光源(323)中的至少两者发出的光线强度不同。9.如权利要求4所述的弧形光源(3)，其特征在于，还包括控光单元，所述控光单元与所述发光单元(32)电连接。10.如权利要求9所述的弧形光源(3)，其特征在于，所述控光单元包括上控光、中控光及下控光，所述上控光、中控光及下控光分别与所述上段光源(321)、中段光源(322)及下段光源(323)电连接。11.一种边缘三面检测光学系统(1)，用于对待测产品(5)的边缘部分进行缺陷检测，所述待测产品(5)具有彼此相背离的第一表面(51)、第二表面(52)及侧表面(53)，所述第一表面(51)及所述第二表面(52)在各自的周向边缘处分别具有第一边缘面(511)及第二边缘面(521)，所述侧表面(53)连接在所述第一边缘面(511)与第二边缘面(521)之间，其特征在于，所述边缘三面检测光学系统(1)包括如权利要求1～10任一项所述的弧形光源(3)，所述弧形光源(3)产生的光线投射至所述第一边缘面(511)、第二边缘面(521)及侧表面(53)。12.如权利要求11所述的边缘三面检测光学系统(1)，其特征在于，还包括：第一光路(11)，其接收来自所述第一边缘面(511)的第一光线并引导所述第一光线沿着所述第一光路(11)的传播路径传送；
第二光路(12)，其接收来自所述第二边缘面(521)的第二光线并引导所述第二光线沿着所述第二光路(12)的传播路径传送；以及第三光路(13)，其接收来自所述侧表面(53)的第三光线并引导所述第三光线沿着所述第三光路(13)的传播路径传送；其中，所述第一光路(11)、所述第二光路(12)及所述第三光路(13)三者的光程相等。

技术总结
本实用新型的实施例公开了一种弧形光源及具有其的边缘三面检测光学系统，弧形光源包括弧形基座，其具有彼此相对的外表面和内表面；发光单元，其布置在所述弧形基座的内部，以致所述发光单元的光线通过所述内表面向外射出，或者，所述发光单元贴附在所述内表面；其中，所述内表面为内凹的弧面或球面。根据本实用新型，其提高了对产品周向边缘的三个表面进行补光时的光照均匀度，使三面检测效果更佳。使三面检测效果更佳。使三面检测效果更佳。


技术研发人员：请求不公布姓名
受保护的技术使用者：苏州高视半导体技术有限公司
技术研发日：2023.01.09
技术公布日：2023/8/8