喷头及薄膜制备装置

1.本发明涉及薄膜制备技术领域，特别是涉及一种喷头及薄膜制备装置。


背景技术：

2.原子层沉积技术(ald)是一种薄膜制备技术，以其低生长温度，原子级可控的厚度，优异的均匀性与一致性等优点，被广泛应用于锂电，光伏，催化，半导体器件行业。作为ald技术工业化的扩展——空间隔离原子层沉积(s-ald)。采用空间隔离的方式替代时间上的隔离使得薄膜生长速度扩大1-2个数量级。而喷头气体的均匀性和可延展性极大的影响了沉积薄膜的速度、面积及稳定性。传统的喷头大多适用于小面积沉积，并且在扩展到大面积喷头时沉积薄膜的均匀性差，现有适用于较大面积沉积的静压喷头通过各级挡板和静压室的静压作用，使喷头实现均匀出气的效果，但扩展到更大面积时均匀性变差，即扩展性差，并且存在着出气口流速均匀性随入口流量变化波动大，即稳定性差。


技术实现要素：

3.基于此，有必要针对现有的静压喷头在扩展到更大面积时均匀性变差，即扩展性差，并且存在着出气口流速均匀性随入口流量变化波动大，即稳定性差的问题，提供一种喷头及薄膜制备装置。
4.其技术方案如下：
5.一方面，提供了一种喷头，所述喷头设有分气流道、第一扩幅腔、第一扩散流道、第二扩幅腔、第二扩散流道、匀压腔及出气口，所述分气流道与所述第一扩幅腔连通，所述第一扩幅腔通过所述第一扩散流道与所述第二扩幅腔连通，所述第二扩幅腔通过所述第二扩散流道与所述匀压腔连通，所述匀压腔与所述出气口连通，所述第二扩幅腔沿所述第二扩幅腔的长度方向的尺寸大于所述第一扩幅腔沿所述第一扩幅腔的长度方向的尺寸。
6.下面进一步对技术方案进行说明：
7.在其中一个实施例中，所述喷头还设有第三扩幅腔及第三扩散流道，所述第二扩幅腔通过所述第二扩散流道与所述第三扩幅腔连通，所述第三扩幅腔通过所述第三扩散流道与所述匀压腔连通，所述第三扩幅腔沿所述第三扩幅腔的长度方向的尺寸大于所述第二扩幅腔沿所述第二扩幅腔的长度方向的尺寸。
8.在其中一个实施例中，所述分气流道具有第一出气端，所述第一出气端与所述第一扩幅腔的中间位置连通，所述第一扩散流道为两个，两个所述第一扩散流道均具有第一进气端，沿所述第一扩幅腔的长度方向，两个所述第一进气端分别位于所述第一出气端的两侧。
9.在其中一个实施例中，两个所述第一扩散流道均具有第二出气端，所述第二扩散流道为四个，四个所述第二扩散流道均具有第二进气端，沿所述第二扩幅腔的长度方向，四个所述第二进气端分别与两个所述第二出气端的两侧一一对应设置。
10.在其中一个实施例中，所述第三扩散流道设有第三进气端及第四出气端，沿所述
第三扩幅腔的长度方向，所述第三扩幅腔的尺寸与所述第三进气端的尺寸、所述第四出气端的尺寸、所述匀压腔的尺寸及所述出气口的尺寸均相同。
11.在其中一个实施例中，所述第一出气端的轴线方向与所述第一扩幅腔的长度方向垂直设置；所述第一出气端的轴线方向与所述第一进气端的轴线方向呈夹角设置；所述第二出气端的轴线方向与所述第二扩幅腔的长度方向垂直设置；所述第二出气端的轴线方向与所述第二进气端的轴线方向呈夹角设置；所述第二扩散流道具有第三出气端，所述第三出气端的轴线方向与所述第三扩幅腔的长度方向垂直设置；所述第三出气端的轴线方向与所述第三进气端的轴线方向呈夹角设置；所述第四出气端的轴线方向与所述匀压腔的长度方向垂直设置；沿所述匀压腔的高度方向，所述第四出气端与所述出气口错位设置；所述第四出气端沿所述匀压腔的长度方向的尺寸大于所述第三出气端沿所述第三扩幅腔的长度方向的尺寸，所述第三出气端沿所述第三扩幅腔的长度方向的尺寸大于所述第二出气端沿所述第二扩幅腔的长度方向的尺寸。
12.在其中一个实施例中，所述第一扩幅腔、所述第一扩散流道、所述第二扩幅腔及所述第二扩散流道均至少为两个，所述分气流道与各个所述第一扩幅腔均连通，各个所述第一扩幅腔、各个所述第一扩散流道、各个所述第二扩幅腔及各个所述第二扩散流道均一一对应连通，各个所述第二扩散流道均与所述第三扩幅腔对应连通。
13.在其中一个实施例中，所述喷头包括第一本体和第二本体，所述第一本体靠近所述第二本体的一侧间隔设有第一扩散槽、第二扩散槽及第三扩散槽，所述第二本体靠近所述第一本体的一侧设有分气槽、第一扩幅槽、第二扩幅槽、第三扩幅槽、匀压槽、与所述第一扩散槽对应设置的第一凸起、与所述第二扩散槽对应设置的第二凸起、及与所述第三扩散槽对应设置的第三凸起，所述第一本体与所述第二本体可拆卸连接，使得所述第一本体与所述第二本体能够配合形成所述分气流道、所述第一扩幅腔、所述第一扩散流道、所述第二扩幅腔、所述第二扩散流道、所述第三扩幅腔、所述第三扩散流道及所述匀压腔，所述第二本体的外壁设有所述出气口。
14.在其中一个实施例中，所述第一扩散槽设为阶梯槽，所述阶梯槽具有相互连通的第一槽体及第二槽体，所述第二槽体的槽深大于所述第一槽体的槽深，所述第一凸起安装于所述第二槽体内，使得所述第一槽体的内壁、所述第二槽体的内壁及所述第一凸起的外壁能够配合形成所述第一扩散流道。
15.另一方面，提供了一种薄膜制备装置，包括所述的喷头。
16.上述实施例中的喷头及薄膜制备装置，使用时，首先，将气体通过分气流道输送至第一扩幅腔内，使得气体与第一扩幅腔的内壁碰撞并朝向靠近第一扩散流道的方向扩散，使得第一扩幅腔内的动压减小，有利于从第一扩幅腔进入到第一扩散流道内的气体保持相对一致，提高了喷头的均匀性。接着，进入到第一扩散流道内的气体与第一扩散流道的内壁碰撞，使得第一扩散流道内的气体由流速较快的位置朝向流速较慢的位置进行扩散补偿，从而使得从第一扩散流道进入到第二扩幅腔内的气体的流量波动减小，提高了喷头10的稳定性。其次，进入到第二扩幅腔内的气体与第二扩幅腔的内壁碰撞并朝向靠近第二扩散流道的方向扩散，使得第二扩幅腔内的动压减小，有利于从第二扩幅腔进入到第二扩散流道内的气体保持相对一致，再次提高了喷头10的均匀性。然后，进入到第二扩散流道内的气体与第二扩散流道的内壁碰撞，使得第二扩散流道内的气体由流速较快的位置朝向流速较慢
的位置进行扩散补偿，从而使得从第二扩散流道进入到匀压腔内的流量波动减小，再次提高了喷头10的稳定性。最后，进入到匀压腔内的气体与匀压腔的内壁碰撞并朝向靠近出气口的方向扩散，使得匀压腔能够进一步消除因气体流速不均造成的压力不稳定现象，实现在静压平衡的条件下将气体从出气口送出，保证出气口处气体流速的均匀性。与现有的静压喷头相比，本技术中喷头通过第一扩幅腔、第一扩散流道、第二扩幅腔及第二扩散流道之间的相互配合实现喷头的扩大化设计，并采用静压平衡出气的理念，使得喷头能够在保持较大出气幅长的基础上进行均匀且稳定的出气，提高了喷头及薄膜制备装置的适用性和工业生产效率。
附图说明
17.构成本技术的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。
18.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1为一个实施例的喷头的结构示意图。
20.图2为图1的喷头的内部流体分布示意图。
21.图3为另一个实施例的喷头的内部流体分布示意图。
22.图4为图1的第一本体的结构示意图。
23.图5为图1的第二本体的结构示意图。
24.附图标记说明：
25.10、喷头；110、分气流道；120、第一扩幅腔；130、第一扩散流道；140、第二扩幅腔；150、第二扩散流道；160、匀压腔；170、出气口；180、第三扩幅腔；190、第三扩散流道；200、第一本体；210、第一扩散槽；220、第二扩散槽；230、第三扩散槽；300、第二本体；310、分气槽；320、第一扩幅槽；330、第二扩幅槽；340、第三扩幅槽；350、匀压槽；360、第一凸起；370、第二凸起；380、第三凸起。
具体实施方式
26.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
27.如图1及图2所示，在一个实施例中，提供了一种喷头10，喷头10设有分气流道110、第一扩幅腔120、第一扩散流道130、第二扩幅腔140、第二扩散流道150、匀压腔160及出气口170，分气流道110与第一扩幅腔120连通，第一扩幅腔120通过第一扩散流道130与第二扩幅腔140连通，第二扩幅腔140通过第二扩散流道150与匀压腔160连通，匀压腔160与出气口170连通，第二扩幅腔140沿第二扩幅腔140的长度方向(如图1中a方向所示)的尺寸大于第一扩幅腔120沿第一扩幅腔120的长度方向(如图1中a方向所示)的尺寸。
28.上述实施例中的喷头10，使用时，首先，将气体通过分气流道110输送至第一扩幅腔120内，使得气体与第一扩幅腔120的内壁碰撞并朝向靠近第一扩散流道130的方向扩散，使得第一扩幅腔120内的动压减小，有利于从第一扩幅腔120进入到第一扩散流道130内的气体保持相对一致，提高了喷头10的均匀性。接着，进入到第一扩散流道130内的气体与第一扩散流道130的内壁碰撞，使得第一扩散流道130内的气体由流速较快的位置朝向流速较慢的位置进行扩散补偿，从而使得从第一扩散流道130进入到第二扩幅腔140内的气体的流量波动减小，提高了喷头10的稳定性。其次，进入到第二扩幅腔140内的气体与第二扩幅腔140的内壁碰撞并朝向靠近第二扩散流道150的方向扩散，使得第二扩幅腔140内的动压减小，有利于从第二扩幅腔140进入到第二扩散流道150内的气体保持相对一致，再次提高了喷头10的均匀性。然后，进入到第二扩散流道150内的气体与第二扩散流道150的内壁碰撞，使得第二扩散流道150内的气体由流速较快的位置朝向流速较慢的位置进行扩散补偿，从而使得从第二扩散流道150进入到匀压腔160内的气体的流量波动减小，再次提高了喷头10的稳定性。最后，进入到匀压腔160内的气体与匀压腔160的内壁碰撞并朝向靠近出气口170的方向扩散，使得匀压腔160能够进一步消除因气体流速不均造成的压力不稳定现象，实现在静压平衡的条件下将气体从出气口170送出，保证出气口170处气体流速的均匀性。与现有的静压喷头相比，本技术中喷头10通过第一扩幅腔120、第一扩散流道130、第二扩幅腔140及第二扩散流道150之间的相互配合实现喷头10的扩大化设计，并采用静压平衡出气的理念，使得喷头10能够在保持较大出气幅长的基础上进行均匀且稳定的出气，提高了喷头10的适用性及工业生产效率。
29.其中，动压是指气体流动产生的压力，气体流速越大，动压越大。静压是指气体分子由于不规则运动撞击于管壁上产生的压力。全压是指静压和动压之和。喷头10的长度可以根据实际使用的需要进行灵活调整。例如，喷头10的长度可以为276mm或500mm等。
30.如图1及图2所示，可选地，喷头10还设有第三扩幅腔180及第三扩散流道190，第二扩幅腔140通过第二扩散流道150与第三扩幅腔180连通，第三扩幅腔180通过第三扩散流道190与匀压腔160连通，第三扩幅腔180沿第三扩幅腔180的长度方向的尺寸(如图1中a方向所示)大于第二扩幅腔140沿第二扩幅腔140的长度方向的尺寸。如此，第二扩散流道150内的气体进入第三扩幅腔180，使得进入到第三扩幅腔180内的气体与第三扩幅腔180的内壁碰撞并朝向靠近第三扩散流道190的方向扩散，进而使得第三扩幅腔180内的动压减小，有利于从第三扩幅腔180进入到第三扩散流道190内的气体保持相对一致，进一步提高了喷头10的均匀性。并且，进入到第三扩散流道190内的气体与第三扩散流道190的内壁碰撞，使得第三扩散流道190内的气体由流速较快的位置朝向流速较慢的位置进行扩散补偿，从而使得从第三扩散流道190进入到匀压腔160内的气体的流量波动减小，进一步提高了喷头10的稳定性。另外，通过第一扩幅腔120、第一扩散流道130、第二扩幅腔140、第二扩散流道150、第三扩幅腔180及第三扩散流道190之间的相互配合，使得喷头10的出气幅长能够进行一步扩大，提高了喷头10的适用性及工业生产效率。
31.其中，第一扩散流道130、第二扩散流道150及第三扩散流道190均可以为曲线流道、弯折流道或其他形状的流道。第一扩散流道130、第二扩散流道150及第三扩散流道190的数量、形状和位置均可以根据实际使用的需要进行灵活调整。第一扩幅腔120沿第一扩幅腔120的长度方向的尺寸、第二扩幅腔140沿第二扩幅腔140的长度方向的尺寸、及第三扩幅
腔180沿第三扩幅腔180的长度方向的尺寸均可以根据实际使用的需要进行灵活调整。第一扩幅腔120、第二扩幅腔140及第三扩幅腔180的数量和形状均可以根据实际使用的需要进行灵活调整。具体到本实施例中，第一扩散流道130的数量是第一扩幅腔120的数量的两倍；第二扩幅腔140的数量为一个或与第一扩散流道130的数量相同；第二扩散流道150的数量是第一扩散流道130的数量的两倍，第三扩幅腔180的数量及第三扩散流道190的数量均为一个。
32.如图2所示，在一个实施例中，分气流道110具有第一出气端，第一出气端与第一扩幅腔120的中间位置连通，第一扩散流道130为两个，两个第一扩散流道130均具有第一进气端，沿第一扩幅腔120的长度方向，两个第一进气端分别位于第一出气端的两侧。如此，与第一扩幅腔120的内壁碰撞后的气体能够分流至两个第一扩散流道130，保证气体能够充分的与第一扩散流道130的内壁碰撞以进行扩散补偿，提高了喷头10的可靠性及均匀性。
33.具体到本实施例中，沿第一扩幅腔120的长度方向，两个第一进气端与第一扩幅腔120的两侧一一对应连通。如此，气体能够充分的与第一扩幅腔120的内壁碰撞，使得第一扩幅腔120内的动压进一步减小，有利于进入到两个第一扩散流道130内的气体保持相对一致。
34.如图2所示，进一步地，两个第一扩散流道130均具有第二出气端，第二扩散流道150为四个，四个第二扩散流道150均具有第二进气端，沿第二扩幅腔140的长度方向，四个第二进气端分别与两个第二出气端的两侧一一对应设置。如此，与第二扩幅腔140的内壁碰撞后的气体能够分流至四个第二扩散流道150，保证气体能够充分的与第二扩散流道150的内壁碰撞以进行扩散补偿，提高了喷头10的可靠性及均匀性。
35.具体到本实施例中，沿第二扩幅腔140的长度方向，四个第二进气端均匀间隔设置。如此，气体能够充分且均匀的与第二扩幅腔140的内壁碰撞，使得第一扩幅腔120内的动压进一步减小，有利于进入到四个第二扩散流道150内的气体保持相对一致。
36.如图2所示，可选地，第三扩散流道190设有第三进气端及第四出气端，沿第三扩幅腔180的长度方向，第三扩幅腔180的尺寸与第三进气端的尺寸、第四出气端的尺寸、匀压腔160的尺寸及出气口170的尺寸均相同。如此，气体能够充分与第三扩散流道190的内壁碰撞，使得气体的能够以均匀的流速进入匀压腔160，提高了喷头10的可靠性及均匀性。
37.如图2所示，在一个实施例中，第一出气端的轴线方向与第一扩幅腔120的长度方向垂直设置；第一出气端的轴线方向与第一进气端的轴线方向呈夹角设置。如此，气体能够充分的与第一扩幅腔120的内壁碰撞，使得第一扩幅腔120内的动压进一步减小，有利于进入到两个第一扩散流道130内的气体保持相对一致。具体到本实施例中，第一出气端的轴线方向与第一进气端的轴线方向垂直设置。
38.具体到本实施例中，第一出气端设置呈圆弧结构。如此，圆弧结构能够对气流起到纠正的作用，保证从圆弧结构进入到第一扩幅腔120的气体沿垂直于第一扩幅腔120的内壁方向进入，避免从第一扩幅腔120进入两侧的第一扩散流道130的气体的差别较大，提高了喷头10的均匀性。如图2所示，进一步地，第二出气端的轴线方向与第二扩幅腔140的长度方向垂直设置；第二出气端的轴线方向与第二进气端的轴线方向呈夹角设置。如此，气体能够充分与第二扩幅腔140的内壁碰撞，使得第二扩幅腔140内的动压进一步减小，有利于进入到四个第二扩散流道150内的气体保持相对一致。具体到本实施例中，第二出气端的轴线方
向与第二进气端的轴线方向垂直设置。
39.如图2所示，可选地，第二扩散流道150具有第三出气端，第三出气端的轴线方向与第三扩幅腔180的长度方向垂直设置；第三出气端的轴线方向与第三进气端的轴线方向呈夹角设置；第四出气端的轴线方向与匀压腔160的长度方向垂直设置。如此，气体能够充分与第三扩幅腔180的内壁碰撞，使得第三扩幅腔180内的动压进一步减小，有利于进入到第三扩散流道190内的气体保持相对一致。具体到本实施例中，第三出气端的轴线方向与第三进气端的轴线方向垂直设置。
40.如图2所示，可选地，沿匀压腔160的高度方向(如图1中b方向所示)，第四出气端与出气口170错位设置；第四出气端沿匀压腔160的长度方向的尺寸大于第三出气端沿第三扩幅腔180的长度方向的尺寸，第三出气端沿第三扩幅腔180的长度方向的尺寸大于第二出气端沿第二扩幅腔140的长度方向的尺寸。如此，气体能够充分与匀压腔160的内壁碰撞，使得匀压腔160内气体的流速的均匀性增加，避免匀压腔160内出现因气体流速不均而造成的压力不稳定现象，保证出气口170出气的均匀性。
41.如图1及图3所示，在一个实施例中，第一扩幅腔120、第一扩散流道130、第二扩幅腔140及第二扩散流道150均至少为两个，分气流道110与各个第一扩幅腔120均连通，各个第一扩幅腔120、各个第一扩散流道130、各个第二扩幅腔140及各个第二扩散流道150均一一对应连通，各个第二扩散流道150均与第三扩幅腔180对应连通。如此，喷头10的出气幅长能够根据实际使用的需要进行灵活调整，提高了喷头10的适应性。
42.需要说明的是，利用fluent软件对图2中的实施例及图3中的实施例进行结构仿真计算和均匀性判断可知，当分气流道110内的气体流量大幅度波动时，两个实施例中的喷头10的均匀性均基本不发生改变。与现有的静压喷头相比，一方面，本技术中的喷头10的幅长由276mm扩大到500mm时，喷头10的均匀性及稳定性均非常好，即喷头10的可扩展性强；另一方面，本技术中的喷头10即使在变化6000sccm的条件下，喷头10仍能保持较高的均匀性。
43.其中，喷头10可以通过一体成型的方式加工形成，也可以通过螺接、卡接、插接或焊接等装配连接的方式形成。
44.如图1、图4及图5所示，在一个实施例中，喷头10包括第一本体200和第二本体300，第一本体200靠近第二本体300的一侧间隔设有第一扩散槽210、第二扩散槽220及第三扩散槽230，第二本体300靠近第一本体200的一侧设有分气槽310、第一扩幅槽320、第二扩幅槽330、第三扩幅槽340、匀压槽350、与第一扩散槽210对应设置的第一凸起360、与第二扩散槽220对应设置的第二凸起370、及与第三扩散槽230对应设置的第三凸起380，第一本体200与第二本体300可拆卸连接，使得第一本体200与第二本体300能够配合形成分气流道110、第一扩幅腔120、第一扩散流道130、第二扩幅腔140、第二扩散流道150、第三扩幅腔180、第三扩散流道190及匀压腔160，第二本体300的外壁设有出气口170。如此，降低了喷头10的加工成本及加工难度。
45.可选地，第一扩散槽210设为阶梯槽，阶梯槽具有相互连通的第一槽体及第二槽体，第二槽体的槽深大于第一槽体的槽深，第一凸起360安装于第二槽体内，使得第一槽体的内壁、第二槽体的内壁及第一凸起360的外壁能够配合形成第一扩散流道130。如此，气体能够与第一凹槽的内壁、第二凹槽的内壁及第一凸起360的外壁均发生碰撞，使得第一扩散流道130内的气体的均匀性增加，提高了喷头10的可靠性及均匀性。
46.在其他实施例中，第二扩散流道150及第三扩散流道190的结构及工作原理均与第一扩散流道130的结构及工作原理相同或类似，此处不在详细赘述。
47.在一实施例中，提供了一种薄膜制备装置，包括上述任一实施例中的喷头10。
48.上述实施例中的薄膜制备装置，使用时，首先，将气体通过分气流道110输送至第一扩幅腔120内，使得气体与第一扩幅腔120的内壁碰撞并朝向靠近第一扩散流道130的方向扩散，使得第一扩幅腔120内的动压减小，有利于从第一扩幅腔120进入到第一扩散流道130内的气体保持相对一致，提高了喷头10的均匀性。接着，进入到第一扩散流道130内的气体与第一扩散流道130的内壁碰撞，使得第一扩散流道130内的气体由流速较快的位置朝向流速较慢的位置进行扩散补偿，从而使得从第一扩散流道130进入到第二扩幅腔140内的气体的流量波动减小，提高了喷头10的稳定性。其次，进入到第二扩幅腔140内的气体与第二扩幅腔140的内壁碰撞并朝向靠近第二扩散流道150的方向扩散，使得第二扩幅腔140内的动压减小，有利于从第二扩幅腔140进入到第二扩散流道150内的气体保持相对一致，再次提高了喷头10的均匀性。然后，进入到第二扩散流道150内的气体与第二扩散流道150的内壁碰撞，使得第二扩散流道150内的气体由流速较快的位置朝向流速较慢的位置进行扩散补偿，从而使得从第二扩散流道150进入到匀压腔160内的气体的流量波动减小，再次提高了喷头10的稳定性。最后，进入到匀压腔160内的气体与匀压腔160的内壁碰撞并朝向靠近出气口170的方向扩散，使得匀压腔160能够进一步消除因气体流速不均造成的压力不稳定现象，实现在静压平衡的条件下将气体从出气口170送出，保证出气口170处气体流速的均匀性。与传统的薄膜制备装置相比，本技术中薄膜制备装置通过第一扩幅腔120、第一扩散流道130、第二扩幅腔140及第二扩散流道150之间的相互配合实现喷头10的扩大化设计，并采用静压平衡出气的理念，使得薄膜制备装置能够在保持较大出气幅长的基础上进行均匀且稳定的出气，提高了薄膜制备装置的适用性及工业生产效率。
49.其中，本技术中的喷头10能够应用于薄膜制备装置、喷气装置、喷淋装置或其他产品上。本技术以喷头10应用在薄膜制备装置为例进行说明，不得理解为对本技术的限制。
50.在本技术的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
51.此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
52.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
53.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
54.需要说明的是，若元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。若一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。如若存在，本技术所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
55.还应当理解的是，在解释元件的连接关系或位置关系时，尽管没有明确描述，但连接关系和位置关系解释为包括误差范围，该误差范围应当由本领域技术人员所确定的特定值可接受的偏差范围内。例如，“大约”、“近似”或“基本上”可以意味着一个或多个标准偏差内，在此不作限定。
56.以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
57.以上实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

技术特征：
1.一种喷头，其特征在于，所述喷头设有分气流道、第一扩幅腔、第一扩散流道、第二扩幅腔、第二扩散流道、匀压腔及出气口，所述分气流道与所述第一扩幅腔连通，所述第一扩幅腔通过所述第一扩散流道与所述第二扩幅腔连通，所述第二扩幅腔通过所述第二扩散流道与所述匀压腔连通，所述匀压腔与所述出气口连通，所述第二扩幅腔沿所述第二扩幅腔的长度方向的尺寸大于所述第一扩幅腔沿所述第一扩幅腔的长度方向的尺寸。2.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于，所述喷头还设有第三扩幅腔及第三扩散流道，所述第二扩幅腔通过所述第二扩散流道与所述第三扩幅腔连通，所述第三扩幅腔通过所述第三扩散流道与所述匀压腔连通，所述第三扩幅腔沿所述第三扩幅腔的长度方向的尺寸大于所述第二扩幅腔沿所述第二扩幅腔的长度方向的尺寸。3.根据权利要求2所述的喷头，其特征在于，所述分气流道具有第一出气端，所述第一出气端与所述第一扩幅腔的中间位置连通，所述第一扩散流道为两个，两个所述第一扩散流道均具有第一进气端，沿所述第一扩幅腔的长度方向，两个所述第一进气端分别位于所述第一出气端的两侧。4.根据权利要求3所述的喷头，其特征在于，两个所述第一扩散流道均具有第二出气端，所述第二扩散流道为四个，四个所述第二扩散流道均具有第二进气端，沿所述第二扩幅腔的长度方向，四个所述第二进气端分别与两个所述第二出气端的两侧一一对应设置。5.根据权利要求4所述的喷头，其特征在于，所述第三扩散流道设有第三进气端及第四出气端，沿所述第三扩幅腔的长度方向，所述第三扩幅腔的尺寸与所述第三进气端的尺寸、所述第四出气端的尺寸、所述匀压腔的尺寸及所述出气口的尺寸均相同。6.根据权利要求5所述的喷头，其特征在于，所述第一出气端的轴线方向与所述第一扩幅腔的长度方向垂直设置；所述第一出气端的轴线方向与所述第一进气端的轴线方向呈夹角设置；所述第二出气端的轴线方向与所述第二扩幅腔的长度方向垂直设置；所述第二出气端的轴线方向与所述第二进气端的轴线方向呈夹角设置；所述第二扩散流道具有第三出气端，所述第三出气端的轴线方向与所述第三扩幅腔的长度方向垂直设置；所述第三出气端的轴线方向与所述第三进气端的轴线方向呈夹角设置；所述第四出气端的轴线方向与所述匀压腔的长度方向垂直设置；沿所述匀压腔的高度方向，所述第四出气端与所述出气口错位设置；所述第四出气端沿所述匀压腔的长度方向的尺寸大于所述第三出气端沿所述第三扩幅腔的长度方向的尺寸，所述第三出气端沿所述第三扩幅腔的长度方向的尺寸大于所述第二出气端沿所述第二扩幅腔的长度方向的尺寸。7.根据权利要求2至6任一项所述的喷头，其特征在于，所述第一扩幅腔、所述第一扩散流道、所述第二扩幅腔及所述第二扩散流道均至少为两个，所述分气流道与各个所述第一扩幅腔均连通，各个所述第一扩幅腔、各个所述第一扩散流道、各个所述第二扩幅腔及各个所述第二扩散流道均一一对应连通，各个所述第二扩散流道均与所述第三扩幅腔对应连通。8.根据权利要求2至6任一项所述的喷头，其特征在于，所述喷头包括第一本体和第二本体，所述第一本体靠近所述第二本体的一侧间隔设有第一扩散槽、第二扩散槽及第三扩散槽，所述第二本体靠近所述第一本体的一侧设有分气槽、第一扩幅槽、第二扩幅槽、第三扩幅槽、匀压槽、与所述第一扩散槽对应设置的第一凸起、与所述第二扩散槽对应设置的第二凸起、及与所述第三扩散槽对应设置的第三凸起，所述第一本体与所述第二本体可拆卸
连接，使得所述第一本体与所述第二本体能够配合形成所述分气流道、所述第一扩幅腔、所述第一扩散流道、所述第二扩幅腔、所述第二扩散流道、所述第三扩幅腔、所述第三扩散流道及所述匀压腔，所述第二本体的外壁设有所述出气口。9.根据权利要求8所述的喷头，其特征在于，所述第一扩散槽设为阶梯槽，所述阶梯槽具有相互连通的第一槽体及第二槽体，所述第二槽体的槽深大于所述第一槽体的槽深，所述第一凸起安装于所述第二槽体内，使得所述第一槽体的内壁、所述第二槽体的内壁及所述第一凸起的外壁能够配合形成所述第一扩散流道。10.一种薄膜制备装置，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的喷头。

技术总结
本发明提供一种喷头及薄膜制备装置，喷头设有分气流道、第一扩幅腔、第一扩散流道、第二扩幅腔、第二扩散流道、匀压腔及出气口，分气流道与第一扩幅腔连通，第一扩幅腔通过第一扩散流道与第二扩幅腔连通，第二扩幅腔通过第二扩散流道与匀压腔连通，匀压腔与出气口连通，第二扩幅腔沿第二扩幅腔的长度方向的尺寸大于第一扩幅腔沿第一扩幅腔的长度方向的尺寸。本申请中喷头通过第一扩幅腔、第一扩散流道、第二扩幅腔及第二扩散流道之间的相互配合实现喷头的扩大化设计，并采用静压平衡出气的理念，使得喷头能够在保持较大出气幅长的基础上进行均匀且稳定的出气，提高了喷头及薄膜制备装置的适用性和工业生产效率。装置的适用性和工业生产效率。装置的适用性和工业生产效率。


技术研发人员：陈蓉 马更 杨帆 单斌 蒋雪薇 聂煜峰
受保护的技术使用者：华中科技大学
技术研发日：2023.04.27
技术公布日：2023/8/13